JP2002001318A - オゾン水処理装置および洗浄処理装置 - Google Patents
オゾン水処理装置および洗浄処理装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明はオゾン水からオゾンガスを効率よ
く分解できるようにしたオゾン水処理装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 オゾン水に含まれるオゾンガスを除去す
るためのオゾン水処理装置において、オゾン水を流すオ
ゾン水管１７と、このオゾン水管に流れるオゾン水に紫
外線を照射してオゾンガスを分解する紫外線ランプ１８
とを具備し、上記紫外線ランプは直管状で、上記オゾン
水管はこの紫外線ランプの外周面に巻回される螺旋状で
ある。
く分解できるようにしたオゾン水処理装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 オゾン水に含まれるオゾンガスを除去す
るためのオゾン水処理装置において、オゾン水を流すオ
ゾン水管１７と、このオゾン水管に流れるオゾン水に紫
外線を照射してオゾンガスを分解する紫外線ランプ１８
とを具備し、上記紫外線ランプは直管状で、上記オゾン
水管はこの紫外線ランプの外周面に巻回される螺旋状で
ある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は被洗浄物を洗浄し
たオゾン水を処理するオゾン水処理装置およびそのオゾ
ン水処理装置が用いられた洗浄処理装置に関する。
たオゾン水を処理するオゾン水処理装置およびそのオゾ
ン水処理装置が用いられた洗浄処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、液晶製造装置や半導体製造装
置などでは、被洗浄物としてのガラス基板や半導体ウエ
ハを高い清浄度で洗浄することが要求される工程があ
る。被洗浄物には微粒子が付着しているだけでなく、脂
肪などの有機物が付着している場合もある。
置などでは、被洗浄物としてのガラス基板や半導体ウエ
ハを高い清浄度で洗浄することが要求される工程があ
る。被洗浄物には微粒子が付着しているだけでなく、脂
肪などの有機物が付着している場合もある。
【０００３】微粒子を洗浄する場合には、被洗浄物に純
水を吹き付けたり、純水に超音波振動を付与して吹き付
けることである程度は除去することができる。しかしな
がら、有機物の場合、純水ではほとんど除去できないた
め、通常は純水にオゾンと酸素の混合ガスであるオゾン
含有ガス(以下、単にオゾンガスという)を封入して溶解
させたオゾン水が用いられる。
水を吹き付けたり、純水に超音波振動を付与して吹き付
けることである程度は除去することができる。しかしな
がら、有機物の場合、純水ではほとんど除去できないた
め、通常は純水にオゾンと酸素の混合ガスであるオゾン
含有ガス(以下、単にオゾンガスという)を封入して溶解
させたオゾン水が用いられる。
【０００４】オゾン水は周知のように酸化力が強く、限
られた種類の弗素系樹脂以外の材料を腐食するというこ
とがある。そのため、使用済みのオゾン水をそのままの
状態で廃棄すると、配管などを腐食させるなどのことが
あるため、その有害性を低減したり、除去してからでな
ければ廃棄できないということがあった。
られた種類の弗素系樹脂以外の材料を腐食するというこ
とがある。そのため、使用済みのオゾン水をそのままの
状態で廃棄すると、配管などを腐食させるなどのことが
あるため、その有害性を低減したり、除去してからでな
ければ廃棄できないということがあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来、使用済みのオゾ
ン水は、純水などで希釈して濃度を下げてから廃棄した
り、オゾン分解作用のある薬品や物質を混入して分解し
てから廃棄するということが行われていた。
ン水は、純水などで希釈して濃度を下げてから廃棄した
り、オゾン分解作用のある薬品や物質を混入して分解し
てから廃棄するということが行われていた。
【０００６】しかしながら、前者の手段によると、大量
の純水を使用するため、純水の製造コストが増大した
り、オゾン水を希釈した排液の処理コストが増大するな
どのことがあった。
の純水を使用するため、純水の製造コストが増大した
り、オゾン水を希釈した排液の処理コストが増大するな
どのことがあった。
【０００７】後者の手段によると、オゾン水を分解する
ために使用する薬品や物質のコストが高くなるばかり
か、それらの供給設備が必要となるから、それによって
もコスト高を招くことになる。
ために使用する薬品や物質のコストが高くなるばかり
か、それらの供給設備が必要となるから、それによって
もコスト高を招くことになる。
【０００８】さらに、両者に共通して言えることは、オ
ゾン水からオゾンガスを確実に分解できないため、オゾ
ンガスを含む液体によって配管や設備などを早期に損傷
させるということがあった。
ゾン水からオゾンガスを確実に分解できないため、オゾ
ンガスを含む液体によって配管や設備などを早期に損傷
させるということがあった。
【０００９】この発明の目的は、コストの増大を招くこ
となくオゾン水からオゾンガスを効率よく確実に分解す
ることができるようにしたオゾン水処理装置およびそれ
を用いた洗浄処理装置を提供することにある。
となくオゾン水からオゾンガスを効率よく確実に分解す
ることができるようにしたオゾン水処理装置およびそれ
を用いた洗浄処理装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、オゾ
ン水に含まれるオゾンガスを除去するためのオゾン水処
理装置において、オゾン水を流すオゾン水管と、このオ
ゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオゾンガ
スを分解する紫外線ランプとを具備し、上記紫外線ラン
プは直管状で、上記オゾン水管はこの紫外線ランプの外
周面に巻回される螺旋状であることを特徴とするオゾン
水処理装置にある。
ン水に含まれるオゾンガスを除去するためのオゾン水処
理装置において、オゾン水を流すオゾン水管と、このオ
ゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオゾンガ
スを分解する紫外線ランプとを具備し、上記紫外線ラン
プは直管状で、上記オゾン水管はこの紫外線ランプの外
周面に巻回される螺旋状であることを特徴とするオゾン
水処理装置にある。
【００１１】請求項２の発明は、オゾン水に含まれるオ
ゾンガスを除去するためのオゾン水処理装置において、
オゾン水を流すオゾン水管と、このオゾン水管に流れる
オゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外
線ランプとを具備し、上記紫外線ランプは直管状で、上
記オゾン水管はこの紫外線ランプを内部に収容する筒状
であることを特徴とするオゾン水処理装置にある。
ゾンガスを除去するためのオゾン水処理装置において、
オゾン水を流すオゾン水管と、このオゾン水管に流れる
オゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外
線ランプとを具備し、上記紫外線ランプは直管状で、上
記オゾン水管はこの紫外線ランプを内部に収容する筒状
であることを特徴とするオゾン水処理装置にある。
【００１２】請求項３の発明は、オゾン水に含まれるオ
ゾンガスを除去するためのオゾン水処理装置において、
オゾン水を流すオゾン水管と、このオゾン水管に流れる
オゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外
線ランプとを具備し、上記紫外線ランプは筒状で、上記
オゾン水管はこの紫外線ランプの内部に収容される直管
状であることを特徴とするオゾン水処理装置にある。
ゾンガスを除去するためのオゾン水処理装置において、
オゾン水を流すオゾン水管と、このオゾン水管に流れる
オゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外
線ランプとを具備し、上記紫外線ランプは筒状で、上記
オゾン水管はこの紫外線ランプの内部に収容される直管
状であることを特徴とするオゾン水処理装置にある。
【００１３】請求項４の発明は、被洗浄物をオゾン水で
洗浄処理するための洗浄処理装置において、オゾン水を
供給するオゾン水供給源と、このオゾン水供給源から供
給されるオゾン水によって洗浄処理される被洗浄物が配
置される処理チャンバと、上記オゾン水供給源で作られ
たのち不要となったオゾン水を流通させるオゾン水管及
びこのオゾン水管を流れるオゾン水に紫外線を照射して
オゾンガスを分解する紫外線ランプを有するオゾン水分
解器とを具備したことを特徴とする洗浄処理装置にあ
る。
洗浄処理するための洗浄処理装置において、オゾン水を
供給するオゾン水供給源と、このオゾン水供給源から供
給されるオゾン水によって洗浄処理される被洗浄物が配
置される処理チャンバと、上記オゾン水供給源で作られ
たのち不要となったオゾン水を流通させるオゾン水管及
びこのオゾン水管を流れるオゾン水に紫外線を照射して
オゾンガスを分解する紫外線ランプを有するオゾン水分
解器とを具備したことを特徴とする洗浄処理装置にあ
る。
【００１４】請求項１乃至請求項３の発明によれば、オ
ゾン水に紫外線を照射することで、オゾン水に含まれる
オゾンガスを分解するため、オゾンガスの分解を確実に
行なうことができるばかりか、ランニングコストも比較
的低くてすむ。
ゾン水に紫外線を照射することで、オゾン水に含まれる
オゾンガスを分解するため、オゾンガスの分解を確実に
行なうことができるばかりか、ランニングコストも比較
的低くてすむ。
【００１５】請求項４の発明によれば、オゾン水を用い
て被洗浄物を洗浄する場合、廃棄されるオゾン水に含ま
れるオゾンガスは紫外線によって確実に分解される。
て被洗浄物を洗浄する場合、廃棄されるオゾン水に含ま
れるオゾンガスは紫外線によって確実に分解される。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１７】図１と図２はこの発明の第１の実施の形態
を示し、図１に示す洗浄処理装置は処理チャンバ１を有
する。この処理チャンバ１内にはガラス基板や半導体ウ
エハなどの被洗浄物２が駆動源３によって回転駆動され
る回転テ−ブル４に着脱自在に保持される。
を示し、図１に示す洗浄処理装置は処理チャンバ１を有
する。この処理チャンバ１内にはガラス基板や半導体ウ
エハなどの被洗浄物２が駆動源３によって回転駆動され
る回転テ−ブル４に着脱自在に保持される。
【００１８】上記被洗浄物２の上方にはノズル体５が配
置されている。このノズル体５はオゾン水供給源６に配
管接続されていて、上記被洗浄物２に向けてオゾン水を
噴射できるようになっている。それによって、上記被洗
浄物２は、とくにその板面に付着した有機物を分解洗浄
できるようになっている。
置されている。このノズル体５はオゾン水供給源６に配
管接続されていて、上記被洗浄物２に向けてオゾン水を
噴射できるようになっている。それによって、上記被洗
浄物２は、とくにその板面に付着した有機物を分解洗浄
できるようになっている。
【００１９】上記オゾン水供給源６には純水供給源７が
接続され、この純水供給源７から上記オゾン水供給源６
に供給される純水が電気分解されることで、オゾン水が
発生するようになっている。
接続され、この純水供給源７から上記オゾン水供給源６
に供給される純水が電気分解されることで、オゾン水が
発生するようになっている。
【００２０】オゾン水供給源６では常に一定量のオゾン
水が生成される。そのため、処理チャンバ１でオゾン水
を使用しない場合にはオゾン水供給源６で生成されるオ
ゾン水は第１の排液管８を通じてタンク９に排出される
ようになっている。
水が生成される。そのため、処理チャンバ１でオゾン水
を使用しない場合にはオゾン水供給源６で生成されるオ
ゾン水は第１の排液管８を通じてタンク９に排出される
ようになっている。
【００２１】上記ノズル５から上記処理チャンバ１の被
洗浄物２に向けて噴射されたオゾン水は、処理チャンバ
１の底部に接続された第２の排液管１１から上記タンク
９へ排出される。
洗浄物２に向けて噴射されたオゾン水は、処理チャンバ
１の底部に接続された第２の排液管１１から上記タンク
９へ排出される。
【００２２】上記タンク９には制御弁１２を介してオゾ
ン水分解器１３が配管１４によって接続されている。上
記タンク９には、このタンクに排出されるオゾン水の液
面を検出するレベルセンサ１５が設けられ、このレベル
センサ１５によってタンク９内の液面が所定以上になる
と、その信号が制御装置１６に入力される。それによっ
て、制御装置１６からは制御弁１２に駆動信号が出力さ
れ、その駆動信号によって上記制御弁１２が開放される
ようになっている。
ン水分解器１３が配管１４によって接続されている。上
記タンク９には、このタンクに排出されるオゾン水の液
面を検出するレベルセンサ１５が設けられ、このレベル
センサ１５によってタンク９内の液面が所定以上になる
と、その信号が制御装置１６に入力される。それによっ
て、制御装置１６からは制御弁１２に駆動信号が出力さ
れ、その駆動信号によって上記制御弁１２が開放される
ようになっている。
【００２３】つまり、タンク９に所定量のオゾン水が溜
まると、オゾン水はオゾン水分解器１３に流されるよう
になっている。それと同時に上記オゾン水分解器１３が
制御装置１５からの信号によって作動する。
まると、オゾン水はオゾン水分解器１３に流されるよう
になっている。それと同時に上記オゾン水分解器１３が
制御装置１５からの信号によって作動する。
【００２４】上記オゾン水分解器１３は、図２に示すよ
うに上記タンク９からオゾン水を排出する配管１４に接
続されたオゾン水管１７を有する。このオゾン水管１７
は、石英ガラスなどの所定の波長の光を通す材料によっ
て螺旋状に形成されていて、たとえば波長が２５３．７
ｎｍの紫外線を出力する直管状の紫外線ランプ１８の外
周に沿って巻回されている。
うに上記タンク９からオゾン水を排出する配管１４に接
続されたオゾン水管１７を有する。このオゾン水管１７
は、石英ガラスなどの所定の波長の光を通す材料によっ
て螺旋状に形成されていて、たとえば波長が２５３．７
ｎｍの紫外線を出力する直管状の紫外線ランプ１８の外
周に沿って巻回されている。
【００２５】したがって、紫外線ランプ１８は、その外
周に螺旋状に設けられたオゾン水管１７を流れるオゾン
水に効率よく照射されるから、そのオゾン水に含まれる
オゾンガスが紫外線ランプ１８からの２５３．７ｎｍの
波長の紫外線を吸収して酸素に分解される。それによっ
て、オゾン水分解器１３からは、オゾンガスから分解さ
れた酸素が溶存若しくは気泡の状態で存在する無害の液
体が排出されることになる。
周に螺旋状に設けられたオゾン水管１７を流れるオゾン
水に効率よく照射されるから、そのオゾン水に含まれる
オゾンガスが紫外線ランプ１８からの２５３．７ｎｍの
波長の紫外線を吸収して酸素に分解される。それによっ
て、オゾン水分解器１３からは、オゾンガスから分解さ
れた酸素が溶存若しくは気泡の状態で存在する無害の液
体が排出されることになる。
【００２６】なお、この実施の形態では、タンク９内の
オゾン水が所定量以上になってレベルセンサ１５から制
御装置１６に検出信号が出力されると、この制御装置１
６によってオゾン水分解器１３の紫外線ランプ１８を点
灯させるようになっている。
オゾン水が所定量以上になってレベルセンサ１５から制
御装置１６に検出信号が出力されると、この制御装置１
６によってオゾン水分解器１３の紫外線ランプ１８を点
灯させるようになっている。
【００２７】このような構成の洗浄処理装置によれば、
処理チャンバ１内に設けられた被洗浄物２をオゾン水で
洗浄処理する場合、ノズル体５から被洗浄物２に向けて
噴射されたオゾン水は第２の排液管１１を通じてタンク
９に排出される。また、被洗浄物２を洗浄処理しない場
合には、オゾン水供給源６で生成されたオゾン水は第１
の排液管８を通じて上記タンク９に排出される。
処理チャンバ１内に設けられた被洗浄物２をオゾン水で
洗浄処理する場合、ノズル体５から被洗浄物２に向けて
噴射されたオゾン水は第２の排液管１１を通じてタンク
９に排出される。また、被洗浄物２を洗浄処理しない場
合には、オゾン水供給源６で生成されたオゾン水は第１
の排液管８を通じて上記タンク９に排出される。
【００２８】タンク９のオゾン水の液面が所定の高さに
達してそのことがレベルセンサ１５によって検出される
と、その検出信号を受けた制御装置１６が制御弁１２を
開いてタンク９のオゾン水をオゾン水分解器１３へ流す
と同時に、オゾン水分解器１３の紫外線ランプ１８を点
灯させる。
達してそのことがレベルセンサ１５によって検出される
と、その検出信号を受けた制御装置１６が制御弁１２を
開いてタンク９のオゾン水をオゾン水分解器１３へ流す
と同時に、オゾン水分解器１３の紫外線ランプ１８を点
灯させる。
【００２９】制御弁１２が開くことで、タンク９のオゾ
ン水がオゾン水分解器１３のオゾン水管１７に流れる。
このオゾン水管１７は螺旋状に形成されて紫外線ランプ
１８の外周に巻回されている。
ン水がオゾン水分解器１３のオゾン水管１７に流れる。
このオゾン水管１７は螺旋状に形成されて紫外線ランプ
１８の外周に巻回されている。
【００３０】そのため、オゾン水はオゾン水管１７を流
れることで、紫外線ランプ１８からの２５３．７ｎｍの
紫外線によって効率よく照射されることになるから、オ
ゾン水に含まれるオゾンガスが紫外線を吸収して酸素に
分解される。オゾンガスから分解された酸素は液体に溶
存した状態若しくは気泡の状態となってその液体ととも
にオゾン水分解器１３から排出される。
れることで、紫外線ランプ１８からの２５３．７ｎｍの
紫外線によって効率よく照射されることになるから、オ
ゾン水に含まれるオゾンガスが紫外線を吸収して酸素に
分解される。オゾンガスから分解された酸素は液体に溶
存した状態若しくは気泡の状態となってその液体ととも
にオゾン水分解器１３から排出される。
【００３１】このように、オゾンガスの分解に、オゾン
水分解器１３の紫外線ランプ１８から放射される紫外線
を利用したことで、オゾン水に含まれるオゾンガスを確
実に分解することができ、しかもオゾン水が流れるオゾ
ン水管１７を紫外線ランプ１８の外周を囲む螺旋状にし
たことで、紫外線ランプ１８の紫外線をオゾン水に効率
よく確実に照射できるから、オゾンガスの分解効率を高
めることができる。
水分解器１３の紫外線ランプ１８から放射される紫外線
を利用したことで、オゾン水に含まれるオゾンガスを確
実に分解することができ、しかもオゾン水が流れるオゾ
ン水管１７を紫外線ランプ１８の外周を囲む螺旋状にし
たことで、紫外線ランプ１８の紫外線をオゾン水に効率
よく確実に照射できるから、オゾンガスの分解効率を高
めることができる。
【００３２】しかも、紫外線ランプ１８からの紫外線に
よってオゾンガスを分解するようにしたことで、オゾン
水を薬品を用いて中和したり、純水で希釈する場合など
に比べ、ランニングコストを低減することもできる。
よってオゾンガスを分解するようにしたことで、オゾン
水を薬品を用いて中和したり、純水で希釈する場合など
に比べ、ランニングコストを低減することもできる。
【００３３】図３と図４はそれぞれオゾン水分解器１３
の変形例を示すこの発明の第２の実施の形態と第３の実
施の形態を示す。
の変形例を示すこの発明の第２の実施の形態と第３の実
施の形態を示す。
【００３４】図３に示すこの発明の第２の実施の形態の
オゾン水分解器１３Ａは、紫外線ランプ１８の外側に、
この紫外線ランプ１８及び配管１４に比べて大径な中空
円筒状のオゾン水管１７Ａを液密に設け、このオゾン水
管１７Ａの一端面と他端面とに配管１４を接続するよう
にした。
オゾン水分解器１３Ａは、紫外線ランプ１８の外側に、
この紫外線ランプ１８及び配管１４に比べて大径な中空
円筒状のオゾン水管１７Ａを液密に設け、このオゾン水
管１７Ａの一端面と他端面とに配管１４を接続するよう
にした。
【００３５】このような構成によれば、タンク９から一
方の配管１４を通ってオゾン水管１７Ａに供給されたオ
ゾン水は、このオゾン水管１７Ａに滞留してから他方の
配管１４を通って流出する。
方の配管１４を通ってオゾン水管１７Ａに供給されたオ
ゾン水は、このオゾン水管１７Ａに滞留してから他方の
配管１４を通って流出する。
【００３６】そのため、オゾン水は、オゾン水管１７Ａ
に滞留すことで、その滞留する分だけ紫外線ランプ１８
の紫外線によって照射される時間が長くなるから、オゾ
ン水に含まれるオゾンガスの分解をより一層、確実に行
なうことが可能となる。
に滞留すことで、その滞留する分だけ紫外線ランプ１８
の紫外線によって照射される時間が長くなるから、オゾ
ン水に含まれるオゾンガスの分解をより一層、確実に行
なうことが可能となる。
【００３７】図４に示すこの発明の第３の実施の形態の
オゾン水分解器１３Ｂは、紫外線ランプ１８Ｂを中空筒
状に形成し、この内部に、配管１４よりも大径なオゾン
水管１７Ｂを挿入配置するようにした。
オゾン水分解器１３Ｂは、紫外線ランプ１８Ｂを中空筒
状に形成し、この内部に、配管１４よりも大径なオゾン
水管１７Ｂを挿入配置するようにした。
【００３８】このような構成によれば、紫外線ランプ１
８Ｂから出力される紫外線は、オゾン水管１７Ｂの外周
を周方向全長にわたって均一に照射することができる。
そのため、オゾン水管１７Ｂを流れるオゾン水も紫外線
によって全体的に均一に照射されるから、オゾン水に含
まれるオゾンガスの分解を確実に行なうことができる。
８Ｂから出力される紫外線は、オゾン水管１７Ｂの外周
を周方向全長にわたって均一に照射することができる。
そのため、オゾン水管１７Ｂを流れるオゾン水も紫外線
によって全体的に均一に照射されるから、オゾン水に含
まれるオゾンガスの分解を確実に行なうことができる。
【００３９】図５は洗浄処理装置の変形例を示すこの発
明の第４の実施の形態である。この実施の形態では、処
理チャンバ１で使用されて不要となったオゾン水はタン
ク９に貯えられたのち第１のオゾン水分解器１１３Ａに
よって処理されるという点は同じであるが、オゾン水供
給源６で不要となったオゾン水は、このオゾン水供給源
６に配管８Ａ及びこの配管８Ａを流れるオゾン水の流量
を制御する制御弁１２Ａを介して接続された第２のオゾ
ン水分解器１１３Ｂによって処理されるようになってい
る。なお、制御弁１２Ａは駆動源３が作動しておらず、
処理チャンバ１で被洗浄物２を洗浄していないときに開
放される。
明の第４の実施の形態である。この実施の形態では、処
理チャンバ１で使用されて不要となったオゾン水はタン
ク９に貯えられたのち第１のオゾン水分解器１１３Ａに
よって処理されるという点は同じであるが、オゾン水供
給源６で不要となったオゾン水は、このオゾン水供給源
６に配管８Ａ及びこの配管８Ａを流れるオゾン水の流量
を制御する制御弁１２Ａを介して接続された第２のオゾ
ン水分解器１１３Ｂによって処理されるようになってい
る。なお、制御弁１２Ａは駆動源３が作動しておらず、
処理チャンバ１で被洗浄物２を洗浄していないときに開
放される。
【００４０】つまり、処理チャンバ１から排出されるオ
ゾン水には、オゾンガスを分解しただけでは排出できな
いオゾン水以外の処理液が含まれることがあるから、そ
のような処理液が含まれる場合には、オゾン水を分解し
たのち、処理液を処理して廃棄される。
ゾン水には、オゾンガスを分解しただけでは排出できな
いオゾン水以外の処理液が含まれることがあるから、そ
のような処理液が含まれる場合には、オゾン水を分解し
たのち、処理液を処理して廃棄される。
【００４１】一方、オゾン水供給源６で不要になったオ
ゾン水には処理を要する処理液が含まれることがないか
ら、オゾンガスを分解後に、直ちに廃棄することができ
る。つまり、処理チャンバ１でオゾン水の他に、直接廃
棄できない処理液を使用する場合には、この実施の形態
のようにオゾン水供給源６と、処理チャンバ１とから排
出されるオゾン水を別々のオゾン水分解器１１３Ａ，１
１３Ｂよって処理するようにすることで、オゾン水の処
理効率を高めることができる。
ゾン水には処理を要する処理液が含まれることがないか
ら、オゾンガスを分解後に、直ちに廃棄することができ
る。つまり、処理チャンバ１でオゾン水の他に、直接廃
棄できない処理液を使用する場合には、この実施の形態
のようにオゾン水供給源６と、処理チャンバ１とから排
出されるオゾン水を別々のオゾン水分解器１１３Ａ，１
１３Ｂよって処理するようにすることで、オゾン水の処
理効率を高めることができる。
【００４２】なお、この第４の実施の形態において用い
られるオゾン水分解器は、図２乃至図４に示すオゾン水
分解器のいずれを用いてもよいこと勿論である。
られるオゾン水分解器は、図２乃至図４に示すオゾン水
分解器のいずれを用いてもよいこと勿論である。
【００４３】
【発明の効果】以上のように請求項１乃至請求項３の発
明は、オゾン水管に流れるオゾン水を紫外線によって照
射し、そのオゾン水に含まれるオゾンガスを分解するよ
うにした。
明は、オゾン水管に流れるオゾン水を紫外線によって照
射し、そのオゾン水に含まれるオゾンガスを分解するよ
うにした。
【００４４】そのため、オゾンガスの分解を従来に比べ
て低いランニングコストで行なうことができる。
て低いランニングコストで行なうことができる。
【００４５】しかも、オゾン水管を、紫外線ランプの外
周に巻回される螺旋状としたり、オゾン水管を紫外線ラ
ンプの外周を覆う筒状としたり、さらには紫外線ランプ
をオゾン水管の外周を覆う筒状とするなどのことによっ
て、紫外線ランプからの紫外線をオゾン水管に流れるオ
ゾン水に確実に照射することができるから、紫外線によ
るオゾンガスの分解効率を高めることができる。
周に巻回される螺旋状としたり、オゾン水管を紫外線ラ
ンプの外周を覆う筒状としたり、さらには紫外線ランプ
をオゾン水管の外周を覆う筒状とするなどのことによっ
て、紫外線ランプからの紫外線をオゾン水管に流れるオ
ゾン水に確実に照射することができるから、紫外線によ
るオゾンガスの分解効率を高めることができる。
【００４６】請求項４の発明は、処理チャンバやオゾン
水供給源から排出されるオゾン水に紫外線を照射してオ
ゾンガスを分解するようにした。
水供給源から排出されるオゾン水に紫外線を照射してオ
ゾンガスを分解するようにした。
【００４７】そのため、被洗浄物をオゾンガスで処理す
る洗浄処理装置において、不要となったオゾン水を無害
の状態で排出することができるとともに、薬液を用いて
中和したり、純水で希釈して排出する場合に比べてラン
ニングコストを低減することができる。
る洗浄処理装置において、不要となったオゾン水を無害
の状態で排出することができるとともに、薬液を用いて
中和したり、純水で希釈して排出する場合に比べてラン
ニングコストを低減することができる。
【図１】この発明の第１の実施の形態を示す洗浄処理装
置の全体構成図。
置の全体構成図。
【図２】オゾン水分解器の概略的構成の斜視図。
【図３】この発明の第２の実施の形態のオゾン水分解器
の概略的構成の斜視図。
の概略的構成の斜視図。
【図４】この発明の第３の実施の形態のオゾン水分解器
の概略的構成の斜視図。
の概略的構成の斜視図。
【図５】この発明の第４の実施の形態を示す洗浄処理装
置の全体構成図。
置の全体構成図。
１…処理チャンバ ６…オゾン水供給源 １３、１３Ａ，１３Ｂ…オゾン水分解器 １７、１７Ａ，１７Ｂ…オゾン水管 １８，１８Ａ，１８Ｂ…紫外線ランプ
Claims (4)
- 【請求項１】 オゾン水に含まれるオゾンガスを除去す
るためのオゾン水処理装置において、 オゾン水を流すオゾン水管と、 このオゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオ
ゾンガスを分解する紫外線ランプとを具備し、 上記紫外線ランプは直管状で、上記オゾン水管はこの紫
外線ランプの外周面に巻回される螺旋状であることを特
徴とするオゾン水処理装置。 - 【請求項２】 オゾン水に含まれるオゾンガスを除去す
るためのオゾン水処理装置において、 オゾン水を流すオゾン水管と、 このオゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオ
ゾンガスを分解する紫外線ランプとを具備し、 上記紫外線ランプは直管状で、上記オゾン水管はこの紫
外線ランプを内部に収容する筒状であることを特徴とす
るオゾン水処理装置。 - 【請求項３】 オゾン水に含まれるオゾンガスを除去す
るためのオゾン水処理装置において、 オゾン水を流すオゾン水管と、 このオゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオ
ゾンガスを分解する紫外線ランプとを具備し、 上記紫外線ランプは筒状で、上記オゾン水管はこの紫外
線ランプの内部に収容される直管状であることを特徴と
するオゾン水処理装置。 - 【請求項４】 被洗浄物をオゾン水で洗浄処理するため
の洗浄処理装置において、 オゾン水を供給するオゾン水供給源と、 このオゾン水供給源から供給されるオゾン水によって洗
浄処理される被洗浄物が配置される処理チャンバと、 上記オゾン水供給源で作られたのち不要となったオゾン
水を流通させるオゾン水管及びこのオゾン水管を流れる
オゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外
線ランプを有するオゾン水分解器とを具備したことを特
徴とする洗浄処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000181700A JP2002001318A (ja) | 2000-06-16 | 2000-06-16 | オゾン水処理装置および洗浄処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000181700A JP2002001318A (ja) | 2000-06-16 | 2000-06-16 | オゾン水処理装置および洗浄処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002001318A true JP2002001318A (ja) | 2002-01-08 |
Family
ID=18682584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000181700A Pending JP2002001318A (ja) | 2000-06-16 | 2000-06-16 | オゾン水処理装置および洗浄処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002001318A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013058023A1 (ja) * | 2011-10-20 | 2013-04-25 | シャープ株式会社 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
| JP2014151258A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | オゾン水分解方法及び洗浄装置 |
| US9452379B2 (en) | 2014-01-14 | 2016-09-27 | International Business Machines Corporation | Ozone abatement system for semiconductor manufacturing system |
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-
2000
- 2000-06-16 JP JP2000181700A patent/JP2002001318A/ja active Pending
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