JPWO2009119096A1 - 接合装置および接合方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特願2008−083118 出願日 2008年3月27日
E=E1+E2
E1=D(1−cosθ)
E2=Δh・sinθ
Claims (15)
- 一対の基板の一方の基板を保持固定する第1の基板保持部材と、
前記一対の基板の他方の基板を該基板の接合面が前記一方の基板の接合面に対向するように保持し、前記一対の基板の各々の前記接合面が互いに接合されるように前記第1の基板保持部材に対して相対移動可能な第2の基板保持部材と、
前記第1の基板保持部材および前記第2の基板保持部材を互いに結合する結合部と、
前記第1の基板保持部材および前記第2の基板保持部材の一方を、該一方の基板保持部材に保持された前記基板の前記接合面に近接した揺動中心の周りに揺動させる揺動部と、
を備える接合装置。 - 前記揺動中心は、前記一方の基板保持部材に保持された前記基板の前記接合面を基準としたときに、前記接合面から前記一方の基板保持部材側と反対側へ前記基板の厚さ寸法の距離離れた位置よりも前記接合面に接近した位置と、前記接合面から前記一方の基板保持部材側へ前記基板の厚さ寸法の距離離れた位置よりも前記接合面に接近した位置との間の範囲内に設定される請求項1に記載の接合装置。
- 前記一方の基板保持部材に保持された前記基板の前記接合面を、前記揺動中心に近接させる位置調節部を更に備える請求項1または請求項2に記載の接合装置。
- 前記位置調節部は、前記一方の基板保持部材に保持された前記基板を、当該基板の厚さ方向に変位させて、当該基板の前記接合面を前記揺動中心に近接させる基板駆動部を含む請求項3に記載の接合装置。
- 前記位置調節部は、前記基板の厚さを入力されることより、前記一方の基板保持部材に保持された前記基板の前記接合面を前記揺動中心に近接させるべく前記基板を駆動する請求項4に記載の接合装置。
- 前記位置調節部は、前記基板の積層数を入力されることより、前記一方の基板保持部材に保持された前記基板の前記接合面を前記揺動中心に近接させるべく前記基板を駆動する請求項4に記載の接合装置。
- 前記一方の基板保持部材に保持された前記基板の厚さを検出して、当該厚さの値を前記位置調節部に入力する厚さ検出部を更に備える請求項5に記載の接合装置。
- 前記厚さ検出部は、
前記一方の基板保持部材が前記基板を保持する保持面から、前記保持面に保持された前記基板の表面までの間隔を測定する間隔測定部と、
前記間隔測定部が測定した前記間隔から、前記一方の基板保持部材に保持された前記基板の厚さを算出する厚さ算出部と
を更に備える請求項7に記載の接合装置。 - 前記厚さ検出部は、
前記一方の基板保持部材に保持された前記基板が前記一方の基板保持部材に掛ける荷重を測定する荷重測定部と、
前記荷重測定部が測定した荷重から、前記一方の基板保持部材に保持された前記基板の厚さを算出する厚さ算出部と
を更に備える請求項7に記載の接合装置。 - 前記一方の基板保持部材に保持された前記基板の前記接合面の、前記揺動中心に対する相対位置を検出する位置検出部を更に備える請求項1から請求項9までのいずれかに記載の接合装置。
- 前記一方の基板保持部材は、前記一方の基板保持部材が前記基板を保持する保持面から前記基板の厚さ方向に離間した揺動中心の回りに揺動し、
前記位置調節部は、前記保持面および前記基板の間に間挿されて当該基板の接合面を前記揺動中心に近接させるスペーサを含む請求項3に記載の接合装置。 - 一対の基板の一方を第1の基板保持部材に保持する段階と、
他方の基板を該基板の接合面が前記一方の基板の接合面に対向するように第2の基板保持部材に保持する段階と、
前記他方の基板の前記接合面に近接した揺動中心の周りに前記第2の基板保持部材を揺動させて、前記一対の基板を互いに平行にする段階と、
前記第2の基板保持部材を前記第1の基板保持部材に向かって変位させて、前記一対の基板を互いに接合させる段階と、
前記第1の基板保持部材および前記第2の基板保持部材を互いに結合する段階と、
を含む接合方法。 - 前記一方の基板を前記第1の基板保持部材に保持する段階、および、前記他方の基板を前記第2の基板保持部材に保持する段階において、
前記一対の基板のうち、前記第2の基板保持部材に保持された場合に前記接合面が前記揺動中心により近くなる厚さを有する基板を前記基板保持部材に保持させる請求項12に記載の接合方法。 - 前記一対の基板を互いに平行にする段階に先立って、前記他方の基板を前記一方の基板に向けて変位させて該一方の基板に当接させる段階と、前記他方の基板の一部が前記一方の基板に当接したときに、前記他方の基板を前記一方の基板から離反させる段階とを更に含む請求項12または13に記載の接合方法。
- 第1基板保持部に保持された第1基板を、前記第1基板保持部を介して保持する固定された第1基板テーブルと、
第2基板保持部に保持された第2基板を、前記第1基板保持部に対向させて、前記第2基板保持部を介して保持する第2基板テーブルと、
前記第2基板テーブルを前記第1基板テーブルに向かって変位させることにより、前記第1基板および前記第2基板の互いに対向する接合面を接合させる駆動部と
前記第1基板テーブルおよび前記第2基板テーブルの一方を、前記接合面に近接した揺動中心の廻りに前記第1基板または前記第2基板を揺動させる揺動部と、
を備える接合装置。
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