JP5756429B2 - 貼り合わせ装置及び該貼り合わせ装置を用いた貼り合わせ位置調整方法 - Google Patents
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Description
式(1)から、カム部材23の偏心カム27の径に関わらず、駆動軸28の偏心量に比例した押し込み量が得られ、駆動軸28の偏心量を大きくするほど、押し込み量が大きくなることが分かる。
11 下部チャック
12 上部チャック
15 吊りワイヤ
20 位置調整機構
21 位置調整用カム部材
22 回転補助部材
23 角度調整用カム部材
63 下部チャンバー
64 上部チャンバー
68 鈎状部材
W1 ウエハ
W2 ウエハ
Claims (15)
- 板状の第1部材と第2部材を貼り合わせる貼り合わせ装置であって、
前記第1部材を上面に載置して保持する第1の保持部と、
該第1の保持部の上部に対向配置され前記第2部材を保持する第2の保持部と、
前記第1の保持部に保持された前記第1部材と、前記第2の保持部に保持された前記第2部材との貼り合わせ位置を調整する位置調整機構と、を有し、
前記第2の保持部は円形板状部であり、
前記位置調整機構は、前記第2の保持部の外周面に沿って等間隔に配置された4つの位置調整用カム部材を備え、前記第2の保持部を水平方向に移動させることを特徴とする貼り合わせ装置。 - 前記位置調整用カム部材は、隣接する任意の2つを1セットとして前記第2の保持部に当接し、又は離間して前記第2の保持部の水平位置を調整することを特徴とする請求項1記載の貼り合わせ装置。
- 前記位置調整機構は、さらに、前記第2の保持部の外周面に設けられた突出部を押圧して前記第2の保持部を、当該第2の保持部の円形の中心を回転の中心として水平面上で回動させる角度調整用カム部材を有することを特徴とする請求項1又は2記載の貼り合わせ装置。
- 板状の第1部材と第2部材を貼り合わせる貼り合わせ装置であって、
前記第1部材を上面に載置して保持する第1の保持部と、
該第1の保持部の上部に対向配置され前記第2部材を保持する第2の保持部と、
前記第1の保持部に保持された前記第1部材と、前記第2の保持部に保持された前記第2部材との貼り合わせ位置を調整する位置調整機構と、を有し、
前記第1の保持部は円形板状部であり、
前記位置調整機構は、前記第1の保持部の外周面に沿って等間隔に配置された4つの位置調整用カム部材を備え、前記第1の保持部を水平方向に移動させることを特徴とする貼り合わせ装置。 - 前記位置調整用カム部材は、隣接する任意の2つを1セットとして前記第1の保持部に当接し、又は離間して前記第1の保持部の水平位置を調整することを特徴とする請求項4記載の貼り合わせ装置。
- 前記位置調整機構は、さらに、前記第1の保持部の外周面に設けられた突出部を押圧して前記第1の保持部を、当該第1の保持部の円形の中心を回転の中心として水平面上で回動させる角度調整用カム部材を有することを特徴とする請求項4又は5記載の貼り合わせ装置。
- 板状の第1部材と第2部材を貼り合わせる貼り合わせ装置であって、
前記第1部材を上面に載置して保持する第1の保持部と、
該第1の保持部の上部に対向配置され前記第2部材を保持する第2の保持部と、
前記第1の保持部に保持された前記第1部材と、前記第2の保持部に保持された前記第2部材との貼り合わせ位置を調整する位置調整機構と、を有し、
前記第2の保持部は円形板状体に支持されており、
前記位置調整機構は、前記円形板状体の外周面に沿って等間隔に配置された4つの位置調整用カム部材を備え、前記円形板状体を水平方向に移動させることによって前記第2の保持部を移動させることを特徴とする貼り合わせ装置。 - 下部チャンバーと、該下部チャンバーに当接する上部チャンバーとを備えた貼り合わせチャンバーをさらに有しており、前記第1の保持部及び前記第2の保持部は、それぞれ前記下部チャンバー内及び前記上部チャンバー内に設けられており、前記円形板状体は、前記上部チャンバーの天板であることを特徴とする請求項7記載の貼り合わせ装置。
- 前記位置調整用カム部材は、隣接する任意の2つを1セットとして前記円形板状体に当接し、又は離間して前記円形板状体の水平位置を調整することを特徴とする請求項7又は8記載の貼り合わせ装置。
- 前記位置調整機構は、さらに、前記円形板状体の外周面に設けられた突出部を押圧して前記円形板状体を、当該円形板状体の円形の中心を回転の中心として水平面上で回動させる角度調整用カム部材を有することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の貼り合わせ装置。
- 前記位置調整用カム部材及び前記角度調整用カム部材は、円筒状の外周リングと、該外周リングにベアリングを介して内装された円柱状の偏心カムと、該偏心カムを駆動する駆動軸とを有することを特徴とする請求項3,6,10のいずれか1項に記載の貼り合わせ装置。
- 前記第1の保持部に保持された前記第1部材と前記第2の保持部に保持された前記第2部材との貼り合わせ位置のずれ量を測定するずれ量測定機構を有することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の貼り合わせ装置。
- 貼り合わせ装置を用いて板状の第1部材と第2部材を貼り合わせる際の前記第1部材と第2部材との貼り合わせ位置を調整する貼り合わせ位置調整方法であって、
前記貼り合わせ装置は、
前記第1部材を上面に載置して保持する第1の保持部と、
該第1の保持部の上部に対向配置され前記第2部材を保持する第2の保持部と、
前記第1の保持部に保持された前記第1部材と、前記第2の保持部に保持された前記第2部材との貼り合わせ位置を調整する位置調整機構と、を有し、
前記第2の保持部は円形板状部であり、前記位置調整機構は、前記第2の保持部の外周面に沿って等間隔に配置された4つの位置調整用カム部材、及び前記第2の保持部の外周面に設けられた突出部を押圧して前記第2の保持部を、当該第2の保持部の円形の中心を回転の中心として水平面上で回動させる角度調整用カム部材を備えており、
前記貼り合わせ位置調整方法は、
前記第1の保持部及び前記第2の保持部にそれぞれ第1部材及び第2部材を保持させる部材保持工程と、
前記第1部材の位置に対する前記第2部材の位置のずれ量を測定するずれ量測定工程と、
前記測定したずれ量に基づいて、前記4つの位置調整用カム部材における前記第2部材を移動させるべき側に係る2つの隣接する位置調整用カム部材を駆動して当該2つの位置調整用カム部材を前記第2の保持部の外周面から離間させるカム離間工程と、
前記離間した位置調整用カム部材と対向する別の2つの隣接する位置調整用カム部材を駆動して前記第2の保持部を該第2の保持部に保持された第2部材ごと前記第2部材を移動させるべき側に押圧して移動させ、水平ずれを補正して前記第1部材に対する前記第2部材の位置合わせを行う位置合わせ工程と、
を有することを特徴とする貼り合わせ位置調整方法。 - 前記位置合わせ工程後、前記角度調整用カム部材を用いて前記第2の保持部を、該第2の保持部の円形の中心を回転の中心として水平面上で回動させて前記第1部材に対する前記第2部材の角度ずれを補正する角度調整工程を有することを特徴とする請求項13記載の貼り合わせ位置調整方法。
- 前記部材保持工程の前段に、前記位置調整用カム部材を用いて前記第1の保持部に対する前記第2の保持部の位置合わせを行うセンタリング工程を有することを特徴とする請求項13又は14記載の貼り合わせ位置調整方法。
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