JPH10328649A - オゾン水処理装置および洗浄処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明はオゾン水からオゾンガスを効率よ
く脱気できるようにしたオゾン水処理装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 オゾン水からオゾンガスを脱気するため
のオゾン水処理装置において、オゾン水が供給される処
理タンク１２と、この処理タンク内に設けられこの内部
に供給されたオゾン水を蛇行させて流通させる蛇行状の
流路を形成した仕切板１３ａ、１３ｂと、上記処理タン
ク内を蛇行するオゾン水に加圧気体を供給しそのオゾン
水からオゾンガスを脱気させる気体供給管２２と、脱気
されたオゾンガスを上記処理タンクから排出する排ガス
管２５と、オゾンガスが脱気された液体を上記処理タン
クから排出する排液管１８とを具備したことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は被洗浄物を洗浄し
たオゾン水を処理するオゾン水処理装置およびそのオゾ
ン水処理装置が用いられた洗浄処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶製造装置や半導体製造装
置などでは、被洗浄物としての液晶用ガラス基板や半導
体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求される工程
がある。被洗浄物には微粒子が付着しているだけでな
く、脂肪などの有機物が付着している場合もある。

【０００３】微粒子を洗浄する場合には、被洗浄物に純
水を単に吹き付けたり、純水に超音波振動を付与して吹
き付けるなどして除去することができる。しかしなが
ら、有機物の場合、純水では除去できないため、純水に
通常はオゾンと酸素の混合ガスであるオゾン含有ガスを
封入して溶解させたオゾン水が用いられる。

【０００４】オゾン水は周知のように酸化力が強く、限
られた種類の弗素系樹脂以外の材料は腐食するというこ
とがある。そのため、使用済みのオゾン水をそのままの
状態で廃棄すると、配管などを腐食させるなどのことが
あるため、その有害性を低減したり、除去してからでな
ければ廃棄できないということがあった。

【０００５】従来、使用済みのオゾン水は、純水などで
希釈して濃度を下げてから廃棄したり、オゾン分解作用
のある薬品や物質を混入して分解してから廃棄するとい
うことが行われていた。

【０００６】しかしながら、前者の手段によると、大量
の純水を使用するため、純水の製造コストが増大した
り、オゾン水を希釈した排液の処理コストが増大するな
どのことがあった。

【０００７】後者の手段によると、オゾン水を分解する
ために使用する薬品や物質のコストが高くなるばかり
か、それらの供給設備が必要となるから、それによって
もコスト高を招くことになる。

【０００８】さらに、両者に共通して言えることは、オ
ゾン水からオゾンガス（酸素ガスも含む）を確実に分解
できないため、オゾンガスを含む液体を排出することに
なり、配管や設備などを早期に損傷させるということが
あった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来はオ
ゾン水を純水で希釈したり、薬液などで分解してから廃
棄していたので、そのためのランニングコストが高くな
るということがあった。しかも、オゾン水からオゾンガ
スを確実に分解することができないため、配管や設備に
悪影響を及ぼすことがあった。

【００１０】この発明の目的は、安価なランニングコス
トでオゾン水からオゾンガスを効率よく脱気できるよう
にしたオゾン水分解処理装置およびそれを用いた洗浄処
理装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、オゾ
ン水からオゾンガスを脱気するためのオゾン水処理装置
において、オゾン水が供給される処理タンクと、この処
理タンク内に設けられこの内部に供給されたオゾン水を
蛇行させて流通させる蛇行状の流路と、上記処理タンク
内を蛇行するオゾン水に加圧気体を供給しそのオゾン水
からオゾンガスを脱気させる気体供給手段と、脱気され
たオゾンガスを上記処理タンクから排出する排気手段
と、オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから
排出する排液手段とを具備したことを特徴とする。

【００１２】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記気体供給手段は、加圧気体の供給源と、上記処
理タンク内に配置され上記供給源からの加圧気体を微細
気泡にしてオゾン水に供給する微細気泡発生器とからな
ることを特徴とする。

【００１３】請求項３の発明はオゾン水からオゾンガス
を脱気するためのオゾン水処理装置において、オゾン水
が供給される処理タンクと、この処理タンク内に設けら
れた回転翼および処理タンクの外部に設けられ上記回転
翼を回転駆動する駆動源とからなり、上記回転翼を回転
駆動してオゾン水を撹拌することで発生するキャビテ−
ションにより処理タンク内に外気を導入してオゾン水か
らオゾンガスを脱気させる外気導入手段と、脱気された
オゾンガスを上記処理タンクから排出する排気手段と、
オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから排出
する排液手段とを具備したことを特徴とする。

【００１４】請求項４の発明は、被洗浄物をオゾン水で
洗浄処理するための洗浄処理装置において、上記オゾン
水によって洗浄処理される被洗浄物が配置される処理チ
ャンバと、この処理チャンバから排出されるオゾン水が
供給される処理タンクと、この処理タンク内に設けられ
この内部に供給されたオゾン水を蛇行させて流通させる
蛇行状の流路と、上記処理タンク内を蛇行するオゾン水
に加圧気体を供給しそのオゾン水からオゾンガスを脱気
させる気体供給手段と、上記処理タンクから脱気された
オゾンガスを排出する排気手段と、上記処理タンクから
オゾンガスが脱気された液体を排出する排液手段とを具
備したことを特徴とする。

【００１５】請求項５の発明は、被洗浄物をオゾン水で
洗浄処理するための洗浄処理装置において、上記オゾン
水によって洗浄処理される被洗浄物が配置される処理チ
ャンバと、この処理チャンバから排出されるオゾン水が
供給される処理タンクと、この処理タンク内に設けられ
た回転翼および処理タンクの外部に設けられ上記回転翼
を回転駆動する駆動源とからなり、上記回転翼を回転駆
動してオゾン水を撹拌することで発生するキャビテ−シ
ョンにより処理タンク内に外気を導入してオゾン水から
オゾンガスを脱気させる外気導入手段と、上記処理タン
クから脱気されたオゾンガスを排出する排気手段と、上
記処理タンクからオゾンガスが脱気された液体を排出す
る排液手段とを具備したことを特徴とする。

【００１６】請求項１の発明によれば、処理タンク内の
オゾン水に加圧気体が供給されると、そのオゾン水に含
まれるオゾンガスが脱気され、オゾン水がオゾンガスと
液体とに分離されるとともに、処理タンク内でオゾン水
が蛇行して流通することで、加圧気体とオゾン水との接
触時間が長くなり、オゾンガスを効率よく脱気すること
ができる。

【００１７】請求項２の発明によれば、処理タンクに供
給された加圧気体を微細気泡にしてオゾン水に接触させ
るため、オゾン水と加圧気体との接触効率が向上し、わ
ずかな空気量であっても、オゾンガスの脱気効率を高め
ることができる。

【００１８】請求項３の発明によれば、撹拌翼の回転に
ともなって処理タンク内に外部から気体が導入され、撹
拌されてオゾン水に混合するから、オゾン水に含まれる
オゾンガスを効率よく脱気することができる。

【００１９】請求項４の発明によれば、処理チャンバで
被洗浄物を洗浄したオゾン水を処理タンクに供給し、こ
の処理タンク内でオゾン水を蛇行させながら加圧気体を
供給することで、そのオゾン水に含まれるオゾンガスが
脱気されるから、オゾン水がオゾンガスと液体とに分離
され、しかもオゾン水を処理タンク内で蛇行させて流す
ことで、加圧空気とオゾンガスとの接触時間が長くなる
から、オゾンガスの脱気効率を高めることができる。

【００２０】請求項５の発明によれば、処理チャンバで
被洗浄物を洗浄したオゾン水を処理タンクに供給し、こ
の処理タンク内で撹拌翼を回転させて外気を導入するこ
とで、その外気が撹拌されてオゾン水に混入し、オゾン
水と効率よく接触することになるから、オゾン水に含ま
れるオゾンガスの脱気を効率よく行うことができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の第１の実施の形
態を図１と図２を参照して説明する。図１に示す洗浄処
理装置は処理チャンバ１を有する。この処理チャンバ１
内には液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被洗浄物
２が駆動源３によって回転駆動される回転テ−ブル４に
着脱自在に保持されている。

【００２２】上記被洗浄物２の上方にはノズル体５が配
置されている。このノズル体５はオゾン水供給源６に連
通されていて、上記被洗浄物２に向けてオゾン水を噴射
できるようになっている。それによって、上記被洗浄物
２は、とくにその板面に付着した有機物を分解洗浄でき
るようになっている。

【００２３】なお、上記オゾン水供給源６には純水供給
源６ａが接続され、この純水供給源６ａから上記オゾン
水供給源６に供給される純水が電気分解されることで、
オゾン水が発生するようになっている。

【００２４】上記処理チャンバ１の底部には排液管７の
一端が接続されている。この排液管７の他端はバッファ
タンク８に連通していて、上記処理チャンバ１からのオ
ゾン水を蓄えることができるようになっている。このバ
ッファタンク８にはここに蓄えられるオゾン水の量を検
出するセンサ１０が設けられている。

【００２５】上記バッファタンク８の底部には供給管９
の一端が接続されている。この供給管９の中途部には第
１の制御弁１１が接続され、他端はオゾン水の処理装置
を構成する処理タンク１２の一側上部に接続されてい
る。

【００２６】上記供給管９の端部は図２に示すように処
理タンク１２内に所定長さ突出していて、その突出端部
には多数の小孔９ａが穿設されている。それによって、
上記バッファタンク８からのオゾン水は上記処理タンク
１２内へシャワ−状に噴出されるようになっている。上
記処理タンク１２の内部は、第１、第２の仕切板１３
ａ、１３ｂによって長手方向に所定間隔で第１乃至第３
のチャンバ１４ａ〜１４ｃに隔別されている。

【００２７】第１の仕切板１３ａの下端と処理タンク１
２の底部との間には隙間１５が形成されていて、供給管
９から第１のチャンバ１４ａに噴射されたオゾン水は上
記隙間１５を通って第２のチャンバ１４ｂへ流入する。

【００２８】第２のチャンバ１４ｂと第３のチャンバ１
４ｃとは第２の仕切板１３ｂによって隔別されていて、
この第２の仕切板１３ｂの第２のチャンバ１４ｂ側には
下端を第３のチャバ１４ｃに連通させ、上端開口を所定
の高さに位置させた第１の連通管１６が設けられてい
る。したがって、第１のチャンバ１４ａから隙間１５を
通って第２のチャンバ１４ｂに流入したオゾン水は上記
第１の連通管１６の上端開口からこの連通管１６を通っ
て第３のチャンバ１４ｃに流入する。

【００２９】第３のチャンバ１４ｃには上端開口を所定
の高さに位置させた第２の連通管１７が設けられてい
る。この第２の連通管１７の下端部は処理タンク１２の
底部から外部へ液密に突出している。

【００３０】したがって、第３のチャンバ１４ｃに流入
したオゾン水は上記第２の連通管１７を通って処理タン
ク１２の外部に排出されるようになっている。つまり、
処理タンク１２内に供給されたオゾン水は、この内部を
図２に矢印で示すように蛇行しながら流れ、第２の連通
管１７から排出されるようになっている。

【００３１】上記第２の連通管１７には図１に示すよう
に排液管１８の一端が接続されている。この排液管１８
は中途部に第２の制御弁１９が設けられ、他端は図示し
ない下水道などに連通している。

【００３２】図２に示すように上記処理タンク１２の各
チャンバ１４ａ〜１４ｃの底部にはそれぞれ多数の小孔
２１ａが穿設された噴射管２１が配置されている。各噴
射管２１は気体供給管２２に連通している。この気体供
給管２２は図１に示すように第３の制御弁２３を介して
加圧気体の供給源２４に連通している。したがって、供
給源２４からの加圧気体は各噴射管２１の小孔２１ａで
小さな気泡にされて処理タンク１２の各チャンバ１４ａ
〜１４ｃに噴射されるようになっている。

【００３３】上記処理タンク１２の上部には排ガス管２
５の一端が接続されている。この排ガス管２５には第４
の制御弁２６を介してオゾン分解器２７が接続されてい
る。第４の制御弁２６とオゾン分解器２７の間には、た
とえば送風機などからなる排気装置２８が設けられてい
る。それによって、加圧気体の供給源２４からのエア圧
と排気装置２８の排気量とを調整することができるか
ら、加圧気体が処理タンク１２内に滞留する時間を設定
することが可能となっている。

【００３４】上記第１乃至第４の制御弁１１、１９、２
３、２６は、制御装置２９によって後述するように開閉
制御されるようになっている。つまり、制御装置２９
は、上記バッファタンク８に設けられたセンサ１０がこ
のバッファタンク８内にオゾン水が所定量以上たまった
ことを検知すると、その検知信号で上記各制御弁を開閉
制御し、被洗浄物２を洗浄処理したオゾン水を後述する
ように脱気処理するようになっている。

【００３５】つぎに、上記構成の装置の動作について説
明する。処理チャンバ１内の回転テ−ブル４に被洗浄物
２を保持したならば、この回転テ−ブル４を回転駆動す
るとともに、ノズル体５からオゾン水を上記被洗浄物２
に向けて噴射する。それによって、オゾン水は被洗浄物
２に付着した有機物を分解洗浄する。

【００３６】被洗浄物２を洗浄したオゾン水は処理チャ
ンバ１から排液管７を通りバッファタンク８に流入す
る。バッファタンク８に所定量のオゾン水がたまり、そ
のことが上記バッファタンク８に設けられたセンサ１０
によって検出されると、その検出信号で第１の制御弁１
１が開放されるから、バッファタンク８内のオゾン水が
処理タンク１２の第１のチャンバ１４ａへ供給される。

【００３７】上記第１の制御弁１１と同時に、第２の制
御弁１９、第３の制御弁２３および第４の制御弁２６が
開放される。第３の制御弁２３が開放されることで、加
圧気体が気体供給管２２から噴射管２１を通って各チャ
ンバ１４ａ〜１４ｃに噴射される。

【００３８】一方、第１のチャンバ１４ａへ供給された
オゾン水は第１の仕切板１３ａの下端側の隙間１５を通
って第２のチャンバ１４ｂへ流れ、この第２のチャンバ
１４ｂに所定の液面となるまで滞留し、ついで第１の連
通管１６を通って第３のチャンバ１４ｃへ流れる。第３
のチャンバ１４ｃへ流入したオゾン水は所定の液面とな
るまで滞留し、ついで第２の連通管１７を通って排液管
１８へ排出されることになる。

【００３９】したがって、オゾン水は、処理タンク１２
内に形成された第１乃至第３のチャンバ１４ａ、１４
ｂ、１４ｃを蛇行して排液管１８から排出されるから、
各チャンバ１４ａ〜１４ｃでの滞留時間が長くなる。

【００４０】オゾン水の各チャンバ１４ａ〜１４ｃにお
ける滞留時間が長くなる、つまりオゾン水が処理タンク
１２内を蛇行して流れると、処理タンク１２に供給され
てから排出されるまでの間に加圧空気と接触する時間も
長くなる。言い換えれば、接触面積が増大する。それに
よって、オゾン水からオゾンガスを効率よく脱気するこ
とができるから、純水で希釈したり、薬液などを用いる
場合などに比べてそのランニングコストを低減すること
ができる。

【００４１】また、処理タンク１２内に仕切板１３ａ、
１３ｂを設け、オゾン水を蛇行させることで、加圧気体
との接触時間を長くするようにしたため、処理タンク１
２を大型化せずに接触時間を長くすることができる。つ
まり、オゾン水の蛇行路を長くすることができる。

【００４２】上記第１の実施の形態では、処理タンク１
２の内部を３つのチャンバ１４ａ〜１４ｃに隔別した
が、チャンバの数は３つに限られず４つ以上あるいは２
つ以下であってもよい。

【００４３】図３は処理タンクの変形例を示す第２の実
施の形態で、この第２の実施の形態は処理タンク１２Ａ
において、各チャンバ１４ａ〜１４ｃにそれぞれ複数、
この場合には３枚の水平仕切板３１を設けるようにし
た。

【００４４】各チャンバにそれぞれ複数の水平仕切板３
１を設けることで、オゾン水はそれぞれの１つのチャン
バ内で上下方向に蛇行するとともに、つぎのチャンバへ
流入するためにも蛇行する。そのため、オゾン水が各チ
ャンバでの滞留する時間が水平仕切板３１がない場合に
比べてさらに長くなるため、オゾンガスの脱気効率をよ
り一層、高めることが可能となる。なお、この実施の形
態においては、図２に示す構成と同一部分には同一記号
を付して説明を省略する。

【００４５】図４はこの発明の第３の実施の形態を示す
処理タンクの変形例で、この実施の形態の処理タンク１
２Ｂは縦長の第１のタンク部３３ａと第２のタンク部３
３ｂとに分割されていて、これらタンク部の下部が連通
管３４によって接続されている。

【００４６】第１のタンク部３３ａの上部には供給管９
が接続され、第２のタンク部３３ｂの上部には排液管１
８が接続されている。さらに、各タンク部３３ａ、３３
ｂの内底部には噴射管２１が配置され、これら噴射管２
１は気体供給管２２に連通している。さらに、各タンク
部３３ａ、３３ｂの上部にはオゾンガスを排出するため
の排ガス管２５が接続されている。

【００４７】第１のタンク部３３ａと第２のタンク部３
３ｂとの下部が連通管３４によって接続され、排液管１
８が第２のタンク部３３ｂの上部に接続されていること
で、供給管９から第１のタンク部３３ａに供給されたオ
ゾン水はＵ字状に蛇行して第２のタンク部３３ｂの排液
管１８から排出されるとともに、各タンク部内で所定の
高さの液面となるよう滞留して排出される。

【００４８】したがって、オゾン水が蛇行しながら各タ
ンク部３３ａ、３３ｂで所定時間滞留して加圧空気と接
触することにより、上記第１の実施の形態と同様、オゾ
ンガスを効率よく確実に脱気することができる。

【００４９】なお、この第３の実施の形態において、２
つのタンク部を別々とせず、１つの処理タンクの内部を
１枚の仕切板で区画して２つのチャンバを形成するよう
にしてもよい。

【００５０】図５は図４に示す第３の実施の形態に示さ
れる処理タンク１２Ｂを用いてオゾン濃度を測定した実
験結果を示す。つまり、第１のタンク部３３ａに５ppm
の濃度のオゾン水を２ｌ/minの量で供給するとともに、
各タンク部３３ａ、３３ｂにはそれぞれ噴射管２１から
それぞれ加圧空気を５NL/minで噴射させるようにした。

【００５１】そして、第１のタンク部３３ａの出口でオ
ゾン濃度を測定したところ、5.5ppmであったが、第２の
タンク部３３ｂの出口でオゾン濃度を測定したところ
で、その濃度は1.2ppmに低下した。

【００５２】すなわち、オゾン水を２つのタンク部３３
ａ、３３ｂで蛇行させ、それぞれのタンク部で所定時間
滞留させて排出し、その間に上記オゾン水に加圧気体を
供給するようにしたことで、オゾン水のオゾン濃度を大
幅に低下させることができることが確認された。

【００５３】図６はこの発明の第４の実施の形態で、こ
の実施の形態は処理タンク１２Ｃの内部が垂直に設けら
れた仕切板３５によって第１のチャンバ３６ａと第２の
チャンバ３６ｂとに隔別されている。第１のチャンバ３
６ａの上部には供給管９が接続され、第２のチャンバ３
６ｂの上部には排液管１８が接続されている。

【００５４】第１のチャンバ３６ａと第２のチャンバ３
６ｂとは下端が連通している。さらに、処理タンク１２
Ｃ内には第１のチャンバ３６ａと第２のチャンバ３６ｂ
とにわたって微細気泡発生器３７が設けられている。こ
の微細気泡発生器３７は、金属やセラミックあるいは合
成樹脂などを素材とする中空柱状の多孔質部材からな
り、この微細気泡発生器３７の内部に気体供給管２２か
ら加圧気体を供給することで、その外周面から各チャン
バ３６ａ、３６ｂのオゾン水に微細な気泡を供給できる
ようになっている。

【００５５】オゾン水に供給する加圧気体を微細気泡と
することで、加圧気体とオゾン水との接触面積が増大
し、加圧気体によるオゾンガスの脱気効率を高めること
ができるから、加圧気体の供給量を少なくしても、脱気
効率を十分に高くすることが可能となる。

【００５６】なお、この第４の実施の形態に示された微
細気泡発生器３７は第１の実施の形態乃至第３の実施の
形態に示された構造の処理タンクにも適用できること、
勿論である。

【００５７】各実施の形態の処理タンク１２、１２Ａ、
１２Ｂに微細気泡発生器３７を適用する場合、微細気泡
発生器３７を各チャンバごとに分割して設けてもよく、
１つの微細気泡発生器３７を複数のチャンバにわたって
設けるようにしてもよい。

【００５８】図７はこの発明の第５の実施の形態を示
す。この実施の形態は、処理タンクに空気を供給する手
段が上記各実施の形態と異なる。すなわち、この実施の
形態では処理タンク１２Ｄの一側上部にオゾン水の供給
管９が接続され、他側内部には連通管４１が開口した上
端を所定の高さに位置させ、下端部を処理タンク１２Ｄ
の底部から液密に突出させて設けられている。したがっ
て、上記供給管９から処理タンク１２Ｄ内に供給された
オゾン水はその液面が連通管４１の上端と同じになる
と、この連通管４１から排出されるようになってる。つ
まり、供給管９から供給されたオゾン水は処理タンク１
２Ｄ内で所定時間滞留してから排出されるようになって
いる。

【００５９】処理タンク１２Ｄ内のオゾン水には外気導
入手段としてのスクリュ−式のエアレ−タ４５によって
外気が供給されるようになっている。つまり、エアレ−
タ４５は上端を上記処理タンク１２Ｄの上部壁内面に接
続した導入管４９を有する。この導入管４９には駆動軸
４６が設けられている。この駆動軸４６の下端には回転
翼４７が取付けられている。この回転翼４７は上記処理
タンク１２Ｄの内底部に位置している。

【００６０】上記駆動軸４６は上記処理タンク１２Ｄの
上部壁外面に設けられたモ−タからなる駆動源４８によ
って回転駆動されるようになっている。上記導入管４９
は上記駆動源４８を介して外気に連通している。

【００６１】上記構成によれば、処理タンク１２Ｄ内に
オゾン水が供給された状態で、駆動源４８を作動させて
回転翼４７を回転駆動すると、この回転によってオゾン
水にキャビテ−ションが生じる。キャビテ−ションが発
生すると、その部分が負圧になるから、その圧力で外気
が導入管４９からオゾン水の内部に吸引され、回転翼４
７の回転によって撹拌される。

【００６２】回転翼４７によって撹拌された外気は微細
気泡となってオゾン水に接触するから、外気とオゾン水
との接触面積が増大する。それによって、オゾン水から
オゾンガスを効率よく脱気することができる。

【００６３】図８はこの発明の第６の実施の形態で、こ
の実施の形態は図７に示す第５の実施の形態の変形例で
ある。つまり、第５の実施の形態では回転翼４７の回転
によるキャビテ−ションを利用して外気を導入管４９か
ら処理タンク１２Ｄ内へ導入したが、この実施の形態で
は処理タンク１２Ｅ内に気体の噴出管２１を設け、この
気体噴出管２１の小孔２１ａから噴射された加圧気体を
駆動軸４６を介して駆動源４８により回転駆動される回
転翼４７で撹拌して微細気泡にした。このような構成で
あっても、オゾン水と気体との接触面積を増大させ、オ
ゾン水からオゾンガスを効率よく脱気することができ
る。

【００６４】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、処理タンク内
のオゾン水に加圧気体が供給されると、そのオゾン水に
含まれるオゾンガスが脱気され、オゾン水がオゾンガス
と液体とに分離される。しかも、処理タンク内でオゾン
水が蛇行して流通することで、加圧気体とオゾン水との
接触時間が長くなり、オゾンガスの脱気を効率よく行う
ことができる。つまり、オゾン水からのオゾンガスの脱
気を従来のように純水や薬液を用いずに行うことができ
るから、ランニングコストの低減を計ることができる。

【００６５】しかも、オゾン水を蛇行させることで、加
圧気体との接触時間を増大させるようにしているから、
処理タンクを大型化させずにオゾン水からのオゾンガス
の脱気効率を高めることができる。

【００６６】請求項２の発明によれば、処理タンクに供
給された加圧気体を微細気泡にしてオゾン水に接触させ
るため、オゾン水と加圧気体との接触効率が向上し、わ
ずかな空気量であっても、オゾンガスの脱気効率を高め
ることができる。

【００６７】請求項３の発明によれば、処理タンク内で
撹拌翼を回転させることで発生するキャビテ−ションに
より、その内部に外部から気体を導入するため、その気
体は上記各撹拌翼で撹拌されてオゾン水と接触する。そ
のため、気体は撹拌されることで微細気泡となってオゾ
ン水と効率よく接触するから、オゾン水に含まれるオゾ
ンガスの脱気効率を向上させることができる。

【００６８】請求項４の発明によれば、処理チャンバで
被洗浄物を洗浄したオゾン水を処理タンクに供給し、こ
の処理タンク内で蛇行させながら加圧気体を供給するよ
にしたから、オゾン水に含まれるオゾンガスを脱気し、
オゾン水をオゾンガスと液体とに分離することができる
とともに、オゾン水を処理チャンバ内で蛇行させること
で、加圧空気とオゾンガスとの接触時間が長くなるか
ら、オゾンガスの脱気効率を高めることができる。

【００６９】請求項５の発明によれば、処理チャンバで
被洗浄物を洗浄したオゾン水を処理タンクに供給し、こ
の処理タンク内で撹拌翼を回転させて外気を導入するこ
とで、その外気が撹拌されてオゾン水に混入し、オゾン
水と効率よく接触することになるから、オゾン水に含ま
れるオゾンガスの脱気を効率よく行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施の形態を示す洗浄処理装
置の全体構成図。

【図２】同じく処理タンクの内部構造を示す拡大図。

【図３】この発明の第２の実施の形態の処理タンクの内
部構造を示す拡大図。

【図４】この発明の第３の実施の形態の処理タンクの内
部構造を示す拡大図。

【図５】第３の実施の形態における第１のタンク部の出
口と第２のタンク部の出口におけるオゾン濃度の測定結
果を示すグラフ。

【図６】この発明の第４の実施の形態の処理タンクの内
部構造を示す拡大図。

【図７】この発明の第５の実施の形態の処理タンクの内
部構造を示す拡大図。

【図８】この発明の第６の実施の形態の処理タンクの内
部構造を示す拡大図。

【符号の説明】

１２…処理タンク １３ａ、１３ｂ…蛇行状の流路を形成する仕切板 １８…排液管（排液手段） ２２…気体供給管（気体供給手段） ２４…加圧気体の供給源 ２５…排ガス管

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 オゾン水からオゾンガスを脱気するため
   のオゾン水処理装置において、 オゾン水が供給される処理タンクと、 この処理タンク内に設けられこの内部に供給されたオゾ
   ン水を蛇行させて流通させる蛇行状の流路と、 上記処理タンク内を蛇行するオゾン水に加圧気体を供給
   しそのオゾン水からオゾンガスを脱気させる気体供給手
   段と、 脱気されたオゾンガスを上記処理タンクから排出する排
   気手段と、 オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから排出
   する排液手段とを具備したことを特徴とするオゾン水処
   理装置。
2. 【請求項２】 上記気体供給手段は、加圧気体の供給源
   と、上記処理タンク内に配置され上記供給源からの加圧
   気体を微細気泡にしてオゾン水に供給する微細気泡発生
   器とからなることを特徴とする請求項１記載のオゾン水
   処理装置。
3. 【請求項３】 オゾン水からオゾンガスを脱気するため
   のオゾン水処理装置において、 オゾン水が供給される処理タンクと、 この処理タンク内に設けられた回転翼および処理タンク
   の外部に設けられ上記回転翼を回転駆動する駆動源とか
   らなり、上記回転翼を回転駆動してオゾン水を撹拌する
   ことで発生するキャビテ−ションにより処理タンク内に
   外気を導入してオゾン水からオゾンガスを脱気させる外
   気導入手段と、 脱気されたオゾンガスを上記処理タンクから排出する排
   気手段と、 オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから排出
   する排液手段とを具備したことを特徴とするオゾン水処
   理装置。
4. 【請求項４】 被洗浄物をオゾン水で洗浄処理するため
   の洗浄処理装置において、 上記オゾン水によって洗浄処理される被洗浄物が配置さ
   れる処理チャンバと、 この処理チャンバから排出されるオゾン水が供給される
   処理タンクと、 この処理タンク内に設けられこの内部に供給されたオゾ
   ン水を蛇行させて流通させる蛇行状の流路と、 上記処理タンク内を蛇行するオゾン水に加圧気体を供給
   しそのオゾン水からオゾンガスを脱気させる気体供給手
   段と、 上記処理タンクから脱気されたオゾンガスを排出する排
   気手段と、 上記処理タンクからオゾンガスが脱気された液体を排出
   する排液手段とを具備したことを特徴とする洗浄処理装
   置。
5. 【請求項５】 被洗浄物をオゾン水で洗浄処理するため
   の洗浄処理装置において、 上記オゾン水によって洗浄処理される被洗浄物が配置さ
   れる処理チャンバと、 この処理チャンバから排出されるオゾン水が供給される
   処理タンクと、 この処理タンク内に設けられた回転翼および処理タンク
   の外部に設けられ上記回転翼を回転駆動する駆動源とか
   らなり、上記回転翼を回転駆動してオゾン水を撹拌する
   ことで発生するキャビテ−ションにより処理タンク内に
   外気を導入してオゾン水からオゾンガスを脱気させる外
   気導入手段と、 上記処理タンクから脱気されたオゾンガスを排出する排
   気手段と、 上記処理タンクからオゾンガスが脱気された液体を排出
   する排液手段とを具備したことを特徴とする洗浄処理装
   置。