JP2011192828A - 基板貼り合せ装置、基板貼り合せ方法、積層半導体装置製造方法及び積層半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1基板を保持する第1ステージと、第1ステージに対向して配され、第1ステージに対し移動可能であり、第2基板を保持する第2ステージと、第2ステージに取り付けられ、基準面に対する平行基準となる平行基準マークと、第1ステージに対して固定され、平行基準マークおよび第2基板の表面に設けられたアラインメントマークを観察する第1マーク観察部とを備える基板貼り合せ装置が提供される。
【選択図】図9
Description
特許文献1 特開2009−231671号公報
δ = h・tanθ (1)
374 第1固定鏡、376 第2固定鏡、380 干渉計、390 干渉計、392 第3固定鏡、394 第4固定鏡
Claims (8)
- 第1基板を保持する第1ステージと、
前記第1ステージに対向して配され、前記第1ステージに対し移動可能であり、第2基板を保持する第2ステージと、
前記第2ステージに取り付けられ、基準面に対する平行基準となる平行基準マークと、
前記第1ステージに対して固定され、前記平行基準マークおよび前記第2基板の表面に設けられたアラインメントマークを観察する第1マーク観察部と
を備える基板貼り合せ装置。 - 前記第2ステージに対して固定され、前記第1基板の表面に設けられたアラインメントマークを観察する第2マーク観察部と、
前記平行基準マークおよび前記アラインメントマークに基づいて、前記第1基板の表面と前記第2基板の前記表面とを平行にすべく前記第2ステージを傾ける傾斜機構と、
前記傾斜機構による前記第2ステージの傾斜量に応じて、前記第2ステージにおける前記第2基板の面方向の位置を補正する位置補正部と
をさらに備える請求項1に記載の基板貼り合せ装置。 - 前記位置補正部は、前記第1ステージに対して固定された第1固定鏡、前記第2ステージに対して固定された第2固定鏡、および、前記第1固定鏡と前記第2固定鏡との相対位置から前記第1ステージと前記第2ステージとの相対位置を検出する干渉計を有し、
前記位置補正部は、前記第2ステージの傾斜に応じて前記第1固定鏡および前記第2固定鏡の少なくとも一方が傾斜したことによる前記干渉計の見かけ上のずれを補正する請求項2に記載の基板貼り合せ装置。 - 前記位置補正部は、前記傾斜機構による傾斜後であって、前記第1基板と前記第2基板とが接触する前に、前記第2ステージにおける前記第2基板の面方向の位置を補正する請求項2または3に記載の基板貼り合わせ装置。
- 第1ステージに対向して配された第2ステージに取り付けられた複数の平行基準マークを計測することにより、前記第2ステージの平行基準位置を設定する平行基準設定ステップと、
前記第1ステージに保持された第1基板の表面に設けられたアラインメントマークを観察する第1基板観察ステップと、
前記第2ステージに保持された第2基板の表面に設けられたアラインメントマークを観察する第2基板観察ステップと、
観察した前記アラインメントマークに基づいて、前記第1基板の表面と前記第2基板の表面とを平行にすべく前記第2ステージを傾ける第2ステージ傾斜ステップと、
平行基準位置からの傾斜量に基づいて、前記第1基板と前記第2基板との間の横ずれを補正する位置補正ステップと
前記第1基板と前記第2基板とを重ね合わせる重ね合せステップと、
を備える基板貼り合せ方法。 - 前記位置補正ステップは、前記重ね合わせステップに先立って行われる請求項5に記載の基板貼り合わせ方法。
- 請求項5または6に記載の基板貼り合せ方法により基板を貼り合せることを含む積層半導体装置製造方法。
- 請求項7に記載の積層半導体装置製造方法により製造された積層半導体装置。
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