JP4998815B2 - ガラス基板洗浄装置及びガラス基板洗浄方法 - Google Patents
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Description
2A 搬送手段(上流側搬送手段)
2B 搬送手段(下流側搬送手段)
3 ガラス基板
3a ガラス基板の端面
4a 粗い第1の研磨加工を行なう粗砥石
4b 微細な第2の研磨加工を行なう微細砥石
5 噴射ノズル(液体噴射手段)
6 ゴムベルト(挟持部材)
7 洗浄水(洗浄用液体)
L 直線
α 噴射角度
Claims (10)
- ガラス基板製造工程で、一枚のみのガラス基板の研磨された端面を洗浄用液体により洗浄するガラス基板洗浄装置であって、
洗浄用液体を前記ガラス基板の研磨された端面の微小凹部内に存する異物を掻き出すために必要な噴射圧力であって且つガラス基板を損傷させない噴射圧力で該端面に対して噴射する液体噴射手段を備え、前記液体噴射手段は、前記ガラス基板の研磨された端面及び該端面に連なる表裏面の縁部が露出した状態で、該端面を指向して該端面に洗浄用液体を噴射するように構成されていることを特徴とするガラス基板洗浄装置。 - 前記液体噴射手段は、洗浄用液体を前記ガラス基板の研磨された端面の全域に直接当てるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板洗浄装置。
- 前記液体噴射手段から前記端面に向けて噴射された洗浄用液体は、該端面が存する辺の長手方向と直交する面内に存し且つ前記ガラス基板の表裏面と平行であって該ガラス基板の表裏方向の中心を通る直線L、を基準として、その表側と裏側とで同等の角度範囲内になるように噴射されることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板洗浄装置。
- 前記液体噴射手段は、ガラス基板の研磨された端面の外方側から、該端面が存する辺の長手方向と直交する面内に存し且つ該ガラス基板の表裏面と平行であって該ガラス基板の表裏方向の中心を通る直線L、を基準として、その表側と裏側とにおけるそれぞれの角度が0〜70°の範囲で前記端面に対して洗浄用液体を噴射するように構成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のガラス基板洗浄装置。
- 前記液体噴射手段は、前記ガラス基板の研磨された端面に対して該ガラス基板の表面側と裏面側とからそれぞれ洗浄用液体を噴射する複数本の噴射ノズルを備えていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のガラス基板洗浄装置。
- 前記液体噴射手段から噴射される洗浄用液体の噴射圧力は、9.8〜24.5MPaであることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のガラス基板洗浄装置。
- 前記液体噴射手段の噴射口から前記ガラス基板の研磨された端面までの距離は、2〜30mmであることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載のガラス基板洗浄装置。
- 請求項1〜7の何れかに記載のガラス基板洗浄装置において、前記ガラス基板を水平姿勢で水平方向に搬送する搬送手段を更に備えると共に、前記液体噴射手段を、該搬送手段によるガラス基板の搬送経路における搬送方向と直交する方向の両側にそれぞれ配設したことを特徴とするガラス基板洗浄装置。
- ガラス基板製造工程で、一枚のみのガラス基板の研磨された端面を洗浄用液体により洗浄するガラス基板洗浄方法であって、
液体噴射手段から洗浄用液体を前記ガラス基板の研磨された端面に高圧で噴射して、該端面の微小凹部内に存する異物を掻き出すに際して、前記液体噴射手段が、前記ガラス基板の研磨された端面及び該端面に連なる表裏面の縁部が露出した状態で、該端面を指向して該端面に洗浄用液体を噴射することを特徴とするガラス基板洗浄方法。 - ガラス基板製造工程で、一枚のみのガラス基板の端面に対して、粗さの異なる砥石を用いて複数回に亘る研磨加工を施し、然る後、同ガラス基板製造工程で、液体噴射手段が、そのガラス基板の研磨された端面及び該端面に連なる表裏面の縁部が露出した状態で、該端面を指向して該端面に洗浄用液体を高圧で噴射することにより該端面の微小凹部内の異物を掻き出して洗い落とすことを特徴とするガラス基板洗浄方法。
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