JP7324621B2 - ウェーハ洗浄装置、及びウェーハの洗浄方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等を洗浄する洗浄装置、及び洗浄方法に関する。

電子部品の材料となる半導体ウェーハの製造においては、円柱状のインゴットからワイヤーソーでスライスしたアズスライスウェーハを研削砥石で研削し、スライス時に発生したうねりや反りを除去している。そして、研削でアズスライスウェーハのうねりや反りを除去するために、うねりがある状態でアズスライスウェーハの一方の面に樹脂で保護部材を形成して、該保護部材が形成された一方の面を保持テーブルで吸引保持した状態で他方の面を研削している（例えば、特許文献１参照）。そして、アズスライスウェーハの他方の面を研削後、アズスライスウェーハの一方の面から保護部材を剥離し、次に、該一方の面を研削して所定の厚みのうねり等の無いウェーハを製造している。

保護部材を剥離した時に、ウェーハの主に外周縁に保護部材を構成する樹脂が残ってしまう場合がある。樹脂が残っている状態で、一方の面を研削するために保持テーブルがウェーハの他方の面を保持すると、他方の面と保持テーブルの保持面との間に樹脂が挟まる場合がある。そして、樹脂が挟まった状態で一方の面を研削してもウェーハが均一な厚みにならないという問題がある。

上記問題を解決するために、剥がし残ってしまった樹脂をロール状のスポンジで洗浄して除去している。該ロール状のスポンジを備えウェーハの外周縁及び外周部分の洗浄を行う洗浄装置は、洗浄水をロールスポンジに供給し、ウェーハの外周縁にロールスポンジを縦にしてその外側面を押し付けた状態、即ち、ロールスポンジの長さ方向とウェーハの厚み方向とを略合致させてウェーハの外周縁にロールスポンジを押し付けた状態で、ウェーハとロールスポンジとを回転させることでウェーハの外周部分及び外周縁の洗浄を行っている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１０－１５５２９７号公報 特開２０１５－１７０７４１号公報

しかし、特許文献２に開示されているようなウェーハの洗浄方法を行うと、回転するウェーハの外周縁にロールスポンジを食い込むように押し付けているため、ロールスポンジの外側面がウェーハの外周縁で切られるように削られて局所的に例えば線状に消耗してしまい、ウェーハの洗浄が不十分になるという問題がある。また、削られたロールスポンジがウェーハに付着し、後の研削においてウェーハを均一な厚みに研削することができなくなるという問題がある。

よって、樹脂を剥離したウェーハの外周縁を含む外周部分を洗浄する場合には、ロールスポンジが劣化しにくいようにし、また、削れたロールスポンジがウェーハに付着するのを防ぐという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、ウェーハの外周部分を洗浄するウェーハ洗浄装置であって、該ウェーハの径より小さい径の保持面で該ウェーハの外周部分を該保持面からはみ出させて該保持面で該ウェーハを保持する保持テーブルと、該保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転手段と、該保持テーブルの保持面方向に平行で且つ該保持面の外周の接線方向に延在し該ウェーハの上方に配置される上回転軸を軸に回転可能な上ロールスポンジと、該上回転軸と平行に延在し該ウェーハの下方に配置される下回転軸を軸に回転可能な下ロールスポンジと、該ウェーハの上面に洗浄水を供給する上洗浄ノズルと、該ウェーハの下面に洗浄水を供給する下洗浄ノズルと、を備え、該上ロールスポンジの外側面と該下ロールスポンジの外側面とが接触しないように該上ロールスポンジと該下ロールスポンジとは該上回転軸の軸方向で離間され、該保持テーブルに保持される該ウェーハの外周部分の上面及び外周縁に該上ロールスポンジを接触させ、該ウェーハの外周部分の下面及び外周縁に該下ロールスポンジを接触させ、該ウェーハの外周部分を洗浄するウェーハ洗浄装置である。

本発明に係るウェーハ洗浄装置は、前記上ロールスポンジの外側面を洗浄するために該上ロールスポンジの外側面に洗浄水を噴射する上スポンジ洗浄ノズルと、前記下ロールスポンジの外側面を洗浄するために該下ロールスポンジの外側面に洗浄水を噴射する下スポンジ洗浄ノズルと、を備えると好ましい。

本発明に係るウェーハ洗浄装置は、少なくとも前記上ロールスポンジと前記下ロールスポンジとを収容する洗浄室を備え、該洗浄室は、前記保持テーブルの保持面に保持された前記ウェーハの外周部分を該洗浄室内に進入させる進入口を備え、該進入口から該洗浄室内に進入させた該ウェーハの外周部分を洗浄すると好ましい。

本発明に係るウェーハ洗浄装置において、前記上洗浄ノズルと前記下洗浄ノズルとは、洗浄水と空気とを混合させた二流体を噴射する洗浄ノズルであって、該上洗浄ノズル、又は該下洗浄ノズルから噴射された二流体を水と空気とに分離させる気液分離ユニットを備えると好ましい。

前記気液分離ユニットは、２種類のプレートの組み合わせによって断面がジグザグになる流路が形成されると共に、前記洗浄室に接続する吸気口と、吸引源に接続する排気口とを備えると好ましい。

また、上記課題を解決するための本発明は、前記ウェーハ洗浄装置を用いて前記ウェーハの外周部分を洗浄するウェーハの洗浄方法であって、該ウェーハを前記保持テーブルの保持面で保持する保持工程と、該保持面が保持した該ウェーハの外周上面及び外周縁を前記上ロールスポンジに接触させ、該ウェーハの外周下面及び外周縁を前記下ロールスポンジに接触させ、前記回転手段によって該ウェーハの中心を軸に該ウェーハを回転させ、該上ロールスポンジの該ウェーハに接している部分が該ウェーハの外に向かうように該上ロールスポンジを回転させ、該下ロールスポンジの該ウェーハに接している部分が該ウェーハの外に向かうように該下ロールスポンジを回転させ、該ウェーハの外周上面と外周下面と外周縁とを洗浄する第１の洗浄工程と、を備え、前記上洗浄ノズルは、該第１の洗浄工程において該上ロールスポンジより該ウェーハの回転方向の上流に配設され、前記下洗浄ノズルは、該第１の洗浄工程において該下ロールスポンジより該ウェーハの回転方向の上流に配設される、ウェーハの洗浄方法である。

本発明に係るウェーハの洗浄方法は、前記該第１の洗浄工程の後、該第１の洗浄工程で前記該ウェーハを回転させた回転方向とは逆方向に前記該回転手段によって該ウェーハを回転させ、該ウェーハの外周上面と外周下面と外周縁とを洗浄する第２の洗浄工程を備えると好ましい。

ウェーハの外周部分を洗浄する本発明に係る洗浄装置は、ウェーハの径より小さい径の保持面でウェーハの外周部分を保持面からはみ出させて保持面でウェーハを保持する保持テーブルと、保持面の中心を軸に保持テーブルを回転させる回転手段と、保持テーブルの保持面方向に平行で且つ保持面の外周の接線方向に延在しウェーハの上方に配置される上回転軸を軸に回転可能な上ロールスポンジと、上回転軸と平行に延在しウェーハの下方に配置される下回転軸を軸に回転可能な下ロールスポンジと、ウェーハの上面に洗浄水を供給する上洗浄ノズルと、ウェーハの下面に洗浄水を供給する下洗浄ノズルと、を備え、上ロールスポンジの外側面と下ロールスポンジの外側面とが接触しないように上ロールスポンジと下ロールスポンジとは上回転軸の軸方向で離間され、保持テーブルに保持されるウェーハの外周部分の上面及び外周縁に上ロールスポンジを接触させ、ウェーハの外周部分の下面及び外周縁に下ロールスポンジを接触させ、ウェーハの外周部分を洗浄することで、上ロールスポンジ及び下ロールスポンジがウェーハの外周部分で切られるように削られることがなくなるため劣化しにくくなり、その結果、上ロールスポンジ及び下ロールスポンジの削りカスが発生しにくくなるため、削れたロールスポンジがウェーハに付着するのを防ぐことが可能となる。

本発明に係るウェーハ洗浄装置は、上ロールスポンジの外側面を洗浄するために上ロールスポンジの外側面に洗浄水を噴射する上スポンジ洗浄ノズルと、下ロールスポンジの外側面を洗浄するために下ロールスポンジの外側面に洗浄水を噴射する下スポンジ洗浄ノズルと、を備えることで、上ロールスポンジの外側面及び下ロールスポンジの外側面をウェーハの洗浄中に汚れが無い状態に保つことが可能となる。

本発明に係るウェーハ洗浄装置は、少なくとも上ロールスポンジと下ロールスポンジとを収容する洗浄室を備え、洗浄室は、保持テーブルの保持面に保持されたウェーハの外周部分を洗浄室内に進入させる進入口を備え、進入口から洗浄室内に進入させたウェーハの外周部分を洗浄するようにすることで、汚れを含んだ洗浄水をウェーハ洗浄装置の周囲に飛び散らせること無くウェーハの外周部分の洗浄を行っていくことが可能となる。

本発明に係るウェーハ洗浄装置において、上洗浄ノズルと下洗浄ノズルとは、洗浄水を供給する洗浄ノズルであって、洗浄水を供給するためスポンジで剥ぎ取った樹脂を洗い流す事ができる。または、上洗浄ノズルと下洗浄ノズルとは、洗浄水と空気とを混合させた二流体を噴射する洗浄ノズルであって、上洗浄ノズル、又は下洗浄ノズルから噴射された二流体によってウェーハの外周部分の洗浄が可能となる。また、二流体を噴出する洗浄ノズルを用いる場合は、二流体を水と空気とに分離させる気液分離ユニットを備えるとよい。

気液分離ユニットは、２種類のプレートの組み合わせによって断面がジグザグになる流路が形成されると共に、洗浄室に接続する吸気口と、吸引源に接続する排気口とを備えることで、二流体を水と空気とに分離することが可能となる。

前記ウェーハ洗浄装置を用いてウェーハの外周部分を洗浄する本発明に係るウェーハの洗浄方法は、ウェーハを保持テーブルの保持面で保持する保持工程と、保持面が保持したウェーハの外周部分の上面及び外周縁を上ロールスポンジに接触させ、該ウェーハの外周部分の下面及び外周縁を下ロールスポンジに接触させ、回転手段によってウェーハの中心を軸にウェーハを回転させ、上ロールスポンジのウェーハに接している部分がウェーハの外に向かうように上ロールスポンジを回転させ、下ロールスポンジのウェーハに接している部分がウェーハの外に向かうように下ロールスポンジを回転させ、ウェーハの外周部分の上面と外周部分の下面と外周縁とを洗浄する第１の洗浄工程と、を備えることで、上ロールスポンジ及び下ロールスポンジがウェーハの外周部分で切られるように削られることがなくなるため劣化しにくくなり、その結果、上ロールスポンジ及び下ロールスポンジの削りカスが発生しにくくなるため、削れたロールスポンジがウェーハに付着するのを防ぐことが可能となる。また、上洗浄ノズルは、第１の洗浄工程において上ロールスポンジよりウェーハの回転方向の上流に配設され、下洗浄ノズルは、第１の洗浄工程において下ロールスポンジよりウェーハの回転方向の上流に配設されることで、ウェーハの外周上面と外周下面と外周縁とに残っている樹脂をより効率的に洗浄除去することが可能となる。

本発明に係るウェーハの洗浄方法は、第１の洗浄工程の後、第１の洗浄工程でウェーハを回転させた回転方向とは逆方向に回転手段によってウェーハを回転させ、ウェーハの外周上面と外周下面と外周縁とを洗浄する第２の洗浄工程を備えることで、第１の洗浄工程で洗浄除去しきれなかった樹脂の残りカスを確実に除去しきることが可能となる。

第１の洗浄工程においてウェーハの外周上面、外周下面、及び外周縁を洗浄しているウェーハ洗浄装置の一例を示す縦断面図である。 第１の洗浄工程においてウェーハの外周上面、外周下面、及び外周縁を洗浄しているウェーハ洗浄装置の一例を示す横断面図である。 気液分離ユニットを構成する第１プレートの一例を示す斜視図である。 気液分離ユニットを構成する第２プレートの一例を示す斜視図である。 第２の洗浄工程においてウェーハの外周上面、外周下面、及び外周縁を洗浄しているウェーハ洗浄装置の一例を示す横断面図である。 上ロールスポンジを２つ備え、下ロールスポンジを１つ備えるウェーハ洗浄装置の一例を示す横断面図である。 ２つの上ロールスポンジを回転させる上回転軸及び１つの下ロールスポンジを回転させる下回転軸を１つのモータで回転させている状態を説明する説明図である。

図１に示すウェーハＷの外周縁Ｗｄ１を含む外周部分Ｗｄを洗浄するウェーハ洗浄装置１は、ウェーハＷの径より小さい径の保持面３００ａでウェーハＷの外周部分Ｗｄを保持面３００ａからはみ出させて保持面３００ａでウェーハＷを保持する保持テーブル３０と、保持面３００ａの中心を軸に保持テーブル３０を回転させる回転手段３１と、保持テーブル３０の保持面方向（水平方向）に平行で且つ保持面３００ａの外周の接線方向に延在しウェーハＷの上方に配置される上回転軸４２を軸に回転可能な上ロールスポンジ４３と、上回転軸４２と平行に延在しウェーハＷの下方に配置される下回転軸４５を軸に回転可能な下ロールスポンジ４６と、ウェーハＷの上面Ｗａに洗浄水を供給する上洗浄ノズル５１と、ウェーハＷの下面Ｗｂに洗浄水を供給する下洗浄ノズル５３と、を少なくともを備えている。

図１、２に示すウェーハＷは、例えば、円柱状のインゴットをワイヤーソー等で薄く切断して形成された円形のアズスライスウェーハであり、研削加工を施すための樹脂等からなる図示しない保護部材が例えば上面Ｗａに一度貼着されて、その後、該保護部材が剥離された状態になっている。その結果、ウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａや外周縁Ｗｄ１には、樹脂Ｊの残りが付着している。なお、ウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａだけでなく外周部分Ｗｄの下面Ｗｂにも樹脂Ｊの残りが付着していてもよい。例えば、ウェーハＷの厚みは、約８００μｍとなっている。

ウェーハＷを保持する図１に示す保持テーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなりウェーハＷを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸着部３００の露出面と枠体３０１の上面とからなる平坦な保持面３００ａ上でウェーハＷを吸引保持する。保持面３００ａの直径は、ウェーハＷの直径よりも小さく設定されている。

図１に示す回転手段３１は、例えば、軸方向がＺ軸方向（鉛直方向）である回転軸３１０と、回転軸３１０の下端側に連結されるモータ３１２とを少なくとも備えている。回転軸３１０は、軸心を保持テーブル３０の保持面３００ａの中心と合致させた状態で、その上端側が保持テーブル３０の下面に連結されている。なお、回転手段３１は、プーリ機構等であってもよい。

保持テーブル３０の下側には、保持テーブル３０の保持面３００ａ方向（本実施形態においては、Ｘ軸方向）で保持テーブル３０に保持されたウェーハＷと上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６とを相対的に接近又は離間させるテーブル移動手段１２が配設されている。テーブル移動手段１２は、Ｘ軸方向に延在するガイドレール１２１と、ガイドレール１２１上においてＸ軸方向に移動可能なスライダ１２２と、モータ及びボールネジ等からなりスライダ１２２を動かす駆動力を生み出す図示しないボールネジ機構とにより構成されている。スライダ１２２は、その上面で回転手段３１を介して保持テーブル３０を支持している。スライダ１２２がガイドレール１２１に沿って移動することにより、保持テーブル３０で保持されたウェーハＷと上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６とをＸ軸方向において相対的に接近又は離間させることができる。

本実施形態におけるウェーハ洗浄装置１は、少なくとも上ロールスポンジ４３と下ロールスポンジ４６とを収容する洗浄室１６を備えている。洗浄室１６は、例えば、略直方体状の外形を備えており、平面視矩形の底板１６９と、底板１６９の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる４枚の側壁と、４枚の側壁の上端に連結される天板１６５とからなる。そして、図１でウェーハＷの移動方向であるＸ軸方向において対向する２枚の側壁をそれぞれ前壁１６０ａ、後壁１６０ｂとして、Ｙ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁１６０ｃ（図２参照）、側壁１６０ｄとする。

洗浄室１６の保持テーブル３０に対向する－Ｘ方向側の前壁１６０ａには、保持テーブル３０の保持面３００ａに保持されたウェーハＷの外周部分Ｗｄを洗浄室１６内に進入させる進入口１６３が形成されている。進入口１６３は、例えば、前壁１６０ａを長方形に切り欠いて形成されている。

例えば、洗浄室１６内の進入口１６３の上下近傍には、図示しないエアカーテン形成手段が配設されていてもよい。エアカーテン形成手段により形成されるエアカーテンは、ウェーハＷの上面Ｗａ又は下面Ｗｂに付着する水（洗浄水）が進入口１６３から洗浄室１６の外部に流出してしまうことを防ぐ。

洗浄室１６内に配設された上ロールスポンジ４３を回転可能に支持し、保持テーブル３０の保持面方向に平行で且つ保持面３００ａの外周の接線方向であるＹ軸方向に延在する図１に示す上回転軸４２は、例えば、Ｙ軸方向における紙面奥側の側壁１６０ｄに図示しない軸受けを介して回転可能に支持されている。上回転軸４２は、洗浄室１６に進入した状態のウェーハＷの外周部分Ｗｄに対して斜め上方となる位置に配設されており、モータ等の回転駆動源４２４によって回転可能となっている。

図１、２に示す上ロールスポンジ４３は、所定の厚みを備えるスポンジを円筒形状に成形したものであり、その中心に挿入孔が形成され、挿入孔に上回転軸４２が軸通されている。上ロールスポンジ４３は、例えば、気泡が互いに連通している構造を有する連泡スポンジであり、ポリウレタンを発泡成形して作られるスポンジ（例えば、アイオン社製、ソフラススポンジ）、ＰＶＡスポンジ（例えば、アイオン社製、ベルイータースポンジ）、又はゴムに発泡剤等を練り込み成形されるスポンジ等を用いる。なお、上ロールスポンジ４３は、単泡スポンジを用いてもよい。そして、上ロールスポンジ４３の外側面が、ウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａ及び外周縁Ｗｄ１を洗浄する洗浄面となる。

洗浄室１６内に配設された下ロールスポンジ４６を回転可能に支持し、上回転軸４２と平行に延在する図１に示す下回転軸４５は、例えば、Ｙ軸方向における紙面手前側の側壁１６０ｃに図示しない軸受けを介して回転可能に支持されている。下回転軸４５は、洗浄室１６に進入した状態のウェーハＷの外周部分Ｗｄに対して斜め下方となる位置に配設されており、モータ等の回転駆動源４５４によって回転可能となっている。下ロールスポンジ４６は、例えば、上ロールスポンジ４３と同一のものであり、下ロールスポンジ４６の外側面が、ウェーハＷの外周部分Ｗｄの下面Ｗｂ及び外周縁Ｗｄ１を洗浄する洗浄面となる。

上ロールスポンジ４３と下ロールスポンジ４６とは、それぞれの外側面が接触しないように、図２に示すように上回転軸４２の軸方向、即ち、下回転軸４５の軸方向でもあるＹ軸方向で例えば僅かな隙間を設けて離間されている。

図１、２に示すように、洗浄室１６内には、ウェーハＷの上面Ｗａに例えば洗浄水を供給する上洗浄ノズル５１と、ウェーハＷの下面Ｗｂに例えば洗浄水を供給する下洗浄ノズル５３とが配設されている。上洗浄ノズル５１は、例えば、洗浄室１６に進入した状態のウェーハＷの外周部分Ｗｄに対して斜め上方となる位置に配設されており、その噴射口は、噴射した洗浄水がウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａに接触した後に、外周縁Ｗｄ１からウェーハＷの外側に向かって離れるように設定されている。下洗浄ノズル５３は、例えば、洗浄室１６に進入した状態のウェーハＷの外周部分Ｗｄに対して斜め下方となる位置に配設されており、その噴射口は、噴射した洗浄水がウェーハＷの外周部分Ｗｄの下面Ｗｂに接触した後に、外周縁Ｗｄ１からウェーハＷの外側に向かって離れるように設定されている。
また、上洗浄ノズル５１と下洗浄ノズル５３とは、上下に対向して配置されている。

本実施形態においては、上洗浄ノズル５１及び下洗浄ノズル５３は、洗浄水と空気とを混合させた二流体を噴射する洗浄ノズルであるが、これに限定されるものではない。
例えば、上洗浄ノズル５１及び下洗浄ノズル５３は、可撓性を有する樹脂チューブ等の水供給路５４を介して、ポンプ等からなり洗浄水として例えば純水を供給する水源５９に接続されている。水供給路５４上には、図示しない開閉弁が配設されている。また、上洗浄ノズル５１及び下洗浄ノズル５３は、可撓性を有する樹脂チューブ等の空気供給路５５を介して、コンプレッサー等からなり圧縮空気を供給する空気源５８に連通している。空気供給路５５上には、図示しない開閉弁が配設されている。水源５９から供給された洗浄水と空気源５８から供給された空気とは、上洗浄ノズル５１内又は下洗浄ノズル５３内で混合されてそれぞれの噴射口から二流体となってウェーハＷの上面Ｗａや下面Ｗｂに噴射され、上面Ｗａ及び下面Ｗｂが二流体によって洗浄される。

なお、上洗浄ノズル５１又は下洗浄ノズル５３からウェーハＷの上面Ｗａや下面Ｗｂに対して洗浄水のみ、又は空気のみを噴射させて、ウェーハＷの上面Ｗａや下面Ｗｂを洗浄水のみ、又は空気のみで洗浄してもよい。又は、上洗浄ノズル５１又は下洗浄ノズル５３から洗浄水と空気とを交互に噴射させて、ウェーハＷの上面Ｗａや下面Ｗｂを洗浄してもよい。

本実施形態のウェーハ洗浄装置１は、図１、２に示すように、例えば洗浄室１６内に、上ロールスポンジ４３の外側面を洗浄するために上ロールスポンジ４３の外側面に洗浄水を噴射する上スポンジ洗浄ノズル６１と、下ロールスポンジ４６の外側面を洗浄するために下ロールスポンジ４６の外側面に洗浄水を噴射する下スポンジ洗浄ノズル６３と、を備えている。上スポンジ洗浄ノズル６１及び下スポンジ洗浄ノズル６３は、例えば、それぞれ水流路６１０、水流路６３０によって水源５９に連通している。

上スポンジ洗浄ノズル６１は、上ロールスポンジ４３の上方に配設されている。即ち、本実施形態においては、上スポンジ洗浄ノズル６１は、上ロールスポンジ４３のウェーハＷに接触していない＋Ｘ方向側の外側面に向かって、その噴出口が開口しており、下方に向かって噴出された洗浄水が＋Ｘ方向側の外側面に接触し、上ロールスポンジ４３に付着していた樹脂Ｊの残りカスを含んだ洗浄水がウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａには接触すること無く、洗浄室１６の底板１６９上に溜まるようになっている。例えば、底板１６９には図示しない排水口が形成されており、排水口は、ドレンホース等を介して廃水タンク等に連通している。

下スポンジ洗浄ノズル６３は、例えば、下ロールスポンジ４６の上方となる位置に配設されている。即ち、本実施形態においては、下スポンジ洗浄ノズル６３は、下ロールスポンジ４６のウェーハＷに接触しない＋Ｘ方向側の外側面に向かってその噴出口が開口しており、下方に噴出された洗浄水が例えば＋Ｘ方向側の外側面に接触した後に、下ロールスポンジ４６に付着していた樹脂Ｊの残りカスを含んだ洗浄水がウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａには接触すること無く、洗浄室１６の底板１６９上に溜まるようになっている。

なお、上スポンジ洗浄ノズル６１及び下スポンジ洗浄ノズル６３を図１に示す空気源５８にも連通するようにして、上スポンジ洗浄ノズル６１及び下スポンジ洗浄ノズル６３から各ロールスポンジに対して空気のみを噴射させて、各ロールスポンジの外側面に付着した樹脂Ｊの残りカスを吹き飛ばして洗浄してもよい。または、上スポンジ洗浄ノズル６１及び下スポンジ洗浄ノズル６３から洗浄水と空気とを交互に噴射させて、各ロールスポンジの外側面を洗浄してもよい。

本実施形態のウェーハ洗浄装置１は、先に説明した上洗浄ノズル５１、又は下洗浄ノズル５３から噴射された二流体を水と空気とに分離させる気液分離ユニット７を備えている。そして、気液分離ユニット７は、例えば、２種類のプレートである第１プレート７１及び第２プレート７２の組み合わせによって断面がジグザグになる流路７３が形成されると共に、洗浄室１６に接続する吸気口７４と、エジェクター機構又は真空発生装置等の吸引源７９に接続する排気口７５とを備える。

本実施形態においては、例えば、第１プレート７１及び第２プレート７２は、気液分離ユニット７の図１に示すハウジング７０の中に配置されている。図３に示す第１プレート７１は、例えば、平面視矩形の外形を備えており、その長手方向の一端側に第１プレート７１を厚み方向に貫通する矩形の貫通孔７１０が形成されている。
図４に示す第２プレート７２は、例えば、平面視矩形環状の外形を備えており、その一辺に長手方向に第２プレート７２を貫通する排水孔７２１が形成されている。
例えば、第１プレート７１と第２プレート７２とは、同一の長さ及び同一の幅に設定されているが、これに限定されるものではない。

本実施形態においては、図１に示すように、第１プレート７１と第２プレート７２とは、ハウジング７０内に例えばその長手方向をＺ軸方向（鉛直方向）に合わせて立てられて交互に接続された状態でそれぞれ複数枚配設されている。即ち、図１に示すように、第２プレート７２は、第１プレート７１にＸ軸方向において対向している。そして、第２プレート７２を間に挟んだ状態の第１プレート７１同士は、それぞれの貫通孔７１０が交互にＺ軸方向において反対になるように配設されていることで、気液分離ユニット７をＸ軸方向で切った断面がジグザグになる流路７３が形成される。また、例えば、第２プレート７２の各排水孔７２１が、第２プレート７２の下側に位置した状態になる。例えば、ハウジング７０の底面には、ドレンホース等が接続され第２プレート７２の各排水孔７２１から流れ落ちてきた水を図示しないタンクに送るためのハウジング排水孔７０４が形成されている。
なお、ジグザグの流路７３は、図１に示すＺ軸方向における上下のジグザグではなく、例えばＹ軸方向における左右のジグザグとなってもよい。

例えば、洗浄室１６の後壁１６０ｂには、二流体排気口１６６が形成されており、気液分離ユニット７の吸気口７４は、該二流体排気口１６６に一端が連通し、他端が第１プレート７１の貫通孔７１０に連通している。また、吸引源７９に他端が連通している排気口７５は、その一端が第１プレート７１の貫通孔７１０に連通している。

なお、気液分離ユニット７は本実施形態の例に限定されるものではなく、従来から知られているタンク内に二流体を進入させて、タンク内に溜められた水中に含まれる空気を上昇させて水から分離させるものであってもよい。

以下に、図１、２に示すウェーハ洗浄装置１を用いて、ウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａ、外周部分Ｗｄの下面Ｗｂ、及び外周縁Ｗｄ１を洗浄する場合の各工程について説明する。

（１）保持工程
まず、図１に示すように、例えばウェーハＷの中心が保持テーブル３０の保持面３００ａの中心と略合致するようにして、保持面３００ａ上に上面Ｗａを上側に向けた状態でウェーハＷが載置される。そして、図示しない吸引源が作動して生み出された吸引力が保持面３００ａに伝達され、保持テーブル３０がウェーハＷの外周部分Ｗｄを保持面３００ａからはみ出させウェーハＷの中央部分を保持面３００ａで吸引保持する。

（２）第１の洗浄工程
例えば、ウェーハ洗浄装置１の上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６は、ウェーハＷの外周部分Ｗｄ及び外周縁Ｗｄ１を洗浄できるように準備される。即ち、上スポンジ洗浄ノズル６１（下スポンジ洗浄ノズル６３）から上ロールスポンジ４３（下ロールスポンジ４６）に対して洗浄水が供給されて、上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６が該洗浄水を吸収することで膨らみ弾力性を備えるように準備される。なお、上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６は、洗浄水を吸収しても膨らまないものであってもよい。
上スポンジ洗浄ノズル６１（下スポンジ洗浄ノズル６３）から上ロールスポンジ４３（下ロールスポンジ４６）に対する洗浄水の供給は、各ロールスポンジが膨らんだ後も継続される。

また、回転駆動源４２４が上回転軸４２を、また回転駆動源４５４が下回転軸４５を所定の回転速度で回転させ、上回転軸４２及び下回転軸４５の回転に伴って、上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６が回転する。

また、テーブル移動手段１２がウェーハＷを保持した保持テーブル３０を＋Ｘ方向に向かって移動させる。そして、ウェーハＷの外周部分Ｗｄが洗浄室１６の進入口１６３から洗浄室１６内に進入し、洗浄水を吸収したことで膨らんだ上ロールスポンジ４３の外側面にウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａ及び外周縁Ｗｄ１が接触し、洗浄水を吸収したことで膨らんだ下ロールスポンジ４６の外側面にウェーハＷの外周部分Ｗｄの下面Ｗｂ及び外周縁Ｗｄ１が接触すると、テーブル移動手段１２による保持テーブル３０の移動が停止される。
例えば、図１に示すように、上ロールスポンジ４３の外側面又は下ロールスポンジ４６の外側面に対してウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａ又は下面Ｗｂが接触する範囲は、ウェーハＷの外周縁Ｗｄ１からウェーハＷの中心に向けて約５ｍｍ内側の位置までの範囲である。

本実施形態においては、図１、２に示すように、上ロールスポンジ４３のウェーハＷに接する部分である外側面がウェーハＷの外周縁Ｗｄ１から外に向かうように上ロールスポンジ４３を回転させ、下ロールスポンジ４６のウェーハＷに接する部分である外側面がウェーハＷの外周縁Ｗｄ１から外に向かうように下ロールスポンジ４６を回転させている。即ち、上ロールスポンジ４３は、－Ｙ方向側から見て例えば反時計回り方向に回転しており、下ロールスポンジ４６は、－Ｙ方向側から見て例えば時計回り方向に回転しており、両ロールスポンジは反対方向に回転している。

図１に示す回転手段３１が、保持面３００ａの中心と略合致しているウェーハＷの中心を軸に、＋Ｚ方向側から見てウェーハＷを例えば反時計回り方向に回転させる。そして、上ロールスポンジ４３によってウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａ及び外周縁Ｗｄ１が全周にわたって洗浄され樹脂Ｊの残りカスが除去され、かつ、下ロールスポンジ４６によってウェーハＷの外周部分Ｗｄの下面Ｗｂ及び外周縁Ｗｄ１が全周にわたって洗浄され樹脂Ｊの残りカスが除去される。

なお、ウェーハＷの外周部分Ｗｄの洗浄においては、図１に示すウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａが上ロールスポンジ４３によって多少下方に向かって押されるが、ウェーハＷの外周部分Ｗｄの下面Ｗｂが下ロールスポンジ４６によって多少上方に向かって押されるので、ウェーハＷが上下方向に撓んで割れてしまうことが防がれる。

上ロールスポンジ４３（下ロールスポンジ４６）の外側面には、ウェーハＷから樹脂Ｊの残りカスが移ってきて付着するが、上スポンジ洗浄ノズル６１（下スポンジ洗浄ノズル６３）から上ロールスポンジ４３（下ロールスポンジ４６）の外側面に対して洗浄水の供給がされているため、上ロールスポンジ４３の外側面及び下ロールスポンジ４６の外側面から樹脂Ｊの残りカスが該洗浄水で洗い流される。したがって、清潔な上ロールスポンジ４３（下ロールスポンジ４６）の外側面でウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａ（下面Ｗｂ）及び外周縁Ｗｄ１を洗浄し続けることができる。

上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６によるウェーハＷの外周部分Ｗｄの上記洗浄が開始されると、本実施形態においては、空気源５８から空気（圧縮エア）が上洗浄ノズル５１（下洗浄ノズル５３）に供給されると共に、水源５９から洗浄水（例えば、純水）が上洗浄ノズル５１（下洗浄ノズル５３）に供給されることで、上洗浄ノズル５１（下洗浄ノズル５３）の噴射口からウェーハＷの上面Ｗａ（下面Ｗｂ）に向かって水と空気とが混合した二流体が噴射される。

なお、本発明に係るウェーハ洗浄方法では、上洗浄ノズル５１は、図２に示すように、第１の洗浄工程において上ロールスポンジ４３よりウェーハＷの回転方向（＋Ｚ軸方向から見て反時計回り方向）の上流、即ち、上ロールスポンジ４３とウェーハＷとの接触部位よりも上流に配設され、下洗浄ノズル５３は、第１の洗浄工程において下ロールスポンジ４６よりウェーハＷの回転方向（＋Ｚ軸方向から見て反時計回り方向）の上流、即ち、下ロールスポンジ４６とウェーハＷとの接触部位よりも上流に配設されている。したがって、ウェーハＷの上面Ｗａ又は下面Ｗｂに二流体が充分にまとわりついた状態で、ウェーハＷの外周部分Ｗｄが上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６によって洗浄されていくため、洗浄がより効果的に行われていく。

そして、該二流体によってウェーハＷの上面Ｗａ及び下面Ｗｂが洗浄され、さらに、保持テーブル３０の回転により発生する遠心力によって、二流体が、ウェーハＷの上面Ｗａ又は下面Ｗｂ上を外周縁Ｗｄ１側に向けて流れていき、ウェーハＷから洗浄室１６の底板１６９へと流下する。ウェーハＷの外周部分Ｗｄ及び外周縁Ｗｄ１に付着していた樹脂Ｊのカスは、上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６により擦られてウェーハＷから剥がれやすくなっているので、二流体によってウェーハＷ上から洗い流される。

なお、上洗浄ノズル５１（下洗浄ノズル５３）から、二流体ではなく洗浄水をウェーハＷの上面Ｗａ（下面Ｗｂ）に噴射させてもよいが、二流体を用いることで水滴がウェーハＷに衝突した際、水滴内部にはウェーハＷとの接触点を中心として衝撃波、膨張波が発生し、ウェーハＷがより効率的に洗浄される。また、該水滴はウェーハＷの上面Ｗａ又は下面Ｗｂを流れるジェット水流を発生させる。そして、水滴が樹脂Ｊのカスに直接ぶつかる場合には、水滴内部の圧力変動によりウェーハＷの上面Ｗａ又は下面Ｗｂから樹脂Ｊの残りカスが引き剥がされ、水滴が直接ぶつからない場合には、ジェット水流により樹脂Ｊの残りカスが洗い流される。

本実施形態においては、上記のように二流体によりウェーハＷを洗浄するので、気液分離ユニット７が作動して、上洗浄ノズル５１、又は下洗浄ノズル５３から噴射された二流体を水と空気とに分離させる。
即ち、吸引源７９が作動することで生み出す吸引力が、排気口７５、ジグザグの流路７３、及び吸気口７４を通り洗浄室１６内に伝達される。その結果、洗浄室１６内から噴霧となった二流体が気液分離ユニット７内に吸引されていく。

気液分離ユニット７内に吸引された噴霧となった二流体は、流路７３を通る際に、図１、３に示す第１プレートの側面７１ａに衝突して、二流体を構成する水が水滴になって該側面７１ａに付着する。第１プレートの側面７１ａに付着した水は、側面７１ａを下方に向かって伝って降下していき、第２プレート７２の排水孔７２１から排水される。したがって、流路７３を通る二流体が気液分離ユニット７内で水と空気とに分離され、排気口７５からは主に空気のみが排気されて吸引源７９は空気のみを吸引する。

ウェーハＷの外周部分Ｗｄを、上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６、並びに二流体により所定時間洗浄することで、第１の洗浄工程が終了する。

（３）第２の洗浄工程
第１の洗浄工程の後、第１の洗浄工程でウェーハＷを回転させた回転方向とは逆方向に回転手段３１によってウェーハＷを回転させ、ウェーハＷの外周部分Ｗｄを洗浄する第２の洗浄工程を実施する。即ち、図５に示すように、回転手段３１（図１参照）が、保持面３００ａの中心と略合致しているウェーハＷの中心を軸に、＋Ｚ方向側から見てウェーハＷを例えば時計回り方向に回転させる。そして、上ロールスポンジ４３によってウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａ及び外周縁Ｗｄ１が全周にわたって洗浄され、第１の洗浄工程後においてウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａに僅かに残っていた樹脂Ｊの残りカスが除去され、かつ、下ロールスポンジ４６によってウェーハＷの外周部分Ｗｄの下面Ｗｂ及び外周縁Ｗｄ１が全周にわたって洗浄され、第１の洗浄工程後においてウェーハＷの外周部分Ｗｄの下面Ｗｂに僅かに残っていた樹脂Ｊの残りカスが除去される。

上洗浄ノズル５１は、図５に示すように、第２の洗浄工程において上ロールスポンジ４３よりウェーハＷの回転方向（＋Ｚ軸方向から見て時計回り方向）の下流に配設された状態になり、下洗浄ノズル５３は、第２の洗浄工程において下ロールスポンジ４６よりウェーハＷの回転方向（＋Ｚ軸方向から見て時計回り方向）の下流に配設された状態になる。したがって、ウェーハＷの外周部分Ｗｄに僅かに残っていた樹脂Ｊの残りカスが、上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６によって擦られて剥がれやすくなった後に、二流体によって濯ぎ落とされていくため、ウェーハＷの外周部分Ｗｄ及び外周縁Ｗｄ１に僅かに残っていた樹脂Ｊの残りカスがほぼ完璧に洗い落とされる。ウェーハＷの外周部分Ｗｄを、上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６、並びに二流体により所定時間洗浄することで、第２の洗浄工程が終了する。

上記のように、ウェーハ洗浄装置１を用いてウェーハＷの外周部分Ｗｄを洗浄する本発明に係るウェーハの洗浄方法は、ウェーハＷを保持テーブル３０の保持面３００ａで保持する保持工程と、保持面３００ａが保持したウェーハＷの外周部分Ｗｄを上ロールスポンジ４３と下ロールスポンジ４６とに接触させ、回転手段３１によってウェーハＷの中心を軸にウェーハＷを回転させ、上ロールスポンジ４３のウェーハＷに接する部分がウェーハＷの外周縁Ｗｄ１から外に向かうように上ロールスポンジ４３を回転させ、下ロールスポンジ４６のウェーハＷに接する部分がウェーハＷの外周縁Ｗｄ１から外に向かうように下ロールスポンジ４６を回転させ、ウェーハＷの外周部分Ｗｄを洗浄する第１の洗浄工程と、第１の洗浄工程の後、第１の洗浄工程でウェーハＷを回転させた回転方向とは逆方向に回転手段３１でウェーハＷを回転させ、ウェーハＷの外周部分Ｗｄを洗浄する第２の洗浄工程とを備えることで、上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６がウェーハＷの外周部分Ｗｄで切られるように削られることがなくなるため劣化しにくくなり、その結果、上ロールスポンジ４３及び下ロールスポンジ４６の削りカスが発生しにくくなるため、削れたロールスポンジがウェーハＷに付着するのを防ぐことが可能となる。また、上洗浄ノズル５１は、第１の洗浄工程において上ロールスポンジ４３よりウェーハＷの回転方向の上流に配設され、下洗浄ノズル５３は、第１の洗浄工程において下ロールスポンジ４６よりウェーハＷの回転方向の上流に配設されることで、ウェーハＷの外周部分Ｗｄに残っている樹脂Ｊの残りカスをより確実に洗浄除去することが可能となる。

上記のように本発明に係るウェーハ洗浄装置１は、少なくとも上ロールスポンジ４３と下ロールスポンジ４６とを収容する洗浄室１６を備え、洗浄室１６は、保持テーブル３０の保持面３００ａに保持されたウェーハＷの外周部分Ｗｄを洗浄室１６内に進入させる進入口１６３を備え、進入口１６３から洗浄室１６内に進入させたウェーハＷの外周部分Ｗｄを洗浄するようにすることで、第１の洗浄工程及び第２の洗浄工程のいずれの工程においても、汚れを含んだ洗浄水をウェーハ洗浄装置１の周囲に飛び散らせること無くウェーハＷの外周部分Ｗｄの洗浄を行っていくことが可能となる。

また、例えば、図６に示すように上ロールスポンジ４３を２つ備え、下ロールスポンジ４６を１つ備え、上回転軸４２によって回転可能な２つの上ロールスポンジ４３と下回転軸４５によって回転可能な１つの下ロールスポンジ４６とでウェーハＷの外周部分を挟むように配置し、ウェーハＷの外周部分Ｗｄの上面Ｗａ、外周部分Ｗｄの下面Ｗｂ、及び外周縁Ｗｄ１を洗浄しても良い。
なお、上ロールスポンジ４３を１つ備え、下ロールスポンジ４６を２つ備える構成でもよい。

また、図７に示すように上ロールスポンジ４３と下ロールスポンジ４６とを１つのモータ４７で回転させてもよい。即ち、図７に示すように、上回転軸４２は第一ギア４２７が取り付けられており、下回転軸４５には第二ギア４５８が取り付けられている。また、モータ４７のシャフトにはモータギア４７１が取り付けられており、モータギア４７１には、従動ギア４８が噛合していると共に、第二ギア４５８が噛合しており、従動ギア４８には第一ギア４２７が噛合している。したがって、図７に示すように、モータ４７が作動することで、上ロールスポンジ４３を回転させる上回転軸４２は、－Ｙ方向側から見て（紙面上から見て）例えば反時計回り方向に回転しており、下ロールスポンジ４６を回転させる下回転軸４５は、－Ｙ方向側から見て例えば時計回り方向に回転しており、図１に示すように上下方向で対向して配置される上ロールスポンジ４３と下ロールスポンジ４６とを互いに反対方向に回転させることができる。即ち、ウェーハＷの洗浄時に、図６に示す上ロールスポンジ４３のウェーハＷに接している部分がウェーハＷの外に向かうように上ロールスポンジ４３を回転させ、下ロールスポンジ４６のウェーハＷに接している部分がウェーハＷの外に向かうように下ロールスポンジ４６を回転させることができる。

また、上記に示すように、本発明に係るウェーハ洗浄装置１において、上洗浄ノズル５１と下洗浄ノズル５３とは、洗浄水と空気とを混合させた二流体を噴射する洗浄ノズルであって、上洗浄ノズル５１、又は下洗浄ノズル５３から噴射された二流体を水と空気とに分離させる気液分離ユニット７を備えることで、二流体によってウェーハＷの外周部分Ｗｄの洗浄をより効率的かつ効果的に行っていくことが可能となる。また、一般的に、ウェーハ洗浄装置１から排出される二流体の空気と水とを同時に真空発生装置等の吸引源７９で吸引しようとすると、吸引状態が安定せず充分に吸引ができなくなってしまうが、気液分離ユニット７によって二流体の空気と水とを上記のように分離することで、排出される二流体を充分に吸引していくことが可能となる。
また、気液分離ユニット７を備えると、例えば吸引源７９を用いないで洗浄室１６内に供給される水と空気との圧力で二流体を分離させ、排気と排水とをさせる事ができる。

気液分離ユニット７は、第１プレート７１と第２プレート７２との２種類のプレートの組み合わせによって断面がジグザグになる流路７３が形成されると共に、洗浄室１６に接続する吸気口７４と、吸引源７９に接続する排気口７５と、ハウジング排水孔７０４を備えることで、二流体を水と空気とにより確実に分離することが可能となる。

本発明に係るウェーハの洗浄方法は、上記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されているウェーハ洗浄装置１の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

Ｗ：ウェーハ Ｗａ：ウェーハの上面 Ｗｂ：ウェーハの下面 Ｗｄ：ウェーハの外周部分 Ｗｄ１：ウェーハの外周縁
１：ウェーハ洗浄装置
１２：移動手段 １２１：ガイドレール １２２：スライダ
１６：洗浄室 １６９：底板 １６０ａ：前壁 １６３：進入口 １６０ｂ：後壁
１６０ｃ，１６０ｄ：側壁 １６５：天板
３０：保持テーブル ３００：吸着部 ３００ａ：保持面 ３０１：枠体
３１：回転手段 ３１０：回転軸 ３１２：モータ
４２：上回転軸 ４２４：回転駆動源 ４３：上ロールスポンジ
４５：下回転軸 ４５４：回転駆動源 ４６：下ロールスポンジ
５１：上洗浄ノズル ５３：下洗浄ノズル
５９：水源 ５８：空気源
６１：上スポンジ洗浄ノズル
６３：下スポンジ洗浄ノズル
７：気液分離ユニット ７１：第１プレート ７１０：貫通孔 ７１ａ：第１プレートの側面 ７２：第２プレート ７２１：排水孔 ７０：ハウジング ７０４：ハウジング排水孔４２７：第一ギア ４５８：第二ギア ４７：モータ ４７１：モータギア ４８：従動ギア

Claims (7)

1. ウェーハの外周部分を洗浄するウェーハ洗浄装置であって、
   該ウェーハの径より小さい径の保持面で該ウェーハの外周部分を該保持面からはみ出させて該保持面で該ウェーハを保持する保持テーブルと、
   該保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転手段と、
   該保持テーブルの保持面方向に平行で且つ該保持面の外周の接線方向に延在し該ウェーハの上方に配置される上回転軸を軸に回転可能な上ロールスポンジと、
   該上回転軸と平行に延在し該ウェーハの下方に配置される下回転軸を軸に回転可能な下ロールスポンジと、
   該ウェーハの上面に洗浄水を供給する上洗浄ノズルと、
   該ウェーハの下面に洗浄水を供給する下洗浄ノズルと、を備え、
   該上ロールスポンジの外側面と該下ロールスポンジの外側面とが接触しないように該上ロールスポンジと該下ロールスポンジとは該上回転軸の軸方向で離間され、該保持テーブルに保持される該ウェーハの外周部分の上面及び外周縁に該上ロールスポンジを接触させ、該ウェーハの外周部分の下面及び外周縁に該下ロールスポンジを接触させ、該ウェーハの外周部分を洗浄するウェーハ洗浄装置。
2. 前記上ロールスポンジの外側面を洗浄するために該上ロールスポンジの外側面に洗浄水を噴射する上スポンジ洗浄ノズルと、
   前記下ロールスポンジの外側面を洗浄するために該下ロールスポンジの外側面に洗浄水を噴射する下スポンジ洗浄ノズルと、を備えた、請求項１記載のウェーハ洗浄装置。
3. 少なくとも前記上ロールスポンジと前記下ロールスポンジとを収容する洗浄室を備え、
   該洗浄室は、前記保持テーブルの保持面に保持された前記ウェーハの外周部分を該洗浄室内に進入させる進入口を備え、該進入口から該洗浄室内に進入させた該ウェーハの外周部分を洗浄する請求項１、又は２記載のウェーハ洗浄装置。
4. 前記上洗浄ノズルと前記下洗浄ノズルとは、前記洗浄水と空気とを混合させた二流体を噴射する洗浄ノズルであって、
   該上洗浄ノズル、又は該下洗浄ノズルから噴射された二流体を水と空気とに分離させる気液分離ユニットを備える請求項３記載のウェーハ洗浄装置。
5. 前記気液分離ユニットは、２種類のプレートの組み合わせによって断面がジグザグになる流路が形成されると共に、前記洗浄室に接続する吸気口と、吸引源に接続する排気口とを備える請求項４記載のウェーハ洗浄装置。
6. 請求項１、２、３、４又は５記載のウェーハ洗浄装置を用いて前記ウェーハの外周部分を洗浄するウェーハの洗浄方法であって、
   該ウェーハを前記保持テーブルの保持面で保持する保持工程と、
   該保持面が保持した該ウェーハの外周上面及び外周縁を前記上ロールスポンジに接触させ、該ウェーハの外周下面及び外周縁を前記下ロールスポンジに接触させ、前記回転手段によって該ウェーハの中心を軸に該ウェーハを回転させ、該上ロールスポンジの該ウェーハに接している部分が該ウェーハの外に向かうように該上ロールスポンジを回転させ、該下ロールスポンジの該ウェーハに接している部分が該ウェーハの外に向かうように該下ロールスポンジを回転させ、該ウェーハの外周上面と外周下面と外周縁とを洗浄する第１の洗浄工程と、を備え、
   前記上洗浄ノズルは、該第１の洗浄工程において該上ロールスポンジより該ウェーハの回転方向の上流に配設され、前記下洗浄ノズルは、該第１の洗浄工程において該下ロールスポンジより該ウェーハの回転方向の上流に配設される、ウェーハの洗浄方法。
7. 前記第１の洗浄工程の後、該第１の洗浄工程で前記ウェーハを回転させた回転方向とは逆方向に前記回転手段によって該ウェーハを回転させ、該ウェーハの外周上面と外周下面と外周縁とを洗浄する第２の洗浄工程を備える、請求項６記載のウェーハの洗浄方法。

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