JPH1177512A - 表面実装パッケージのリード端子自動研磨方法及びその自動研磨装置 - Google Patents
表面実装パッケージのリード端子自動研磨方法及びその自動研磨装置Info
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- JPH1177512A JPH1177512A JP9243709A JP24370997A JPH1177512A JP H1177512 A JPH1177512 A JP H1177512A JP 9243709 A JP9243709 A JP 9243709A JP 24370997 A JP24370997 A JP 24370997A JP H1177512 A JPH1177512 A JP H1177512A
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
- B24B29/005—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents using brushes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
- B24B29/02—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents designed for particular workpieces
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4821—Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
- H01L21/4835—Cleaning, e.g. removing of solder
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 リード端子部の研磨を迅速に、しかも確実に
行うことができる表面実装パッケージのリード端子自動
研磨方法及びその自動研磨装置を提供する。 【解決手段】 スタートスイッチ36を押すと研磨を開
始する。複数個のパッケージのリード端子の1辺の研磨
が終わると、研磨ステージ11がリードクランプを持ち
上げ、モータ16が駆動して、研磨テーブル14が90
°回転する。その後、研磨ステージ11がリードクラン
プを元に戻し、研磨を再開する。研磨した辺の数は研磨
表示ランプ35で表示され、リード端子の全ての辺の研
磨が終わると、自動的に研磨を終了する。
行うことができる表面実装パッケージのリード端子自動
研磨方法及びその自動研磨装置を提供する。 【解決手段】 スタートスイッチ36を押すと研磨を開
始する。複数個のパッケージのリード端子の1辺の研磨
が終わると、研磨ステージ11がリードクランプを持ち
上げ、モータ16が駆動して、研磨テーブル14が90
°回転する。その後、研磨ステージ11がリードクラン
プを元に戻し、研磨を再開する。研磨した辺の数は研磨
表示ランプ35で表示され、リード端子の全ての辺の研
磨が終わると、自動的に研磨を終了する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、信頼性試験等によ
り、LSI表面実装パッケージのリード端子部の汚れ、
酸化及び腐食が発生した場合、測定時にコンタクトが取
れず不良となるのを防止するための、そのリード端子部
を研磨する表面実装パッケージのリード端子自動研磨方
法及びその自動研磨装置に関するものである。
り、LSI表面実装パッケージのリード端子部の汚れ、
酸化及び腐食が発生した場合、測定時にコンタクトが取
れず不良となるのを防止するための、そのリード端子部
を研磨する表面実装パッケージのリード端子自動研磨方
法及びその自動研磨装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】現在、上記したリード端子部を研磨する
装置は存在していないため、従来は、ブラシやカッター
ナイフを使用し、測定ソケットのコンタクト部分にあた
る半導体集積回路装置(LSI)パッケージのリード端
子部の研磨を、そのパッケージ各1個ずつ、折れ、曲げ
がないよう、多大な工数、時間をかけて研磨を行ってい
た。
装置は存在していないため、従来は、ブラシやカッター
ナイフを使用し、測定ソケットのコンタクト部分にあた
る半導体集積回路装置(LSI)パッケージのリード端
子部の研磨を、そのパッケージ各1個ずつ、折れ、曲げ
がないよう、多大な工数、時間をかけて研磨を行ってい
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たようなリード端子部の研磨方法では、リード端子部の
研磨にばらつきがあり、測定時のコンタクト性と、その
信頼性にも問題があった。本発明は、上記問題点を除去
し、リード端子部の研磨を迅速に、しかも確実に行うこ
とができる表面実装パッケージのリード端子自動研磨方
法及びその自動研磨装置を提供することを目的とする。
たようなリード端子部の研磨方法では、リード端子部の
研磨にばらつきがあり、測定時のコンタクト性と、その
信頼性にも問題があった。本発明は、上記問題点を除去
し、リード端子部の研磨を迅速に、しかも確実に行うこ
とができる表面実装パッケージのリード端子自動研磨方
法及びその自動研磨装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔1〕表面実装パッケージのリード端子自動研磨方法に
おいて、表面実装パッケージをパッケージセットユニッ
ト部に複数個同時にセットし、このセットされた表面実
装パッケージのリード端子と研磨機構との相対的移動に
より、前記リード端子を自動的に研磨するようにしたも
のである。
成するために、 〔1〕表面実装パッケージのリード端子自動研磨方法に
おいて、表面実装パッケージをパッケージセットユニッ
ト部に複数個同時にセットし、このセットされた表面実
装パッケージのリード端子と研磨機構との相対的移動に
より、前記リード端子を自動的に研磨するようにしたも
のである。
【0005】〔2〕上記〔1〕記載の表面実装パッケー
ジのリード端子自動研磨方法において、前記表面実装パ
ッケージのリード端子部以外をマスクし、このリード端
子の方向に沿って移動回転式ブラシを回転させるように
したものである。 〔3〕上記〔2〕記載の表面実装パッケージのリード端
子自動研磨方法において、1辺のリード端子部以外をマ
スクし、パッケージ部からリード先端方向にブラシを回
転させるようにしたものである。
ジのリード端子自動研磨方法において、前記表面実装パ
ッケージのリード端子部以外をマスクし、このリード端
子の方向に沿って移動回転式ブラシを回転させるように
したものである。 〔3〕上記〔2〕記載の表面実装パッケージのリード端
子自動研磨方法において、1辺のリード端子部以外をマ
スクし、パッケージ部からリード先端方向にブラシを回
転させるようにしたものである。
【0006】〔4〕上記〔2〕記載の表面実装パッケー
ジのリード端子自動研磨方法において、前記移動回転式
ブラシの研磨時のブラシ回転数、圧力、研磨時間を可変
にするようにしたものである。 〔5〕表面実装パッケージのリード端子自動研磨装置に
おいて、表面実装パッケージを複数個同時にセットでき
るパッケージセットユニット部と、このセットされた表
面実装パッケージのリード端子と研磨機構との相対的移
動により、前記リード端子を自動的に研磨する研磨手段
とを具備するようにしたものである。
ジのリード端子自動研磨方法において、前記移動回転式
ブラシの研磨時のブラシ回転数、圧力、研磨時間を可変
にするようにしたものである。 〔5〕表面実装パッケージのリード端子自動研磨装置に
おいて、表面実装パッケージを複数個同時にセットでき
るパッケージセットユニット部と、このセットされた表
面実装パッケージのリード端子と研磨機構との相対的移
動により、前記リード端子を自動的に研磨する研磨手段
とを具備するようにしたものである。
【0007】〔6〕上記〔5〕記載の表面実装パッケー
ジのリード端子自動研磨装置において、前記パッケージ
セットユニット部は前記表面実装パッケージのリード端
子部以外をマスクするマスク部材を具備するようにした
ものである。 〔7〕上記〔5〕記載の表面実装パッケージのリード端
子自動研磨装置において、前記研磨手段は移動回転式ブ
ラシである。
ジのリード端子自動研磨装置において、前記パッケージ
セットユニット部は前記表面実装パッケージのリード端
子部以外をマスクするマスク部材を具備するようにした
ものである。 〔7〕上記〔5〕記載の表面実装パッケージのリード端
子自動研磨装置において、前記研磨手段は移動回転式ブ
ラシである。
【0008】〔8〕上記〔7〕記載の表面実装パッケー
ジのリード端子自動研磨装置において、前記移動回転式
ブラシは研磨時のブラシ回転数、圧力、研磨時間を設定
する制御装置を具備するようにしたものである。
ジのリード端子自動研磨装置において、前記移動回転式
ブラシは研磨時のブラシ回転数、圧力、研磨時間を設定
する制御装置を具備するようにしたものである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の
実施例を示す表面実装パッケージのリード端子自動研磨
装置の平面図、図2はその自動研磨装置の右側面図、図
3はその自動研磨装置の左側面図である。
て図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の
実施例を示す表面実装パッケージのリード端子自動研磨
装置の平面図、図2はその自動研磨装置の右側面図、図
3はその自動研磨装置の左側面図である。
【0010】これらの図に示すように、本発明の表面実
装パッケージのリード端子自動研磨装置は、パッケージ
セットユニット1、移動回転式ブラシ2、制御部3から
構成される。図4は本発明の実施例を示す表面実装パッ
ケージのリード端子自動研磨装置のパッケージセットユ
ニットの構成図であり、図4(a)はパッケージセット
ユニットの全体斜視図、図4(b)はそのパッケージセ
ットユニットの分解斜視図、図4(c)はそのパッケー
ジセットユニットの研磨テーブルの斜視図、図4(d)
はそのパッケージセットユニットの研磨テーブルへのパ
ッケージのセット状態を示す断面図である。
装パッケージのリード端子自動研磨装置は、パッケージ
セットユニット1、移動回転式ブラシ2、制御部3から
構成される。図4は本発明の実施例を示す表面実装パッ
ケージのリード端子自動研磨装置のパッケージセットユ
ニットの構成図であり、図4(a)はパッケージセット
ユニットの全体斜視図、図4(b)はそのパッケージセ
ットユニットの分解斜視図、図4(c)はそのパッケー
ジセットユニットの研磨テーブルの斜視図、図4(d)
はそのパッケージセットユニットの研磨テーブルへのパ
ッケージのセット状態を示す断面図である。
【0011】これらの図に示すように、パッケージセッ
トユニット1は、半導体集積回路装置(LSI)パッケ
ージ(以下、単にパッケージという)15の形状毎に付
け替え可能であり、モータ16により90°毎に回転す
る研磨テーブル14、パッケージ15の形状毎に付け替
え可能で、1辺のリード以外が研磨されないようにマス
クするマスク13を有するとともに、研磨時にパッケー
ジ15を固定するリードクランプ12、このリードクラ
ンプ12を固定し、研磨テーブル14の回転時にはリー
ドクランプ12を持ち上げて、回転の妨げにならないよ
うにする研磨ステージ11から構成される。なお、13
Aはパッケージ15のリード端子が露出する開口部であ
る。
トユニット1は、半導体集積回路装置(LSI)パッケ
ージ(以下、単にパッケージという)15の形状毎に付
け替え可能であり、モータ16により90°毎に回転す
る研磨テーブル14、パッケージ15の形状毎に付け替
え可能で、1辺のリード以外が研磨されないようにマス
クするマスク13を有するとともに、研磨時にパッケー
ジ15を固定するリードクランプ12、このリードクラ
ンプ12を固定し、研磨テーブル14の回転時にはリー
ドクランプ12を持ち上げて、回転の妨げにならないよ
うにする研磨ステージ11から構成される。なお、13
Aはパッケージ15のリード端子が露出する開口部であ
る。
【0012】まず、リードクランプ12を取りはずし、
研磨テーブル14にパッケージ15を、リード端子15
A〜15Dが上になるようにセットする。次に、リード
クランプ12を研磨ステージ11上に固定し、パッケー
ジ15のセットが完了する。図5は本発明の実施例を示
す表面実装パッケージのリード端子自動研磨装置におけ
る移動回転式ブラシの構成図である。
研磨テーブル14にパッケージ15を、リード端子15
A〜15Dが上になるようにセットする。次に、リード
クランプ12を研磨ステージ11上に固定し、パッケー
ジ15のセットが完了する。図5は本発明の実施例を示
す表面実装パッケージのリード端子自動研磨装置におけ
る移動回転式ブラシの構成図である。
【0013】この図に示すように、移動回転式ブラシ2
は、軸23を中心にして回転し、移動時にパッケージセ
ットユニット1から持ち上がって移動時のリードの変形
を防ぐブラシ22と、パッケージセットユニット1にセ
ットされた複数個のパッケージ15(図4参照)のリー
ドを研磨するために、ブラシ22を移動させるX軸ロボ
ット21から構成される。
は、軸23を中心にして回転し、移動時にパッケージセ
ットユニット1から持ち上がって移動時のリードの変形
を防ぐブラシ22と、パッケージセットユニット1にセ
ットされた複数個のパッケージ15(図4参照)のリー
ドを研磨するために、ブラシ22を移動させるX軸ロボ
ット21から構成される。
【0014】図6は本発明の実施例を示す表面実装パッ
ケージのリード端子自動研磨装置における制御部を示す
図であり、図6(a)はその構造図、図6(b)は図6
(a)のA部拡大図、図7はその表面実装パッケージの
リード端子自動研磨装置のシステムを示す構成図であ
る。これらの図に示すように、制御部3は、ブラシ22
が研磨する位置を設定する品種選択設定スイッチ31
と、ブラシ22の回転数を設定するブラシ回転数設定器
32と、ブラシ22の研磨時の圧力を設定するブラシ圧
力設定器33と、研磨時間を設定する研磨時間設定タイ
マ34と、研磨テーブル14の回転状態を表示する研磨
表示ランプ35と、研磨を開始するスタートスイッチ3
6から構成される。また、制御部3はデータを記憶する
メモリ37、CPU(中央処理装置)38、インタフェ
ース39,40を内蔵しており、データの処理を行って
いる。
ケージのリード端子自動研磨装置における制御部を示す
図であり、図6(a)はその構造図、図6(b)は図6
(a)のA部拡大図、図7はその表面実装パッケージの
リード端子自動研磨装置のシステムを示す構成図であ
る。これらの図に示すように、制御部3は、ブラシ22
が研磨する位置を設定する品種選択設定スイッチ31
と、ブラシ22の回転数を設定するブラシ回転数設定器
32と、ブラシ22の研磨時の圧力を設定するブラシ圧
力設定器33と、研磨時間を設定する研磨時間設定タイ
マ34と、研磨テーブル14の回転状態を表示する研磨
表示ランプ35と、研磨を開始するスタートスイッチ3
6から構成される。また、制御部3はデータを記憶する
メモリ37、CPU(中央処理装置)38、インタフェ
ース39,40を内蔵しており、データの処理を行って
いる。
【0015】更に、制御部3には、研磨ステージ11と
マスク13付きリードクランプ12を駆動する駆動装置
17、X軸ロボット21の駆動装置18、研磨テーブル
14を回転させるモータ16(ここでは、1個のモータ
が示されているが、実際は図示しないが、研磨テーブル
14毎にモータ16が設けられ、研磨テーブル14毎に
回転が可能になるように構成されている)、ブラシ22
を回転させるモータ19、ブラシ22はエアー圧により
押しつけて圧力を可変できる構造になっており、そのエ
ア圧を測定する圧力センサ20がそれぞれ接続されてい
る。
マスク13付きリードクランプ12を駆動する駆動装置
17、X軸ロボット21の駆動装置18、研磨テーブル
14を回転させるモータ16(ここでは、1個のモータ
が示されているが、実際は図示しないが、研磨テーブル
14毎にモータ16が設けられ、研磨テーブル14毎に
回転が可能になるように構成されている)、ブラシ22
を回転させるモータ19、ブラシ22はエアー圧により
押しつけて圧力を可変できる構造になっており、そのエ
ア圧を測定する圧力センサ20がそれぞれ接続されてい
る。
【0016】したがって、制御部3は、それらの情報を
取込み、制御(後述)を行う。以下、この表面実装パッ
ケージのリード端子自動研磨装置の動作について説明す
る。まず、品種選択設定スイッチ31、ブラシ回転数設
定器32、ブラシ圧力設定器33、研磨時間設定タイマ
34を適当に設定にする。
取込み、制御(後述)を行う。以下、この表面実装パッ
ケージのリード端子自動研磨装置の動作について説明す
る。まず、品種選択設定スイッチ31、ブラシ回転数設
定器32、ブラシ圧力設定器33、研磨時間設定タイマ
34を適当に設定にする。
【0017】そこで、スタートスイッチ36を押すと研
磨が開始される。図4(c)に示すように、リード端子
15A,15B,15C,15Dはパッケージの4辺に
あり、複数個のパッケージの1辺、ここでは15Aの研
磨が終わると、研磨ステージ11がリードクランプ12
を持ち上げ、モータ16が駆動して、研磨テーブル14
が90°回転する。その後、研磨ステージ11がリード
クランプ12を元に戻し、研磨を再開する。研磨した辺
の数は研磨表示ランプ35で表示され、4辺の研磨が終
わると、自動的に研磨を終了する。なお、辺の数は、4
辺に限らず、1辺〜3辺でも設定することができる。
磨が開始される。図4(c)に示すように、リード端子
15A,15B,15C,15Dはパッケージの4辺に
あり、複数個のパッケージの1辺、ここでは15Aの研
磨が終わると、研磨ステージ11がリードクランプ12
を持ち上げ、モータ16が駆動して、研磨テーブル14
が90°回転する。その後、研磨ステージ11がリード
クランプ12を元に戻し、研磨を再開する。研磨した辺
の数は研磨表示ランプ35で表示され、4辺の研磨が終
わると、自動的に研磨を終了する。なお、辺の数は、4
辺に限らず、1辺〜3辺でも設定することができる。
【0018】以上のように、複数個のパッケージのリー
ド端子を同時に、自動的に研磨することができる。特
に、図7に示すように、1辺のリード端子部以外をマス
クし、パッケージ部からリード端子の先端方向にブラシ
22を回転させることにより、複数個のパッケージ15
のリード端子15Aの曲げを防止することができる。
ド端子を同時に、自動的に研磨することができる。特
に、図7に示すように、1辺のリード端子部以外をマス
クし、パッケージ部からリード端子の先端方向にブラシ
22を回転させることにより、複数個のパッケージ15
のリード端子15Aの曲げを防止することができる。
【0019】また、品種選択設定スイッチ31により、
形状の異なるパッケージのリード端子の研磨も可能であ
り、ブラシ回転数設定器32、ブラシ圧力設定器33、
研磨時間設定タイマ34により、リード端子の汚れ、酸
化及び腐食の度合いに応じたブラシ22の回転数、圧
力、研磨時間を設定することかできる。なお、本発明は
上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に
基づいて種々の変形が可能であり、それらを本発明の範
囲から排除するものではない。
形状の異なるパッケージのリード端子の研磨も可能であ
り、ブラシ回転数設定器32、ブラシ圧力設定器33、
研磨時間設定タイマ34により、リード端子の汚れ、酸
化及び腐食の度合いに応じたブラシ22の回転数、圧
力、研磨時間を設定することかできる。なお、本発明は
上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に
基づいて種々の変形が可能であり、それらを本発明の範
囲から排除するものではない。
【0020】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (A)請求項1又は5記載の発明によれば、複数個のパ
ッケージのリード端子を同時に、自動的に研磨すること
ができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (A)請求項1又は5記載の発明によれば、複数個のパ
ッケージのリード端子を同時に、自動的に研磨すること
ができる。
【0021】(B)請求項2又は6記載の発明によれ
ば、研磨すべきでない箇所をマスクすることにより、研
磨すべき複数個のパッケージのリード端子部のみを露出
させて的確に研磨することができる。 (C)請求項3記載の発明によれば、1辺のリード端子
部以外をマスクし、パッケージ部からリード先端方向に
ブラシを回転させることにより、複数個のパッケージの
リード端子の曲げを防止しながら確実に研磨することが
できる。
ば、研磨すべきでない箇所をマスクすることにより、研
磨すべき複数個のパッケージのリード端子部のみを露出
させて的確に研磨することができる。 (C)請求項3記載の発明によれば、1辺のリード端子
部以外をマスクし、パッケージ部からリード先端方向に
ブラシを回転させることにより、複数個のパッケージの
リード端子の曲げを防止しながら確実に研磨することが
できる。
【0022】(D)請求項4又は7記載の発明によれ
ば、移動回転式ブラシの研磨時のブラシ回転数、圧力、
研磨時間を可変にすることにより、複数個のパッケージ
のリード端子の適切な研磨を行うことができる。 (E)請求項6記載の発明によれば、研磨手段として移
動回転式ブラシを用いるようにしたので、簡単な構造で
十分な研磨を行うことができる。
ば、移動回転式ブラシの研磨時のブラシ回転数、圧力、
研磨時間を可変にすることにより、複数個のパッケージ
のリード端子の適切な研磨を行うことができる。 (E)請求項6記載の発明によれば、研磨手段として移
動回転式ブラシを用いるようにしたので、簡単な構造で
十分な研磨を行うことができる。
【図1】本発明の実施例を示す表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨装置の平面図である。
ード端子自動研磨装置の平面図である。
【図2】本発明の実施例を示す表面実装パッケージのリ
ード端子の自動研磨装置の右側面図である。
ード端子の自動研磨装置の右側面図である。
【図3】本発明の実施例を示す表面実装パッケージのリ
ード端子の自動研磨装置の左側面図である。
ード端子の自動研磨装置の左側面図である。
【図4】本発明の実施例を示す表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨装置のパッケージセットユニットの構
成図である。
ード端子自動研磨装置のパッケージセットユニットの構
成図である。
【図5】本発明の実施例を示す表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨装置における移動回転式ブラシの構成
図である。
ード端子自動研磨装置における移動回転式ブラシの構成
図である。
【図6】本発明の実施例を示す表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨装置における制御部の構成図である。
ード端子自動研磨装置における制御部の構成図である。
【図7】本発明の実施例を示す表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨装置のシステムを示す構成図である。
ード端子自動研磨装置のシステムを示す構成図である。
1,10 パッケージセットユニット 2 移動回転式ブラシ 3 制御部 11 研磨ステージ 12 リードクランプ 13 マスク 13A 開口部 14 研磨テーブル 15 パッケージ 15A〜15D リード端子 16,19 モータ 17,18 駆動装置 20 圧力センサ 21 X軸ロボット 22 ブラシ 23 軸 31 品種選択設定スイッチ 32 ブラシ回転数設定器 33 ブラシ圧力設定器 34 研磨時間設定タイマ 35 研磨表示ランプ 36 スタートスイッチ 37 データを記憶するメモリ 38 CPU(中央処理装置) 39,40 インタフェース
Claims (8)
- 【請求項1】 表面実装パッケージのリード端子自動研
磨方法において、(a)表面実装パッケージをパッケー
ジセットユニット部に複数個同時にセットし、(b)該
セットされた表面実装パッケージのリード端子と研磨機
構との相対的移動により前記リード端子を自動的に研磨
することを特徴とする表面実装パッケージのリード端子
自動研磨方法。 - 【請求項2】 請求項1記載の表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨方法において、前記表面実装パッケー
ジのリード端子部以外をマスクし、該リード端子の方向
に沿って移動回転式ブラシを回転させることを特徴とす
る表面実装パッケージのリード端子自動研磨方法。 - 【請求項3】 請求項2記載の表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨方法において、1辺のリード端子部以
外をマスクし、パッケージ部からリード先端方向にブラ
シを回転させることを特徴とする表面実装パッケージの
リード端子自動研磨方法。 - 【請求項4】 請求項2記載の表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨方法において、前記移動回転式ブラシ
の研磨時のブラシ回転数、圧力、研磨時間を可変にする
ことを特徴とする表面実装パッケージのリード端子自動
研磨方法。 - 【請求項5】 表面実装パッケージのリード端子自動研
磨装置において、(a)表面実装パッケージを複数個同
時にセットできるパッケージセットユニット部と、
(b)該セットされた表面実装パッケージのリード端子
と研磨機構との相対的移動により、前記リード端子を自
動的に研磨する研磨手段とを具備することを特徴とする
表面実装パッケージのリード端子自動研磨装置。 - 【請求項6】 請求項5記載の表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨装置において、前記パッケージセット
ユニット部は前記表面実装パッケージのリード端子部以
外をマスクするマスク部材を具備することを特徴とする
表面実装パッケージのリード端子自動研磨装置。 - 【請求項7】 請求項5記載の表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨装置において、前記研磨手段は移動回
転式ブラシであることを特徴とする表面実装パッケージ
のリード端子自動研磨装置。 - 【請求項8】 請求項7記載の表面実装パッケージのリ
ード端子自動研磨装置において、前記移動回転式ブラシ
は研磨時のブラシ回転数、圧力、研磨時間を設定する制
御装置を具備することを特徴とする表面実装パッケージ
のリード端子自動研磨装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9243709A JPH1177512A (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 表面実装パッケージのリード端子自動研磨方法及びその自動研磨装置 |
US09/120,134 US6336848B1 (en) | 1997-09-09 | 1998-07-22 | Apparatus for polishing leads of a semiconductor package |
US09/994,820 US6726533B2 (en) | 1997-09-09 | 2001-11-28 | Method for polishing leads for semiconductor packages |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP9243709A JPH1177512A (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 表面実装パッケージのリード端子自動研磨方法及びその自動研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH1177512A true JPH1177512A (ja) | 1999-03-23 |
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Family Applications (1)
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JP9243709A Withdrawn JPH1177512A (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 表面実装パッケージのリード端子自動研磨方法及びその自動研磨装置 |
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JP (1) | JPH1177512A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111618718A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-09-04 | 湖南翰坤实业有限公司 | 一种除锈打磨抛光一体机 |
CN112621471A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-04-09 | 江门雷恩电池科技有限公司 | 一种蓄电池端子顶面打磨修整工装 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6602430B1 (en) * | 2000-08-18 | 2003-08-05 | Micron Technology, Inc. | Methods for finishing microelectronic device packages |
US6629880B1 (en) * | 2000-12-14 | 2003-10-07 | National Semiconductor Corporation | Rotary mechanical buffing method for deflashing of molded integrated circuit packages |
WO2004098802A1 (en) * | 2003-04-01 | 2004-11-18 | Aju Systems Usa, Inc. | Automatic semiconductor contacts cleaner |
TWI292350B (en) * | 2004-02-10 | 2008-01-11 | Sharp Kk | Cleaning device of board and cleaning method, flat display panel, mounting equipment of electronic parts and mounting method |
US7635418B2 (en) * | 2004-12-03 | 2009-12-22 | Nordson Corporation | Plasma processing apparatus and methods for removing extraneous material from selected areas on a substrate |
CN104942687B (zh) * | 2014-03-25 | 2017-11-14 | 株洲南车时代电气股份有限公司 | 一种igbt模块母排抛光方法及抛光工装 |
KR101904860B1 (ko) * | 2016-10-06 | 2018-10-08 | 신한다이아몬드공업 주식회사 | 다이아몬드 팁 절삭 휠용 부착물 제거 장치 |
US11148035B2 (en) * | 2017-09-22 | 2021-10-19 | Conicity Technologies | Blade treatments |
CN111633529B (zh) * | 2020-06-09 | 2021-05-07 | 湖南翰坤实业有限公司 | 一种移动式除锈打磨抛光一体机 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63107521A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-12 | Hitachi Ltd | ばり取り装置 |
JPS63164255A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-07 | Hitachi Ltd | 異物除去装置 |
JPH0541548Y2 (ja) * | 1987-10-01 | 1993-10-20 | ||
US4885837A (en) * | 1988-01-13 | 1989-12-12 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Apparatus for forming leads of semiconductor devices |
US5086018A (en) * | 1991-05-02 | 1992-02-04 | International Business Machines Corporation | Method of making a planarized thin film covered wire bonded semiconductor package |
JPH05154757A (ja) * | 1991-12-03 | 1993-06-22 | Kawasaki Steel Corp | 半導体パッケージ端子研磨装置 |
US6165819A (en) * | 1992-10-20 | 2000-12-26 | Fujitsu Limited | Semiconductor device, method of producing semiconductor device and semiconductor device mounting structure |
US5521427A (en) * | 1992-12-18 | 1996-05-28 | Lsi Logic Corporation | Printed wiring board mounted semiconductor device having leadframe with alignment feature |
US5794299A (en) * | 1996-08-29 | 1998-08-18 | Ontrak Systems, Inc. | Containment apparatus |
US5929497A (en) * | 1998-06-11 | 1999-07-27 | Delco Electronics Corporation | Batch processed multi-lead vacuum packaging for integrated sensors and circuits |
US5977640A (en) * | 1998-06-26 | 1999-11-02 | International Business Machines Corporation | Highly integrated chip-on-chip packaging |
-
1997
- 1997-09-09 JP JP9243709A patent/JPH1177512A/ja not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-07-22 US US09/120,134 patent/US6336848B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-11-28 US US09/994,820 patent/US6726533B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111618718A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-09-04 | 湖南翰坤实业有限公司 | 一种除锈打磨抛光一体机 |
CN112621471A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-04-09 | 江门雷恩电池科技有限公司 | 一种蓄电池端子顶面打磨修整工装 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US20020032940A1 (en) | 2002-03-21 |
US6336848B1 (en) | 2002-01-08 |
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