JP2000093702A - オゾン水処理装置およびそれを用いた洗浄処理装置 - Google Patents
オゾン水処理装置およびそれを用いた洗浄処理装置Info
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Abstract
オゾンガスを分離することができるようにしたオゾン水
処理装置を提供することにある。 【解決手段】 オゾン水からオゾンガスを脱気するため
のオゾン水処理装置において、装置本体21と、この装
置本体に設けられ上記オゾン水を装置本体内に向けて噴
射するとともにその噴射方向が互いに衝突する方向に設
定された複数のノズル体22と、上記装置本体に形成さ
れ各ノズル体から噴射されて衝突することでオゾン水か
ら分離された液体とオゾンガスとをそれぞれ排出する排
液管29及び排気管25とを具備したことを特徴とす
る。
Description
たオゾン水を分解処理するオゾン水処理装置およびその
オゾン水処理装置が用いられた洗浄処理装置に関する。
置などでは、被処理物としての液晶用ガラス基板や半導
体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求される工程
がある。被処理物には微粒子が付着しているだけでな
く、脂肪などの有機物が付着している場合もある。
水を単に吹き付けたり、純水に超音波振動を付与して吹
き付けるなどして除去することができる。しかしなが
ら、有機物の場合、純水では除去できないため、純水に
通常はオゾンと酸素の混合ガスであるオゾン含有ガスを
封入して溶解させたオゾン水が用いられる。
られた種類の弗素系樹脂以外の材料は腐食するというこ
とがある。そのため、使用済みのオゾン水をそのままの
状態で廃棄すると、配管などを腐食させるなどのことが
あるため、その有害性を低減したり、除去してからでな
ければ廃棄できないということがあった。
を下げてから廃棄したり、オゾン分解作用のある薬品や
物質を混入して分解してから廃棄するということが行わ
れていた。
の純水を使用するため、純水の製造コストが増大した
り、オゾン水を希釈した廃液の処理コストが増大するな
どのことがあった。
ために使用する薬品や物質のコストが高くなるばかり
か、それらの供給設備が必要となるから、それによって
もコスト高を招くことになる。
ゾン水からオゾンガス(酸素ガスも含む)を確実に分解
できないことがあるため、そのような場合にはオゾンガ
スを含む液体を排出することになり、配管や設備などを
早期に損傷させるということがあった。
え、そこに気泡を吹き込むことでオゾンガスを分離する
ということも行われている。
率を高めるためにはタンクを深くしなければならないか
ら、装置の大型化やコスト高を招くということがあっ
た。
ゾン水を純水で希釈したり、薬液などで分解してから廃
棄していたので、そのためのランニングコストが高くな
るということがあった。しかも、オゾン水からオゾンガ
スを確実に分解することができないことがあるため、配
管や設備に悪影響を及ぼすことがあった。
場合、装置の大型化やコスト高をまねくということがあ
った。
トでオゾン水からオゾンガスを確実に分解でき、しかも
装置の大型化やコスト高を招くことがないようにしたオ
ゾン水分解処理装置およびそれを用いた洗浄処理装置を
提供することにある。
ン水からオゾンガスを脱気するためのオゾン水処理装置
において、装置本体と、この装置本体に設けられ上記オ
ゾン水を装置本体内に向けて噴射するとともにその噴射
方向が互いに衝突する方向に設定された複数のノズル体
と、上記装置本体に形成され各ノズル体から噴射されて
衝突することでオゾン水から分離された液体とオゾンガ
スとをそれぞれ排出する液体排出部及びガス排出部とを
具備したことを特徴とする。
衝突することでオゾン水が微細に霧化され、大気との接
触効率が向上するため、分解効率も向上する。
て、上記装置本体は筒状体からなり、上記ノズル体は上
記装置本体の軸方向中途部の周壁に周方向に所定間隔で
設けられていることを特徴とする。
クトに構成することが可能となる。
て、上記装置本体は軸線をほぼ垂直にして配置され、上
記液体排出部は上記装置本体の下端側に設けられ、ガス
排出部は上端側に設けられていることを特徴とする。
クトに構成することが可能となる。
て、上記装置本体内には上記ノズル体から噴出されたオ
ゾン水が上記液体排出部とガス排出部から直接的に排出
されるのを阻止する迂回部材が設けられていることを特
徴とする。
させずにオゾン水の分解効率を向上させることができ
る。
洗浄処理するための洗浄処理装置において、オゾン水を
発生するオゾン水発生器と、このオゾン水発生器で発生
したオゾン水を被処理物に吹き付けて洗浄処理する洗浄
処理部と、この洗浄処理部で被処理物を処理しないとき
に上記オゾン水発生器からのオゾン水が流される処理配
管と、上記洗浄処理部と処理配管からのオゾン水が供給
されるとともにそのオゾン水を液体とオゾンガスとに分
離するオゾン水処理装置と、このオゾン水処理装置で分
離された液体を排出する排液手段と、上記オゾン水処理
装置で分離されたオゾンガスを排出する排気手段とを具
備し、上記オゾン水処理装置は請求項1に記載された構
成であることを特徴とする。
られたオゾン水を確実に分解処理することが可能とな
る。
図面を参照して説明する。
装置は洗浄処理部としての処理チャンバ1を有する。こ
の処理チャンバ1内には液晶用ガラス基板や半導体ウエ
ハなどの被処理物2が駆動源3によって回転駆動される
回転テ−ブル4によって着脱自在に保持されている。
が配置されている。この洗浄ノズル体5はオゾン水を発
生させるオゾン水供給源6に三方切換弁7の2つのポー
トを介して接続されている。したがって、上記オゾン水
供給源6で作られたオゾン水を上記洗浄ノズル体5から
上記被処理物2に向けて噴射できるから、そのオゾン水
によって被処理物2の板面に付着した有機物を分解洗浄
できるようになっている。
ン水の濃度は一定に設定されており、その供給量が変動
すると濃度も変動するため、被処理物2を処理しないと
きにも所定量のオゾン水が供給されるようになってい
る。
源6から供給されるオゾン水は、上記三方切換弁7の残
りの1つのポートに一端が接続された第1の処理配管8
を通じてオゾン水処理装置9に流され、オゾン水供給源
6からのオゾン水の供給量を一定に維持するようになっ
ている。
に供給されて被処理物2を洗浄処理したオゾン水は気液
分離器12に導入されて気体と分離されたのち、液体は
バッファタンク13に導入されるようになっている。
チ14が設けられているとともに、第2の処理配管15
の一端が接続されている。この第2の処理配管15は中
途部にポンプ16が設けられ、他端は上記オゾン水処理
装置9に後述するごとく接続されている。
水が溜まり、そのことがレベルスイッチ14によって検
出されると、その検出信号で上記第2のポンプ16が作
動してバッファタンク13内のオゾン水が第2の処理配
管15を通じてオゾン水処理装置9に流されるようにな
っている。
15から上記オゾン水処理装置9に流されたオゾン水は
液体とオゾンガスとに分離処理されるようになってい
る。つまり、上記オゾン水処理装置9は筒状体からなる
装置本体21を有する。この装置本体21は軸線を垂直
にして配置されていて、周壁の軸方向中途部には周方向
に所定間隔、たとえば図3(a)に示すように180度
間隔で2つのノズル体22が噴射方向を装置本体21の
径方向中心に向けて設けられている。つまり、各ノズル
体22は、それぞれのノズル体22から噴霧されるオゾ
ン水が互いにぶつかり合う状態、つまり装置本体21の
径方向中心に向ってで配置されている。
(c)に示すように3つ以上のノズル体22を設けるよ
うにしてもよい。つまり、図3(b)は3つのノズル体
22を設ける場合で、各ノズル体22が装置本体21の
周壁に周方向に180度間隔で配置されている。また、
図3(c)は4つのノズル体22が設けられる場合で、
各ノズル体22は周方向に90度間隔で配置されてい
る。
2が、各ノズル体22から噴射されるオゾン水が装置本
体21内で衝突するよう先端を装置本体21の径方向中
心に向けて配置されていればよい。
5との他端は接続されたのち、ノズル体22の数に応じ
た複数の分岐管23に分岐され、各分岐管23はそれぞ
れノズル体22に接続されている。ノズル体22は、図
2に示すように、装置本体21の周壁に貫通して設けら
れた短管22aと、この短管22aの装置本体21内に
突出した一端に取着されたノズルチップ22b及び他端
に接続された継手22cからなり、その継手22cに上
記分岐管23が接続されるようになっている。
射されるとともに、各ノズル体22から霧化状態で噴射
されたオゾン水は互いに衝突することで霧滴がさらに微
細化されるようになっている。
を構成する排気管25の一端が接続されている。この排
気管25の他端は送風機26の吸引側に接続され、この
送風機26の吐出側はオゾンガス分解器27に接続され
ている。このオゾンガス分解器27はオゾンガスを酸素
に分解し、その酸素を大気中に放出するようになってい
る。
入用の吸引管28が設けられ、この吸引管28からは、
上記送風機26を作動させたときに、その吸引力で装置
本体21内へ所定量の外気が吸引されるようになってい
る。
壁の下端部には液体排出部を形成する排液管29の一端
が排液バルブ31を介して接続されている。この排液管
29からは、オゾン水からオゾンガスが分離されること
で生じた液体が排出されるようになっている。
上方側と下方側にはそれぞれ複数の迂回部材33が設け
られている。迂回部材33は円筒状の装置本体21の内
周面との間に所定の隙間が生じるよう、板材を多角形に
形成してなり、上記装置本体21の内周面に設けられた
ステー34に取付け固定されている。なお、複数の迂回
部材33は周方向に位置をずらして配置され、それによ
って迂回部材33と装置本体21の内周面との間に生じる
隙間の軸方向に沿う位置がずらされている。
オゾン水から分離されたオゾンガスと液体とがそれぞれ
排気管25及び排液管29から排出されるまでの経路が
増大する。つまり、迂回部材33はオゾン水が霧化され
た状態で装置本体21内に滞留する時間、つまり外気と
接触する時間を延長させることになるから、その分、オ
ゾン水の分解効率を向上させることができるようになっ
ている。
体は排気管12aを介して上記送風機26に吸引され
る。そして、オゾンガス分解器27を通って待機に放散
されるようになっている。
ついて説明する。
洗浄処理する場合には、オゾン水発生器6で生成された
オゾン水が三方切換弁7を介して洗浄ノズル体5に供給
される。それによって、オゾン水は洗浄ノズル体5から
回転駆動される回転テーブル4に保持された被処理物2
に向けて噴射されるから、この被処理物2がオゾン水に
よって洗浄処理されることになる。
分離器12に流入し、ここで大気とオゾン水とに分離さ
れる。オゾン水はバッファタンク13に蓄えられ、その
液量が所定以上になると、そのことがレベルスイッチ1
4によって検出され、その検出信号でポンプ16が作動
する。
13内のオゾン水が所定の圧力で第2の処理配管15お
よび分岐管23を通ってノズル体22から霧化されて装
置本体21内へ噴射される。
2から噴射されるオゾン水が衝突するよう配置されてい
る。そのため、各ノズル体22で霧化されたオゾン水
は、衝突することで霧滴がさらに微細化され、送風機2
6の作動によって吸引管28から装置本体21内に吸引
される外気との接触面積が増大するから、オゾンガスの
分解効率、つまり脱気速度が向上することになる。
3によって排気管25から直接的に排気されるのが阻止
され、装置本体21内での滞留時間が延長されるから、
そのことによってもオゾンガスの分解効率が向上するこ
とになる。さらに、ノズル体22よりも上方に設けられ
た迂回部材33は霧滴状態のオゾン水が排気管25に直
接吸引されるのを阻止するから、上記排気管25へはオ
ゾンガスだけが吸引され、液体が吸引されるのが防止さ
れる。
は迂回部材33を伝わって装置本体21の底部へ滴下
し、排液管29から排出されることになる。迂回部材3
3によって排出経路が拡大されることで、オゾン水から
のオゾンガスの分離効率を向上させることができる。
理しないときには三方切換弁7によってオゾン水発生器
6で生成されたオゾン水が所定の圧力で第1の処理配管
8から分岐管23を通ってオゾン水処理装置9の複数の
ノズル体22から互いに衝突する方向に向けて噴霧され
る。
本体21内で微細に霧化されるから、オゾンガスを効率
よく分離することができ、さらには迂回部材33によっ
て液体が排気管25に吸引され流のが防止されるばかり
か、オゾンガスの分離効率を向上させることができる。
ゾンガス分解器27に吸引されたオゾンガスは、ここで
酸素に分解されて大気中に放散されることになり、また
液体は排液管29から適所に排出されることになる。
数のノズル体を設け、各ノズル体からオゾン水を互いに
衝突するよう噴射させるようにした。
したオゾン水が衝突することでさらに微細に霧化され、
外気との接触効率が向上するから、オゾン水からオゾン
ガスを効率よく迅速に脱気することができる。しかも、
オゾン水をノズル体から噴射させる構成であることによ
り、構成の簡略化や小型化を計ることもできる。
体とし、その周壁に上記ノズル体を周方向に所定間隔で
設けるようにしたから、全体の構成をコンパクトにする
ことができる。
垂直に配置し、その装置本体の下端側に液体排出部、上
端側にガス排出部を設けたから、オゾン水を分離するこ
とで発生する液体とオゾンガスとを確実に分離して排出
することができる。
ズル体から噴出されたオゾン水が液体排出部とガス排出
部とに直接的に流出するのを阻止する迂回部材を設けた
から、増値本体を大型化させずに、オゾン水の分解効率
を高めることができる。
て被処理物を洗浄する場合に、廃棄するオゾン水からオ
ゾンガスを確実に分解することができるばかりか、分解
するための処理装置の小型化や構成の簡略化を計ること
ができる。
体構成図。
るノズル体の配置状態の説明図。
Claims (5)
- 【請求項1】 オゾン水からオゾンガスを脱気するため
のオゾン水処理装置において、 装置本体と、 この装置本体に設けられ上記オゾン水を装置本体内に向
けて噴射するとともにその噴射方向が互いに衝突する方
向に設定された複数のノズル体と、 上記装置本体に形成され各ノズル体から噴射されて衝突
することでオゾン水から分離された液体とオゾンガスと
をそれぞれ排出する液体排出部及びガス排出部とを具備
したことを特徴とするオゾン水処理装置。 - 【請求項2】 上記装置本体は筒状体からなり、上記ノ
ズル体は上記装置本体の軸方向中途部の周壁に周方向に
所定間隔で設けられていることを特徴とする請求項1記
載のオゾン水処理装置。 - 【請求項3】 上記装置本体は軸線をほぼ垂直にして配
置され、上記液体排出部は上記装置本体の下端側に設け
られ、ガス排出部は上端側に設けられていることを特徴
とする請求項2記載のオゾン水処理装置。 - 【請求項4】 上記装置本体内には上記ノズル体から噴
出されたオゾン水が上記液体排出部とガス排出部から直
接的に排出されるのを阻止する迂回部材が設けられてい
ることを特徴とする請求項3記載のオゾン水処理装置。 - 【請求項5】 被処理物をオゾン水で洗浄処理するため
の洗浄処理装置において、 オゾン水を発生するオゾン水発生器と、 このオゾン水発生器で発生したオゾン水を被処理物に吹
き付けて洗浄処理する洗浄処理部と、 この洗浄処理部で被処理物を処理しないときに上記オゾ
ン水発生器からのオゾン水が流される処理配管と、 上記洗浄処理部と処理配管からのオゾン水が供給される
とともにそのオゾン水を液体とオゾンガスとに分離する
オゾン水処理装置と、 このオゾン水処理装置で分離された液体を排出する排液
手段と、 上記オゾン水処理装置で分離されたオゾンガスを排出す
る排気手段とを具備し、 上記オゾン水処理装置は請求項1に記載された構成であ
ることを特徴とする洗浄処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27126898A JP3993321B2 (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | オゾン水処理装置およびそれを用いた洗浄処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27126898A JP3993321B2 (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | オゾン水処理装置およびそれを用いた洗浄処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000093702A true JP2000093702A (ja) | 2000-04-04 |
JP3993321B2 JP3993321B2 (ja) | 2007-10-17 |
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ID=17497724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27126898A Expired - Fee Related JP3993321B2 (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | オゾン水処理装置およびそれを用いた洗浄処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3993321B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2424847B (en) * | 2003-10-27 | 2008-01-16 | Baker Hughes Inc | Method and system for degassing a fluid |
JP2009011928A (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Mitsubishi Heavy Industries Food & Packaging Machinery Co Ltd | 脱気装置 |
KR101303334B1 (ko) | 2013-02-27 | 2013-09-03 | 송영숙 | 오존과 오존수를 이용한 공장을 포함하는 산업시설용 배출가스의 살균 및 악취 탈취 시설 |
US9019466B2 (en) | 2007-07-24 | 2015-04-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, reflective member and a method of irradiating the underside of a liquid supply system |
US9158206B2 (en) | 2007-07-24 | 2015-10-13 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and contamination removal or prevention method |
-
1998
- 1998-09-25 JP JP27126898A patent/JP3993321B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2009011928A (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Mitsubishi Heavy Industries Food & Packaging Machinery Co Ltd | 脱気装置 |
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US9599908B2 (en) | 2007-07-24 | 2017-03-21 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and contamination removal or prevention method |
KR101303334B1 (ko) | 2013-02-27 | 2013-09-03 | 송영숙 | 오존과 오존수를 이용한 공장을 포함하는 산업시설용 배출가스의 살균 및 악취 탈취 시설 |
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