JP2020184581A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents

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Keisuke Uchiyama
圭介 内山
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Abstract

【課題】基板の研磨によって発生する異物を確実に除去して、基板の表面への異物の付着を防止することができる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置1は、処理ヘッドと、支持機構3と、洗浄機構4と、処理ヘッド、支持機構3、および洗浄機構4が内部に配置された研磨ハウジング5と、を備えている。洗浄機構は、ペン型洗浄具20および二流体ジェットノズル21のうちの少なくとも1つを備え、ペン型洗浄具は回転する基板Wに押し付けられ、回転しながら基板上を往復運動する。二流体ジェットノズルは炭酸水と窒素ガスの混合流体を、基板上に噴射する。【選択図】図2

Description

本発明は、ウェハなどの基板を処理する基板処理装置および基板処理方法に関するものである。
ウェハなどの基板の表面(デバイス面)には、半導体デバイスが形成されている。このような基板の表面に研磨屑などの異物(パーティクル)が付着すると、基板は汚染されてしまい、結果として、半導体デバイスの製造における歩留まりが低下してしまう。そこで、歩留まり向上の観点から、異物に対する基板の表面状態の管理は重要である。
特開2015−12200号公報 特開2017−147334号公報
基板の裏面(デバイス面とは反対側の面)を研磨した後、基板を搬送(例えば、搬送ロボットによる基板の前後動作または基板の反転動作)すると、基板の裏面に残っている異物が基板の表面に付着してしまうおそれがある。このような問題は、基板の表面の研磨によって発生した異物が基板の表面に残っている場合であっても同様に生じうる。
そこで、本発明は、基板の研磨によって発生する異物を確実に除去して、基板の表面への異物の付着を防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。本発明は、基板の研磨によって発生する異物を確実に除去して、基板の表面への異物の付着を防止することができる基板処理方法を提供することを目的とする。
一態様では、基板の第1面を処理する処理ヘッドと、前記第1面とは反対側の第2面を支持する支持機構と、前記第1面と平行に旋回可能に構成され、かつ前記第1面を洗浄する洗浄機構と、前記処理ヘッド、前記支持機構、および前記洗浄機構が内部に配置された研磨ハウジングと、を備えている、基板処理装置が提供される。
一態様では、前記洗浄機構は、ペン型洗浄具および二流体ジェットノズルのうちの少なくとも1つを備える基板洗浄装置と、前記基板洗浄装置が取り付けられた洗浄アームと、前記洗浄アームを旋回可能に支持する支持軸と、を備えている。
一態様では、前記基板洗浄装置は、前記ペン型洗浄具を備えており、前記洗浄アームは、前記基板が前記支持機構に支持されたとき、前記ペン型洗浄具が前記基板の中心に対向するまで移動する。
一態様では、前記基板洗浄装置は、前記二流体ジェットノズルを備えており、前記洗浄アームは、前記基板が前記支持機構に支持されたとき、前記二流体ジェットノズルの先端が前記基板の中心を向くまで移動する。
一態様では、前記二流体ジェットノズルは、炭酸水と窒素ガスとの混合流体を供給する。
一態様では、基板の第1面とは反対側の第2面を支持する支持機構によって、前記基板を支持する支持工程と、前記第1面に対向して配置された二流体ジェットノズルによって、前記基板の二流体洗浄を行う二流体洗浄工程と、前記基板の前記第1面を研磨する研磨工程と、前記第1面に対向して配置されたペン型洗浄具によって、前記基板のスクラブ洗浄を行うスクラブ洗浄工程とを備え、前記支持工程、前記二流体洗浄工程、前記研磨工程、および前記スクラブ洗浄工程は、研磨ハウジング内で行われる、基板処理方法が提供される。
一態様では、前記二流体洗浄工程は、前記研磨工程の開始前、または前記研磨工程の開始と同時に開始される。
一態様では、前記スクラブ洗浄工程は、前記研磨工程の終了後に開始される。
一態様では、前記二流体洗浄工程は、前記二流体ジェットノズルの先端が前記基板の中心を向くまで前記二流体ジェットノズルを移動させる工程を含む。
一態様では、前記スクラブ洗浄工程は、前記ペン型洗浄具が前記基板の中心に対向するまで前記ペン型洗浄具を移動させる工程を含む。
研磨ハウジングの内部で、処理ヘッドによる基板の処理を行い、かつ洗浄機構による基板の洗浄処理を行う。したがって、基板処理装置は、異物を基板から確実に除去することができる。結果として、基板の搬送に起因して、異物が基板の表面に付着することが防止される。
基板処理装置の一実施形態を示す図である。 基板処理装置の一実施形態を示す図である。 基板の第1面に押し付けられたペン型洗浄具を示す図である。 処理ヘッドおよび基板洗浄装置の処理位置と、処理ヘッドおよび基板洗浄装置の退避位置とを示す図である。 基板の処理工程の一実施形態を示す図である。 処理位置(二流体洗浄位置)に配置された基板洗浄装置を示す図である。 処理位置(スクラブ洗浄位置)に配置された基板洗浄装置を示す図である。 基板の処理工程の他の実施形態を示す図である。 基板処理装置の他の実施形態を示す図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図1および図2は、基板処理装置1の一実施形態を示す図である。基板処理装置1は、ウェハなどの基板Wの第1面W1の処理を行う処理ヘッド2と、第1面W1とは反対側の基板Wの第2面W2を支持する支持機構3と、第1面W1と平行に旋回可能に構成され、かつ第1面W1を洗浄する洗浄機構4と、処理ヘッド2、支持機構3、および洗浄機構4が内部に配置された研磨ハウジング5とを備えている。図面を見やすくするために、図1では、洗浄機構4の図示は省略されており、図2では、処理ヘッド2の図示は省略されている。
本実施形態では、第1面W1は、デバイスが形成されていない基板Wの裏面であり、第2面W2は、デバイスが形成されている基板Wの表面である。
処理ヘッド2は、基板Wの第1面W1を処理する処理テープ(より具体的には、砥粒を含む研磨テープ)10と、処理テープ10を保持するテープホルダ11と、テープホルダ11が連結されたヘッドシャフト12とを備えている。
ヘッドシャフト12は、処理ヘッド2をその軸心を中心として回転させる回転機構(図示しない)に連結されている。回転機構の一例として、ヘッドシャフト12に取り付けられたプーリと、モータと、プーリとモータとの間に掛け渡されたベルトとの組み合わせが挙げられる。
処理テープ10で基板Wを処理するとき、回転機構により処理ヘッド2がその軸心を中心として回転し、処理テープ10が処理ヘッド2の中心軸周りに回転する。このようにして、処理テープ10が基板Wの上面に摺接される。
図1に示すように、処理ヘッド2(より具体的には、互いに隣接する処理テープ10の間の最大の距離)の直径は、基板Wの半径よりも大きい。したがって、処理テープ10は、基板Wの中心CL上に配置されている。このような配置により、処理ヘッド2は、処理テープ10によって、基板Wの中心CLを含み、かつ基板Wの中心CLと基板Wの周縁部との間の領域を処理(本実施形態では、研磨)する。
支持機構3は、基板Wを水平に支持するように構成されている。より具体的には、支持機構3は、基板Wの周縁部を把持する複数のチャック15と、基板Wの第2面W2を高圧の流体(例えば、純水または空気)を介して非接触で支持する静圧支持装置16とを備えている。処理ヘッド2から基板Wに加えられる荷重は、静圧支持装置16によって支持される。基板Wと静圧支持装置16との間の隙間は流体で満たされ、基板Wは流体により支持される。
処理ヘッド2は、チャック15に保持されている基板Wの上側に配置されている。静圧支持装置16は、チャック15に保持されている基板Wの下側に配置されている。より具体的には、静圧支持装置16は、基板Wを介して処理ヘッド2の下方に配置されている。
複数のチャック15は、基板Wを回転させる環状の中空モータ(図示しない)に連結されている。このようにして、基板Wは、チャック15によって水平に保持され、中空モータによって基板Wの中心CL周りに回転される。
図2に示すように、洗浄機構4は、基板洗浄装置25と、基板洗浄装置25が取り付けられた洗浄アーム26と、洗浄アーム26を支持し、かつ洗浄アーム26を基板Wの第1面W1と平行に旋回させる支持軸27とを備えている。本実施形態では、基板洗浄装置25は、ペン型洗浄具20および二流体ジェットノズル21を備えている。一実施形態では、基板洗浄装置25は、ペン型洗浄具20および二流体ジェットノズル21のうちの少なくとも1つを備えてもよい。
本実施形態では、単一の二流体ジェットノズル21が設けられているが、二流体ジェットノズル21の数は本実施形態には限定されない。複数の二流体ジェットノズル21が設けられてもよい。
洗浄機構4は、チャック15に保持されている基板Wの上側に配置されている。より具体的には、ペン型洗浄具20および二流体ジェットノズル21は、基板Wの第1面W1に対向するように、第1面W1の上方に配置されている。洗浄アーム26は、基板Wの第1面W1と平行(すなわち、水平)に延びており、ペン型洗浄具20および二流体ジェットノズル21は、洗浄アーム26の下面に取り付けられている。
ペン型洗浄具20の一例として、ペンスポンジを挙げることができる。ペン型洗浄具20は、アクチュエータ22に連結されている。アクチュエータ22は、洗浄アーム26の先端部26aに接続されている。したがって、ペン型洗浄具20は、アクチュエータ22を介して洗浄アーム26の先端部26aに連結されている。
アクチュエータ22は、ペン型洗浄具20をその軸心周りに回転させ、かつペン型洗浄具20をその軸線方向に移動させるように構成されている。アクチュエータ22の一例として、エアシリンダおよびモータとの組み合わせを挙げることができる。
図3は、基板Wの第1面W1に押し付けられたペン型洗浄具20を示す図である。図3に示すように、アクチュエータ22は、ペン型洗浄具20をその軸心周りに回転させながら、ペン型洗浄具20をチャック15に保持されている基板Wの第1面W1に押し付けることができる。ペン型洗浄具20の軸線は、チャック15に保持されているときの基板Wの第1面W1に対して垂直である。
図2に戻り、支持軸27は、洗浄アーム26の後端部26bに接続されている。洗浄アーム26の後端部26bは、チャック15に保持された基板Wの外側に配置されている。支持軸27は、洗浄アーム26の後端部26bから下方に向かって延びており、旋回モータ28に連結されている。旋回モータ28は、支持軸27を中心として洗浄アーム26を基板Wの第1面W1と平行に旋回させる。
洗浄アーム26は、基板Wがチャック15に保持されているとき、ペン型洗浄具20が基板Wの中心CLに対向するまで移動可能である。ペン型洗浄具20は、旋回モータ28の駆動によって、基板Wの中心CLを通る円弧状の軌道を描いて移動する。
二流体ジェットノズル21は、洗浄アーム26の先端部26aと後端部26bとの間のアーム部26cに接続されている。したがって、二流体ジェットノズル21は、ペン型洗浄具20よりも支持軸27に近接している。ペン型洗浄具20および二流体ジェットノズル21は、互いに隣接しており、洗浄アーム26の延びる方向と平行に直列的に配置されている。
二流体ジェットノズル21は、洗浄アーム26のアーム部26cから下方に延びており、途中で折れ曲がった形状を有している。洗浄アーム26は、基板Wがチャック15に保持されているとき、二流体ジェットノズル21の先端21aが基板Wの中心CLを向くまで移動可能である。
二流体ジェットノズル21は、二流体供給ライン(図示しない)に接続されており、基板Wの第1面W1上に液体と気体との混合流体の噴流を供給する。混合流体の一例は、炭酸水(CO水)と窒素ガス(Nガス)との組み合わせである。基板Wの研磨によって発生した異物は、静電気により帯電した基板Wの第1面W1に付着してしまうおそれがある。二流体ジェットノズル21は、炭酸水の基板Wへの供給により、基板Wの帯電を防止、すなわち、基板Wを除電することができる。
二流体ジェットノズル21は、基板Wの上方を旋回しつつ、炭酸水と窒素ガスとを高速で噴出することにより、二流体ジェット流を生成し、二流体ジェット流を基板Wの第1面W1上に噴射する。結果として、二流体ジェット流は、基板Wの第1面W1との衝突時の圧力で基板Wの第1面W1上の異物を除去する。
図4は、処理ヘッド2および基板洗浄装置25の処理位置PP1,PP2と、処理ヘッド2および基板洗浄装置25の退避位置RP1,RP2とを示す図である。図4に示すように、処理ヘッド2は、基板W上の処理位置PP1と基板Wの外側の退避位置RP1との間を移動可能である。洗浄機構4(より具体的には、基板洗浄装置25)は、基板W上の処理位置PP2と基板Wの外側の退避位置RP2との間を移動可能である。
処理位置PP1は、処理ヘッド2が基板Wの中心CLと基板Wの周縁部との間の領域(基板Wの中心CLを含む)を研磨可能な位置である。処理位置PP2は、基板洗浄装置25が基板Wの第1面W1を洗浄可能な位置である。言い換えれば、処理位置PP2は、基板洗浄装置25による洗浄工程(後述する二流体洗浄工程およびスクラブ洗浄工程)を実行可能な位置である。
図4に示すように、チャック15によって保持された基板Wの外側には、基板Wの第1面W1(より具体的には、基板Wの中心CL)に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル40が配置されている。この洗浄液供給ノズル40は、洗浄液供給源(図示しない)に接続されており、洗浄液は、洗浄液供給ノズル40を通じて基板W上に供給される。
図5は、基板Wの処理工程を示す図である。基板Wの処理工程は、研磨ハウジング5の内部で実行される。基板Wは、第1面W1が上向きの状態で、研磨ハウジング5によって囲まれた研磨室内に搬送され、チャック15に把持される。基板Wは、その周縁部がチャック15によって保持された状態で、中空モータによって回転される。
静圧支持装置16は、基板Wの第2面W2側に配置されており、第2面W2を支持する。このようにして、支持機構3(チャック15および静圧支持装置16)は、基板Wを支持する(支持工程)。処理ヘッド2は、退避位置RP1から処理位置PP1(図4参照)に移動し、基板洗浄装置25は、退避位置RP2から処理位置(二流体洗浄位置)PP2に移動する(図5のステップS101参照)。
図6は、処理位置(二流体洗浄位置)PP2に配置された基板洗浄装置25を示す図である。図6に示すように、処理ヘッド2が処理位置PP1に移動した後、基板洗浄装置25は、退避位置RP2から二流体洗浄を行うための処理位置(二流体洗浄位置)PP2に移動する。図6では、処理位置PP2は、処理位置PP1に配置された処理ヘッド2に隣接する位置であるため、基板洗浄装置25が処理位置PP2に移動しても、基板洗浄装置25は、処理ヘッド2には衝突しない。
図5のステップS102に示すように、二流体ジェットノズル21は、基板Wの第1面W1上の二流体洗浄領域FRにおいて、二流体洗浄を開始する(二流体洗浄工程)。二流体洗浄領域FRは、二流体ジェットノズル21の先端21aが基板Wの中心CLを向く位置と二流体ジェットノズル21の先端21aが基板Wの周縁部を向く位置との間の領域である。
図6に示すように、二流体洗浄工程の実行中、基板Wがその中心CLの周りに回転された状態で、基板洗浄装置25は二流体洗浄領域FRを往復移動(揺動)しつつ、二流体ジェットノズル21は混合流体を噴射する。図5のステップS103に示すように、処理ヘッド2は基板Wの研磨を開始する(研磨工程)。二流体洗浄工程は、研磨工程の開始前、または研磨工程の開始と同時に開始される。
研磨工程の実行中、基板Wの第1面W1上には、洗浄液供給ノズル40から処理液が供給される。処理液の一例として、純水または炭酸水を挙げることができる。上述したように、二流体ジェットノズル21は、基板Wの帯電を防止するための炭酸水を供給する。したがって、洗浄液供給ノズル40は、処理液としての炭酸水を供給することにより、炭酸水の濃度は希釈されずに、炭酸水は、その効果を十分に発揮することができる。
処理ヘッド2の処理テープ10は、洗浄液の存在下で基板Wの第1面W1に摺接される。一実施形態では、二流体ジェットノズル21から噴射される液体の流量によっては、洗浄液供給ノズル40は、基板Wの研磨処理の実行中に、洗浄液を供給しなくてもよい。
一実施形態では、二流体洗浄工程は、研磨工程が終了する前に終了してもよく、他の実施形態では、二流体洗浄工程は、研磨工程の終了と同時に終了してもよい。さらに他の実施形態では、二流体洗浄工程は、研磨工程が終了した後に終了してもよい。二流体洗浄工程と研磨工程との関係は、基板Wの処理目的に応じて決定される。
基板Wの研磨が終了すると(図5のステップS104参照)、処理ヘッド2は、基板Wの外側の退避位置RP1(図4参照)まで移動する(図5のステップS105参照)。その後、基板洗浄装置25は、スクラブ洗浄を行うための処理位置(スクラブ洗浄位置)PP2に移動する(図5のステップS106参照)。
図7は、処理位置(スクラブ洗浄位置)PP2に配置された基板洗浄装置25を示す図である。図7に示すように、処理ヘッド2が退避位置RP1に移動した後、基板洗浄装置25は、二流体洗浄位置からスクラブ洗浄を行うための処理位置(スクラブ洗浄位置)PP2に移動する。基板洗浄装置25のスクラブ洗浄位置への移動時において、処理ヘッド2は退避位置RP1に配置されているため、基板洗浄装置25が処理位置(スクラブ洗浄位置)PP2に移動しても、基板洗浄装置25は処理ヘッド2には衝突しない。
図5のステップS107に示すように、研磨工程が終了すると、ペン型洗浄具20は、基板Wの第1面W1上のスクラブ洗浄領域SRにおいて、基板Wのスクラブ洗浄を開始する(スクラブ洗浄工程)。スクラブ洗浄領域SRは、ペン型洗浄具20が基板Wの中心CL上を通って基板Wの第1面W1の全体を円弧状に移動可能な領域である。
スクラブ洗浄工程の実行中、基板Wは、その中心CLの周りに回転される。この状態で、アクチュエータ22は、ペン型洗浄具20を基板Wの第1面W1に押し付け、かつペン型洗浄具20を回転させる。ペン型洗浄具20は、旋回モータ28によってスクラブ洗浄領域SRを往復移動(揺動)する。スクラブ洗浄工程の実行中、洗浄液供給ノズル40は洗浄液を基板Wの中心CLに向かって供給する。
スクラブ洗浄工程が終了した後、基板Wは、研磨室から外部に搬送される(図5のステップS108参照)。
本実施形態によれば、基板処理装置1は、基板Wの研磨処理を行う処理ヘッド2と、基板Wの洗浄処理を行う洗浄機構4とを備えている。基板処理装置1は、研磨ハウジング5によって囲まれた研磨室の内部で、基板Wを研磨処理し、かつ基板Wの洗浄処理を行うことができる。したがって、基板処理装置1は、異物を基板Wから完全に除去する。結果として、基板Wの搬送に起因して、異物が基板Wの第2面W2に付着することが防止される。
基板処理装置1は、半導体製造装置の一部を構成している。半導体製造装置は、複数の基板が収容された基板カセットが載置されるロードポートと、基板を研磨する研磨ユニットと、研磨された基板を洗浄する洗浄ユニットと、洗浄された基板を乾燥する乾燥ユニットとを備えている。本実施形態では、基板処理装置1は研磨ユニットに設けられているため、基板Wの研磨によって発生する異物は、研磨ユニットにおいて、基板Wから完全に除去される。
一般的には、基板Wは、研磨ユニットから洗浄ユニットに搬送され、基板Wに付着した異物はすべて洗浄ユニットで除去される。本実施形態では、異物は研磨ユニットの外部には持ち出されない。したがって、洗浄ユニットを省略することができる。結果として、半導体製造装置の面積を小さくすることができ、半導体製造装置のコストを低減することができる。
さらに、本実施形態によれば、基板処理装置1は、研磨室内で基板Wの研磨処理および洗浄処理を行うため、スループットを向上することができ、タクトタイムを短縮することができる。
図8は、基板の処理工程の他の実施形態を示す図である。図8に示す実施形態では、まず、研磨工程が開始される(図8のステップS201参照)。研磨工程の終了(図8のステップS202参照)後、処理ヘッド2は、基板Wの外側の退避位置RP1まで移動し(図8のステップS203参照)、基板洗浄装置25は、退避位置RP2から処理位置(二流体洗浄位置)PP2に移動する(図8のステップS204参照)。一実施形態では、図8に示すステップS203およびステップS204は同時に実行されてもよい。
図8のステップS204の後、二流体洗浄工程が実行され(図8のステップS205参照)、基板洗浄装置25は、スクラブ洗浄位置PP2に移動し(図8のステップS206参照)、スクラブ洗浄工程が実行される(図8のステップS207参照)。その後、基板Wは、研磨室から外部に搬送される(図8のステップS208参照)。
図9は、基板処理装置1の他の実施形態を示す図である。特に説明しない本実施形態の構成および動作は、上述した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。図9では、処理ヘッド2の図示は省略されている。
上述した実施形態では、第1面W1は、デバイスが形成されていない基板Wの裏面であり、第2面W2は、デバイスが形成されている基板Wの表面である。図9に示す実施形態では、第1面W1は、デバイスが形成された基板Wの表面であり、第2面W2は、デバイスが形成されていない基板Wの裏面である。
図9に示すように、支持機構3は、チャック15および静圧支持装置16の代わりに、基板吸着装置45を備えてもよい。基板吸着装置45は、基板Wの第2面W2を真空吸着しつつ、基板Wをその中心CLの周りに回転させる装置である。図示しないが、図9に示す実施形態においても、基板処理装置1は、処理ヘッド2および洗浄機構4を備えている。したがって、基板処理装置1は、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。
上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうる。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。
1 基板処理装置
2 処理ヘッド
3 支持機構
4 洗浄機構
5 研磨ハウジング
10 処理テープ
11 テープホルダ
12 ヘッドシャフト
15 チャック
16 静圧支持装置
20 ペン型洗浄具
21 二流体ジェットノズル
21a 先端
22 アクチュエータ
25 基板洗浄装置
26 洗浄アーム
26a 先端部
26b 後端部
26c アーム部
27 支持軸
40 洗浄液供給ノズル
45 基板吸着装置
W1 第1面
W2 第2面
CL 基板の中心
FR 二流体洗浄領域
SR スクラブ洗浄領域
PP1 処理ヘッドの処理位置
PP2 基板洗浄装置の処理位置
RP1 処理ヘッドの退避位置
RP2 基板洗浄装置の退避位置

Claims (10)

  1. 基板の第1面を処理する処理ヘッドと、
    前記第1面とは反対側の第2面を支持する支持機構と、
    前記第1面と平行に旋回可能に構成され、かつ前記第1面を洗浄する洗浄機構と、
    前記処理ヘッド、前記支持機構、および前記洗浄機構が内部に配置された研磨ハウジングと、を備えている、基板処理装置。
  2. 前記洗浄機構は、
    ペン型洗浄具および二流体ジェットノズルのうちの少なくとも1つを備える基板洗浄装置と、
    前記基板洗浄装置が取り付けられた洗浄アームと、
    前記洗浄アームを旋回可能に支持する支持軸と、を備えている、請求項1に記載の基板処理装置。
  3. 前記基板洗浄装置は、前記ペン型洗浄具を備えており、
    前記洗浄アームは、前記基板が前記支持機構に支持されたとき、前記ペン型洗浄具が前記基板の中心に対向するまで移動する、請求項2に記載の基板処理装置。
  4. 前記基板洗浄装置は、前記二流体ジェットノズルを備えており、
    前記洗浄アームは、前記基板が前記支持機構に支持されたとき、前記二流体ジェットノズルの先端が前記基板の中心を向くまで移動する、請求項2または3に記載の基板処理装置。
  5. 前記二流体ジェットノズルは、炭酸水と窒素ガスとの混合流体を供給する、請求項4に記載の基板処理装置。
  6. 基板の第1面とは反対側の第2面を支持する支持機構によって、前記基板を支持する支持工程と、
    前記第1面に対向して配置された二流体ジェットノズルによって、前記基板の二流体洗浄を行う二流体洗浄工程と、
    前記基板の前記第1面を研磨する研磨工程と、
    前記第1面に対向して配置されたペン型洗浄具によって、前記基板のスクラブ洗浄を行うスクラブ洗浄工程とを備え、
    前記支持工程、前記二流体洗浄工程、前記研磨工程、および前記スクラブ洗浄工程は、研磨ハウジング内で行われる、基板処理方法。
  7. 前記二流体洗浄工程は、前記研磨工程の開始前、または前記研磨工程の開始と同時に開始される、請求項6に記載の基板処理方法。
  8. 前記スクラブ洗浄工程は、前記研磨工程の終了後に開始される、請求項6または7に記載の基板処理方法。
  9. 前記二流体洗浄工程は、前記二流体ジェットノズルの先端が前記基板の中心を向くまで前記二流体ジェットノズルを移動させる工程を含む、請求項6に記載の基板処理方法。
  10. 前記スクラブ洗浄工程は、前記ペン型洗浄具が前記基板の中心に対向するまで前記ペン型洗浄具を移動させる工程を含む、請求項6に記載の基板処理方法。
JP2019088409A 2019-05-08 2019-05-08 基板処理装置および基板処理方法 Pending JP2020184581A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022185865A1 (ja) * 2021-03-05 2022-09-09 株式会社荏原製作所 ワークピース処理装置およびワークピース処理方法
WO2023080015A1 (ja) * 2021-11-08 2023-05-11 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11135463A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Tokyo Electron Ltd 処理装置及びその方法
JP2009033136A (ja) * 2007-06-29 2009-02-12 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Soi基板の製造方法及び半導体装置の作製方法
JP2013175496A (ja) * 2012-02-23 2013-09-05 Ebara Corp 基板洗浄方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11135463A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Tokyo Electron Ltd 処理装置及びその方法
JP2009033136A (ja) * 2007-06-29 2009-02-12 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Soi基板の製造方法及び半導体装置の作製方法
JP2013175496A (ja) * 2012-02-23 2013-09-05 Ebara Corp 基板洗浄方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022185865A1 (ja) * 2021-03-05 2022-09-09 株式会社荏原製作所 ワークピース処理装置およびワークピース処理方法
WO2023080015A1 (ja) * 2021-11-08 2023-05-11 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法

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