CN1985288A - 粘结卡盘装置 - Google Patents

Abstract

一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板(1)的基板侧设有可动膜(3)和粘结部件(4)，该可动膜(3)在开设于该基板侧面(1a)的开口部(1b)内可向与该基板侧面(1a)交叉的方向变形，该粘结构部件(4)与基板(A)相向地进行粘结保持，通过上述可动膜(3)的一次侧空间(5)和二次侧空间(S)的压力差使该可动膜(3)往复移动，由此粘结部件(4)的粘结表面(4a)和基板(A)抵接而粘结保持，同时，通过强制拉开这两者，可不费力地将基板(A)从粘结部件(4)的粘结表面(4a)剥离。

Description

粘结卡盘装置

技术领域

本发明涉及一种粘结卡盘装置，用于包含基板贴合机的基板组装装置或运送基板的基板运送装置等，上述基板贴合机在例如液晶显示器(LCD)或等离子显示器(PDP)等的平板显示器的制造过程中，粘结保持并贴合CF玻璃、TFT玻璃等的玻璃制基板或合成树脂制基板。

详细地涉及相对于保持板通过粘结而装卸自如地保持基板的粘结卡盘装置。

背景技术

以往，在使两个基板重合的基板贴合机中，通过静电卡盘保持基板，然而，随着近年来基板的大型化，难以制造大尺寸的静电卡盘，而且即使能进行制造的话，成本也会非常高。

于是，为了解决这些问题，有着在基板的保持中使用粘结材料的粘结卡盘装置。

作为这样的粘结卡盘装置的一例，对于卷取自如地张设在一对滚筒上的粘结片，粘贴保持上基板后，实施上基板和下基板的贴合，此后，利用多个电机的驱动使心轴旋转并卷取粘结片的同时，通过以与其卷取速度同步的速度向该卷取方向水平移动该心轴及一方的滚筒，从上基板的上面慢慢地剥离粘结片(例如，参照专利文献1)。

而且，代替上述的由心轴进行的粘结片的卷取，可在贴合两基板并形成元件后，以多个致动器的驱动，使刀具台及刀具底座通过多个致动器上升到刀具刃的下端位置，然后通过向粘结片的宽度方向移动刀具，切断粘贴有上基板的粘结片，取出于该粘有粘结片的元件，在适当的时候，从元件剥离粘结片。

作为其他的例子，在上方的加压板上开设多个开孔，在这些开孔内分别设置致动器，在从各致动器向下方伸出的轴的前端粘贴安装有粘结部件，通过上述致动器的动作在开孔内使粘结部件下降，粘结部件的下面与上基板接触时，由其粘结作用以紧密接合到加压板下面的形状得到保持，而且基板贴合后在从上基板剥离粘结材料时，若通过致动器在开孔内使粘结部件上升的话，则开孔的周缘部阻止上基板的移动，将上基板从粘结部件拉开(例如，参照专利文献2)。

另外，在上方的加压板设置多个开口，在这些开口内分别具备旋转用的致动器和上下驱动用的致动器，在从各个旋转用的致动器向下方伸出的旋转轴的前端安装有粘结部件，通过上下驱动用致动器的动作在开口内使各粘结部件下降，并通过与这些粘结部件的吸引吸附来保持上基板，进行定位，同时进行贴合，在使粘结部件向加压板内后退时，相对于基板面由旋转用的致动器扭转粘结部件的同时、或在扭转后由上下驱动用的致动器使其后退，将粘结部件从上基板剥离(例如，参照专利文献3)。

【专利文献1】：特开2001-133745号公报(第3-5页、图1-图7)

【专利文献2】：特开2003-241160号公报(第5页、图7)

【专利文献3】：特开2003-273508号公报(第5页、图1-5)

然而，在这样的以往的粘结卡盘装置中，在专利文献1的情况下，存在如下问题，即，为了剥离粘结部件和基板，必须在将粘结片卷取的同时，按与卷取速度同步的速度使其向相同的卷取方向水平移动，或者必须使刀具台及刀具底座上升通过刀具来切断粘结片，各个动作需要多个电机或致动器等的驱动源，导致结构复杂化。

并且，在专利文献2的情况下，为了在加压板的开孔内使粘结部件上升，在每个粘结部件都分别需要多个致动器，而在专利文献3的情况下，每个粘结部件都分别需要用于使粘结部件边旋转边后退的旋转用的致动器及上下驱动用的致动器，因此导致结构复杂化。

因此，专利文献1～3，特别是由于剥离结构复杂，因此不仅故障的发生率高，而且存在如下问题，即，尤其在配置于包含基板贴合机的基板组装装置或基板搬送装置等情况下，难以将原有的静电卡盘等的基板保持机构置换成本发明的粘结卡盘装置。

而且，存在如下问题，即，上述致动器为例如电机等的电磁电动机时，会容易发热，比如玻璃制的基板对热变化敏感，仅变化1℃也会收缩约4μmm左右，因发热带来的该影响而难以将基板彼此之间正确地对位。

并且还存在如下问题，即，在从大气压到规定的真空度的环境气体中进行粘结保持、同时使该粘结剥离而开放时，从大气压变化至规定的真空度，但若使用如电机那样的电磁致动器的话，则在真空中的某一时刻恐怕会引起等离子放电，这会导致玻璃板的破坏。

而且存在如下问题，即，上述致动器即使为如汽缸等的驱动源，由于它本身为可以伸缩动作的密封结构，因此难以小型化，于是装置整体成为大型化而引起制造成本的提高。

然而，尤其大型的基板容易发生歪曲变形，为了将如此容易变形的基板确实地粘结保持并开放剥离，对于基板需要用以强大的力使粘结部件接触或分离，而为得到如此强大的力必须使致动器大型化，从而导致重量变重。

发明内容

本发明的技术方案1所述的发明，其目的在于，用简单结构的气动机构确实地装卸基板。

技术方案2所述的发明，其目的在于，加上技术方案1所述的发明的目的，获得通过简单结构的气动机构将基板确实地粘结·剥离所需要的力。

技术方案3所述的发明，其目的在于，加上技术方案1或2所述的发明目的，容易实现吸引用配管系统或吸引控制且确实地保持基板。

技术方案4所述的发明，其目的在于，加上技术方案2或3所述的发明目的，使刚体部的往复运动稳定，并谋求提高与基板的粘结性能及剥离性能。

技术方案5所述的发明，其目的在于，加上技术方案4所述的发明目的，与二次侧空间的压力变化无关地粘结保持及剥离开放基板。

技术方案6所述的发明，其目的在于，加上技术方案1、2、3、4或5所述的发明目的，不用大型化可动膜本身，即可确保为了确实地进行粘结·剥离的行程。

技术方案7所述的发明，其目的在于，加上技术方案1、2、3、4、5或6所述的发明目的，容易控制气动机构的压力。

为了达成上述目的，在本发明的技术方案1所述的发明，其特征在于，在保持板的基板侧设有：在该基板侧面开设的开口部内可向与该基板侧面交叉的方向变形的可动膜、和与基板相向地进行粘结保持的粘结部件，通过上述可动膜的一次侧空间和二次侧空间的压力差使该可动膜往复运动，使粘结部件的粘结表面和基板抵接而粘结，同时，将这两者强制拉开而剥离。

技术方案2所述的发明，其特征在于，在技术方案1所述的发明的构成上加以下构成，即，在上述可动膜的一部分与基板相向地设置刚体部，通过该可动膜的往复运动使该刚体部的前端面从保持板的开口部出入而与基板抵接。

技术方案3所述的发明，其特征在于，在技术方案1或2所述的发明的构成上加以下构成，即，与基板相向地开设沿上述可动膜的往复运动方向贯通的通气道，从该通气道吸引吸附基板。

技术方案4所述的发明，其特征在于，在技术方案2或3所述的发明的构成上加以下构成，即，在上述可动膜设置与刚体部成一体化的缸部，在基板侧面被开设的开口部内设置与该缸部相向的隔壁，相对于该隔壁往复运动自如地插通并轴支承缸部。

技术方案5所述的发明，其特征在于，在技术方案4所述的发明的构成上加以下构成，即，在上述开口部内设置互相分离的两个可动膜，在这些可动膜插通安装缸部，在两可动膜之间分别划分形成第一气动室和第二气动室，通过该第一气动室和第二气动室的压力差同时变形两可动膜并使其进行往复运动。

根据技术方案6所述的发明，其特征在于，在技术方案1、2、3、4或5所述的发明的构成上加以下构成，即，上述可动膜由可向与保持板的基板侧面交叉的方向变形的风箱构成。

技术方案7所述的发明，其特征在于，在技术方案1、2、3、4、5或6所述的发明的构成上加以下构成，即，设置与上述可动膜关联的施力部件，用该施力部件对该可动膜向其往复运动的任一方向施力。

本发明中的技术方案1所述的发明，在保持板的基板侧设有：在该基板侧面开设的开口部内可向与该基板侧面交叉的方向变形的可动膜、和与基板相向地进行粘结保持的粘结部件，通过上述可动膜的一次侧空间和二次侧空间的压力差使该可动膜往复移动，粘结部件的粘结表面和基板抵接后而粘结保持的同时，将这两者强制拉开，不费力地将基板从粘结部件的粘结表面剥离。

因此，可以通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。

其结果，与为了剥离粘结部件和基板而需要多个电机或致动器等的驱动源的以往技术相比，由于剥离结构特别简单，可以使故障发生率显著降低，特别是在配置于包含基板贴合机的基板组装装置或基板搬送装置等的情况下，能够容易地将原有的静电卡盘等的基板保持机构与本发明的粘结卡盘装置置换，谋求了制造成本的大幅度低减化。

并且，由于不通过静电吸附来保持基板，所以还具有不会自发地产生静电的优点。

而且，不但可以避免由于电磁致动器的发热所导致的影响或放电的危险，而且可以安全且正确地进行基板彼此间的对位，同时，并可以实现小型化及轻量化，由此可以谋求装置整体的小型化而实现制造成本的低减化。

并且，在从大气压达到规定的真空度的环境气体中进行粘结保持的同时、使该粘结剥离而开放时，通过将驱动源设为气动式，可以谋求与从大气压到规定的真空度的密闭空间的结构的共存，与像电磁致动器那样需要配线连接至电源的以往的技术相比，可以减少贯通真空密闭空间的部件并防止发生真空漏泄等。

技术方案2的发明，加上技术方案1的发明的效果，在上述可动膜的一部分与基板相向地设置刚体部，通过该可动膜的往复运动使该刚体部的前端面从保持板的开口部出入而与基板抵接，从而使可动膜的往复运动经由刚体部而不变形地传到基板上。

因此，可以获得通过简单结构的气动机构将基板确实地粘结·剥离所需要的力。

技术方案3所述的发明，加上技术方案1或2的发明的效果，与基板相向地开设沿可动膜的往复运动方向贯通的通气道，通过从该通气道吸引吸附基板，从而可同时利用由粘结部件实施的粘结保持和由真空吸附实施的保持。

因而，能够容易实现吸引用配管系统或吸引控制，而且可确实地保持基板。

而且，通过控制吸附时的真空压力，可以简单地调整与基板的粘结力的强弱。

技术方案4所述的发明，加上技术方案2或3的发明的效果，在可动膜设置和刚体部一体化的缸部，在基板侧面开设的开口部内设置与该缸部相向的隔壁，通过相对于该隔壁往复运动自如地插通并轴支承缸部，从而随着可动膜的变形，刚体部经由缸部沿直线方向进行往复运动。

因此，能够使刚体部的往复运动稳定，谋求与基板的粘结性能及剥离性能的提高。

技术方案5的发明，加上技术方案4的发明的效果，在开口部内设置互相分离的两个可动膜，在这些可动膜插通安装缸部，在两可动膜之间分别划分形成第一气动室和第二气动室，通过该第一气动室和第二气动室的压力差同时变形两可动膜并使其往复运动，从而可将基板粘结保持并且使该粘结剥离而开放。

因此，可以与二次侧空间的压力变化无关地将基板粘结保持及剥离开放。

技术方案6所述的发明，加上技术方案1、2、3、4或5的发明的效果，通过将可动膜由可向与保持板的基板侧面交叉的方向变形的风箱构成，从而可以与可动膜整体的半径尺寸无关地进行长行程的往复运动。

从而，不用大型化可动膜本身，也能确保为了确实地粘结·剥离的行程。

其结果，在为了粘结保持大型基板而有必要配备多个粘结卡盘装置的场合比较有效。

技术方案7所述的发明，加上技术方案1、2、3、4、5或6的发明的效果，设置与可动膜关联的施力部件，通过该施力部件对该可动膜向其往复运动的任一方向施力，若通过一次侧空间和二次侧空间的压力差向抵抗施力部件作用力的方向移动可动膜的话，则在一次侧空间和二次侧空间的压力差消失时，则可通过施力部件的回复力使可动膜强制地回复。

因而，可以容易控制气动机构的压力。

并且，如同基板贴合机等那样，使低真空泵和高真空泵连动并达到规定的真空度的情况下，若与一次侧空间和二次侧空间的压力差无关地通过施力部件的作用力维持基板的粘结保持状态的话，则将上述高真空泵在配管上遮断后可以转换到基板的剥离动作，由此，即使发生空气漏泄也可以防止高真空泵的破损。

附图说明

图1是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例1的局部纵剖正视图，并由(a)～(c)表示配置于基板贴合机时的动作工序。

图2(a)～(b)是表示可动膜的支承方法的变型例的局部放大剖视图，(c)是表示可动膜的变型例的局部放大剖视图。

图3是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例2的局部纵剖正视图，并由(a)～(d)表示配置于基板贴合机时的动作工序。

图4是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例3的局部纵剖正视图，并由(a)～(c)表示配置于基板贴合机时的动作工序。

图5是表示粘结部件的变型例的局部放大剖视图。

图6是表示粘结部件的变型例的局部放大剖视图。

图7是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例4的局部纵剖正视图，并由(a)～(c)表示配置于基板贴合机时的动作工序。

图8是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例5的局部放大纵剖正视图。

图9是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例5的局部放大纵剖正视图。

图10是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例6的局部纵剖正视图，并由(a)～(c)表示配置于基板贴合机时的动作工序。

图11是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例7的局部纵剖正视图，并由(a)～(c)表示配置于基板贴合机时的动作工序。

附图标记说明

A     基板(上基板)

A1    表面

B     基板(下基板)

B1    表面

C     环状粘合剂

S     二次侧空间(密闭空间)

1     上保持板(上平板)

1a    保持面

1b    开口部

1c    夹持部件

1d    圆筒体

1e    通道

1f    弹簧承接部

2     下保持板(下平板)

2a    保持面

3     可动膜

3a    刚体部

3b        配合部

3c、3d    可动膜

3e        皱纹部

3f        密闭室

4         粘结部件

4a        粘结表面

4b        固定背面

5         一次侧空间(气动室)

5a        第一气动室

5b        第二气动室

6         真空吸附机构

6a        通气道

6b        供气源

7         缸部

7a        第一通道

7b        第二通道

7c        制动器

7d        弹簧承接部

8         隔壁

9         施力部件

具体实施方式

示出了本发明的粘结卡盘装置被配置在用于粘结保持并贴合液晶显示器(LCD)面板等的玻璃制基板的基板贴合机中的情况。

该基板贴合机如图1～图10所示，在上下配置的保持板1、2的平行地相向的保持面1a、2a上分别保持两个玻璃制基板A、B，在它们周围划分形成出的密闭空间S内达到规定的真空度(0.5Pa左右)后，将上下保持板1、2向XYθ方向(图面中的水平方向)相对地调整移动，进行基板A、B彼此的对位，然后，从上保持板1的保持面1a将上基板A强制地剥离并瞬间压接到下基板B上的环状粘结剂(密封材料)C上，由此，将两者之间密封并重合，其后，通过在两基板A、B的内外产生的气压差使两基板A、B之间加压到规定的间隙。

进一步详细地说明，上下保持板1、2通过升降机构(未图示)向Z方向(图面中上下方向)可相对地移动地被支承着，在大气压的环境气体中，在使这些上下保持板1、2向上下方向离开的状态下，相对于各自的保持面1a、2a上设置由基板搬送用机械手(未图示)传送来的基板A、B，其后，由上述升降机构的动作使上下保持板1、2接近，从而划分形成密闭空间S。

而且，通过抽气机构(未图示)的动作，从该密闭空间S抽取空气并达到规定的真空度时，由水平移动机构(未图示)的作用，将上下保持板1、2的任一方相对于另一方朝XYθ方向调整移动，以此顺次进行保持在保持板上的基板A、B彼此的对位(alignment)，即，粗对位和精对位。

如此完成对位，使上下基板A、B重合后，向密闭空间S内提供空气或氮气，通过使该密闭空间S内的气体返回至大气压，用在两基板A、B的内外产生的气压差均匀地进行加压，在封入液晶的状态下挤压至规定的间隙从而完成产品。

并且，在上述保持板1、2的基板侧，具备本发明的粘结卡盘装置。

详细地说明，如图1、图3、图4、图7及图10所示，在上下保持板1、2的作为基板侧的保持面1a、2a的任一方或两方，大致等间隔地开设多个开口部1b，在这些开口部1b内向与该保持面1a、2a交叉的Z方向分别变形自如地设置可动膜3，在上述开口部1b的基板侧开口缘或可动膜3的基板侧表面上，固定与上下基板A、B的表面A1、B1相向地粘结保持的粘结部件4，通过隔着该可动膜3所形成的一次侧空间5和作为二次侧空间的密闭空间S的压力差，使该可动膜3往复运动，从而使粘结部件4的粘结表面和基板A、B的一方或两方抵接而粘结，同时，通过将这两者强制地分离，从粘结部件4的粘结表面不费力地剥离基板A、B的一方或两方。

以下，根据附图说明本发明的各实施例。

实施例1

该实施例1如图1(a)～(c)所示那样示出了如下情况，即，仅在上保持板1的保持面1a开设多个开口部1b，支承可动膜3的外周部分，在该可动膜3的一部分与基板A的表面A1相向地设置刚体部3a，同时，沿着比该可动膜3更位于二次侧的各开口部1b的开口缘固定环状的粘结部件4，在上述刚体部3a向上运动而进入到开口部1b内的状态下，使该粘结部件4和上基板A抵接并粘结保持，另外通过使可动膜3朝向二次侧空间(密闭空间)S向下方突出变形，粘结保持在粘结部件4的粘结表面4a上的基板A被强制地剥离。

而且，在图示例中由于空间关系，开口部1b及可动膜3以与上基板A的端部相向的方式只设置了两个，但是，对应于上基板A的大小可以配置能够进行吊挂的数量。

上述可动膜3，是由例如不锈钢等的金属制的可弹性变形的膜、或用橡胶或工程塑料等的合成树脂成形为薄板状的隔板构成的弹性膜，如图2(a)所示，将其外周部分用配备在上保持板1的开口部1b的夹持部件1c以楔形状进行弯折夹入，或者如图2(b)所示，夹住一体形成的配合部3b使之不能脱落地进行固定。

并且，夹住该可动膜3，利用划分形成于一次侧(背后)气动室5和划分形成在二次侧的密闭空间S的压力差，向Z方向使其弹性变形并往复运动。

而且，如图2(c)所示，上述可动膜3，改变其厚度尺寸地成形为可向上下方向调整变形量的形状，从而调整因上述可动膜3的一次侧空间(气动室)5和二次侧空间(密闭空间)S的压力差引起的该可动膜3的变形量，也可以向上下方向平行移动其中心部分及设置在其上的后述的刚体部3a的前端面整体。

上述刚体部3a是不能变形的刚体，从与上述可动膜3的基板A的表面A1相向的中心部分朝向二次侧空间(密闭空间)S一体地突设，使其前端面与上基板A的表面A1平行地相向。

如图示例那样，最好形成为外径朝向上基板A渐渐变成大径的断面梯形，使得不妨碍可动膜3向上下方向弹性变形，将其前端面扩开至各开口部1b的开口缘附近。

对于上述粘结部件4，希望其是由例如硅系或丙烯酸系等粘结材料构成的粘结片，将其粘结表面4a的面积在具有可以吊持上基板A的粘结力的范围内设定成尽可能小，同时，使该粘结表面4a与上述可动膜3的刚体部3a的表面使尽量接近地进行配置。

并且，如图示例那样，将相反侧的固定背面4b相对于各开口部1b的开口缘直接进行粘结固定，或者粘结固定在相对于各开口部1b装卸自如的固定部件(未图示)上。

该相反侧的固定背面4b的粘结力比与上述玻璃制基板A接触的粘结表面4a侧的粘结力强，在将上基板A粘结保持时不会因其重量而发生剥离，但需要设定成根据粘结表面4a的粘结力的减衰而能够容易地进行更换。

在这点上，如上述那样，若在装卸自如的固定部件上粘结固定背面4b而固定粘结部件4，则根据粘结表面4a的粘结力的减衰，可以按固定部件单位简单地进行更换。

并且，虽未图示，但也可以在上述上保持板1的保持面1a上在整个面的范围内穿设多个吸引孔，从这些吸引孔以规定时刻进行真空吸引，另外在另外的时刻向上基板A的表面A1喷出例如将氮气等的气体。

下面，对于这些真空贴合机用粘结卡盘装置的动作进行说明。

首先，如图1(a)的实线所示，在上下保持板1、2向上下方向分离开的初期状态下，在上保持板1的保持面1a上设置上基板A，此时，向上移动刚体部3a使其在保持板1的开口部1b内待机。

在图示例的情况下，从一次侧空间(气动室)5进行吸引并使其内压比二次侧空间(密闭空间)S低，使可动膜3朝向一次侧空间(气动室)5向上方变形，由此，刚体部3a的前端面相对于保持面1a及粘结部件4的粘结表面4a呈凹状待机。

而且，虽未图示，但可通过将一次侧空间(气动室)5的内压和二次侧空间(密闭空间)S的压力设定为相等，不使可动膜3变形地将其保持成大致水平的平坦状态，从而刚体部3a的前端面在与保持面1a及粘结部件4的粘结表面4a大致相同的高度位置上进行待机，或者在比其稍微靠上方的位置上进行待机。

在该待机状态下，由基板搬送用机械手(未图示)搬送上基板A，将其表面A1向上保持板1的保持面1a移动，若以规定的压力使其与粘结部件4的粘结表面4a接触，则通过该粘结表面4a的粘结力进行保持。

此时，若从在上保持板1的保持面1a上穿设的吸引孔(未图示)进行真空吸，则上基板A的表面A1更强地接触并粘结保持在粘结部件4的粘结表面4a，同时，上基板A被吸附保持，而难以脱落。

此后，如图1(a)的双点划线所示，在上下保持板1、2接近，二次侧空间(密闭空间)S内达到规定的真空度后，将上下保持板1、2的任一方相对于另一方朝XYθ的方向调整移动，进行保持于其上的基板A、B彼此的对位。

完成上述那样的基板A、B之间彼此的对位和重合后，如图1(b)所示那样，向一次侧空间(气动室)5提供压缩空气等的气体，将其内压设定得高于二次侧空间(密闭空间)S，同时，使上保持板1上升或使下保持板2下降地相对地分开两者，可动膜3朝向二次侧空间(密闭空间)S向下方变形，刚体部3a的前端面在与上基板A的表面A1接触的状态下从粘结部件4的粘结表面4a剥离。

另外，此时，由于二次侧空间(密闭空间)S达到规定的真空度，因此，这时候向一次侧空间(气动室)5供给的气体的供给量少也可以。

由此，将粘结保持在粘结部件4的粘结表面4a上的上基板A强制地拉开，将上基板A不费力地从粘结部件4的粘结表面4a剥离，同时，通过这些可动膜3及刚体部3a的突出压力将该上基板A按压到下基板B上的环状粘合剂C上并使其重合。

此时，若从在上保持板1的保持面1a穿设的吸引孔向上基板A的表面A1喷出例如氮气等的气体的话，则将上基板A从该粘结部件4的粘结表面4a强制剥离并向下基板B上的环状粘合剂C上瞬间压接，将两者之间密封。

此后，如图1(c)所示，通过从一次侧空间(气动室)5进行吸引使其内压比二次侧空间(密闭空间)S低，使可动膜3朝向一次侧空间(气动室)5向上方变形，刚体部3a的前端面相对于保持面1a凹陷而回复到初期状态。

因而，如图1～2所示的实施例1，作为不使用电磁驱动源的简单结构，同时还可获得在将上基板A确实地粘结保持及剥离开放时所需的力。

而且，若控制在上述可动膜3的一次侧形成的向气动室5的气体供给量，调整该可动膜3的弹性变形量的话，则可以调整上基板A的表面A1和粘结部件4的接触压力(按压压力)，可以简单地调整与上基板A的粘结及/或剥离的强弱。

此时，由于在上基板A和粘结部件4之间产生的粘结力与两者的接触面积成比例，因此若做成根据上述按压压力的增减、相对于上基板A的表面A1使粘结部件4的粘结表面4a弹性变形、而使接触面积增减的结构的话，则将更加明确地调整粘结力的强弱。

实施例2

该实施例2如图3(a)～(d)所示，设有由沿上述可动膜3的往复运动方向贯通的通气道6a、和从该通气道6a进行真空吸引并且供给例如氮气等气体的供气源6b构成的真空吸附机构6，在安装上基板A时，从该真空吸附机构6的通气道6a进行真空吸引而吸附保持上基板A，进而按照需要从粘结部件4剥离时，从该通气道6a向上基板A的表面A1喷出例如氮气等气体，该结构与上述图1～图2所示的实施例1不同，此外的结构与实施例1相同。

在图示例中，穿设有通气道6a，以便在上下方向贯通上述可动膜3以及设置于其一部分上的刚体部3a，虽然未图示，但可取而代之的是，也可将该通气道6a的贯通位置朝向粘结部件4穿设，该粘结部件4固定在沿上下方向贯通上保持板1地开设在其保持面1a上的开口部1b的开口缘上。

即，如图3(a)所示，通过在上保持板1的保持面1a上设置上基板A时，向一次侧空间(气动室)5提供压缩空气等气体而使可动膜3向下方变形，由此刚体部3a向下方移动，使其前端面相对于粘结部件4的粘结表面4a稍微呈凸状突出地待机，在此状态下，将用基板搬送用机械手搬送来的上基板A由从上述真空吸附机构6的通气道6a的真空吸引接收而进行吸附保持。

此后，如图3(b)所示，从一次侧空间(气动室)5吸引使其内压与二次侧空间(密闭空间)S的压力大致相同，而将可动膜3设成大致水平，由此刚体部3a的前端面朝与保持面1a及粘结部件4的粘结表面4a相同的高度位置向上移动，上基板A向粘结部件4被引导，在该状态下，将上基板A的表面A1以规定压力接触在粘结部件4的粘结表面4a上，根据该粘结表面4a的粘结力进行保持。

而且，如图3(c)所示，完成上下基板A、B彼此的重合后，向一次侧空间(气动室)5提供压缩空气等气体使其内压高于二次侧空间(密闭空间)S，同时也使上保持板1上升或使下保持板2下降而相对地分离两者，这样，可动膜3朝二次侧空间(密闭空间)S向下方变形，刚体部3a的前端面在接触于上基板A的表面A1的状态下，从粘结部件4的粘结表面4a剥离。

并且，与此同时，若从上述真空吸附机构6的通气道6a向上基板A的表面A1喷出例如氮气等的气体，则粘结保持在粘结部件4的粘结表面4a上的上基板A被强制地分离，从而可不费力地将上基板A从粘结部件4的粘结表面4a剥离。

此后，如图3(d)所示，通过从一次侧空间(气动室)5进行吸引使其内压低于二次侧空间(密闭空间)S，使可动膜3朝一次侧空间(气动室)5向上方变形，刚体部3a的前端面相对于保持面1a凹陷而回复至初期状态。

因此，在图3(a)～(d)所示的实施例2可以得到与在上述图1～图2所示的实施例1同样的作用效果，而且具有以下优点，即，辅助上基板A的粘结及剥离，同时，用与实施例1不同的机构简单地调整与上基板A的粘结力的强弱。

此时，在上基板A和粘结部件4之间产生的粘结力与两者的接触面积成比例，因此，若做成为根据上述真空吸附力的增减、相对于上基板A的表面A1使粘结部件4的粘结表面4a弹性变形、而使接触面积增减的结构的话，则可以更加明确地调整粘结力的强弱。

实施例3

该实施例3如图4(a)～(c)所示，没有将上述粘结部件4的固对位置设置在开口部1b的开口缘，而是加以改变地设置在突出设置于可动膜3中心部分的刚体部3a的前端面上，同时，通过可动膜3的一次侧空间(气动室)5和二次侧空间(密闭空间)S的压力差，在该粘结部件4的粘结表面4a与保持面1a以大致同一面状或稍微(100μm左右)凸状突出的状态下，在该粘结部件4的粘结表面4a使上基板A抵接进行粘结保持，另外通过使可动膜3朝向一次侧空间(气动室)5向上方变形而呈凹状地进入到开口部1b内，从而将粘结部件4的粘结表面4a从上基板A强制地进行剥离，该结构不同于在上述图1～图2所示的实施例1及图3所示的实施例2，此外的结构与实施例1及实施例2相同。

即，如图4(a)所示，在上保持板1的保持面1a上设置上基板A时，通过使一次侧空间(气动室)5的内压和二次侧空间(密闭空间)S的压力相等，使可动膜3不变形地保持成大致水平的平坦状态，由此，固定于刚体部3a的前端面上的粘结部件4的粘结表面4a与保持面1a呈大致同一面状或稍微突出，通过以规定压力接触在上基板A的表面A1上，从而由该粘结表面4a的粘结力进行保持。

而且，如图4(b)所示，完成上下基板A、B彼此的重合之后，通过从一次侧空间(气动室)5吸引使其内压低于二次侧空间(密闭空间)S，使可动膜3朝向一次侧空间(气动室)5向上方变形，从而刚体部3a的前端面相对于保持面1a凹陷，刚体部3a的前端面与粘结部件4一同从上基板A的表面A1被剥离，可不费力地将粘结部件4的粘结表面4a从上基板A上剥离下来。

其后，如图4(c)所示，使上保持板1上升或使下保持板2下降地相对分离两者后，通过向一次侧空间(气动室)5提供压缩空气等的气体，使可动膜3向下方变形，由此刚体部3a的前端面与保持面1a成为大致同一面状或稍微突出而回复至初期状态。

图4(a)～(c)所示的例中表示，为了得到对上基板A最为合适的粘结力，将粘结部件4形成为可以覆盖刚体部3a的前端面整体的形状。

作为其以外的例子，也可如图5所示，将粘结部件4的形状形成为部分地覆盖刚体部3a的前端面的外周的环状，另外如图6所示，将粘结部件4的形状形成为固定背面4b覆盖刚体部3a的前端面整体、同时表面面积朝向粘结表面4a侧渐渐减少的断面梯形状。

并且，虽未图示，但设置有由向上述图3所示的实施例2说明的沿上述可动膜3的往复运动方向贯通的通气道6a和供气源6b构成的真空吸附机构6，在设置上基板A时，从该真空吸附机构6进行真空吸引，将上基板A吸附保持，而且根据需要在从粘结部件4剥离时，可以从该真空吸附机构6向上基板A的表面A1喷出例如氮气等的气体。

因此，在图4～图6所示的实施例3可以得到与在上述图1～图2所示的实施例1及图3所示的实施例2同样的作用效果，而且有以下优点，即，通过对应于粘结的上基板A的大小或重量改变粘结部件4，能得到最恰当的粘结力。

另外，与上述实施例3同样地，在实施例1及实施例2中，为了根据上基板A的大小或重量得到最恰当的粘结力，也可准备粘结表面4a的表面面积不同的多个种类的粘结部件4以进行更换。

并且，在剥离时，与使刚体部3a的前端面从保持面1a突出、再将上基板A从粘结部件4强制地剥离的实施例1及实施例2相比，由于不必再将已完成重合的上基板A进行局部加压，于是不会发生上下基板A、B彼此的位置偏移，或平行度失常等事故。

实施例4

该实施例4如图7(a)～(c)所示，通过在上述开口部1b内作为可动膜3向上下方向分离并大致平行地设置两个弹性膜3c、3d，在它们之间作为上述可动膜3的一次侧空间划分形成第一气动室5a，同时，作为二次侧空间分别划分形成第二气动室5b，分别控制向这些第一气动室5a和第二气动室5b供给的气体的供给量，通过在两者之间产生压力差，使两可动膜3c、3d同时弹性变形并使其往复运动，该结构不同于上述实施例1～实施例3，此外的结构是与实施例1～实施例3相同。

在这两个可动膜3c、3d的中心部分插入安装缸部7，在该缸部7的下面连接上述刚体部3a使之一体化，在上述开口部1b内设置与该缸部7的轴向大致中间位置相向的隔壁8，相对于隔壁8沿Z方向往复运动自如地并且以气密状插通缸部7而对其进行轴支承，由此，隔着该隔壁8在其一次侧(背后)分割形成第一气动室5a，在二次侧分割形成第二气动室5b。

在上述缸部7上设置分别连通于被分割的第一气动室5a和第二气动室5b的第一通道7a和第二通道7b，经由第一通道7a及第二通道7b从外部提供空气等，由此调整第一气动室5a及第二气动室5b的内压。

而且，在上述缸部7和开口部1b之间设置互相配合的制动器7c，限制该缸部7及与其一体化的刚体部3a的往复运动行程。

在图示例的情况下，在缸部7的外周围设置与隔壁8配合的制动器7c，来限制缸部7的移动量。

由此，如图7(a)(c)所示，通过第一通道7a吸引第一气动室5a内的气体，或通过第二通道7b只向第二气动室5b提供气体，或利用它们的同时进行而使第一气动室5a的内压低于第二气动室5b的内压，从而与二次侧空间(密闭空间)S的压力变化无关地使两可动膜3c、3d同时向上方变形，使刚体部3a的前端面在从保持面1a进入到开口部1b内的状态下待机。

与此相反，如图7(b)所示，通过第一通道7a只向第一气动室5a提供气体，或通过第二通道7b吸引第二气动室5b内的气体，或由它们的同时进行而使第一气动室5a的内压高于第二气动室5b的内压，从而与密闭空间S的压力变化无关地使两可动膜3c、3d同时向下方变形，使刚体部3a的前端面从保持面1a突出。

在图示例中示出如下情况，即，与如图1～图2所示的实施例1同样地，通过使刚体部3a的前端面从保持面1a向开口部1b内进入，使沿着各开口部1b的开口缘固定的粘结部件4的粘结表面4a和上基板A抵接而进行粘结保持，另外通过使刚体部3a的前端面从保持面1a突出，将粘接保持于该粘结部件4的粘结表面4a上的上基板A强制地剥离。

作为其以外的例子，虽未图示，但也可与如图4～图6所示的实施例3同样地，通过使刚体部3a的前端面从保持面1a稍微突出，使在该刚体部3a的前端面固定的粘结部件4的粘结表面4a和上基板A抵接而进行粘结保持，另外通过使刚体部3a的前端面从保持面1a向开口部1b内进入，可以将该粘结部件4的粘结表面4a从上基板A强制地拉开剥离。

并且，虽未图示，但也可设置上述图3所示的实施例2说明的由沿上述可动膜3的往复运动方向贯通的通气道6a和供气源6b构成的真空吸附机构6，在设置上基板A时，从该真空吸附机构6进行真空吸引将上基板A吸附保持，而且根据需要在从粘结部件4剥离时，可以从该真空吸附机构6向上基板A的表面A1喷出例如氮气等的气体。

因此，在图7(a)～(c)所示的实施例4可以得到与上述实施例1～实施例3同样的作用效果，而且，具有以下优点，即，只通过第一气动室5a和第二气动室5b的压力差进行往复运动，所以可与二次侧空间(密闭空间)S的压力变化无关地将上基板A粘结保持及剥离开放。

而且，图示例中还具有以下优点，即，相对于在上保持板1穿设的开口部1b安装圆筒体1d，在该圆筒体1d上一体地配备可动膜3c、3d、缸部7、刚体部3a、粘结部件4及隔壁8等所有构成部件并进行单元化，若相对于上述开口部1b以从例如磁气或夹持机构等装卸机构(未图示)拆卸自如的方式安装圆筒体1d，在粘结部件4的粘结力降低时，通过从上保持板1的保持面1a装卸单元整体，可以容易进行更换并设置在正确的位置。

实施例5

该实施例5如图8及图9所示，在上述可动膜3的中心部分插入安装与刚体部3a一体化的缸部7，在上述开口部1b内设置与该缸部7的轴向大致中间位置相向的隔壁8，相对于隔壁8向Z方向往复运动自如地并且以气密状插通缸部7而对其进行轴支承，由此，随着可动膜3的变形使刚体部3a以直线状往复运动，该构成与上述实施例1～实施例4不同，此外的构成与实施例1～实施例4相同。

在图8所示的例子中，在平行配置的可动膜3和隔壁8之间划分形成一次侧空间5，将向该一次侧空间5连通的通道7a设置于缸部7的内部，在该缸部7和上述开口部1b之间设置互相配合的制动器7c，限制该缸部7及与其一体化的刚体部3a的往复运动行程。

在图9所示的例子中，在开口部1b内沿上下方向互相分开地设置两个可动膜3c、3d，在这些可动膜3c、3d之间大致平行地配置隔壁8，在可动膜3c、3d的任一方和隔壁8之间划分形成一次侧空间5，将向该一次侧空间5连通的通道7a设置在缸部7的内部，在该缸部7和上述开口部1b之间设置互相配合的制动器7c，限制该缸部7及与其一体化的刚体部3a的往复运动行程。

在图示的例子中示出了以下情况，即，与图1～图2所示的实施例1同样地，通过使刚体部3a的前端面从保持面1a向开口部1b进入，从而使沿着各开口部1b的开口缘固定的粘结部件4的粘结表面4a和上基板A抵接而进行粘结保持，另外通过使刚体部3a的前端面从保持面1a突出，将在该粘结部件4的粘结表面4a上粘结保持的上基板A强制地剥离。

作为其以外的例子，虽未图示，但可与图4～图6所示的实施例3同样地，通过使刚体部3a的前端面从保持面1a稍微突出，使在该刚体部3a的前端面上固定的粘结部件4的粘结表面4a和上基板A抵接而进行粘结保持，另外通过使刚体部3a的前端面从保持面1a向开口部1b内进入，可以将该粘结部件4的粘结表面4a从上基板A强制地拉开剥离。

并且，虽未图示，但也可设置上述如图3所示的实施例2说明的由沿上述可动膜3的往复运动方向贯通的通气道6a和供气源6b构成的真空吸附机构6，在设置上基板A时，从该真空吸附机构6进行真空吸引将上基板A吸附保持，而且按照需要在从粘结部件4剥离时，可以从该真空吸附机构6朝向上基板A的表面A1喷出例如氮气等的气体。

因此，在图8及图9所示的实施例5可以得到与上述实施例1～实施例4同样的作用效果，而且具有以下优点，即，随着可动膜3的弹性变形，经由缸部7刚体部3a沿直线方向往复运动，因此，可以谋求刚体部3a的稳定的往复运动，而且实现了与上基板A的粘结性能及剥离性能的提高。

实施例6

该实施例6如图10(a)～(c)所示，上述可动膜3不是由隔板构成，而是由如风箱那样的可向Z方向较长地伸缩变形的弹性体构成，同时，设有与在该可动膜3上设置的刚体部3a关联的施力部件9，通过该施力部件9对该可动膜3向其往复运动的任一方时常施力，该构成不同于上述实施例1～实施例5，此外的构成是与实施例1～实施例5相同。

在图示例中，结构与在上述图8所示的实施例5最为相似，其结构如下，即，相对于在上保持板1的保持面1a上开设的开口部1b内的隔壁8，向上下方向往复运动自如地并且以气密状插通有在可动膜3的中心部分与刚体部3a一体化的缸部7，并对其进行轴支承，同时，在这些缸部7和开口部1b之间，设置互相配合的制动器7c，从而由可动膜3的变形使刚体部3a在规定的行程范围内以直线状往复运动。

由如上述风箱那样的可向Z方向较长地伸缩变形的弹性体构成的可动膜3形成为圆筒状，通过将其两开口端分别以无法脱落的方式固定在上述缸部7和上述保持板1的开口部1b，围绕该缸部7的外周围进行安装，在围绕该缸部7的筒状部分形成可向上下方向伸缩的皱纹部3e。

在上述开口部1b内设置与该缸部7的轴向大致中间位置相向的隔壁8，相对于隔壁8向Z方向往复运动自如地并且以气密状插通缸部7而对其进行轴支承，在该隔壁8和风箱3的皱纹部3e之间划分形成密闭室3f，在缸部7的内部设置的通道7a，该通道7a连通该密闭室3f、和隔着该隔壁8在其一次侧(背后)划分形成的一次侧空间(气动室)5。

经由通道7a从该一次侧空间(气动室)5向密闭室3f提供空气等，在这些一次侧空间(气动室)5及密闭室3f和二次侧空间(密闭空间)S之间产生压力差，风箱3的皱纹部3e伸缩而使缸部7及刚体部3a向Z方向进行往复运动。

在上述缸部7和上述开口部1b之间设置互相配合的制动器7c，限制该缸部7及与其一体化的刚体部3a的往复运动行程。

上述施力部件9例如为压缩螺旋弹簧等，沿着上述缸部7向上下方向伸缩自如地配置，通过与上述一次侧空间(气动室)5及密闭室3f和二次侧空间(密闭空间)S的压力差连动地进行伸缩变形，从而经由上述缸部7及风箱3使刚体部3a的前端面从保持板1的开口部1b出入。

而且，在图示例的情况下，将上述可动膜3形成为有底筒状，在其底面部插通安装缸部7，同时，在上述隔壁8和突设于缸部7上端的弹簧承接部7d之间夹装压缩螺旋弹簧9，如图10(a)所示，使一次侧空间(气动室)5及密闭室3f的内压低于二次侧空间(密闭空间)S或大致相等，通过使该压缩螺旋弹簧9伸长变形，缸部7及刚体部3a向上方移动，使刚体部3a的前端面从保持面1a向开口部1b内进入，在该进入状态下进行待机。

并且，如图10(b)所示，使一次侧空间(气动室)5及密闭室3f的内压高于二次侧空间(密闭空间)S，通过使压缩螺旋弹簧9压缩变形，缸部7及刚体部3a向下方移动，使刚体部3a的前端面从保持面1a突出。

即，设置上基板A时，如图10(a)所示，通过由压缩螺旋弹簧9的作用力将刚体部3a的前端面从保持面1a向开口部1b内进入的状态下待机，使固定于各开口部1b的开口缘的粘结部件4的粘结表面4a和上基板A抵接而进行粘结保持，由压缩螺旋弹簧9的作用力维持该上基板A的粘结保持状态。

在完成上下基板A、B彼此重合之后，如图10(b)所示，按照需要使上保持板1和下保持板2相对地稍微分离，同时，将刚体部3a的前端面从保持面1a稍微(100μm左右)突出，由此将粘结保持于该粘结部件4的粘结表面4a上的上基板A强制剥离。

其后，如图10(c)所示，上保持板1和下保持板2完全分离的同时，二次侧空间(密闭空间)S内的环境气体回复到大气压，这样，由压缩螺旋弹簧9的回复力将风箱3及刚体部3a向上方强制地移动，使刚体部3a的前端面向开口部1b内进入并回复至初期状态。

而且，设置上述图3所示的实施例2说明的由沿上述可动膜3的往复运动方向贯通的通气道6a和供气源6b构成的真空吸附机构6，在设置上基板A时，从该真空吸附机构6进行真空吸引而吸附保持上基板A，而且按照需要在从粘结部件4剥离时，从该真空吸附机构6向上基板A的表面A1喷出例如将氮气等的气体，这样较为理想。

并且，在图示例中，通过使上述通气道6a相对于插通安装在上保持板1或其开口部1b的圆筒体1d向上下方向贯通，朝向固定于该开口部1b的开口缘的粘结部件4穿设，从而可以与可动膜3的往复运动及与其相伴的刚体部3a的开口部1b内的进入待机无关地，用上保持板1的粘结部件4进行粘结保持。

因此，在图10(a)～(c)所示的实施例6可以得到与上述实施例1～实施例5同样的作用效果，而且具有以下优点，即，若将可动膜3由如风箱那样可向Z方向较长地伸缩变形的弹性体构成的话，则与由隔板所构成的膜相比，可以与可动膜3的直径尺寸无关地进行长行程的往复运动，不用使可动膜3本身大型化即可确保用于确实地进行粘结·剥离的行程。

尤其是，在图示例的情况下，即使可动膜3的直径尺寸为小型，也可以确保用于使刚体部3a的前端面向开口部1b内进行进入、将粘结部件4从上基板A强制地拉开剥离的行程。

而且，具有以下优点，即，若由一次侧空间5和二次侧空间S的压力差抵抗于施力部件9的作用力而将作为可动膜3的风箱及刚体部3a向下方按压移动，则在完成上下基板A、B彼此的重合后，二次侧空间(密闭空间)S内的环境气体回复到大气压，与一次侧空间5的压力差消失，所以，可以由施力部件9的回复力使风箱3及刚体部3a向上方强制地回复，由此可以容易控制气动机构的压力。

尤其是，在基板贴合机中，为了使密闭空间S内的环境气体确实地达到规定的真空度(0.5Pa左右)，首先，借助例如涡旋真空泵等低真空泵(未图示)的单独动作，将真空度从大气压提高到约100Pa以下后，接着，从约50Pa左右开始使例如涡轮分子泵等高真空泵(未图示)连动，将真空度提高到0.5Pa为止。

即使在这种情况下，实施例6由于与一次侧空间5和二次侧空间S的压力差无关地由施力部件9的作用力维持上基板A的粘结保持状态，因此，可以将上述高真空泵在配管上遮断后，转换到上基板A的剥离动作。

由此，具有如下优点，即，在该高真空环境气体下，转换到基板A的剥离动作时，即使发生例如在可动膜3穿设孔等空气漏泄而导致真空度一下子下降，高真空泵也不会破损。

实施例7

该实施例7如图11(a)～(c)所示，使上述施力部件9伸缩变形，同时，由可动膜3的一次侧空间(气动室)5和二次侧空间(密闭空间)S的压力差使风箱那样的由弹性体构成的可动膜3向Z方向伸缩变形，通过使刚体部3a的前端面从保持面1a稍微突出，使在该刚体部3a的前端面固定的粘结部件4的粘结表面4a和上基板A抵接而进行粘结保持，另外通过使刚体部3a的前端面从保持面1a向开口部1b内进入，将该粘结部件4的粘结表面4a从上基板A强制地拉开剥离，该构成不同于在上述图10所示的实施例6，其以外的构成与实施例6相同。

在图示例中，相对于上保持板1的开口部1b内设置的隔壁8，向上下方向往复运动自如地插通与刚体部3a一体化的缸部7，同时，相对于上述开口部1b的内周面向上下方向往复运动自如地并且以气密状插通在该缸部7上端突设的弹簧承接部7d并进行轴支承，经过这些隔壁8和弹簧承接部7d，分别不能脱落地固定作为上述可动膜3的圆筒状风箱的两开口端。

在该风箱3的皱纹部3e和开口部1b的内周面之间划分形成密闭室3f，用通道1e连通该密闭室3f、和隔着上述弹簧承接部7d在其一次侧(背后)划分形成的一次侧空间(气动室)5，该弹簧承接部7d与在上保持板1的开口部1b的背面侧形成的弹簧承接部1f之间夹装作为上述施力部件9的压缩螺旋弹簧。

并且，如图11(a)所示，使一次侧空间(气动室)5及密闭室3f的内压高于二次侧空间(密闭空间)S，通过使压缩螺旋弹簧9伸长变形，缸部7及刚体部3a向下方移动，使刚体部3a的前端面与保持面1a呈大致同一面状或稍微(100μm左右)呈凸状突出。

而且，如图11(b)所示，使一次侧空间(气动室)5及密闭室3f的内压高于二次侧空间(密闭空间)S，通过使压缩螺旋弹簧9压缩变形，缸部7及刚体部3a向上方移动，使刚体部3a的前端面从保持面1a向开口部1b内稍微(-500μm左右)呈凹状进入。

即，设置上基板A时，如图11(a)所示，由压缩螺旋弹簧9的作用力，与上述的图4～图6所示的实施例3同样，通过将刚体部3a的前端面与保持面1a呈大致同一面状或稍微(100μm左右)呈凸状突出的状态下待机，使在该刚体部3a的前端面固定的粘结部件4的粘结表面4a和上基板A抵接而进行粘结保持，由压缩螺旋弹簧9的作用力维持该上基板A的粘结保持状态。

完成上下基板A、B彼此的重合后，如图11(b)所示，通过使刚体部3a的前端面从保持面1a向开口部1b内稍微(-500μm左右)进入，从而将该粘结部件4的粘结表面4a从上基板A强制地拉开剥离。

此后，如图11(c)所示，上保持板1和下保持板2相对地分离，同时，二次侧空间(密闭空间)S内的环境气体回复到大气压，这样，由压缩螺旋弹簧9的回复力使刚体部3a的前端面与保持面1a大致成同一面状或以呈稍微凸状突出而回复至初期状态。

而且，设置上述图3所示的实施例2说明的由沿上述可动膜3的往复运动方向贯通刚体部3a及缸部7的通气道6a和供气源6b构成的真空吸附机构6，在设置上基板A时，从该真空吸附机构6进行真空吸引而吸附保持上基板A，而且按照需要从粘结部件4剥离时，最好从该真空吸附机构6向上基板A的表面A1喷出例如氮气等的气体。

因此，图11(a)～(c)所示的实施例7可以得到与上述实施例6同样的作用效果，而且具有以下优点，即，在剥离上基板A时，与使刚体部3a的前端面从保持面1a突出而从粘结部件4将上基板A强制地剥离的实施例6相比，由于没有必要对完成重合的上基板A再次进行局部加压，因此，不会发生上下基板A、B彼此的位置偏移、或平行度失常等事故。

另外，虽然示出了将本发明的粘结卡盘装置配备在贴合机中的情况，其中该贴合机粘结保持并贴合将液晶显示(LCD)面板等的玻璃制基板，但不限定于此，也可以配备在除该基板贴合机以外的基板组装装置、或搬送基板的基板搬送装置中，或者粘结保持LCD面板用玻璃制基板以外的基板。

另外，虽然说明了在真空中贴合基板A、B的基板贴合机，但并不限定于此，也可以是在大气中贴合基板A、B的基板贴合机，即使在这种情况下，也可以得到与上述真空贴合机相同的作用效果。

而且，在上述所示的实施例中，通过只在上保持板1的保持面1a开设开口部1b并配置可动膜3，从而进行上基板A的粘结保持及剥离开放，但不限定于此，在下保持板2的保持面2a也同样，可以通过开设与下基板B的表面B1相向的开口部并配置可动膜，进行下基板B的粘结保持及剥离开放。

另外，虽然示出了只在图7所示的实施例4和图8及图9所示的实施例5和图10所示的实施例6，相对于在上保持板1穿设的开口部1b安装装置圆筒体1d，在该圆筒体1d一体配备可动膜3c、3d、3或粘结部件4等所有构成部件并单元化的情况，但并不限定于此，在其他的实施例也同样，可以相对于在上保持板1穿设的开口部1b安装圆筒体(未图示)，在该圆筒体上一体配备可动膜3或粘结部件4等所有构成部件并进行单元化，同时，相对于上述开口部1b以从例如磁气或夹持机构等装卸机构(未图示)装卸自如的方式安装圆筒体，由此，在粘结部件4的粘结力降低时，可从上保持板1的保持面1a装卸单元整体而进行更换。

权利要求书

(按照条约第19条的修改)

基于条约第十九条(1)的声明

申请人对权利要求1进行了进一步的限定，即，“设有：...在该可动膜的一部分上配置成其前端面与基板平行地相向的刚体部、和配置在该刚体部的前端面上的粘结部件”、“利用...可动膜的往复运动，使上述刚体部的前端面及粘结部件从保持板的开口部出入，使其粘结表面与基板平行地抵接而进行粘结保持”，以便使其与现有技术文件1-3的差别更为清楚。

在现有技术文件1(US 2003/0232561 A1)中公开了相对于保持板以粘结部件对基板进行粘结保持的粘结卡盘装置，而在现有技术文件2(JP 09-181156A)中公开了利用因可动膜的变形而产生的负压进行吸附保持的真空卡盘，另外在现有技术文件3(JP 05-305592A)中公开了不具有可动膜而仅有刚体的真空卡盘。在这些现有技术文件1-3中都没有公开具备上述构成的具备“刚体部”以及“粘结部件”的“可动膜”。通过采用上述构成，权利要求1所记述的发明能够实现如下的特有作用效果：通过在可动膜与粘结部件之间设置刚体部，即使在可动膜出入变形时，粘结部件也不发生变形，能够使其粘结表面与基板平行地抵接，进行可靠的粘结保持；而且，可不使用现有技术那样的作为与保持板开口部不同的构件的致动器，而是将可动膜作为粘结/剥离功能的主要部件直接组装到保持板的开口部内，由此在很大程度上简化了粘结/剥离机构的构成，实现了紧凑化以及轻量化，随之使得装置整体小型化，也降低了制造成本。关于这些作用效果，现有技术文件1-3也没有给出任何技术启示。

另外，对应于权利要求2的删除，对权利要求3、4、6、7进行了形式上的修改。

1.(修改)一种粘结卡盘装置，其相对于保持板通过粘结而装卸自如地保持基板，其特征在于：

在上述保持板的基板侧设有：在开设于该基板侧面的开口部内能够向与该基板侧面交叉的方向变形的可动膜、在该可动膜的一部分上配置成其前端面与基板平行地相向的刚体部、和配置在该刚体部的前端面上的粘结部件；利用由上述可动膜的一次侧空间与二次侧空间的压力差产生的该可动膜的往复运动，使上述刚体部的前端面及粘结部件从保持板的开口部出入，使其粘结表面与基板平行地抵接而进行粘结保持，同时，通过强制拉开这两者而进行剥离。

2.(删除)

3.(修改)根据权利要求1所述的粘结卡盘装置，其特征在于：与基板相向地开设有沿上述可动膜的往复运动方向贯通的通气道，从该通气道吸引吸附基板。

4.(修改)根据权利要求3所述的粘结卡盘装置，其特征在于：在上述可动膜中设置有与刚体部一体化的缸部，在开设于基板侧面的开口部内设置有与该缸部相向的隔壁，相对于该隔壁往复运动自如地插通并轴支承缸部。

5.根据权利要求4所述的粘结卡盘装置，其特征在于：在上述开口部内设置有互相分离的两个可动膜，在这些可动膜中插通安装有缸部，在两个可动膜之间分别划分形成出第一气动室和第二气动室，通过该第一气动室和第二气动室的压力差同时使两个可动膜变形并使其进行往复运动。

6.(修改)根据权利要求1、3、4或5所述的粘结卡盘装置，其特征在于：上述可动膜由能够向与保持板的基板侧面交叉的方向变形的风箱构成。

7.(修改)根据权利要求1、3、4、5或6所述的粘结卡盘装置，其特征在于：设置有与上述可动膜关联的施力部件，利用该施力部件对该可动膜向其往复运动的任一方向施力。

Claims (7)

1.一种粘结卡盘装置，其相对于保持板通过粘结而装卸自如地保持基板，其特征在于：

在上述保持板的基板侧设有：在开设于该基板侧面的开口部内可向与该基板侧面交叉的方向变形的可动膜、和与基板相向地进行粘结保持的粘结部件；借助由上述可动膜的一次侧空间与二次侧空间的压力差产生的该可动膜的往复运动使粘结部件的粘结表面与基板抵接而进行粘结，同时，通过强制拉开这两者而进行剥离。

2.根据权利要求1所述的粘结卡盘装置，其特征在于：在该可动膜的一部分上与基板相向地设置有刚体部，通过该可动膜的往复运动使该刚体部的前端面从保持板的开口部出入而与基板抵接。

3.根据权利要求1或2所述的粘结卡盘装置，其特征在于：与基板相向地开设有沿上述可动膜的往复运动方向贯通的通气道，从该通气道吸引吸附基板。

4.根据权利要求2或3所述的粘结卡盘装置，其特征在于：在上述可动膜上设置有与刚体部一体化的缸部，在开设于基板侧面的开口部内设有与该缸部相向的隔壁，相对于该隔壁往复运动自如地插通并轴支承缸部。

5.根据权利要求4所述的粘结卡盘装置，其特征在于：在上述开口部内设置有互相分离的两个可动膜，在这些可动膜中插通安装有缸部，在两个可动膜之间分别划分形成出第一气动室和第二气动室，通过该第一气动室和第二气动室的压力差同时使两个可动膜变形并使其进行往复运动。

6.根据权利要求1、2、3、4或5所述的粘结卡盘装置，其特征在于：上述可动膜由可向与保持板的基板侧面交叉的方向变形的风箱构成。

7.根据权利要求1、2、3、4、5或6所述的粘结卡盘装置，其特征在于：设置有与上述可动膜关联的施力部件，利用该施力部件对该可动膜向其往复运动的任一方向施力。

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