JPH03259523A

JPH03259523A - 洗浄装置

Info

Publication number: JPH03259523A
Application number: JP5636590A
Authority: JP
Inventors: Yoshiharu Takizawa; 芳治滝沢; Seiji Fujikura; 誠司藤倉
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1990-03-09
Filing date: 1990-03-09
Publication date: 1991-11-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、洗浄技術、特に超音波エネルギを利用して被
洗浄物を洗浄する技術に関し、例えば半導体製造工程に
おいてウェルを洗浄したり液晶表示板製造工程において
ガラス板を洗浄するのに有効な技術に関する。

〔従来の技術〕

半導体製造工程において、超音波励振された液体噴流で
被洗浄物を洗浄する装置として、例えば特開平１−９５
５２１号に記載されている洗浄装置がある。すなわち、
この洗浄装置は、被洗浄物としてのウェハを液中に浸漬
して洗浄するように構成されている洗浄槽と、液中にお
いて液体噴流を被洗浄物に対して３０〜４０度の傾斜角
をもって噴出するノズルと、ノズルの液体噴流に超音波
を乗せるように構成されている超音波発生装置を備えた
ものである。この装置において、洗浄作用として液中に
発射された超音波が被洗浄物に直接的に衝突し、その超
音波から生ずる加速度で被洗浄物の表面をスクラブする
方法を用いる為、２００ＫＨｚ以上の超音波を水中でウ
ェハに照射している。ここで、表面をスクラブする為、
その超音波の入射方向は第６図に示す様に垂直入射では
なく、第７図に示す様に噴出方向を被洗浄物表面に傾か
せる構造としている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、液中における洗浄のみを対象としてお
り、大気中で超音波励振された液で洗浄を行う事は配慮
されておらず、又、液中の汚れにより被洗浄物が汚染さ
れてしまうという問題があった。さらに、ノズルを斜め
に傾ける為、第７図に示す様に噴出口と被洗浄物の距離
が離れ、十分な汚染物除去効果が得られない事、ノズル
底部の平面と５被洗浄物表面が離れる為、ノズルより噴
出された液の流速が低下し、超音波の加速度より生ずる
力で被洗浄物表面より剥離した汚染物を、その表面より
排除する作用が弱い事が問題であった。

本発明の目的は、洗浄面を得る事が出来る洗浄技術を提
供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、液体噴流を被洗浄物に３０
〜４５度の傾斜角をもって噴出するノズルの噴出面を平
面で構成し、その面を被洗浄表面と近接して平行に配置
したものである。又、大気中で洗浄を行う為に、大気中
で上記ノズル下で被洗浄の洗浄を行い、その洗浄液をノ
ズルの戻り液口から回収出来る構成としたものである。

〔作用〕

前記の手段によれば、傾斜角をもって超音波励振された
洗浄液が被洗浄物に噴出される為、その超音波の加速度
によって汚染が剥離され、さらにノズル底面が被洗浄物
表面と平行に近接している為、噴出液の流路断面積は増
加せず、噴出液流速は減少せずに速に剥離汚染を被洗浄
物表面より排除することができる。又、ノズルに戻り液
口を設ける事で、上記の汚染を含んだ洗浄液を回収し、
その液を洗浄液再生装置で再生し、洗浄液として再使用
出来、液中汚染による再汚染を防止する事が出来る。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図から第９図により説明
する。

第５図において、この洗浄装置は被洗浄物１、たとえば
ガラス板をローラ１２で搬送してハウジング１６の下を
通過させながら洗浄を行うものとして構成されており、
洗浄液の供給口６と、噴出液を例えば１ＭＨｚの周波数
で超音波励振する超音波振動ユニット２を備えている。

用いる周波数としては２００に〜２　Ｍ　Ｈｚが好まし
い。ここで、給液口６より供給された洗浄液９は、ハウ
ジング内で超音波振動ユニット２で励振され、超音波５
を含む洗浄液となる。ハウジング１６のノズル噴出口は
狭められている為、洗浄液流速は高速化され、又、超音
波は濃縮されて噴出する。その噴出角度は被洗浄物１に
対し例えば４５°に設定されている。噴出された液は、
その超音波５の加速度作用により表面より汚染を剥離す
る。ハウジング１６の底面は平面であり、被洗浄物１の
表面と平行に近接配置されている。１例としてノズルの
開口幅が３閣の時、ハウジング１６と被洗浄物１の距離
を２ｒｒｔｎとすると、噴出された洗浄液の流速は減少
する事なく、被洗浄物１の表面を流れ、前述の剥離汚染
を表面より速に排除する。

第１図の洗浄装置は戻り液口を備えたハウジング３を第
５図同様に設置し、さらに戻り液口８を備えたハウジン
グ４をハウジング３に対向させ、その間を被洗浄物１を
搬送させるから洗浄を行う構成である。被洗浄物１の洗
浄時は前述の第５図同様に汚染物を除去するか、さらに
戻り液ロアより回収される為、ハウジング外に液を放出
する事がない。戻り液１０は第８図に示す様に回収ポン
プ１７で回収され、洗浄液再生装置１８で再生され再び
送液ポンプ１９で洗浄液９として送られる。

ここで液再生の方法としては蒸留、フィルタリング等が
用いられるが、これを限定したものではない。一方、被
洗浄物１が搬送されている場合は、洗浄液は戻り液口８
より同様に回収される。その為、被洗浄物１の有無にか
かわらず洗浄液は回収され、再使用される。従来技術で
は、噴出された液は一度洗浄槽１６の中に留められ、留
り排水２０としてドレン口２１より回収されていた。し
かし、この方法では洗浄排液１３が不必要に洗浄槽１６
に触れる為、槽内の汚れを抽出したり、又、洗浄液中の
成分１例えば界面活性剤や、アルコール等の添加成分が
、失われ、洗浄液として回収再利用する事が困難であっ
た。一方、第８図に示す本発明では、洗浄液は、被洗浄
物１の表面と、ハウジング３及びハウジング４の刃部を
流れるのみであり、槽内の汚れを抽出したり、添加成分
を放出したりする事がなく、安定した洗浄液の再生再利
用が行える。第１図では搬送上面のみ洗浄を行う装置を
示している。

第３図は、第１図に示すハウジング３を上下に対向させ
たものであり、その洗浄原理は第１図と同様である。こ
の装置では上下より超音波励振液を噴出し、両面同時に
洗浄を行う事が出来る。又、戻り液ロアも、上下に設け
られている為、第１図同様の液再生再利用が行える。

〔発明の効果〕

本発明によれば超音波で表面より剥離した汚染を速に排
除出来、液からの再汚染を防止した高清浄度を得る事が
出来る。又、ノズル内に戻り液回収口がある為、液成分
を変動させる事なく、又不要な汚れを持ち込む事なく液
回収が行え、効率的な液再生再利用が行えるという効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図、第３図、第５図は本発明の一実施例の洗浄装置
の外観図、第２図は第１図のＡ−Ａ’線断面図、第４図
は第３図のＢ−Ｂ’線断面図、第６図、第７図は公知例
の洗浄装置の断面図、第８図は本発明の一実施例を用い
た洗浄装置の配管図、第９図は公知例の装置を用いた洗
浄装置の配管図である。１・・・被洗浄物、２・・・超音波振動ユニット、３・
・・ハウジング、４・・ハウジング、５・・・超音波、
６・・・給液口、７・・・戻り液口、８・・戻り液口、
９・・洗浄液、１０・・・戻り液、１１・・・戻り液、
１２・・・ローラ、１３・・・排液、１４・・進行方向
、１５・・・ハウジング、１６・・・洗浄槽、１７・・
・回収ポンプ、１８　・洗浄液再生装置、工９・・・送
液ポンプ、２０・・留り排液、２１・・・ドレイン口。第１図

Claims

【特許請求の範囲】

１．超音波励振されている液体噴流を被洗浄物に噴出さ
せる事により、洗浄を行う洗浄装置において、液体噴流
を被洗浄物に３０度〜４５度の傾斜角をもって噴出する
ノズルと、その噴出を行うノズルの噴出面が平面で構成
されており、被洗浄物表面と平行に近接して配置する機
能を有することを特徴とする洗浄装置。
２．噴出した液体を回収する機能を有するノズルで構成
されたことを特徴とする請求項第１項記載の洗浄装置。
３．２つの液体噴出を行うノズルの噴出面を対向させ、
その２つのノズルの間を被洗浄物を通過させて洗浄を行
うことを特徴とする請求項第１項又は第２項記載の洗浄
装置。
４．噴出した液体を回収する機能を有するノズルから噴
出した洗浄液を回収し、洗浄液再生装置にて再生した後
再び噴出して洗浄を行うことを特徴とした請求項第１項
から第３項記載の洗浄装置。