WO2006046379A1

WO2006046379A1 - 粘着チャック装置

Info

Publication number: WO2006046379A1
Application number: PCT/JP2005/017833
Authority: WO
Inventors: Michiya Yokota; Yoshikazu Ohtani; Mitsukuni Sakashita
Original assignee: Shin-Etsu Engineering Co., Ltd.
Priority date: 2004-10-28
Filing date: 2005-09-28
Publication date: 2006-05-04
Also published as: KR100895468B1; TW200628880A; CN1985288A; JPWO2006046379A1; KR20070069132A; JP3917651B2; TWI376540B; CN100447622C

Abstract

　【課題】　簡単な構造の空圧機構で基板を確実に着脱する。　【解決手段】　保持板１の基板側に、この基板側面１ａに開設した開口部１ｂ内で該基板側面１ａと交差する方向へ変形可能な可動膜３と、基板Ａと対向して粘着保持する粘着部材４とを設け、上記可動膜３の一次側空間５と二次側空間Ｓの圧力差で該可動膜３を往復動させることにより、粘着部材４の粘着表面４ａと基板Ａが当接して粘着保持されると共に、これら両者が強制的に引き離されて、粘着部材４の粘着表面４ａから基板Ａが無理なく剥離される。　

Description

粘着チャック装置

技術分野

[0001] 本発明は、例えば液晶ディスプレー（LCD)やプラズマディスプレー（PDP)などのフラットパネルディスプレーの製造過程にぉ、て、 CFガラスや TFTガラスなどのガラス製基板か又は合成樹脂製基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や、基板を搬送する基板搬送装置などに用いられる粘着チャック装置に関する。

詳しくは、基板を保持板に対し、粘着で着脱自在に保持する粘着チャック装置に関する。

背景技術

[0002] 従来、二枚の基板を重ね合わせる基板貼り合わせ機では、静電チャックで基板を保持していたが、近年の基板の大型化に伴い、大きなサイズの静電チャックを製作することが難しくなり、また仮に製作できても非常に高価な物となっていた。

そこで、これらの問題を解決するため、基板の保持に粘着材を使用した粘着チヤック装置がある。

このような粘着チャック装置の一例として、一対のローラに亘り卷き取り自在に張られた粘着シートに対し、上基板を貼り付け保持した後、上基板と下基板の貼り合わせを行ない、その後、複数のモータの駆動で、スピンドルを回転させて粘着シートを卷き取ると同時に、その巻き取り速度と同期した速さで同巻き取り方向へ該スピンドル及び一方のローラを水平移動させることにより、上基板の上面から粘着シートを徐々に剥がすものがある（例えば、特許文献 1参照)。

そして、上述したスピンドルによる粘着シートの巻き取りに代えて、両基板を貼り合わせてセルができた後に、複数のァクチユエータの駆動で、カツタ台及びカツタベースを複数のァクチユエータによりカツタの刃の下端位置まで上昇させてから、粘着シ一トの幅方向へカツタを移動させることにより、上基板が貼り付いている粘着シートを切断し、この粘着シートが付いたままセルを取り出し、適宜な時点でセル力も粘着シートを剥ぎ取るようにして、る。

更に他の例として、上方の加圧板に開孔を複数設け、これら開孔内にァクチユエ一タを夫々備え、各ァクチユエータから下方に向力つて伸びた軸の先端に粘着部材が貼着され、上記ァクチユエータの動作により開孔内で粘着部材を下降させ、粘着部材の下面が上基板と接触すると、その粘着作用で加圧板の下面に密着した形で保持され、また基板の貼り合わせ後に上基板力粘着材を剥がす時は、ァクチユエータにより開孔内で粘着部材を上昇させると、開孔の周縁部が上基板の移動を阻止して粘着部材カゝら上基板を引き離すものがある (例えば、特許文献 2参照)。

また、上方の加圧板に開口を複数設け、これら開口内に回転用ァクチユエ一タと上下駆動用ァクチユエータを夫々備え、夫々の回転用ァクチユエータから下方に向かつて伸びた回転軸の先端に粘着部材が取り付けられ、上下駆動用ァクチユエータの動作により開口内で各粘着部材を下降させ、これら粘着部材と吸引吸着で上基板を保持して、位置決めしながら貼り合わせを行い、粘着部材を加圧板内に退行させる時は、粘着部材を基板面に対して回転用ァクチユエータにより捻りながら、又は捻つて力上下駆動用ァクチユエータにより退行させて、粘着部材を上基板力剥がすものがある (例えば、特許文献 3参照)。

[0003] 特許文献 1 :特開 2001— 133745号公報 (第 3— 5頁、図 1—図 7)

特許文献 2：特開 2003 - 241160号公報 (第 5頁、図 7)

特許文献 3：特開 2003 - 273508号公報 (第 5頁、図 1— 5)

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] しかし乍ら、このような従来の粘着チャック装置では、特許文献 1の場合、粘着部材と基板とを剥がすために、粘着シートを巻き取りながら巻き取り速度と同期した速さで同巻き取り方向へ水平移動させる力又はカツタ台及びカツタベースを上昇させカツタで粘着シートを切断しなければならず、夫々の作動には複数のモータゃァクチユエータなどの駆動源が多く必要になって構造が複雑ィ匕するという問題があった。

また、特許文献 2の場合には、加圧板の開孔内で粘着部材を上昇させるために複数のァクチユエ一タが各粘着部材毎に夫々必要になり、特許文献 3の場合には、粘着部材を捻りながら退行させるための回転用ァクチユエータ及び上下駆動用ァクチユエ一タが各粘着部材毎に夫々必要に必要になって構造が複雑ィ匕するという問題があった。

従って、特許文献 1〜3は、特に剥離構造が複雑であるため、故障の発生率が高いだけでなぐ特に基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や基板搬送装置などに配備する場合には、既設の静電チャックなどの基板保持機構を本発明の粘着チャック装置へ置き換えることが困難であるという問題があった。

更に、上記ァクチユエータが例えばモータのような電磁気的な電動機である場合には発熱し易ぐ例えばガラス製の基板は熱変化に敏感で 1°C変化しただけでも約 4 μ mm程度は伸び縮みしてしまい、このような発熱による影響で基板同士を正確に位置合わせするのは困難であると、う問題があつた。

更にまた、大気圧力所定の真空度へ至る雰囲気中で粘着して保持させると共に該粘着を剥離して開放させる場合には、大気圧力所定の真空度まで変化するが、モータのような電磁気的なァクチユエータを使用すると、真空中のあるタイミングでプラズマ放電を引き起こす恐れがあって、ガラス基板へのダメージにつながるという問題もあった。

なお、上記ァクチユエータがエアシリンダのような駆動源であったとしても、それ自体のみで伸縮動作が可能な密封構造であるため、コンパクト化が困難であり、そのために装置全体が大型化して製造コストのアップになるという問題があった。

ところで、特に大型の基板はたわみ変形が発生し易ぐこのような変形し易い基板を確実に粘着保持して剥離開放するには、基板に対し粘着部材を強い力で接触させるか又は離す必要がある力このような強い力を得るにはァクチユエータを大型化しなければならず、それにより重くなるという問題もあった。

本発明のうち請求項 1記載の発明は、簡単な構造の空圧機構で基板を確実に着脱することを目的としたものである。

請求項 2記載の発明は、請求項 1に記載の発明の目的に加えて、簡単な構造の空圧機構で基板を確実に粘着'剥離するために必要な力を得ることを目的としたものである。請求項 3記載の発明は、請求項 1または 2に記載の発明の目的に加えて、吸引用配管系や吸引制御を容易に実現しながら基板を確実に保持することを目的としたものである。

請求項 4記載の発明は、請求項 2または 3に記載の発明の目的に加えて、剛体部の往復動を安定させて基板との粘着性能及び剥離性能の向上を図ることを目的としたものである。

請求項 5記載の発明は、請求項 4に記載の発明の目的に加えて、二次側空間の圧力変化と関係なく基板を粘着保持及び剥離開放することを目的としたものである。請求項 6記載の発明は、請求項 1、 2、 3、 4または 5に記載の発明の目的にカ卩えて、可動膜自体を大型化しなくとも粘着 ·剥離を確実に行うためのストロークを確保することを目的としたものである。

請求項 7記載の発明は、請求項 1、 2、 3、 4、 5または 6に記載の発明の目的に加えて、空圧機構の圧力制御を容易にすることを目的としたものである。

課題を解決するための手段

前述した目的を達成するために、本発明のうち請求項 1記載の発明は、保持板の基板側に、この基板側面に開設した開口部内で該基板側面と交差する方向へ変形可能な可動膜と、基板と対向して粘着保持する粘着部材とを設け、上記可動膜の一次側空間と二次側空間の圧力差による該可動膜の往復動で粘着部材の粘着表面と基板を当接させて粘着すると共に、これら両者を強制的に引き離して剥離することを特徴とするものである。

請求項 2記載の発明は、請求項 1記載の発明の構成に、前記可動膜の一部に剛体部を基板と対向して設け、この可動膜の往復動で該剛体部の先端面を保持板の開口部から出没させて基板と当接した構成を加えたことを特徴とする。

請求項 3記載の発明は、請求項 1または 2記載の発明の構成に、前記可動膜の往復動方向へ貫通する通気路を基板と対向して開設し、この通気路力基板を吸引吸着した構成を加えたことを特徴とする。

請求項 4記載の発明は、請求項 2または 3記載の発明の構成に、前記可動膜に、剛体部と一体化されたシリンダー部を設け、基板側面に開設された開口部内に、該シリンダ一部と対向する隔壁を設け、この隔壁に対しシリンダー部を往復動自在に挿通して軸受けした構成を加えたことを特徴とする。

請求項 5記載の発明は、請求項 4記載の発明の構成に、前記開口部内に、相互に離れた 2枚の可動膜を設けて、これら可動膜にシリンダー部を揷着して、両可動膜の間に第 1空圧室と第 2空圧室を別々に区画形成し、該第 1空圧室と第 2空圧室の圧力差で両可動膜を同時に変形して往復動させた構成を加えたことを特徴とする。請求項 6記載の発明は、請求項 1、 2、 3、 4または 5記載の発明の構成に、前記可動膜が保持板の基板側面と交差する方向へ変形可能なベローズからなる構成をカロえたことを特徴とする。

請求項 7記載の発明は、請求項 1、 2、 3、 4、 5または 6記載の発明の構成に、前記可動膜と連係する付勢部材を設け、この付勢部材で該可動膜をその往復動のどちらか一方へ向けて付勢した構成を加えたことを特徴とする。発明の効果

本発明のうち請求項 1記載の発明は、保持板の基板側に、この基板側面に開設した開口部内で該基板側面と交差する方向へ変形可能な可動膜と、基板と対向して粘着保持する粘着部材とを設け、上記可動膜の一次側空間と二次側空間の圧力差で該可動膜を往復動させることにより、粘着部材の粘着表面と基板が当接して粘着保持されると共に、これら両者が強制的に引き離されて、粘着部材の粘着表面から基板が無理なく剥離される。

従って、簡単な構造の空圧機構で基板を確実に着脱することができる。

その結果、粘着部材と基板とを剥がすためにモータゃァクチユエータなどの駆動源が多く必要な従来のものに比べ、特に剥離構造が簡単であるため、故障の発生率を著しく低下でき、特に基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や基板搬送装置などに配備する場合には、既設の静電チャックなどの基板保持機構を本発明の粘着チヤック装置へ容易に置き換えることができて、製造コストの大幅な低減ィ匕が図れる。更に、静電吸着により基板を保持しないから、静電気を自発的に発生させないという利点もある。

また、電磁気的なァクチユエータの発熱による影響や放電のリスクを回避でき、安全で且つ正確な基板同士の位置合わせができると共に、コンパクトィ匕及び軽量ィ匕が可能となって、装置全体を小型化できて製造コストの低減化も図れる。

また更に、大気圧カゝら所定の真空度へ至る雰囲気中で粘着して保持させると共に該粘着を剥離して開放させる場合には、駆動源を空圧とすることで、大気圧から所定の真空度へ至る閉空間との構成的な共存を図ることができ、電磁気的なァクチユエータのように電源へ配線連絡する必要がある従来のものに比べ、真空な閉空間を貫通させる部材が減少して真空漏れなどの発生を防止できる。

[0008] 請求項 2の発明は、請求項 1の発明の効果に加えて、可動膜の一部に剛体部を基板と対向して設け、この可動膜の往復動で該剛体部の先端面を保持板の開口部から出没させて基板と当接することにより、可動膜の往復運動が剛体部を介して変形せずに基板に伝わる。

従って、簡単な構造の空圧機構で基板を確実に粘着 ·剥離するために必要な力を得ることができる。

[0009] 請求項 3の発明は、請求項 1または 2の発明の効果にカ卩えて、可動膜の往復動方向へ貫通する通気路を基板と対向して開設し、この通気路力基板を吸引吸着することで、粘着部材による粘着保持と真空吸着による保持と併用される。

従って、吸引用配管系や吸引制御を容易に実現しながら基板を確実に保持することがでさる。

更に、吸着時の真空圧力を制御することにより、基板との粘着力の強弱を簡単に調整することができる。

[0010] 請求項 4の発明は、請求項 2または 3の発明の効果に加えて、可動膜に、剛体部と一体化されたシリンダー部を設け、基板側面に開設された開口部内に、該シリンダー部と対向する隔壁を設け、この隔壁に対しシリンダー部を往復動自在に挿通して軸受けすることにより、可動膜の変形に伴いシリンダー部を介して剛体部が直線方向へ往復動する。

従って、剛体部の往復動を安定させて基板との粘着性能及び剥離性能の向上を図ることができる。

[0011] 請求項 5の発明は、請求項項 4の発明の効果にカ卩えて、開口部に離れた 2枚の可動膜を離して設け、これら可動膜にシリンダー部を揷着して、両可動膜の間に第 1空圧室と第 2空圧室を別々に区画形成し、該第 1空圧室と第 2空圧室の圧力差で両可動膜を同時に変形して往復動させることにより、基板が粘着して保持されると共に該粘着を剥離して開放される。

従って、二次側空間の圧力変化と関係なく基板を粘着保持及び剥離開放することができる。

[0012] 請求項 6の発明は、請求項 1、 2、 3、 4または 5の発明の効果に加えて、可動膜を保持板の基板側面と交差する方向へ変形可能なベローズで構成することにより、可動膜全体の径寸法に関係なく長いストロークの往復運動が可能となる。

従って、可動膜自体を大型化しなくとも粘着 ·剥離を確実に行うためのストロークを ½保することができる。

その結果、大型基板を粘着保持するために多数の粘着チャック装置を配備する必要がある場合に有効である。

[0013] 請求項 7の発明は、請求項 1、 2、 3、 4、 5または 6の発明の効果にカ卩えて、可動膜と連係する付勢部材を設け、この付勢部材で該可動膜をその往復動のどちらか一方へ向けて付勢することにより、一次側空間と二次側空間の圧力差で付勢部材の付勢力に抗する方向へ可動膜を移動すれば、一次側空間と二次側空間の圧力差がなくなった時には、付勢部材の復元力により可動膜が強制的に戻る。

従って、空圧機構の圧力制御を容易にすることができる。

更に、基板貼り合わせ機などように、低真空ポンプと高真空ポンプを連動させて所定の真空度まで到達させる場合には、一次側空間と二次側空間の圧力差に関係なく付勢部材の付勢力により基板の粘着保持状態を維持すれば、上記高真空ポンプを配管上で遮断した後に基板の剥離動作へ切り換え可能となって、それにより、空気漏れが発生しても高真空ポンプの破損を防止できる。

発明を実施するための最良の形態

[0014] 本発明の粘着チャック装置が、液晶ディスプレー (LCD)パネルなどのガラス製基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機に配備された場合を示す。

この基板貼り合わせ機は、図 1〜図 10に示す如ぐ上下に配置された保持板 1, 2 の平行に対向する保持面 la, 2aに二枚のガラス製基板 A, Bを夫々保持させ、それらの周囲に区画形成された閉空間 S内が所定の真空度 (0.5Pa程度）に達してから、上下保持板 1, 2を相対的に XY 0方向（図面では水平方向）へ調整移動し、基板 A , B同士の位置合わせが行われ、その後、上保持板 1の保持面 laから上基板 Aを強制的に剥離して下基板 B上の環状接着剤 (シール材) Cへ瞬間的に圧着することにより、両者間を封止して重ね合わせ、その後は、両基板 A, Bの内外に生じる気圧差で両基板 A, Bの間を所定のギャップまで加圧するものである。

[0015] 詳しく説明すれば、上下保持板 1, 2が昇降手段（図示せず)で Z方向（図面では上下方向）へ相対的に移動可能に支持され、大気圧の雰囲気中、これら上下保持板 1 , 2を上下方向へ離した状態で夫々の保持面 la, 2aに対し、基板搬送用ロボット（図示せず)で移送された基板 A, Bをセットし、その後、上記昇降手段の作動により上下保持板 1, 2を接近させることにより閉空間 Sが区画形成される。

[0016] そして、この閉空間 Sから吸気手段（図示せず)の作動により、空気を抜いて所定の真空度に達したところで、水平移動手段（図示せず)の作動により、上下保持板 1, 2 のどちらか一方を他方に対し XY 0方向へ調整移動させることで、それらに保持された基板 A, B同士の位置合わせ (ァライメント）として粗合わせと微合わせが順次行われる。

[0017] これらの位置合わせが完了して上下基板 A, Bを重ね合わせた後は、閉空間 S内に空気や窒素を供給して、該閉空間 S内の雰囲気を大気圧に戻すことにより、両基板 A , Bの内外に生じる気圧差で均等に加圧され、液晶が封入された状態で所定のギヤップまで押し潰れて製品を完成させて、る。

[0018] 更に、前記保持板 1, 2の基板側に、本発明の粘着チャック装置を備えている。

詳しく説明すれば、図 1、図 3、図 4、図 7及び図 10に示す如ぐ上下保持板 1, 2の基板側である保持面 la, 2aのどちらか一方か又は両方に、開口部 lbを略等間隔毎に複数開設し、これら開口部 lb内に可動膜 3を該保持面 la, 2aと交差する Z方向へ変形自在に夫々設け、上記開口部 lbの基板側開口縁か又は可動膜 3の基板側表面に、上下基板 A, Bの表面 Al, B1と対向して粘着保持する粘着部材 4を固定し、この可動膜 3を挟んで形成される一次側空間 5と二次側空間である閉空間 Sとの圧力差により、該可動膜 3を往復動させることで、粘着部材 4の粘着表面と基板 A, Bの一方又は両方とを当接させて粘着すると共に、これら両者を強制的に引き離すことで、粘着部材 4の粘着表面から基板 A, Bの一方又は両方が無理なく剥離されるようにしている。

以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。

実施例 1

[0019] この実施例 1は、図 1 (a)〜（c)に示す如ぐ上保持板 1の保持面 laのみに複数の開口部 lbを開設して可動膜 3の外周部分を支持し、この可動膜 3の一部に剛体部 3 aを基板 Aの表面 A1と対向して設けると共に、該可動膜 3よりも二次側に位置する各開口部 lbの開口縁に沿って環状の粘着部材 4を固定し、上記剛体部 3aが上動して開口部 lb内に没入させた状態で、該粘着部材 4と上基板 Aとを当接させて粘着保持し、また可動膜 3を二次側空間（閉空間） Sへ向けて下方に突出変形させることにより、粘着部材 4の粘着表面 4aに粘着保持した基板 Aが強制的に押し剥がされる場合を示すものである。

また、図示例ではスペースの関係上、上基板 Aの端部と対向して開口部 lb及び可動膜 3を 2つしか配置していないが、上基板 Aの大きさに対応してそれを吊り下げることが可能な数だけ配置されて、る。

[0020] 上記可動膜 3は、例えばステンレスなどの金属製の弾性変形可能な膜か又はゴムやエンジニアリング-プラスチックなどの合成樹脂で薄板状に成形されたダイヤフラム力もなる弾性膜で、その外周部分を図 2 (a)に示す如ぐ上保持板 1の開口部 lbに配備された挟持部材 lcでクサビ形状に折り曲げて挟み込むか、又は図 2 (b)に示す如ぐ一体成形された係合部 3bを挟み込んで脱落不能に固定する。

そして、この可動膜 3を挟んでその一次側 (背後）に区画形成される空圧室 5と、二次側に区画形成される閉空間 Sとの圧力差により、 Z方向へ弾性変形させて往復動させる。

[0021] また、上記可動膜 3は、図 2 (c)に示す如ぐその肉厚寸法を変えて上下方向への変形量が調整可能な形状に成形することにより、上記可動膜 3の一次側空間（空圧室) 5と二次側空間（閉空間） Sとの圧力差による該可動膜 3の変形量を調整して、その中心部分及びそれに設けられた後述する剛体部 3aの先端面全体を、上下方向へ平行移動させることも可能である。

[0022] 前記剛体部 3aは、変形不能な剛体で上記可動膜 3の基板 Aの表面 A1と対向する中心部分から二次側空間（閉空間） Sへ向け一体的に突設され、その先端面を上基板 Aの表面 A1と平行に対向させている。

図示例の如ぐ可動膜 3の上下方向への弾性変形を阻害しないように上基板 Aへ向け外径が徐々に大径となる断面台形状に形成して、その先端面を各開口部 lbの開口縁近くまで拡開させることが好ましい。

[0023] 上記粘着部材 4は、例えばシリコン系やアクリル系などの粘着材料力もなる粘着シートであり、その粘着表面 4aの面積を、上基板 Aが吊持可能な粘着力を有する範囲内で可能な限り小さく設定すると共に、該粘着表面 4aを前記可動膜 3の剛体部 3aの表面と可能な限り接近させて配置することが望ま、。

また図示例の如ぐ反対側の固着裏面 4bを、各開口部 lbの開口縁に対し直接的に粘着して固定するか、或、は各開口部 lbに対して着脱自在な固定部品（図示せず）に粘着して固定する。

[0024] この反対側の固着裏面 4bの粘着力は、前記ガラス製基板 Aと接触する粘着表面 4 a側の粘着力よりも強くて、上基板 Aを粘着保持した時にその重量で剥離しないが、粘着表面 4aの粘着力の減衰に応じて、容易に交換できるようにする必要がある。この点において、上述の如ぐ着脱自在な固定部品に固着裏面 4bを粘着して粘着部材 4を固定すれば、粘着表面 4aの粘着力の減衰に応じて、固定部品単位で簡単に交換可能である。

[0025] 更に図示せぬが、前記上保持板 1の保持面 laには、吸引孔を全面に亘つて多数開穿し、これら吸引孔カも所定タイミングで真空吸引し、また別のタイミングでは上基板 Aの表面 A1へ向けて例えば窒素ガスなどの気体を噴き出すようにすることも可能である。

[0026] 次に、斯カる真空貼り合わせ機用粘着チャック装置の作動について説明する。

先ず、図 1 (a)の実線に示す如ぐ上下保持板 1, 2が上下方向へ離れた初期状態で、上保持板 1の保持面 laに上基板 Aをセットする力この時は剛体部 3aを上動して保持板 1の開口部 lb内に待機させておく。

[0027] 図示例の場合には、一次側空間 (空圧室) 5から吸引しその内圧を二次側空間（閉空間） Sより低くして、可動膜 3を一次側空間 (空圧室) 5へ向け上方に変形させ、それにより、剛体部 3aの先端面が保持面 la及び粘着部材 4の粘着表面 4aに対し凹状に待機している。

なお、図示せぬが一次側空間 (空圧室) 5の内圧と二次側空間（閉空間） Sの圧力とを等しくして可動膜 3を変形せず略水平なフラット状態にすることで、剛体部 3aの先端面が保持面 la及び粘着部材 4の粘着表面 4aと略同じ高さ位置に待機するカゝ、又はそれより若干上方に待機するようにしても良、。

[0028] この待機状態で、基板搬送用ロボット（図示せず）により上基板 Aが移送され、その表面 A 1を上保持板 1の保持面 1 aへ向け移動して、粘着部材 4の粘着表面 4aに所定圧力で接触させれば、該粘着表面 4aの粘着力によって保持される。

[0029] この際、上保持板 1の保持面 laに開穿した吸引孔 (図示せず)から真空吸引すれば、上基板 Aの表面 A1が粘着部材 4の粘着表面 4aに対し更に強く接触して粘着保持されると共に、上基板 Aが吸着保持されて、落下し難くなる。

[0030] その後、図 1 (a)の二点鎖線に示す如ぐ上下保持板 1, 2が接近して二次側空間（閉空間） S内が所定の真空度に達してから、上下保持板 1, 2のどちらか一方を他方に対して XY 0方向へ調整移動して、それらに保持された基板 A, B同士の位置合わせが行われる。

[0031] このような基板 A, B同士の位置合わせと重ね合わせが完了した後は、図 1 (b)に示す如ぐ一次側空間（空圧室） 5へ圧縮空気などの気体を供給しその内圧を二次側空間（閉空間） Sより高くしながら、上保持板 1を上昇させるか又は下保持板 2を下降させて両者を相対的に離すと、可動膜 3が二次側空間（閉空間） Sへ向け下方へ変形して、剛体部 3aの先端面が上基板 Aの表面 A1に接触したまま粘着部材 4の粘着表面 4aから押し離す。

なお、この際、二次側空間（閉空間） Sは所定の真空度に達しているため、この時点における一次側空間（空圧室） 5への気体の供給量は少なくて良い。

[0032] それにより、粘着部材 4の粘着表面 4aに粘着保持された上基板 Aが強制的に押し離されて、粘着部材 4の粘着表面 4aから上基板 Aを無理なく押し剥がすと同時に、これら可動膜 3及び剛体部 3aの突出圧力で該上基板 Aを下基板 B上の環状接着剤 C に押し付けて重ね合わせる。

[0033] この際、上保持板 1の保持面 laに開穿した吸引孔カゝら上基板 Aの表面 A1へ例えば窒素ガスなどの気体を噴き出せば、該粘着部材 4の粘着表面 4aから上基板 Aを強制的に剥離して下基板 B上の環状接着剤 Cへ瞬間的に圧着し、両者間が封止される

[0034] その後は、図 1 (c)に示す如ぐ一次側空間（空圧室） 5から吸引しその内圧を二次側空間（閉空間） Sより低くして可動膜 3を一次側空間 (空圧室) 5へ向け上方に変形することにより、剛体部 3aの先端面が保持面 laに対し凹んで初期状態に戻る。

[0035] 従って、図 1〜図 2に示した実施例 1は、電磁気的な駆動源を使用せずに簡単な構造でありながら上基板 Aを確実に粘着保持及び剥離開放に必要な力が得られる。

[0036] また、上記可動膜 3の一次側に形成された空圧室 5への気体供給量を制御して、該可動膜 3の弾性変形量を調整すれば、上基板 Aの表面 A1と粘着部材 4との接触圧力 (押し付け圧力）が調整可能となって、上基板 Aとの粘着及び Z又は剥離の強弱を簡単に調整できる。

この際、上基板 Aと粘着部材 4との間に発生する粘着力は両者の接触面積に比例するため、上述した押し付け圧力の増減により、上基板 Aの表面 A1に対し粘着部材 4の粘着表面 4aが弾性変形して接触面積が増減する構造にすれば、更に粘着力の強弱をより明確に調整できる。

実施例 2

[0037] この実施例 2は、図 3 (a)〜（d)に示す如ぐ前記可動膜 3の往復動方向へ貫通する通気路 6aと、この通気路 6aから真空吸引すると共に例えば窒素ガスなどの気体を供給する給気源 6bとからなる真空吸着手段 6を設け、上基板 Aのセット時に、この真空吸着手段 6の通気路 6aから真空吸引して上基板 Aを吸着保持し、更に必要に応じて粘着部材 4力もの剥離時には、該通気路 6aから上基板 Aの表面 A1へ向け例えば窒素ガスなどの気体を噴き出す構成が、前記図 1〜図 2に示した実施例 1とは異なり、それ以外の構成は実施例 1と同じものである。 [0038] 図示例では、上記可動膜 3と共にその一部に設けられた剛体部 3aを上下方向へ貫通するように通気路 6aを開穿して、るが、それに代えて該通気路 6aの貫通位置を図示せぬが、上保持板 1を上下方向へ貫通させてその保持面 laに開設した開口部 lb の開口縁に固定される粘着部材 4に向けて開穿するようにすることも可能である。

[0039] 即ち、上保持板 1の保持面 laに上基板 Aをセットする時には、図 3 (a)に示す如ぐ一次側空間 (空圧室) 5へ圧縮空気などの気体を供給して可動膜 3を下方へ変形することにより、剛体部 3aが下動して、その先端面を粘着部材 4の粘着表面 4aに対し、若干でも凸状に突出させて待機し、この状態で、基板搬送用ロボットで移送された上基板 Aを、上記真空吸着手段 6の通気路 6aからの真空吸引により受け取って吸着保持する。

[0040] その後、図 3 (b)に示す如ぐ一次側空間（空圧室） 5から吸引しその内圧を二次側空間（閉空間） Sの圧力とを略等しくして可動膜 3を略水平にすることにより、剛体部 3 aの先端面が保持面 la及び粘着部材 4の粘着表面 4aと同じ高さ位置へ上動して、上基板 Aが粘着部材 4へ向け誘導され、そのまま上基板 Aの表面 A1を粘着部材 4の粘着表面 4aに所定圧力で接触させ、該粘着表面 4aの粘着力によって保持する。

[0041] そして、上下基板 A, B同士の重ね合わせが完了した後は、図 3 (c)に示す如ぐ一次側空間 (空圧室) 5へ圧縮空気などの気体を供給しその内圧を二次側空間（閉空間） Sより高くしながら、上保持板 1を上昇させるか又は下保持板 2を下降させて両者を相対的に離すと、可動膜 3が二次側空間（閉空間） Sへ向け下方へ変形して、剛体部 3aの先端面が上基板 Aの表面 A1に接触したまま粘着部材 4の粘着表面 4aから押し離す。

[0042] 更に、これと同時に上記真空吸着手段 6の通気路 6aから上基板 Aの表面 A1へ向け例えば窒素ガスなどの気体を噴き出せば、粘着部材 4の粘着表面 4aに粘着保持された上基板 Aが強制的に押し離されて、粘着部材 4の粘着表面 4aから上基板 Aを無理なく押し剥がす。

[0043] その後は、図 3 (d)に示す如ぐ一次側空間（空圧室） 5から吸引しその内圧を二次側空間（閉空間） Sより低くして可動膜 3を一次側空間 (空圧室) 5へ向け上方に変形することにより、剛体部 3aの先端面が保持面 laに対し凹んで初期状態に戻る。 [0044] 従って、図 3 (a)〜（d)に示す実施例 2は、前記図 1〜図 2に示した実施例 1と同様な作用効果が得られ、更に加えて上基板 Aの粘着及び剥離を補助しながら上基板 A との粘着力の強弱を実施例 1とは別な手法で簡単に調整できるという利点がある。この際、上基板 Aと粘着部材 4との間に発生する粘着力は両者の接触面積に比例するため、上述した真空吸着力の増減により、上基板 Aの表面 A1に対し粘着部材 4 の粘着表面 4aが弾性変形して接触面積が増減する構造にすれば、更に粘着力の強弱をより明確に調整できる。

実施例 3

[0045] この実施例 3は、図 4 (a)〜（c)に示す如ぐ前記粘着部材 4の固定位置を開口部 1 bの開口縁に代えて、可動膜 3の中心部分に突設された剛体部 3aの先端面に変更すると共に、可動膜 3の一次側空間 (空圧室) 5と二次側空間（閉空間） Sとの圧力差により、この粘着部材 4の粘着表面 4aが保持面 laと略面一状か又は若干（100 m程度）凸状に突出した状態で、該粘着部材 4の粘着表面 4aに上基板 Aを当接させて粘着保持し、また可動膜 3を一次側空間 (空圧室) 5へ向け上方に変形させて開口部 1 b内へ凹状に没入させることにより、粘着部材 4の粘着表面 4aを上基板 Aから強制的に引き剥がす構成が、前記図 1〜図 2に示した実施例 1及び図 3に示した実施例 2とは異なり、それ以外の構成は実施例 1及び実施例 2と同じものである。

[0046] 即ち、上保持板 1の保持面 laに上基板 Aをセットする時には、図 4 (a)に示す如ぐ一次側空間 (空圧室) 5の内圧と二次側空間（閉空間） Sの圧力とを等しくして可動膜 3を変形せず略水平なフラット状態にすることで、剛体部 3aの先端面に固定された粘着部材 4の粘着表面 4aが保持面 laと略面一状か又は若干突出し、上基板 Aの表面 A1に所定圧力で接触させることにより、該粘着表面 4aの粘着力によって保持する。

[0047] そして、上下基板 A, B同士の重ね合わせが完了した直後は、図 4 (b)に示す如ぐ一次側空間 (空圧室) 5から吸引しその内圧を二次側空間（閉空間） Sよりも低くして可動膜 3を一次側空間（空圧室） 5へ向け上方に変形することにより、剛体部 3aの先端面が保持面 laに対し凹んで、剛体部 3aの先端面が粘着部材 4と一緒に上基板 A の表面 A1から引き離され、粘着部材 4の粘着表面 4aを上基板 Aカゝら無理なく引き剥がす。 [0048] その後は、図 4 (c)に示す如ぐ上保持板 1を上昇させるか又は下保持板 2を下降させて両者が相対的に離してから、一次側空間（空圧室） 5へ圧縮空気などの気体を供給して可動膜 3を下方へ変形することにより、剛体部 3aの先端面が保持面 laと略面一状か又は若干突出して初期状態に戻る。

[0049] このような上基板 Aに合った最適な粘着力を得るため、図 4 (a)〜（c)に示す例では、粘着部材 4の形状を剛体部 3aの先端面全体が覆われるようにした場合を示して!/ヽる。

それ以外の例としては、図 5に示す如ぐ粘着部材 4の形状を剛体部 3aの先端面の外周が部分的に覆われる環状に形成したり、また図 6に示す如ぐ粘着部材 4の形状を、固着裏面 4bが剛体部 3aの先端面全体を覆うと共に、粘着表面 4a側へ向力つて徐々に表面積が減少するように断面台形状に形成することも可能である。

[0050] また図示せぬが、前記図 3に示す実施例 2で説明した上記可動膜 3の往復動方向へ貫通する通気路 6aと給気源 6bとからなる真空吸着手段 6を設け、上基板 Aのセット時に、この真空吸着手段 6から真空吸引して上基板 Aが吸着保持し、更に必要に応じて粘着部材 4からの剥離時には、該真空吸着手段 6から上基板 Aの表面 A1へ向け例えば窒素ガスなどの気体を噴き出すようにすることも可能である。

[0051] 従って、図 4〜図 6に示す実施例 3は、前記図 1〜図 2に示した実施例 1及び図 3に示す実施例 2と同様な作用効果が得られ、更に加えて粘着する上基板 Aの大きさや重量に合わせて粘着部材 4を変更するだけで最適な粘着力が得られるという利点がある。

なお、上述した実施例 3と同様に、実施例 1及び実施例 2においても、上基板 Aの大きさや重量に合わせて最適な粘着力が得られるように、粘着表面 4aの表面積が異なる複数種類の粘着部材 4を用意して交換できょうにしても良、。

[0052] また、剥離時において、剛体部 3aの先端面を保持面 laから突出させて粘着部材 4 力上基板 Aを強制的に押し剥がす実施例 1及び実施例 2に比べ、重ね合わせが完了した上基板 Aを部分的に再加圧する必要がないので、上下基板 A, B同士が位置ズレしたり、平行度が狂うなどの事故が発生する恐れがないという利点がある。

実施例 4 [0053] この実施例 4は、図 7 (a)〜（c)に示す如ぐ前記開口部 lb内に可動膜 3として 2枚の弾性膜 3c, 3dを上下方向へ離して略平行に設けることにより、これらの間に前記可動膜 3の一次側空間として第 1空圧室 5aを区画形成すると共に、二次側空間として第 2空圧室 5bを別々に区画形成し、これら第 1空圧室 5aと第 2空圧室 5bへの気体供給量を夫々制御して、両者間に圧力差を生じさせることにより、両可動膜 3c, 3dを同時に弾性変形して往復動させた構成が、上述した実施例 1〜実施例 3とは異なり、それ以外の構成は実施例 1〜実施例 3と同じものである。

[0054] これら 2枚の可動膜 3c, 3dの中心部分にはシリンダー部 7を揷着し、このシリンダー部 7の下面に前記剛体部 3aを連結して一体ィ匕させ、前記開口部 lb内には該シリンダ一部 7の軸方向略中間位置と対向する隔壁 8を設けて、この隔壁 8に対しシリンダ一部 7を Z方向へ往復動自在でし力も気密状に挿通して軸受けすることにより、該隔壁 8を挟んでその一次側 (背後）には第 1空圧室 5aが、二次側には第 2空圧室 5bが夫々分割形成される。

[0055] 上記シリンダー部 7には、分割された第 1空圧室 5aと第 2空圧室 5bへ夫々連通する第 1通路 7aと第 2通路 7bを設け、これら第 1通路 7a及び第 2通路 7bを介して外部から空気などを供給することにより、第 1空圧室 5a及び第 2空圧室 5bの内圧を調整する

[0056] 更に、上記シリンダー部 7と開口部 lbとの間には、互いに係合するストッパー 7cを設けて、該シリンダー部 7及びそれと一体ィ匕された剛体部 3aの往復動ストロークを規制している。

図示例の場合には、シリンダー部 7の外周に隔壁 8と係合するストッパー 7cを設けて、シリンダー部 7の移動量を規制している。

[0057] それにより、図 7 (a) (c)に示す如ぐ第 1通路 7aを通じて第 1空圧室 5a内の気体を吸引するか、又は第 2通路 7bを通じて第 2空圧室 5bのみに気体を供給する力、或いはこれらの同時進行で第 1空圧室 5aの内圧を第 2空圧室 5bの内圧より低くすることで、二次側空間（閉空間） Sの圧力変化と関係なく両可動膜 3c, 3dが同時に上方へ変形して、剛体部 3aの先端面を保持面 laから開口部 lb内に没入したまま待機させている。 [0058] これと逆に、図 7 (b)に示す如ぐ第 1通路 7aを通じて第 1空圧室 5aのみに気体を供給するか、又は第 2通路 7bを通じて第 2空圧室 5b内の気体を吸引する力、或いはこれらの同時進行で第 1空圧室 5aの内圧を第 2空圧室 5bの内圧より高くするだけで、閉空間 Sの圧力変化と関係なく両可動膜 3c, 3dが同時に下方へ変形して、剛体部 3aの先端面を保持面 laから突出させている。

[0059] 図示例では、図 1〜図 2に示した実施例 1と同様に、剛体部 3aの先端面を保持面 1 aから開口部 lb内に没入させることで、各開口部 lbの開口縁に沿って固定された粘着部材 4の粘着表面 4aと上基板 Aとを当接して粘着保持させ、また剛体部 3aの先端面を保持面 laから突出させることで、該粘着部材 4の粘着表面 4aに粘着保持された上基板 Aを強制的に押し剥がす場合を示している。

[0060] それ以外の例として、図示せぬ力図 4〜図 6に示す実施例 3と同様に、剛体部 3a の先端面を保持面 laから若干突出させることで、この剛体部 3aの先端面に固定された粘着部材 4の粘着表面 4aと上基板 Aとを当接して粘着保持させ、また剛体部 3aの先端面を保持面 laから開口部 lb内に没入させることで、該粘着部材 4の粘着表面 4 aを上基板 Aから強制的に引き剥がすようにすることも可能である。

[0061] また図示せぬが、前記図 3に示す実施例 2で説明した上記可動膜 3の往復動方向へ貫通する通気路 6aと給気源 6bとからなる真空吸着手段 6を設け、上基板 Aのセット時に、この真空吸着手段 6から真空吸引して上基板 Aが吸着保持し、更に必要に応じて粘着部材 4からの剥離時には、該真空吸着手段 6から上基板 Aの表面 A1へ向け例えば窒素ガスなどの気体を噴き出すようにすることも可能である。

[0062] 従って、図 7 (a)〜（c)に示す実施例 4は、上述した実施例 1〜実施例 3と同様な作用効果が得られ、更に加えて第 1空圧室 5aと第 2空圧室 5bの圧力差のみで往復動するので、二次側空間（閉空間) Sの圧力変化と関係なく上基板 Aを粘着保持及び剥離開放できるという利点がある。

[0063] 更に、図示例では、上保持板 1に開穿された開口部 lbに対して円筒体 Idを装着し、この円筒体 Idに可動膜 3c, 3d、シリンダー部 7、剛体部 3a、粘着部材 4及び隔壁 8 などの構成部品全てを一体的に配備してユニットィ匕しており、上記開口部 lbに対して円筒体 Idを例えば磁気やクランプ機構などの着脱手段（図示せず)から取り外し自在に取り付ければ、粘着部材 4の粘着力が低下した際に、上保持板 1の保持面 la 力ユニット全体を着脱することにより、容易に交換できて正確な位置にセットできる禾 IJ点ちある。

実施例 5

[0064] この実施例 5は、図 8及び図 9に示す如ぐ前記可動膜 3の中心部分に剛体部 3aと一体化されたシリンダー部 7を挿着し、前記開口部 lb内には該シリンダー部 7の軸方向略中間位置と対向する隔壁 8を設けて、この隔壁 8に対しシリンダー部 7を Z方向へ往復動自在でしかも気密状に挿通して軸受けすることにより、可動膜 3の変形に伴つて剛体部 3aを直線状に往復動させる構成が、上述した実施例 1〜実施例 4とは異なり、それ以外の構成は実施例 1〜実施例 4と同じものである。

[0065] 図 8に示す例では、平行に配置された可動膜 3と隔壁 8との間に一次側空間 5を区画形成し、この一次側空間 5に連通する通路 7aをシリンダー部 7の内部に設け、このシリンダー部 7と前記開口部 lbとの間には、互いに係合するストッパー 7cを設けて、該シリンダー部 7及びそれと一体ィ匕された剛体部 3aの往復動ストロークを規制している。

[0066] 図 9に示す例では、開口部 lb内に 2枚の可動膜 3c, 3dを上下方向へ離して設け、これら可動膜 3c, 3dの間に隔壁 8を略平行に配置して、可動膜 3c, 3dのどちらか一方と隔壁 8との間に一次側空間 5を区画形成し、この一次側空間 5に連通する通路 7 aをシリンダー部 7の内部に設け、このシリンダー部 7と前記開口部 lbとの間には、互いに係合するストッパー 7cを設けて、該シリンダー部 7及びそれと一体ィ匕された剛体部 3aの往復動ストロークを規制して、る。

[0067] 図示例では、図 1〜図 2に示した実施例 1と同様に、剛体部 3aの先端面を保持面 1 aから開口部 lb内に没入させることで、各開口部 lbの開口縁に沿って固定された粘着部材 4の粘着表面 4aと上基板 Aとを当接して粘着保持させ、また剛体部 3aの先端面を保持面 laから突出させることで、該粘着部材 4の粘着表面 4aに粘着保持された上基板 Aを強制的に押し剥がす場合を示している。

[0068] それ以外の例として、図示せぬ力図 4〜図 6に示す実施例 3と同様に、剛体部 3a の先端面を保持面 laから若干突出させることで、この剛体部 3aの先端面に固定された粘着部材 4の粘着表面 4aと上基板 Aとを当接して粘着保持させ、また剛体部 3aの先端面を保持面 laから開口部 lb内に没入させることで、該粘着部材 4の粘着表面 4 aを上基板 Aから強制的に引き剥がすようにすることも可能である。

[0069] また図示せぬが、前記図 3に示す実施例 2で説明した上記可動膜 3の往復動方向へ貫通する通気路 6aと給気源 6bとからなる真空吸着手段 6を設け、上基板 Aのセット時に、この真空吸着手段 6から真空吸引して上基板 Aが吸着保持し、更に必要に応じて粘着部材 4からの剥離時には、該真空吸着手段 6から上基板 Aの表面 A1へ向け例えば窒素ガスなどの気体を噴き出すようにすることも可能である。

[0070] 従って、図 8及び図 9に示す実施例 5は、上述した実施例 1〜実施例 4と同様な作用効果が得られ、更に加えて可動膜 3の弾性変形に伴いシリンダー部 7を介して剛体部 3aが直線方向へ往復動するため、剛体部 3aの往復動が安定して上基板 Aとの粘着性能及び剥離性能の向上が図れるという利点がある。

実施例 6

[0071] この実施例 6は、図 10 (a)〜（c)に示す如ぐ前記可動膜 3がダイヤフラムではなくベローズのような Z方向へ長く伸縮変形可能な弾性体力なると共に、この可動膜 3 に設けられた剛体部 3aと連係する付勢部材 9を設けて、この付勢部材 9により該可動膜 3をその往復動のどちらか一方へ向けて常時付勢した構成が、上述した実施例 1 〜実施例 5とは異なり、それ以外の構成は実施例 1〜実施例 5と同じものである。

[0072] 図示例では、上述した図 8に示す実施例 5に構造が最も類似しており、可動膜 3の中心部分に剛体部 3aと一体ィ匕されたシリンダー部 7を、上保持板 1の保持面 laに開設した開口部 lb内に設けられる隔壁 8に対し上下方向へ往復動自在でし力も気密状に挿通して軸受けすると共に、これらシリンダー部 7と開口部 lbとの間に、互いに係合するストッパー 7cを設けることで、可動膜 3の変形により剛体部 3aを所定のスト口一クに亘つて直線状に往復動させる構造になっている。

[0073] 上記べローズのような Z方向へ長く伸縮変形可能な弾性体力なる可動膜 3は、円筒状に形成され、その両開口端を上記シリンダー部 7と上保持板 1の開口部 lbに夫々脱落不能に固定することにより、該シリンダー部 7の外周を囲むように取り付けられ、このシリンダー部 7を囲む筒状部分には、上下方向へ伸縮可能な蛇腹部 3eを形成している。

[0074] 前記開口部 lb内には、該シリンダー部 7の軸方向略中間位置と対向する隔壁 8を設けて、この隔壁 8に対しシリンダー部 7を Z方向へ往復動自在でし力も気密状に挿通して軸受けし、この隔壁 8とべローズ 3の蛇腹部 3eとの間には、密閉室 3fを区画形成し、この密閉室 3fと、該隔壁 8を挟んでその一次側（背後）に区画形成される一次側空間（空圧室） 5とを連通する通路 7aをシリンダー部 7の内部に設けている。

[0075] この一次側空間（空圧室） 5から通路 7aを介して密閉室 3fへ空気などを供給して、これら一次側空間 (空圧室) 5及び密閉室 3fと二次側空間（閉空間） Sと間に圧力差を生じさせることにより、ベローズ 3の蛇腹部 3eが伸縮してシリンダー部 7及び剛体部 3aを Z方向へ往復動させて!/、る。

[0076] 上記シリンダー部 7と前記開口部 lbとの間には、互いに係合するストッパー 7cを設けて、該シリンダー部 7及びそれと一体ィ匕された剛体部 3aの往復動ストロークを規制している。

[0077] 上記付勢部材 9は、例えば圧縮コイルパネなどであり、上記シリンダー部 7に沿って上下方向へ伸縮自在に配設され、上記一次側空間 (空圧室) 5及び密閉室 3fと二次側空間（閉空間） Sの圧力差に連動して伸縮変形させることにより、上記シリンダー部 7及びべローズ 3を介して剛体部 3aの先端面が保持板 1の開口部 lbから出没するように設定している。

[0078] 更に図示例の場合には、上記可動膜 3を有底筒状に形成して、その底面部にシリンダ一部 7を挿着すると共に、前記隔壁 8と、シリンダー部 7の上端に突設されたパネ受け部 7dとの間に圧縮コイルパネ 9を介装し、図 10 (a)に示す如ぐ一次側空間（空圧室） 5及び密閉室 3fの内圧を二次側空間（閉空間） Sよりも低くするか又は略等しくして、該圧縮コイルパネ 9を伸長変形させることにより、シリンダー部 7及び剛体部 3a が上方へ移動して、剛体部 3aの先端面を保持面 laから開口部 lb内に没入させ、この没入状態で待機させて、る。

[0079] そして、図 10 (b)に示す如ぐ一次側空間（空圧室） 5及び密閉室 3fの内圧を二次側空間（閉空間） Sよりも高くして、圧縮コイルパネ 9を圧縮変形させることにより、シリンダ一部 7及び剛体部 3aが下方へ移動して、剛体部 3aの先端面を保持面 laから突出させている。

[0080] 即ち、上基板 Aのセット時は、図 10 (a)に示す如ぐ圧縮コイルパネ 9の付勢力により剛体部 3aの先端面を保持面 laから開口部 lb内に没入したまま待機させることで、各開口部 lbの開口縁に固定された粘着部材 4の粘着表面 4aと上基板 Aとを当接して粘着保持させ、この上基板 Aの粘着保持状態を圧縮コイルパネ 9の付勢力で維持している。

[0081] 上下基板 A, B同士の重ね合わせ完了直後は、図 10 (b)に示す如ぐ必要に応じて上保持板 1と下保持板 2を相対的に若干離しながら剛体部 3aの先端面を保持面 1 aから若干（100 μ m程度)突出させることで、該粘着部材 4の粘着表面 4aに粘着保持された上基板 Aを強制的に押し剥がして、る。

[0082] その後は、図 10 (c)に示す如ぐ上保持板 1と下保持板 2が完全に離れると共に、二次側空間（閉空間） S内の雰囲気が大気圧に戻ると、圧縮コイルパネ 9の復元力によってべローズ 3及び剛体部 3aが上方向へ強制的に移動し、剛体部 3aの先端面を開口部 lb内に没入させて初期状態に戻している。

[0083] また、前記図 3に示す実施例 2で説明した上記可動膜 3の往復動方向へ貫通する通気路 6aと給気源 6bとからなる真空吸着手段 6を設け、上基板 Aのセット時に、この真空吸着手段 6から真空吸引して上基板 Aが吸着保持し、更に必要に応じて粘着部材 4からの剥離時には、該真空吸着手段 6から上基板 Aの表面 A1へ向け例えば窒素ガスなどの気体を噴き出すようにすることが好ま、。

[0084] なお、図示例では、上記通気路 6aを、上保持板 1又はその開口部 lbに挿着される円筒体 Idに対し上下方向へ貫通させて、該開口部 lbの開口縁に固定される粘着部材 4に向け開穿することにより、可動膜 3の往復動及びそれに伴う剛体部 3aの開口部 lb内への没入待機と関係なぐ上保持板 1の粘着部材 4で粘着保持できるようにしている。

[0085] 従って、図 10 (a)〜（c)に示す実施例 6は、上述した実施例 1〜実施例 5と同様な作用効果が得られ、更に加えて可動膜 3をべローズのような Z方向へ長く伸縮変形可能な弾性体で構成すれば、ダイヤフラム力もなるものに比べ、可動膜 3の径寸法に関係なく長いストロークの往復運動が可能となって、可動膜 3自体を大型化しなくとも粘着 ·剥離を確実に行うためのストロークを確保できるという利点がある。

特に、図示例の場合には、剛体部 3aの先端面を開口部 lb内に没入して粘着部材 4を上基板 A力強制的に引き剥がすためのストロークを、可動膜 3の径寸法が小型であっても確保できる。

[0086] 更に、一次側空間 5と二次側空間 Sの圧力差で付勢部材 9の付勢力に抗して可動膜 3であるべローズ及び剛体部 3aを下方へ押動すれば、上下基板 A, B同士の重ね合わせ後は、二次側空間（閉空間） S内の雰囲気が大気圧に戻って一次側空間 5との圧力差がなくなるため、付勢部材 9の復元力によりべローズ 3及び剛体部 3aを上方向へ強制的に戻すことができ、それにより空圧機構の圧力制御を容易にすることができるという利点がある。

[0087] 特に、基板貼り合わせ機では、閉空間 S内の雰囲気を所定の真空度 (0.5Pa程度）まで確実に到達させるため、先ず例えばスクロール真空ポンプなどのような低真空ポンプ（図示せず)の単独作動により、大気圧力も約 lOOPa未満までに真空度を高めてから、次に約 50Pa程度からは例えばターボ分子ポンプなどのような高真空ポンプ（図示せず）を連動させて 0.5Paまで真空度を高めて、る。

[0088] このような場合でも実施例 6は、一次側空間 5と二次側空間 Sの圧力差に関係なく付勢部材 9の付勢力により上基板 Aの粘着保持状態が維持されるため、上記高真空ポンプを配管上で遮断してから、上基板 Aの剥離動作に切り換えることができる。それにより、この高真空雰囲気で、基板 Aの剥離動作に切り換える際に、例えば可動膜 3に孔が開くなど空気漏れが発生して真空度が一気に低下しても高真空ポンプが破損することはな、と、う利点もある。

実施例 7

[0089] この実施例 7は、図 11 (a)〜（c)に示す如ぐ前記付勢部材 9を伸縮変形させながら可動膜 3の一次側空間 (空圧室) 5と二次側空間（閉空間） Sとの圧力差により、ベローズのような弾性体力なる可動膜 3を Z方向へ伸縮変形して、剛体部 3aの先端面を保持面 laから若干突出させることにより、この剛体部 3aの先端面に固定された粘着部材 4の粘着表面 4aと上基板 Aとを当接して粘着保持させ、また剛体部 3aの先端面を保持面 laから開口部 lb内に没入させることで、該粘着部材 4の粘着表面 4aを上基板 A力も強制的に引き剥がすようにした構成が、前記図 10に示した実施例 6とは異なり、それ以外の構成は実施例 6と同じものである。

[0090] 図示例では、上保持板 1の開口部 lb内に設けられる隔壁 8に対し、剛体部 3aと一体化されたシリンダー部 7を、上下方向へ往復動自在に挿通すると共に、このシリンダ一部 7の上端に突設されたパネ受け部 7dを、上記開口部 lbの内周面に対し上下方向へ往復動自在でしかも気密状に挿通して軸受けし、これら隔壁 8とパネ受け部 7 dとに亘り、上記可動膜 3として円筒状べローズの両開口端を夫々脱落不能に固定している。

[0091] このべローズ 3の蛇腹部 3eと開口部 lbの内周面との間には、密閉室 3fを区画形成し、この密閉室 3fと、上記パネ受け部 7dを挟んでその一次側（背後）に区画形成される一次側空間 (空圧室) 5とを通路 leで連通し、該バネ受け部 7dと、上保持板 1の開口部 lbの背面側に形成されたパネ受け部 Ifとの間には、上記付勢部材 9として圧縮コイルパネを介装して、る。

[0092] 更に、図 11 (a)に示す如ぐ一次側空間（空圧室） 5及び密閉室 3fの内圧を二次側空間（閉空間） Sよりも高くして、該圧縮コイルパネ 9を伸長変形させることにより、シリンダ一部 7及び剛体部 3aが下方へ移動して、剛体部 3aの先端面を保持面 laと略面一状か又は若干（100 μ m程度）凸状に突出させて、る。

[0093] そして、図 11 (b)に示す如ぐ一次側空間（空圧室） 5及び密閉室 3fの内圧を二次側空間（閉空間） Sよりも高くして、圧縮コイルパネ 9を圧縮変形させることにより、シリンダ一部 7及び剛体部 3aが上方へ移動して、剛体部 3aの先端面を保持面 laから開口部 lb内に若干 (-500 μ m程度）凹状に没入させて、る。

[0094] 即ち、上基板 Aのセット時は、図 11 (a)に示す如ぐ圧縮コイルパネ 9の付勢力により、上述した図 4〜図 6に示す実施例 3と同様に、剛体部 3aの先端面を保持面 laと略面一状か又は若干（100 m程度）凸状に突出したまま待機させることで、この剛体部 3aの先端面に固定された粘着部材 4の粘着表面 4aと上基板 Aとを当接して粘着保持させ、この上基板 Aの粘着保持状態を圧縮コイルパネ 9の付勢力で維持してヽる。

[0095] 上下基板 A, B同士の重ね合わせ完了直後は、図 11 (b)に示す如ぐ剛体部 3aの先端面を保持面 laから開口部 lb内に若干 (-500 m程度)没入させることで、該粘着部材 4の粘着表面 4aを上基板 Aカゝら強制的に引き離して弓 Iき剥して!/ヽる。

[0096] その後は、図 11 (c)に示す如ぐ上保持板 1と下保持板 2が相対的に離れると共に、二次側空間（閉空間） S内の雰囲気が大気圧に戻ると、圧縮コイルパネ 9の復元力によって剛体部 3aの先端面を保持面 laと略面一状か又は若干凸状に突出させて初期状態に戻している。

[0097] また、前記図 3に示す実施例 2で説明した上記可動膜 3の往復動方向へ剛体部 3a とシリンダー部 7を貫通する通気路 6aと給気源 6bとからなる真空吸着手段 6を設け、上基板 Aのセット時に、この真空吸着手段 6から真空吸引して上基板 Aが吸着保持し、更に必要に応じて粘着部材 4力の剥離時には、該真空吸着手段 6から上基板 A の表面 A1へ向け例えば窒素ガスなどの気体を噴き出すようにすることが好ましい。

[0098] 従って、図 11 (a)〜（c)に示す実施例 7は、上述した実施例 6と同様な作用効果が得られ、更に加えて上基板 Aの剥離時には、剛体部 3aの先端面を保持面 laから突出させて粘着部材 4から上基板 Aを強制的に押し剥がす実施例 6に比べ、重ね合わせが完了した上基板 Aを部分的に再加圧する必要がないので、上下基板 A, B同士が位置ズレしたり、平行度が狂うなどの事故が発生する恐れがな!、と!/、う利点がある

[0099] 尚、本発明の粘着チャック装置が、液晶ディスプレー（LCD)パネルなどのガラス基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機に配備される場合を示したが、これに限定されず、この基板貼り合わせ機以外の基板組立装置や、基板を搬送する基板搬送装置に配備したり、 LCDパネル用ガラス基板以外の基板を粘着保持しても良い更に、真空中で基板 A, Bを貼り合わせる基板貼り合わせ機を説明したが、これ〖こ限定されず、大気中で基板 A, Bを貼り合わせる基板貼り合わせ機でも良ぐこの場合でも、上述した真空貼り合わせ機と同じ作用効果が得られる。

[0100] また、前示実施例では、上保持板 1の保持面 laのみに開口部 lbを開設して可動膜 3を配置することにより、上基板 Aの粘着保持及び剥離開放を行ったが、これに限定されず、下保持板 2の保持面 2aにも同様に、下基板 Bの表面 B1と対向する開口部を開設して可動膜を配置することにより、下基板 Bの粘着保持及び剥離開放を行っても良い。

[0101] 更に、図 7に示す実施例 4と図 8及び図 9に示す実施例 5と図 10に示す実施例 6のみ、上保持板 1に開穿された開口部 lbに対して円筒体 Idを装着し、この円筒体 Id に可動膜 3c, 3d, 3や粘着部材 4などの構成部品全てを一体的に配備してユニット化した場合を図示しているが、これに限定されず、それ以外の実施例においても同様に、上保持板 1に開穿された開口部 lbに対して円筒体 (図示せず)を装着し、この円筒体に可動膜 3や粘着部材 4などの構成部品全てを一体的に配備してユニットィ匕する共に、上記開口部 lbに対して円筒体を例えば磁気やクランプ機構などの着脱手段（図示せず)から取り外し自在に取り付けることにより、粘着部材 4の粘着力が低下した際に、上保持板 1の保持面 laからユニット全体を着脱して交換するようにして良い。

図面の簡単な説明

[0102] [図 1]本発明の粘着チャック装置の実施例 1を示す部分的な縦断正面図であり、基板貼り合わせ機に配備された場合の作動工程を (a)〜 (c)に示して!/ヽる。

[図 2] (a)〜 (b)が可動膜の支持方法の変形例を示す部分拡大断面図であり、 (c)が可動膜の変形例を示す部分拡大断面図である。

[図 3]本発明の粘着チャック装置の実施例 2を示す部分的な縦断正面図であり、基板貼り合わせ機に配備された場合の作動工程を (a)〜 (d)に示してヽる。

[図 4]本発明の粘着チャック装置の実施例 3を示す部分的な縦断正面図であり、基板貼り合わせ機に配備された場合の作動工程を (a)〜 (c)に示して!/ヽる。

[図 5]粘着部材の変形例を示す部分拡大断面図である。

[図 6]粘着部材の変形例を示す部分拡大断面図である。

[図 7]本発明の粘着チャック装置の実施例 4を示す部分的な縦断正面図であり、基板貼り合わせ機に配備された場合の作動工程を (a)〜 (c)に示して!/ヽる。

[図 8]本発明の粘着チャック装置の実施例 5を示す部分的な拡大縦断正面図である。

[図 9]本発明の粘着チャック装置の実施例 5を示す部分的な拡大縦断正面図である。

[図 10]本発明の粘着チャック装置の実施例 6を示す部分的な縦断正面図であり、基板貼り合わせ機に配備された場合の作動工程を (a)〜 (c)に示して!/ヽる。圆 11]本発明の粘着チャック装置の実施例 7を示す部分的な縦断正面図であり、基板貼り合わせ機に配備された場合の作動工程を (a)〜 (c)に示して!/ヽる。

符号の説明

A 基板 (上基板） A1 表面

B 基板 (下基板） B1 表面

C 環状接着剤 S 二次側空間（閉

1 上保持板 (上定盤） la 保持面

lb 開口部 lc 挟持部材

Id 円筒体 le 通路

If パネ受け部 2 下保持板 (下定盤)

2a 保持面 3 可動膜

3a 剛体部 3b 係合部

3c, 3d 可動膜 3e 蛇腹部

3f 密閉室 4 粘着部材

4a 粘着表面 4b 固着裏面

5 一次側空間（空圧室） 5a 第 1空圧室

5b 第 2空圧室 6 真空吸着手段

6a 通気路 6b 給気源

7 シリンダー部 7a 第 1通路

7b 第 2通路 7c ストッパー

7d パネ受け部 8 隔壁

9 付勢部材

Claims

請求の範囲

[1] 基板を保持板に対し、粘着で着脱自在に保持する粘着チャック装置において、前記保持板の基板側に、この基板側面に開設した開口部内で該基板側面と交差する方向へ変形可能な可動膜と、基板と対向して粘着保持する粘着部材とを設け、上記可動膜の一次側空間と二次側空間の圧力差による該可動膜の往復動で粘着部材の粘着表面と基板を当接させて粘着すると共に、これら両者を強制的に引き離して剥離することを特徴とする粘着チャック装置。

[2] 前記可動膜の一部に剛体部を基板と対向して設け、この可動膜の往復動で該剛体部の先端面を保持板の開口部力出没させて基板と当接した請求項 1記載の粘着チャック装置。

[3] 前記可動膜の往復動方向へ貫通する通気路を基板と対向して開設し、この通気路力基板を吸引吸着した請求項 1または 2記載の粘着チャック装置。

[4] 前記可動膜に、剛体部と一体化されたシリンダー部を設け、基板側面に開設された開口部内に、該シリンダー部と対向する隔壁を設け、この隔壁に対しシリンダー部を往復動自在に挿通して軸受けした請求項 2または 3記載の粘着チャック装置。

[5] 前記開口部内に、相互に離れた 2枚の可動膜を設け、これら可動膜にシリンダー部を挿着して、両可動膜の間に第 1空圧室と第 2空圧室を別々に区画形成し、該第 1空圧室と第 2空圧室の圧力差で両可動膜を同時に変形して往復動させた請求項 4記載の粘着チャック装置。

[6] 前記可動膜が保持板の基板側面と交差する方向へ変形可能なベローズからなる 1、 2、 3、 4または 5記載の粘着チャック装置。

[7] 前記可動膜と連係する付勢部材を設け、この付勢部材で該可動膜をその往復動のどちらか一方へ向けて付勢した請求項請求項 1、 2、 3、 4、 5または 6記載の粘着チヤック装置。