JP2012250385A - 基板分断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板分断装置のスクライブ部の下方に、端材を基板分断装置の外部に排出する端材排出機構17を設ける。脆性材料基板10から端材を切り出したときに、端材搬送機構17を動作させることにより、シュータ等を設けることなく端材を外部に排出することができる。
【選択図】図1
Description
10,90 脆性材料基板
10A,90A 上側基板
10B,90B 下側基板
11 上流テーブル
12 下流テーブル
13 上部スクライブ機構
14 下部スクライブ機構
15a〜15d 搬送部
16 端材把持機構
17 端材排出機構
20 ガイドバー
21,23 レール
30,40 スクライブ部
34,44 スクライブヘッド
35,45 スクライビングホイール
36,46 ホイールホルダ
58 保持装置
58A チャック部
61 ベルト
Claims (2)
- 脆性材料基板にスクライブラインを形成し、形成された該スクライブラインに沿って脆性材料基板を分断する基板分断装置において、
前記脆性材料基板を搬送する基板搬送機構と、
スクライブ部と、該スクライブ部を前記脆性材料基板の面に対して平行移動可能に支持するガイドバーとを有するスクライブ機構と、
前記スクライブ機構によって前記脆性材料基板にスクライブラインが形成される際に、前記脆性材料基板の搬送方向先頭側の端部を把持するとともに、形成されたスクライブラインに沿って前記脆性材料基板が前記端部とその余の部分とに分断された後に、把持した前記端部を不要な端材として下方に放棄する端材把持機構と、
該端材把持機構が放棄した前記端材を受け取って、前記ガイドバーの延在方向に排出する端材排出機構と、
を具備する基板分断装置。 - 前記端材排出機構は、ベルトを備えており、該ベルトの端部が前記ガイドバーの端部より外方に突出している請求項1記載の基板分断装置。
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