TWI715779B - 吸盤台機構 - Google Patents

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Abstract

本發明的課題是在於不使用管，可旋轉且可吸引地支撐吸盤台的同時，可縮短維修時間。

其解決手段是吸盤台機構(50)具備：被連接至外部吸引源(94)的固定基台(52)，及對於固定基台可旋轉地配設的旋轉手段(51)，對於固定基台可旋轉地支撐被安裝於旋轉手段的上部的吸盤台(40)。在旋轉手段中設有：對於固定基台可旋轉地配設的旋轉基台(54)，及被裝卸自如地固定於旋轉基台的旋轉中心位置的插入部(55)，藉由插入部的卡合端部(72)卡合於固定基台的卡合凹部(73)，插入部內的吸引路徑(95)會被連結至固定基台的連通路徑(97)，且卡合端部與卡合凹部的對向面會以密封環(84)來密封。

Description

吸盤台機構
本發明是有關在加工裝置中保持被加工物的吸盤台機構。
半導體晶圓等的被加工物的表面是藉由格子狀的切道(切斷線)來區劃成複數的領域，在以此切道所區劃的各領域中形成有IC、LSI等的裝置。在裝置製造工程中是沿著切道來切斷被加工物，藉此製造各個的裝置晶片。被加工物的分割是藉由切削裝置或雷射加工裝置等的加工裝置來實施。在各加工裝置是設有將吸引保持被加工物的吸盤台予以可旋轉地配設於固定基台上的吸盤台機構(例如參照專利文獻1)。
吸盤台機構是對於固定基台構成可旋轉吸盤台的同時，須使負壓作用於吸盤台的保持面。因此，提案在吸盤台機構採用旋轉接頭(Rotary Joint)構造。在吸盤台與旋轉基台的接頭處設有被設置複數的管(tube)的多接頭，管會從多接頭通過固定基台內來連接至吸引源。吸引力會通過管來賦予吸盤台的保持面，吸盤台的旋轉不會有被管阻礙的情形。
[先行技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2015-036179號公報
可是，在加工動作中，一旦吸盤台旋轉驅動，則隨著吸盤台的旋轉，在各管產生扭轉。一旦加工動作反覆而各管的扭轉被重複，則疲勞會被積蓄於各管而劣化，且管的接頭部分會破損而破片堆積於吸盤台機構內。因此，對於操作員而言，會有管的更換作業或清掃作業煩瑣，須長時間的維修之問題。
本發明是有鑑於該點而研發者，以提供一種不使用管，可旋轉且可吸引地支撐吸盤台的同時，可縮短維修時間之吸盤台機構作為目的之一。
本發明之一形態的吸盤台機構，係將吸盤台安裝於上部，且可旋轉地支撐，該吸盤台係將被加工物吸引保持於上面，其特徵為具備：固定基台，其係連通至外部吸引源的連通路徑會被形成於內部；及旋轉手段，其係可旋轉地配設於該固定基台的上方，在上部安裝吸盤台， 該旋轉手段係具備：旋轉基台，其係可旋轉地配設於該固定基台上方；及插入部，其係構成為於旋轉中心對該旋轉基台裝卸自如地固定且可插入至該固定基台，該插入部係具備：卡合端部，其係傳達吸引力至該吸盤台上面的吸引路徑會被形成於內部，卡合於該固定基台的卡合凹部，一旦該卡合端部卡合於該卡合凹部，則在該卡合端部的外周壁與該固定基台的該卡合凹部的內壁之間以密封環來密封，且該連通路徑與該吸引路徑會被連結。
若根據此構成，則旋轉手段會可旋轉地被配設於固定基台的同時，被設於旋轉手段的插入部會插入至固定基台，而插入部的吸引路徑與固定基台的連通路徑會被連通。藉此，來自外部吸引源的吸引力會通過固定基台的連通路徑及插入部的吸引路徑來賦予吸盤台。並且，插入部的卡合端部會被卡合於固定基台的卡合凹部，卡合端部的外周壁與卡合凹部的內壁之間會以密封環來氣密地密封。因此，可不使發生空氣洩漏，可旋轉且可吸引地支撐吸盤台。並且，藉由插入部的吸引路徑及固定基台的連通路徑來形成1條的路徑，因此可減少路徑內的壓力損失而謀求吸引力的提升。而且，藉由從旋轉手段的旋轉基台卸下插入部，從固定基台的卡合凹部拔出插入部的卡合端部之簡易的作業，可由上方容易地更換密封環，可大幅度縮短維修時間。
並且，在本發明之一形態的吸盤台機構中，該旋轉手段是在該固定基台以軸承來保持，在該固定基台是具備使該旋轉手段旋轉的旋轉馬達。
若根據本發明，則可不使用管，可旋轉且可吸引地支撐吸盤台。並且，以卸下插入部的簡易作業，可由上方容易更換密封環，因此可大幅度縮短密封環的更換作業所要的維修時間。
40‧‧‧吸盤台
41‧‧‧保持面
50‧‧‧吸盤台機構
51‧‧‧旋轉手段
52‧‧‧固定基台
54‧‧‧旋轉基台
55‧‧‧插入部
57‧‧‧軸承
72‧‧‧插入部的卡合端部
73‧‧‧固定基台的卡合凹部
78‧‧‧環狀溝
84‧‧‧密封環
91‧‧‧旋轉馬達
94‧‧‧外部吸引源
95‧‧‧吸引路徑
97‧‧‧連通路徑
W‧‧‧被加工物
圖1是本實施形態的切削裝置的立體圖。
圖2是比較例的吸盤台機構的剖面模式圖。
圖3是本實施形態的吸盤台機構的剖面模式圖。
圖4是本實施形態的密封環的更換作業的說明圖。
以下，參照附圖來說明有關具備本實施形態的吸盤台機構之切削裝置。圖1是本實施形態的切削裝置的立體圖。圖2是比較例的吸盤台機構的剖面模式圖。另外，在以下的說明中，舉例說明在切削裝置具備吸盤台機構的構成，但並非限於此構成。吸盤台機構是例如亦可在雷射加工裝置或研削裝置等的其他的加工裝置中具備。
如圖1所示般，切削裝置1是構成以切削刀26來切削吸盤台40上的被加工物W，分割成各個的裝置晶片。被加工物W是長方形狀的封裝基板，基板表面是以格子狀的切道來區劃，在以切道所區劃的各領域中形成有各種裝置。另外，被加工物W是不限於CSP(Chip Size Package)基板、晶圓水準CSP(Wafer Level Chip Size Package)基板等的小型的封裝基板，亦可為尺寸比CSP基板等更大的封裝基板。
在切削裝置1的機殼10的上面是形成有延伸於X軸方向的矩形狀的開口，此開口是藉由可與吸盤台40一起移動的移動板11及蛇腹狀的防水罩12所被覆。在防水罩12的下方是設有使吸盤台40移動於X軸方向之未圖示的滾珠螺桿式的移動機構。在吸盤台40的表面是形成有藉由多數的吸引口來吸引保持被加工物W的保持面41。保持面41是經由吸盤台40內的流體路徑來連接至吸引源，藉由產生於保持面41的負壓來吸引保持被加工物W。
吸盤台40是在裝置中央的交接位置與面對切削手段24的加工位置之間往復移動。圖1是表示吸盤台40在交接位置待機的狀態。在機殼10中，與此交接位置鄰接的一個角部會下降一段，載置台14可昇降地設於下降之處。在載置台14載置有收容被加工物W的卡匣C。在載置卡匣C的狀態下，藉由載置台14昇降，於高度方向調整被加工物W的抽出位置及推進位置。
在載置台14的後方是設有：平行於Y軸方向的一對的定心器(centering guide)15，及在一對的定心器15與卡匣C之間存取被加工物W的推輓(push-pull)機構16。藉由一對的定心器15來引導推輓機構16之被加工物W的存取，且定位被加工物W的X軸方向。並且，藉由推輓機構16來從卡匣C抽出加工前的被加工物W至一對的定心器15以外，還從一對的定心器15將加工完了的被加工物W推進卡匣C。
在一對的定心器15的附近是設有在定心器15與吸盤台40之間搬送被加工物W的第1搬送臂17。藉由第1搬送臂17的旋回，以L字狀的臂部18的前端的搬送墊19來搬送被加工物W。並且，在交接位置的吸盤台40的後方設有旋轉器洗淨機構21。旋轉器洗淨機構21是朝旋轉中的旋轉器台22噴射洗淨水來洗淨被加工物W之後，取代洗淨水，噴上乾燥空氣來乾燥被加工物W。
在機殼10上是設有用以支撐具備切削刀26的切削手段24之支撐台28。切削手段24是在被支撐台28支撐的主軸的前端安裝切削刀26來構成。切削刀26是例如以接合劑來固定鑽石砥粒而形成圓板狀。並且，切削手段24是連結用以使切削刀26移動於Y軸方向及Z軸方向之未圖示的移動機構。切削手段24是從複數的噴射噴嘴噴射洗淨液，使高速旋轉的切削刀26會對於吸盤台40相對移動，藉此切削被加工物W。
在支撐台28的側面29是設有用以在吸盤台 40與旋轉器洗淨機構21之間搬送被加工物W的第2搬送臂31。藉由第2搬送臂31的進退移動，以從支撐台28的側面29傾斜延伸至前方的臂部32的前端的搬送墊33來搬送被加工物W。並且，在支撐台28是設有橫過吸盤台40的移動路徑的上方之伸臂支撐部35，在伸臂支撐部35是攝取被加工物W的攝像部36會被支撐。攝像部36之攝像畫像是被利用在切削手段24與吸盤台40的對準。並且，在支撐台28上是載有顯示加工條件等的監視器37。
在機殼10內是收容有只使吸盤台40露出於機殼10上的吸盤台機構50(參照圖3)。吸盤台機構50是藉由使吸盤台40旋轉來將切削刀26定位於正交的切道，且使用以保持被加工物W的負壓作用於吸盤台40的保持面41。因此，在吸盤台機構50是採用旋轉接頭構造，其係對於形成有流體路徑的固定基台，一邊抑制空氣的洩漏，一邊可旋轉地接合吸盤台40。
可是，如圖2的比較例所示般，一般性的吸盤台機構100是利用複數的管105來實現旋轉接頭構造。比較例的吸盤台機構100的旋轉接頭構造是支撐吸盤台101的旋轉基台102會被設設成包圍圓筒形狀的固定基台103。在旋轉基台102的中央部分是設置有多接頭104，該多接頭104是連結有複數的管105，各管105是從多接頭104通過固定基台103的內部來連接至外部吸引源(未圖示)。然後，來自外部吸引源的吸引力會經由管105來 賦予吸盤台101的保持面107。
然而，在此吸盤台機構100中，管105會隨著吸盤台101的旋轉而扭轉，因此管105會經歷歲月劣化而破損，且多接頭104與管105的連結部分恐有破損之虞。此管105或多接頭104的破損所產生的破片會堆積於固定基台103內部，而有管105或多接頭104的更換作業及固定基台103內的清掃作業變煩瑣，須長時間的維修之問題。又，由於來自外部吸引力的吸引力會經由複數的管105來賦予吸盤台101的保持面107，因此在管105的壓力損失會變大而吸引力降低。
於是，在本實施形態中，變更上述比較例的旋轉接頭構造，不使用複數的管105，可旋轉且可吸引地支撐吸盤台40。並且，藉由對於吸盤台機構50的一部分的零件之簡單的卸下作業，可容易更換機構內部的密封環84(參照圖3)等的消耗構件，可大幅度縮短維修時間。而且，以1條的路徑來連接吸盤台40與外部吸引源94(參照圖3)，藉此減少流路內的壓力損失，提升吸引力。
以下，說明有關本實施形態的吸盤台機構。圖3是本實施形態的吸盤台機構的剖面模式圖。另外，吸盤台機構是只要能夠藉由插入部的裝卸來從上方更換密封環即可，並不限於圖3所示的例子。例如，在以下的說明中雖是舉封裝基板用的吸盤台機構為例，但針對半導體晶圓或光裝置晶圓用的吸盤台機構也可形成同樣的構成。
如圖3所示般，吸盤台機構50是在上部安裝吸盤台40而可旋轉地支撐，該吸盤台40是在上面吸引保持被加工物W，且在固定基台52的上方可旋轉地配設旋轉手段51，該旋轉手段51是在上部安裝吸盤台40。吸盤台40是形成在台座42的上面裝卸自如安裝台本體43的上下分割構造。台本體43是在形成有多數的吸引口44的上段部分的周圍，被固定於台座42的下段部分會被形成凸緣狀。在台本體43的上段部分是藉由多數的吸引口44來形成保持面41，在台本體43的下段部分是形成有螺栓45用的安裝孔46(參照圖4A)。
並且，台座42是被形成中央開口的環板狀，在對應於台本體43的安裝孔46(參照圖4A)之處形成有螺孔47(參照圖4A)。藉由對於台座42的螺孔47螺合從台本體43的安裝孔46突出的螺栓45的前端，台本體43會被裝卸自如地安裝於台座42。藉由在台座42安裝台本體43，形成使複數的吸引口44連通至旋轉手段51的吸引路徑95之連通室96。並且，在比台座42的螺孔47(參照圖4A)更靠徑方向內側形成有螺栓48用的安裝孔49(參照圖4B)。
旋轉手段51是在可旋轉地配設於固定基台52的上方之旋轉基台54以凸緣板56來連結可插入至固定基台52的插入部55而構成。旋轉基台54是以能夠覆蓋固定基台52的上方部分之方式形成大筒狀，經由設於旋轉基台54與固定基台52的對向面之軸承57來連結至固定 基台52。並且，在旋轉基台54的上面是形成有安裝吸盤台40的台安裝面61，在台安裝面61是在對應於台座42的安裝孔49(參照圖4B)之處形成有螺孔62(參照圖4B)。藉由對於旋轉基台54的螺孔62螺合從台座42的安裝孔49突出的螺栓48的前端，台座42會被裝卸自如地安裝於旋轉基台54的上部。
在旋轉基台54的上面的徑方向內側，形成比台安裝面61更低一段的板安裝面63安裝有環板狀的凸緣板56。凸緣板56的徑方向外側會被連結至板安裝面63，凸緣板56的徑方向內側會被連結至圓筒形狀的插入部55的上端面。凸緣板56的厚度是與台安裝面61與板安裝面63的階差一致，台安裝面61與凸緣板56的上面會形成面一致。亦即，凸緣板56的上面也形成安裝吸盤台40的台安裝面的一部分。
在凸緣板56的徑方向外側是形成有螺栓64用的安裝孔65(參照圖4C)，在板安裝面63是在對應於安裝孔65之處形成有螺孔69(參照圖4C)。藉由對於板安裝面63的螺孔69螺合從凸緣板56的安裝孔65突出的螺栓64的前端，凸緣板56會被裝卸自如地安裝於板安裝面63。並且，凸緣板56的徑方向內側是從台座42的中央的開口露出，在此台座42的露出部分形成有螺栓67用的安裝孔68。
插入部55是形成從凸緣板56朝固定基台52的連通路徑97延伸的圓筒形狀。在插入部55的內部是形 成有將來自固定基台52的連通路徑97之吸引力傳達至吸盤台40的上面之吸引路徑95。在插入部55的上端面是在對應於凸緣板56的安裝孔68(參照圖4C)之處形成有螺孔(未圖示)。藉由對於插入部55的螺孔螺合從凸緣板56的安裝孔68突出的螺栓67的前端，插入部55會被裝卸自如地安裝於凸緣板56。如此插入部55會經由凸緣板56來裝卸自如地固定於旋轉基台54的旋轉中心。
在凸緣板56的上面、旋轉基台54的板安裝面63、插入部55的上端面是分別形成有環狀溝75、76、77(參照圖4C)，且在各環狀溝75、76、77是安裝有密封環81、82、83。台座42會經由密封環81來密封於台安裝面61，凸緣板56會經由密封環82來密封於板安裝面63，插入部55的上端面會經由密封環83來密封於凸緣板56。藉此，不會有空氣從構件彼此間的接合面洩漏的情形，可抑制吸盤台40的吸引力的降低。
在插入部55的下端是形成有進入固定基台52的連通路徑97內之卡合端部72。卡合端部72是藉由將插入部55的下端側的外周面縮徑而形成，被卡合於將固定基台52的連通路徑97的上端側擴徑後的卡合凹部73內。在卡合端部72的外周面是形成有環狀溝78，在環狀溝78中安裝有密封環84。一旦卡合端部72卡合於卡合凹部73，則卡合端部72的外周壁與卡合凹部73的內周壁之間會以密封環84來密封。藉此，不會有空氣從卡合端部72與卡合凹部73的接合面洩漏的情形，連通路徑 97與吸引路徑95會被氣密地連結。
並且，藉由從旋轉基台54卸下吸盤台40，從旋轉基台54及插入部55卸下凸緣板56，密封環81、82、83會被露出至外部。而且，藉由與凸緣板56一起將插入部55從旋轉基台54卸下，密封環84會被露出至外部。因此，不會有從固定基台52卸下旋轉手段51全體的情形，可容易只更換消耗品的密封環81、82、83、84。另外，在密封環81、82、83是使用固定用密封，在密封環84是使用運動用密封，但亦可皆使用O型環。
固定基台52是在下部基台86上設置上部基台87而構成，在上部基台87及下部基台86的內部形成有連通至外部吸引源94的連通路徑97。並且，固定基台52的連通路徑97是連通至插入部55的吸引路徑95，吸引路徑95是連通至吸盤台40內的連通室96。因為藉由連通路徑97與吸引路徑95來形成1條的路徑，所以不會有發生流路內的壓力損失的情形，可使來自外部吸引源94的吸引力賦予吸盤台40的保持面41。在上部基台87設有軸承57，旋轉基台54會藉由軸承57來可旋轉地保持於固定基台52。
並且，在旋轉基台54及固定基台52是設有使旋轉手段51旋轉的旋轉馬達91。旋轉馬達91是構成被連結至旋轉基台54的轉子93會旋轉於被固定在固定基台52的定子92的周圍。在定子92安裝有線圈巻線等，在轉子93是以能夠空出些微的間隙來與定子92對向的方 式設有複數的磁石。藉由定子92的線圈巻線通電，轉子93會以固定基台52為中心旋轉，被連結至轉子93的旋轉基台54及吸盤台40會一體被旋轉。
如此，吸盤台機構50的旋轉接頭是可旋轉地支撐吸盤台40，且不會有使空氣洩漏的情形，可將來自外部吸引源94的吸引力賦予吸盤台40的保持面41。又，由於插入部55的卡合端部72與固定基台52的卡合凹部73會經由密封環84來滑動，因此此滑動處的密封環84特別容易劣化。但，由於插入部55被裝卸自如地安裝於旋轉基台54，因此藉由從旋轉基台54卸下插入部55，可容易更換密封環84。
參照圖4來說明有關密封環的更換作業。圖4是本實施形態的密封環的更換作業的說明圖。另外，圖4A是表示台本體的卸下作業，圖4B是表示台座的卸下作業，圖4C是表示凸緣板及插入部的卸下作業。另外，在以下的說明中是說明有關被設在旋轉手段的卡合端部與固定基台的卡合凹部之間的密封環的更換作業。
如圖4A所示般，在密封環84(參照圖4C)的更換作業中，首先藉由操作員來緩和台本體43的外周部分的各螺栓45，從台座42的上面卸下台本體43。藉此，躲在台本體43的內側之台座42用的螺栓48會露出至外部。其次，如圖4B所示般，藉由操作員來緩和台座42的各螺栓48，從旋轉基台54的台安裝面61卸下台座42。藉此，躲在台座42的背面側之凸緣板56用的螺栓 64會露出至外部，且被安裝於凸緣板56的上面的環狀溝75之密封環81會露出至外部。
其次，如圖4C所示般，藉由操作員來緩和凸緣板56的徑方向外側的各螺栓64，從旋轉基台54的板安裝面63卸下凸緣板56，被固定於凸緣板56的插入部55會從固定基台52拔出。藉此，被安裝於板安裝面63的環狀溝76之密封環82會露出至外部，被安裝於插入部55的卡合端部72的環狀溝78之密封環84會露出至外部。然後，環狀溝78內的劣化後的密封環84卸下，新的密封環84安裝後，以和上述的卸下動作相反的順序來安裝凸緣板56、台座42、台本體43。
另外，在密封環84的更換作業時，亦可更換凸緣板56的上面的環狀溝75的密封環81、板安裝面63的環狀溝76的密封環82。並且，在圖4中是插入部55會被固定於凸緣板56，但亦可從凸緣板56卸下插入部55，更換被安裝於插入部55的上端面的環狀溝77之密封環83。
如以上般，本實施形態的吸盤台機構50是旋轉手段51可旋轉地被配設於固定基台52，且被設在旋轉手段51的插入部55會被插入至固定基台52，而插入部55的吸引路徑95與固定基台52的連通路徑97會被連通。藉此，來自外部吸引源94的吸引力會經由固定基台52的連通路徑97及插入部55的吸引路徑95來賦予吸盤台40。並且，插入部55的卡合端部72會被卡合於固定 基台52的卡合凹部73，卡合端部72的外周壁與卡合凹部73的內壁之間會以密封環84來氣密地密封。因此，不會有發生空氣洩漏的情形，可旋轉且可吸引地支撐吸盤台40。並且，因為藉由插入部55的吸引路徑95及固定基台52的連通路徑97來形成1條的路徑，所以可減少在路徑內的壓力損失來謀求吸引力的提升。而且，藉由從旋轉手段51的旋轉基台54卸下插入部55，從固定基台52的卡合凹部73拔出插入部55的卡合端部72之簡易的作業，可容易從上方更換密封環84，可大幅度縮短維修時間。
另外，上述的實施形態中，在吸盤台40的保持面41形成有多數的吸引口44，但並非限於此構成。吸盤台40的保持面41是亦可以多孔陶瓷來形成多孔質。並且，吸盤台40為將台本體43裝卸自如地安裝於台座42的構成，但台座42與台本體43是亦可一體形成。
又，上述的實施形態中，舉電磁式馬達作為旋轉馬達91進行說明，但並非限於此構成。亦可使用靜電式馬達或超音波式馬達作為旋轉馬達91。
又，上述的實施形態中，凸緣板56會被螺絲固定於旋轉基台54，插入部55會被螺絲固定於凸緣板56，藉此形成插入部55會經由凸緣板56來固定於旋轉基台54的構成，但不限於此構成。插入部55是只要對於旋轉基台54裝卸自如固定即可，對於旋轉基台54怎麼樣固定皆可。
又，上述的實施形態中，外部吸引源94是只 要能夠經由固定基台52的連通路徑97來將吸引力賦予吸盤台40的保持面41即可，例如亦可以吸引泵或排出器(ejector)來構成。
又，上述的實施形態中，舉封裝基板作為被加工物W，但被加工物W是只要成為加工對象的工件即可，亦可為半導體晶圓或光裝置晶圓。
又，上述的實施形態中，形成密封環84會被安裝於在插入部55的卡合端部72的外側面所形成的環狀溝78之構成，但並非限於此構成。密封環84是只要能夠密封卡合凹部73的內周壁與卡合端部72的外周壁之間即可。如圖3所示般，卡合凹部73的上側的開口端凹陷成為階狀，卡合端部72的階部72a會進入此階狀的凹陷73a，但卡合凹部73的階狀的凹陷73a與卡合端部72的階部72a之間亦可以密封環來密封。此情況，亦可在卡合凹部73的階狀的凹陷73a的底面形成安裝密封環的環狀溝，使密封環能夠以卡合凹部73及卡合端部72來從上下方向夾入。即使是如此的構成，也可藉由從旋轉基台54卸下插入部55來使密封環露出至外部。
又，雖說明本發明的實施形態及變形例，但本發明的其他的實施形態，亦可全體的或部分地組合上述實施形態及變形例。
又，本發明的實施形態是不限於上述的各實施形態，亦可在不脫離本發明的技術思想的主旨的範圍中實施各種變更、置換、變形。只要能夠藉由技術的進步或 衍生的別的技術，以別的做法來實現本發明的技術思想，亦可使用該方法來實施。因此，申請專利範圍是覆蓋本發明的技術思想的範圍內所含的全部的實施形態。
又，本發明的實施形態中，雖是說明有關將本發明適用於吸盤台機構的構成，但亦可適用於可旋轉且可吸引吸盤台的旋轉接頭構造。
[產業上的利用可能性]
如以上說明般，本發明是具有不使用管，可旋轉且可吸引地支撐吸盤台的同時，可縮短維修時間之效果，特別是對於封裝基板用的吸盤台機構有用。
40‧‧‧吸盤台
41‧‧‧保持面
42‧‧‧台座
43‧‧‧台本體
44‧‧‧吸引口
45‧‧‧螺栓
48‧‧‧螺栓
50‧‧‧吸盤台機構
51‧‧‧旋轉手段
52‧‧‧固定基台
54‧‧‧旋轉基台
55‧‧‧插入部
56‧‧‧凸緣板
57‧‧‧軸承
61‧‧‧台安裝面
63‧‧‧板安裝面
64‧‧‧螺栓
67‧‧‧螺栓
72‧‧‧插入部的卡合端部
72a‧‧‧階部
73a‧‧‧階狀的凹陷
73‧‧‧固定機台的卡合凹部
78‧‧‧環狀溝
81‧‧‧密封環
82‧‧‧密封環
83‧‧‧密封環
84‧‧‧密封環
86‧‧‧下部基台
87‧‧‧上部基台
91‧‧‧旋轉馬達
92‧‧‧定子
93‧‧‧轉子
94‧‧‧外部吸引源
95‧‧‧吸引路徑
96‧‧‧連通室
97‧‧‧連通路徑
W‧‧‧被加工物

Claims (2)

  1. 一種吸盤台機構，係將吸盤台安裝於上部，且可旋轉地支撐，該吸盤台係將被加工物吸引保持於上面，其特徵為具備：固定基台，其係連通至外部吸引源的連通路徑會被形成於內部；及旋轉手段，其係可旋轉地配設於該固定基台的上方，在上部安裝該吸盤台，該旋轉手段係具備：旋轉基台，其係可旋轉地配設於該固定基台上方；及插入部，其係構成為於旋轉中心對該旋轉基台裝卸自如地固定且可插入至該固定基台，該插入部係具備：卡合端部，其係傳達吸引力至該吸盤台上面的吸引路徑會被形成於內部，卡合於該固定基台的卡合凹部，一旦該卡合端部卡合於該卡合凹部，則在該卡合端部的外周壁與該固定基台的該卡合凹部的內壁之間以密封環來密封，且該連通路徑與該吸引路徑會被連結。
  2. 如申請專利範圍第1項之吸盤台機構，其中，該旋轉手段係以軸承來保持於該固定基台，在該固定基台具備使該旋轉手段旋轉的旋轉馬達。
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