JP2015036179A - チャックテーブル機構 - Google Patents
チャックテーブル機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015036179A JP2015036179A JP2013169100A JP2013169100A JP2015036179A JP 2015036179 A JP2015036179 A JP 2015036179A JP 2013169100 A JP2013169100 A JP 2013169100A JP 2013169100 A JP2013169100 A JP 2013169100A JP 2015036179 A JP2015036179 A JP 2015036179A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck table
- rotating shaft
- fluid
- housing
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 87
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
切削装置は、ウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを備えた切削手段と、切削加工されたウエーハを洗浄するスピンナーテーブル(回転可能なチャックテーブル)を備えた洗浄手段等を具備している(例えば、特許文献2参照)。
該回転軸には、該装着部に開口する流体通路が設けられ、
該ハウジングには、該回転軸に設けられた流体通路が開口する流体室が設けられているとともに、該流体室に開口し流体供給手段に連通する流体供給口が設けられており、
該回転軸の外周に永久磁石を配設し、該ハウジングに該永久磁石と対向してコイル巻線を配設することにより永久磁石式モータを構成した、
ことを特徴とするチャックテーブル機構が提供される。
また、上記流体室に開口する流体供給口は、吸引手段に連通する第1の流体供給口と、高圧流体供給手段に連通する第2の流体供給口とを備えている。
図1には、本発明に従って構成されたチャックテーブル機構が装備された加工装置としての研削装置の斜視図が示されている。図1に示す研削装置は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。この装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ上方に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に移動基台3が摺動可能に装着されている。移動基台3は、後面両側に上下方向に延びる一対の脚部31、31が設けられており、この一対の脚部31、31に上記一対の案内レール221、221と摺動可能に係合する被案内溝311、311が形成されている。このように直立壁22に設けられた一対の案内レール221、221に摺動可能に装着された移動基台3の前面には前方に突出した支持部32が設けられている。この支持部32に研削手段としてのスピンドルユニット4が取り付けられる。
図2に示すチャックテーブル機構7は、被加工物を保持するチャックテーブル71と、該チャックテーブル71を装着する回転軸72と、該回転軸72を収容するハウジング73を具備している。チャックテーブル71は、円板状の本体711と、該本体711の上面に配設された通気性を有する被加工物保持部材712とからなっている。本体711はステンレス鋼等の金属材料によって形成されており、その上面には円形の嵌合凹部711aが設けられている。この嵌合凹部711aには、底面の外周部に被加工物保持部材712が載置される環状の載置棚711bが設けられている。また、本体711には、中心部に嵌合凹部711aに開口する吸引通路711cが設けられているとともに、該吸引通路711cと連通して下方に突出する嵌合連結部711dが設けられている。なお、被加工物保持部材712は、図示の実施形態においてはポーラスセラミックスによって形成されている。
図1に示す研削装置を用いて被加工物を研削するには、先ず図1に示す被加工物載置域24に位置付けられているチャックテーブル機構7のチャックテーブル71上に被加工物である例えば半導体ウエーハ10を載置する。このとき、半導体ウエーハ10の表面(デバイスが形成されている面)に保護テープ11を貼着し、図3に示すように該保護テープ11をチャックテーブル71上に載置する。従って、半導体ウエーハ10は、裏面を上側にしてチャックテーブル71上に載置されることになる。このようにしてチャックテーブル71上に半導体ウエーハ10の表面に貼着された保護テープ11を載置したならば、上記図2に示す吸引手段81の第1の電磁開閉弁813を開路する。この結果、上述したように吸引源811が第1の流体供給口732a、流体室730および回転軸72に設けられた流体通路722を介してチャックテーブル71に設けられた吸引通路711cから嵌合凹部711aに連通するため、嵌合凹部711aに下面が露出している通気性を有する被加工物保持部材712の上面(保持面)に負圧が作用し、被加工物保持部材712の上面(保持面)に載置された半導体ウエーハ10が保護テープ11を介して吸引保持される。
3:移動基台
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:回転スピンドル
44:ホイールマウント
5:研削ホイール
51:ホイール基台
52:研削砥石
6:研削送り手段
7:チャックテーブル機構
71:チャックテーブル
72:回転軸
721:装着部
722:流体通路
73:ハウジング
730:流体室
732a:第1の流体供給口
732b:第2の流体供給口
74:シールリング
76:シール機構
77:永久磁石式モータ
771:永久磁石
772:コイル巻線
81:吸引手段
82:高圧流体供給手段
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルが装着される装着部を備えた回転軸と、該回転軸を収容するとともに該装着部を突出させて回転可能に支持するハウジングと、を具備するチャックテーブル機構であって、
該回転軸には、該装着部に開口する流体通路が設けられ、
該ハウジングには、該回転軸に設けられた流体通路が開口する流体室が設けられているとともに、該流体室に開口し流体供給手段に連通する流体供給口が設けられており、
該回転軸の外周に永久磁石を配設し、該ハウジングに該永久磁石と対向してコイル巻線を配設することにより永久磁石式モータを構成した、
ことを特徴とするチャックテーブル機構。 - 該永久磁石式モータは、該回転軸の該装着部と該流体室との間に配設される、請求項1記載のチャックテーブル機構。
- 該流体室に開口する該流体供給口は、吸引手段に連通する第1の流体供給口と、高圧流体供給手段に連通する第2の流体供給口とを備えている、請求項1または2記載のチャックテーブル機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013169100A JP2015036179A (ja) | 2013-08-16 | 2013-08-16 | チャックテーブル機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013169100A JP2015036179A (ja) | 2013-08-16 | 2013-08-16 | チャックテーブル機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015036179A true JP2015036179A (ja) | 2015-02-23 |
Family
ID=52686868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013169100A Pending JP2015036179A (ja) | 2013-08-16 | 2013-08-16 | チャックテーブル機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015036179A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017103331A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 株式会社ディスコ | 回転機構及び切削装置 |
CN107622971A (zh) * | 2016-07-13 | 2018-01-23 | 株式会社迪思科 | 卡盘工作台机构 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08172047A (ja) * | 1994-12-19 | 1996-07-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の回転処理装置 |
JP2002054631A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 主軸装置及び該装置の予圧調整方法 |
JP2003053632A (ja) * | 2001-08-13 | 2003-02-26 | Makino Milling Mach Co Ltd | 工作機械の回転軸装置 |
JP2009248267A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
-
2013
- 2013-08-16 JP JP2013169100A patent/JP2015036179A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08172047A (ja) * | 1994-12-19 | 1996-07-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の回転処理装置 |
JP2002054631A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 主軸装置及び該装置の予圧調整方法 |
JP2003053632A (ja) * | 2001-08-13 | 2003-02-26 | Makino Milling Mach Co Ltd | 工作機械の回転軸装置 |
JP2009248267A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017103331A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 株式会社ディスコ | 回転機構及び切削装置 |
CN107622971A (zh) * | 2016-07-13 | 2018-01-23 | 株式会社迪思科 | 卡盘工作台机构 |
KR20180007685A (ko) | 2016-07-13 | 2018-01-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 척 테이블 기구 |
KR102231552B1 (ko) * | 2016-07-13 | 2021-03-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 척 테이블 기구 |
CN107622971B (zh) * | 2016-07-13 | 2023-03-28 | 株式会社迪思科 | 卡盘工作台机构 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107756238B (zh) | 研磨装置 | |
JP6166106B2 (ja) | サファイア基板の加工方法 | |
JP2014237210A (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
JP2010188433A (ja) | 回転工具を備えた加工装置 | |
JP2015036179A (ja) | チャックテーブル機構 | |
JP2009107040A (ja) | 加工装置 | |
JP6425505B2 (ja) | 被加工物の研削方法 | |
US8915771B2 (en) | Method and apparatus for cleaning grinding work chuck using a vacuum | |
JP5270179B2 (ja) | 研削装置 | |
TWI783136B (zh) | 研磨裝置 | |
JP2012016770A (ja) | 研削方法および研削装置 | |
JP2008119768A (ja) | ウエーハの研削方法および研削装置 | |
JP2018015825A (ja) | 加工装置 | |
JP2012169487A (ja) | 研削装置 | |
JP2011093029A (ja) | 研削装置 | |
JP2018083253A (ja) | スピンドルユニット及び研削装置 | |
JP2020026012A (ja) | 研削装置 | |
JP2010219461A (ja) | ウエーハの研磨方法 | |
JP6125357B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP6345981B2 (ja) | 支持治具 | |
JP2021125581A (ja) | 洗浄装置 | |
JP2003257912A (ja) | 半導体ウエーハの洗浄装置 | |
JP2017019055A (ja) | チャックテーブル及びチャックテーブルを備えた加工装置 | |
JP5048997B2 (ja) | ウエーハの研削装置および研削方法 | |
JP2020025989A (ja) | 研削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160620 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170526 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170725 |