JP2008251653A - 低負荷搬送装置 - Google Patents
低負荷搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008251653A JP2008251653A JP2007088346A JP2007088346A JP2008251653A JP 2008251653 A JP2008251653 A JP 2008251653A JP 2007088346 A JP2007088346 A JP 2007088346A JP 2007088346 A JP2007088346 A JP 2007088346A JP 2008251653 A JP2008251653 A JP 2008251653A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- sheet
- suction
- head
- low
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
【解決手段】負圧により基板1を吸着して支持する吸着ヘッド部10と、吸着ヘッド部10の内部に負圧を発生させる負圧発生手段20と、吸着ヘッド部10にて吸着した基板1を搬送する搬送手段30とを備え、吸着ヘッド部10は、基板1と対向する支持面11aに複数の吸気孔11bを有するヘッド本体部11と、ヘッド本体部11の支持面11aに取り付けられると共に複数の吸気孔11bと連通する複数の貫通孔12bを有する吸着シート部12とから構成され、吸着シート部12は、ヘッド本体部11の支持面11aに剥離可能に貼り付けられる熱可塑性エラストマーからなる粘着剤層を有することを特徴とする低負荷搬送装置。
【選択図】図1
Description
この基板吸着搬送装置としては、支持面に複数の吸気孔を有する吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドに接続されて各吸気孔の内部に負圧を発生する負圧発生手段と、前記吸着ヘッドを移動させる移動手段とを備えた構成のものが知られている(例えば、特許文献1および2参照)。
このような基板割れを抑制する方法としては、(1)真空レギュレーターを用いて負圧を制御することで、吸着ヘッドでの基板にかかるストレスを低減させる、(2)基板全体を吸着して単位面積当りにかかるストレスを低減させるための治具を吸着ヘッドに取り付ける、あるいは(3)弾性を有する多孔質パッド(連続気泡)を吸着ヘッドに貼り付けることにより、多孔質パッドが基板表面に密着して基板にかかるストレスを低減させるという方法がとられていた。
また、吸着シート部は、基板と接触する面や貫通孔に異物が付着した場合にはヘッド本体部から剥がして水で洗浄することができる。よって、吸着シート部に付着した異物が基板表面に押し付けられて傷を付けること、および異物が貫通孔に詰まって吸着ヘッド部による基板への吸着力が低下することを回避することができる。また、洗浄後の吸着シート部は、乾燥すると粘着力が回復するので再使用することができ、新しい吸着シート部と頻繁に交換するといった手間とコストを低減することができる。
本発明の低負荷搬送装置は、厚みが100〜300μm程度と薄く、縦170mm程度×横170mm程度のサイズの基板の搬送に好適に用いることができ、例えばシリコンインゴットをスライスした太陽電池用基板に最適である。
例えば、ヘッド本体部は、内部中空の金属製箱体あるいはプレート体の一面(支持面)に複数の吸気孔を均等なマトリックス状に形成し、一面とは反対側の他面あるいは周囲側面に負圧発生手段と接続されて内部の空気を排気する接続管部を形成した構成とすることができる。この吸気孔が形成された面が基板を支持する支持面となる。
また、支持面全面に占める吸気孔の占有開口率としては、基板サイズや、吸着ヘッド部の設置数にもよるが、例えば3〜20%程度とすることができる。また、支持面における吸気孔の配置パターンは特に限定されるものではなく、基板サイズや搬送方法等によって適宜設計することができ、例えば、基板全面に吸気孔が均等に分布する配置とすることができる。また、ウエハーがコンベヤやウォーキングビーム等で搬送される機構では、センターに搬送部が通っており、ウエハー上方から吸着し、180度反転(表裏反転)させる機構であるため、ウエハー全体を吸着するのではなく局所的な吸着を行うため、ウエハーに対しては均等に吸着孔が整列したものとはならない。
ここで、本発明において、熱可塑性エラストマーとは、熱可塑性ゴムあるいはエラストプラスチックとも呼ばれ、成形加工に必要な高温時では可塑化、流動し、常温時ではゴム様物性を呈するものであり、粘着性を有するポリマーを意味する。
熱可塑性エラストマーとしては、例えばポリウレタン系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系等の熱可塑性エラストマーが挙げられ、本発明では市販の熱可塑性エラストマーまたはそのシートを用いて粘着剤層を作製することができる。
また、貫通孔を有さない市販の熱可塑性エラストマーシートに複数の貫通孔を形成して粘着剤層を作製する場合は、ポンチを用いて穴あけを行う。あるいは、予め精度良く綺麗に型抜きが可能なトムソン刃を用いることができる。
このように片面のみに粘着性を有する吸着シート部(粘着剤層)は、片面のみに粘着性を有する市販の熱可塑性エラストマーシートに、上述の方法で貫通孔を形成することにより作製できる。また、両面に粘着性を有する市販の熱可塑性エラストマーシートを用いる場合は、片面の粘着性を低下させる処理を行い、かつ貫通孔を形成することにより吸着シート部を作製することができる。また、上述の型に熱可塑性エラストマーを流し込んで成形して作製した吸着シート部を用いる場合、両面に粘着性を有しているため、片面の粘着性を低下させる処理を行う。
粘着剤層の粘着性を低下させる処理としては、例えば、熱可塑性エラストマーに通常添加されるクレー、タルク等の非補強性充填剤を粘着材層の片面に付着させる、あるいは片面側の非補強性充填剤の濃度を高くするように粘着剤層を作製する、あるいは粘着性を低下させる市販の液体材料を粘着材層の片面に塗布するといった方法が挙げられる。
この場合の粘着剤層の厚みとしては、特に限定されるものではなく、例えば1〜5mm程度とすることができる。
また、負圧発生手段としては、真空ポンプと吸着ヘッド部の前記接続管部とを可撓性ホースにて接続した構成とすることができる。
(実施形態1)
図1は本発明の低負荷搬送装置の実施形態1を示す概略構成図であり、図2は実施形態1における吸着ヘッド部のヘッド本体部の支持面を示す底面図である。
この低負荷搬送装置は、負圧により基板1を吸着して支持する吸着ヘッド部10と、吸着ヘッド部10の内部に負圧を発生させる負圧発生手段20と、吸着ヘッド部10にて吸着した基板1を搬送する搬送手段30とを備える。なお、図1では、基板1としてシリコンインゴットを厚さ200μm程度にスライスしたシリコンウェハの場合を例示しており、このシリコウェハは表面に凹凸を有しているが、凹凸度合いは実際のシリコウェハよりも誇張して図示している。また、図1における吸着ヘッド部は、図2におけるA−A線で切断した場合の断面を示している。
ヘッド本体部11は、その支持面11aに、図1および図2に示すように、複数の吸気孔11bが均等なマトリックス状に形成されていると共に、支持面11aとは反対側の他面に、負圧発生手段20と接続される接続管部11cが設けられている。この場合、ヘッド本体部11は、例えば125〜170mmの正方形に形成され、吸気孔11bは直径1.0〜5.0mmで縦横に1.0〜20.0mmのピッチで形成することができる。なお、部分的に吸気孔11bの直径や単位面積あたりの数を異ならせてもよい。
搬送手段30は、3次元方向に移動可能なロボットアームである。
そのため、この吸着シート部12をヘッド本体部11から剥離し水で洗浄して異物を落とすことができ、また乾燥後は粘着性が復活するため吸着シート部12を再度ヘッド本体部11に粘着により貼り付けて使用することができる。よって、新しい吸着シート部と頻繁に交換するといった手間とコストを低減することができる。
図4は本発明の低負荷搬送装置の実施形態2を示す概略構成図である。
この実施形態2の低負荷搬送装置が実施形態1と異なる点は、吸着シート部114が、両面112a、112cに粘着性を有する熱可塑性エラストマーからなる粘着剤層112と、粘着剤層112に粘着により貼り付けられた弾性多孔質シート113とからなる点であり、その他の構成は実施形態1と同様である。なお、図1において、負圧発生手段および搬送手段は図示省略していると共に、実施形態1と同様の構成には同一の符号を付している。
以下、実施形態2における実施形態1とは異なる構成を主として説明する。
また、弾性多孔質シート113の厚みとしては0.1〜2.0mmであり、例えば日東電工社製の商品名サンマップLCを用いることができる。
2 基板載置台
10、110 吸着ヘッド部
11 ヘッド本体部
11a 支持面
11b 吸気孔
11c 接続管部
12 吸着シート部(粘着剤層)
12a、112a、112c 面
12b、112b 貫通孔
12c、113a 吸着面
20 真空発生手段
21 真空ポンプ
22 可撓性ホース
30 搬送手段
112 粘着剤層
113 弾性多孔質シート
114 吸着シート部
Claims (5)
- 負圧により基板を吸着して支持する吸着ヘッド部と、前記吸着ヘッド部の内部に負圧を発生させる負圧発生手段と、前記吸着ヘッド部にて吸着した基板を搬送する搬送手段とを備え、
前記吸着ヘッド部は、基板と対向する支持面に複数の吸気孔を有するヘッド本体部と、前記ヘッド本体部の前記支持面に取り付けられると共に前記複数の吸気孔と連通する複数の貫通孔を有する吸着シート部とから構成され、
前記吸着シート部は、前記ヘッド本体部の支持面に剥離可能に貼り付けられる熱可塑性エラストマーからなる粘着剤層を有することを特徴とする低負荷搬送装置。 - 前記吸着シート部が、前記粘着剤層における前記支持面とは反対側の面に剥離可能に貼り付けられた弾性多孔質シートをさらに備えてなる請求項1に記載の低負荷搬送装置。
- 前記弾性多孔質シートが、連続気泡を内有する熱可塑性樹脂シートからなる請求項1または2に記載の低負荷搬送装置。
- 前記弾性多孔質シートは、厚みが0.1〜2.0mmである請求項1〜3のいずれか1つに記載の低負荷搬送装置。
- 前記基板が太陽電池用基板である請求項1〜4のいずれか1つに記載の低負荷搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007088346A JP4746579B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 低負荷搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007088346A JP4746579B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 低負荷搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008251653A true JP2008251653A (ja) | 2008-10-16 |
JP4746579B2 JP4746579B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=39976294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007088346A Expired - Fee Related JP4746579B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 低負荷搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4746579B2 (ja) |
Cited By (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010056341A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Lintec Corp | 支持装置 |
JP2010099826A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-05-06 | Nitto Denko Corp | 吸着用シート |
JP2010156357A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Ckd Corp | 非接触支持装置 |
JP2011003691A (ja) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 半導体基板のパッド搬送機構 |
JP2011241028A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | シート部材の搬送装置及び搬送方法 |
KR101168411B1 (ko) | 2010-08-09 | 2012-07-25 | 엘지이노텍 주식회사 | 만능 이동용 패드 |
KR20130036144A (ko) * | 2011-10-03 | 2013-04-11 | 에스엠씨 가부시키 가이샤 | 진공흡착장치 |
WO2013057815A1 (ja) * | 2011-10-20 | 2013-04-25 | 東洋機械金属株式会社 | 取出装置 |
WO2014167840A1 (ja) * | 2013-04-12 | 2014-10-16 | 東レエンジニアリング株式会社 | Led製造装置およびled製造方法 |
CN104210846A (zh) * | 2013-05-30 | 2014-12-17 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的搬送头 |
JP2015005778A (ja) * | 2009-04-22 | 2015-01-08 | エーファウ・グループ・ゲーエムベーハー | 半導体基板を保持するための工作物保持固定具 |
US20150059167A1 (en) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd | Attachment device |
JP2015111732A (ja) * | 2015-02-25 | 2015-06-18 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の搬送装置 |
CN105000384A (zh) * | 2014-04-23 | 2015-10-28 | 株式会社爱发科 | 保持装置和真空处理装置 |
CN105035761A (zh) * | 2014-04-28 | 2015-11-11 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的搬送方法及搬送装置 |
JP2017038072A (ja) * | 2016-09-29 | 2017-02-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の搬送ヘッド |
JP6201081B1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-09-20 | 日東電工株式会社 | 吸着部材および液晶セル吸着回転装置 |
JP6201082B1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-09-20 | 日東電工株式会社 | 吸着部材、液晶セル吸着移動装置、および光学フィルム貼合せライン |
WO2017179239A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 日東電工株式会社 | 吸着部材、液晶セル吸着移動装置、および光学フィルム貼合せライン |
WO2017179240A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 日東電工株式会社 | 吸着部材および液晶セル吸着回転装置 |
JP2017533156A (ja) * | 2014-10-13 | 2017-11-09 | イョット. シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | バッテリ把持具 |
JPWO2017154085A1 (ja) * | 2016-03-08 | 2018-11-22 | 株式会社ナノテム | 搬送用パッドおよびそれを用いる搬送装置、搬送方法 |
KR20190061521A (ko) * | 2017-11-28 | 2019-06-05 | 김효성 | 무자국 진공흡착패드 |
KR20190129396A (ko) * | 2018-05-10 | 2019-11-20 | 주식회사 야스 | 다수의 웨이퍼를 일괄 반송하는 웨이퍼 반송시스템 |
KR102065246B1 (ko) * | 2018-05-04 | 2020-01-10 | 전자부품연구원 | Led픽업헤드 및 제조방법 |
JP2020043269A (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | 日東電工株式会社 | 吸着固定用シート |
JP2021186915A (ja) * | 2020-05-28 | 2021-12-13 | Jfeアーバンリサイクル株式会社 | リサイクル洗濯機搬送システム |
US11235939B2 (en) | 2017-08-10 | 2022-02-01 | Kongsberg Precision Cutting Systems Belgium Bv | Vacuum lifter |
US11420830B2 (en) | 2017-08-10 | 2022-08-23 | Kongsberg Precision Cutting Systems Belgium Bv | Vacuum lifter |
US11673754B2 (en) | 2017-08-10 | 2023-06-13 | Kongsberg Precision Cutting Systems Belgium Bv | Vacuum lifter |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109809188B (zh) * | 2019-03-27 | 2021-07-23 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 移载装置及移载方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4316175Y1 (ja) * | 1965-07-21 | 1968-07-05 | ||
JPS5615994A (en) * | 1979-07-10 | 1981-02-16 | Oriental Tokushiyu Kikai Kk | Adsorbing device |
JPS62153091U (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-28 | ||
JPS62172583U (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-02 | ||
JPH0347790U (ja) * | 1989-09-11 | 1991-05-07 | ||
JPH03264287A (ja) * | 1990-03-12 | 1991-11-25 | Omron Corp | 吸引式ピックアップ装置 |
JPH06126676A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-05-10 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸着保持具及び吸着吊上げ装置 |
JP2000124231A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Mitsui High Tec Inc | リードフレーム搬送装置 |
US6254155B1 (en) * | 1999-01-11 | 2001-07-03 | Strasbaugh, Inc. | Apparatus and method for reliably releasing wet, thin wafers |
JP2002172577A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Smc Corp | ワーク吸着機構 |
JP2003040501A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 吸着パッキン |
-
2007
- 2007-03-29 JP JP2007088346A patent/JP4746579B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4316175Y1 (ja) * | 1965-07-21 | 1968-07-05 | ||
JPS5615994A (en) * | 1979-07-10 | 1981-02-16 | Oriental Tokushiyu Kikai Kk | Adsorbing device |
JPS62153091U (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-28 | ||
JPS62172583U (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-02 | ||
JPH0347790U (ja) * | 1989-09-11 | 1991-05-07 | ||
JPH03264287A (ja) * | 1990-03-12 | 1991-11-25 | Omron Corp | 吸引式ピックアップ装置 |
JPH06126676A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-05-10 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸着保持具及び吸着吊上げ装置 |
JP2000124231A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Mitsui High Tec Inc | リードフレーム搬送装置 |
US6254155B1 (en) * | 1999-01-11 | 2001-07-03 | Strasbaugh, Inc. | Apparatus and method for reliably releasing wet, thin wafers |
JP2002172577A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Smc Corp | ワーク吸着機構 |
JP2003040501A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 吸着パッキン |
Cited By (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010056341A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Lintec Corp | 支持装置 |
JP2010099826A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-05-06 | Nitto Denko Corp | 吸着用シート |
JP2010156357A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Ckd Corp | 非接触支持装置 |
JP2015005778A (ja) * | 2009-04-22 | 2015-01-08 | エーファウ・グループ・ゲーエムベーハー | 半導体基板を保持するための工作物保持固定具 |
KR101875351B1 (ko) * | 2009-04-22 | 2018-07-05 | 에베 그룹 게엠베하 | 반도체 기판을 수용하기 위한 수용 장치 |
JP2011003691A (ja) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 半導体基板のパッド搬送機構 |
JP2011241028A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | シート部材の搬送装置及び搬送方法 |
KR101168411B1 (ko) | 2010-08-09 | 2012-07-25 | 엘지이노텍 주식회사 | 만능 이동용 패드 |
US8960749B2 (en) | 2011-10-03 | 2015-02-24 | Smc Kabushiki Kaisha | Vacuum suction apparatus |
JP2013078810A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Smc Corp | 真空吸着装置 |
KR20130036144A (ko) * | 2011-10-03 | 2013-04-11 | 에스엠씨 가부시키 가이샤 | 진공흡착장치 |
KR102083919B1 (ko) * | 2011-10-03 | 2020-03-03 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 진공흡착장치 |
JP2017007354A (ja) * | 2011-10-20 | 2017-01-12 | 東洋機械金属株式会社 | 樹脂成形品の取出装置及び取出し方法 |
WO2013057815A1 (ja) * | 2011-10-20 | 2013-04-25 | 東洋機械金属株式会社 | 取出装置 |
WO2014167840A1 (ja) * | 2013-04-12 | 2014-10-16 | 東レエンジニアリング株式会社 | Led製造装置およびled製造方法 |
CN104210846A (zh) * | 2013-05-30 | 2014-12-17 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的搬送头 |
US20150059167A1 (en) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd | Attachment device |
CN105000384B (zh) * | 2014-04-23 | 2019-01-08 | 株式会社爱发科 | 保持装置和真空处理装置 |
CN105000384A (zh) * | 2014-04-23 | 2015-10-28 | 株式会社爱发科 | 保持装置和真空处理装置 |
JP2015208938A (ja) * | 2014-04-28 | 2015-11-24 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の搬送方法及び搬送装置 |
CN105035761A (zh) * | 2014-04-28 | 2015-11-11 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的搬送方法及搬送装置 |
TWI650830B (zh) * | 2014-04-28 | 2019-02-11 | 日商三星鑽石工業股份有限公司 | 脆性材料基板的搬送方法及搬送裝置 |
CN105035761B (zh) * | 2014-04-28 | 2019-01-04 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的搬送方法及搬送装置 |
JP2017533156A (ja) * | 2014-10-13 | 2017-11-09 | イョット. シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | バッテリ把持具 |
JP2015111732A (ja) * | 2015-02-25 | 2015-06-18 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の搬送装置 |
CN108883536A (zh) * | 2016-03-08 | 2018-11-23 | 纳腾股份有限公司 | 传送垫以及使用该传送垫的传送装置和传送方法 |
JPWO2017154085A1 (ja) * | 2016-03-08 | 2018-11-22 | 株式会社ナノテム | 搬送用パッドおよびそれを用いる搬送装置、搬送方法 |
WO2017179239A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 日東電工株式会社 | 吸着部材、液晶セル吸着移動装置、および光学フィルム貼合せライン |
TWI616289B (zh) * | 2016-04-14 | 2018-03-01 | 日東電工股份有限公司 | 吸附構件及液晶單元吸附旋轉裝置 |
WO2017179240A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 日東電工株式会社 | 吸着部材および液晶セル吸着回転装置 |
JP6201082B1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-09-20 | 日東電工株式会社 | 吸着部材、液晶セル吸着移動装置、および光学フィルム貼合せライン |
JP6201081B1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-09-20 | 日東電工株式会社 | 吸着部材および液晶セル吸着回転装置 |
KR101921437B1 (ko) | 2016-04-14 | 2018-11-22 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 흡착 부재, 액정 셀 흡착 이동 장치, 및 광학 필름 첩합 라인 |
JP2017038072A (ja) * | 2016-09-29 | 2017-02-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の搬送ヘッド |
US11235939B2 (en) | 2017-08-10 | 2022-02-01 | Kongsberg Precision Cutting Systems Belgium Bv | Vacuum lifter |
US11673754B2 (en) | 2017-08-10 | 2023-06-13 | Kongsberg Precision Cutting Systems Belgium Bv | Vacuum lifter |
US11420830B2 (en) | 2017-08-10 | 2022-08-23 | Kongsberg Precision Cutting Systems Belgium Bv | Vacuum lifter |
KR20190061521A (ko) * | 2017-11-28 | 2019-06-05 | 김효성 | 무자국 진공흡착패드 |
KR102086433B1 (ko) * | 2017-11-28 | 2020-03-09 | 김효성 | 무자국 진공흡착패드 |
KR102065246B1 (ko) * | 2018-05-04 | 2020-01-10 | 전자부품연구원 | Led픽업헤드 및 제조방법 |
KR102082044B1 (ko) * | 2018-05-10 | 2020-02-26 | 주식회사 야스 | 다수의 웨이퍼를 일괄 반송하는 웨이퍼 반송시스템 |
KR20190129396A (ko) * | 2018-05-10 | 2019-11-20 | 주식회사 야스 | 다수의 웨이퍼를 일괄 반송하는 웨이퍼 반송시스템 |
JP2020043269A (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | 日東電工株式会社 | 吸着固定用シート |
US11970643B2 (en) | 2018-09-12 | 2024-04-30 | Nitto Denko Corporation | Suction fixing sheet |
JP7491662B2 (ja) | 2018-09-12 | 2024-05-28 | 日東電工株式会社 | 吸着固定用シート |
JP2021186915A (ja) * | 2020-05-28 | 2021-12-13 | Jfeアーバンリサイクル株式会社 | リサイクル洗濯機搬送システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4746579B2 (ja) | 2011-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4746579B2 (ja) | 低負荷搬送装置 | |
KR20110106814A (ko) | 점착 테이프 부착 방법 및 점착 테이프 부착 장치 | |
JP6278371B2 (ja) | フィルム貼り付け方法及び装置 | |
JP2001060618A5 (ja) | 基板吸着保持装置および該基板吸着保持装置を用いた露光装置ならびにデバイスの製造方法 | |
JP2012213746A (ja) | 洗浄装置および洗浄方法 | |
JP2006027795A (ja) | 吸着装置、ならびに板状部材の搬送方法、液晶表示装置の製造方法 | |
CN105291545A (zh) | 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法 | |
TWI389240B (zh) | The support of the workpiece | |
KR20180111520A (ko) | 수지 시트의 분단 장치 및 분단 방법 | |
CN105270909B (zh) | 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法 | |
KR101970169B1 (ko) | 인쇄용 블랭킷의 제조 방법 | |
CN105044937B (zh) | 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法 | |
KR102471642B1 (ko) | 적층체의 박리 장치 및 박리 방법, 그리고 전자 디바이스의 제조 방법 | |
CN105084085B (zh) | 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法 | |
CN210489589U (zh) | 一种自动上料晶圆贴膜装置 | |
JP5556352B2 (ja) | シート部材の搬送装置及び搬送方法 | |
JP2015053421A (ja) | 基板吸着機構 | |
JP3232540U (ja) | 板状部品製造装置用塵埃除去マット | |
JP2004314244A (ja) | ゴムシート加工装置 | |
JP2002214597A (ja) | 液晶表示素子用フィルムの貼り合せ装置 | |
CN105261578B (zh) | 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法 | |
JP6468462B2 (ja) | 積層体の剥離装置及び剥離方法並びに電子デバイスの製造方法 | |
CN207480628U (zh) | 一种搬运机器人的手部及搬运机器人 | |
CN215508254U (zh) | 一种大清洗机清洗架兼容装置 | |
CN107316834A (zh) | 基板传送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100914 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100916 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110510 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110513 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |