JP2007229904A - ターンテーブルを有する加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ターンテーブルを有する加工装置の小型化を図ることを目的とする。
【解決手段】ターンテーブルベース６０が、ターンテーブル２０の外周部２０ｂを回動可能に支持する外周支持部６１と、ターンテーブル２０の回転中心を回転可能に支持する中心支持部６２とを備え、チャックテーブル１８，１９に連結される複数のケーブル１００の延在部１００Ａが外周支持部６１の内側に形成されたケーブル収納室６７に収納されるようにした。
【選択図】 図５

Description

本発明は、ターンテーブルを有する加工装置に関するものである。

従来から、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが表面に複数形成されたウエーハは、裏面が研削されて所定の厚さに形成され、ダイシング装置等の分割装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電子機器に利用される。

ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルを２個以上支持するターンテーブルと、ターンテーブルを支持するターンテーブルベースと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が装着された研削手段と、を概ね備えていて（例えば、特許文献１参照）、ウエーハを効率よく研削することができる。

また、チャックテーブルは、モータと、吸引領域に吸引力を伝達する吸引力伝達部と、吸引領域に水を供給する水供給部と、を備えていて、モータに連結される電線と、吸引力伝達部に連結される吸引ホースと、水供給部に連結される給水ホースと、を含むケーブルが配設されていて、チャックテーブルの所要の機能を伝達する。

特開２００３−２０９０８０号公報（図１）

しかしながら、従来のケーブルは、複数の箱が屈曲可能に連結されたケーブルベアラー内に収納されてターンテーブルベースの外周を取り囲むように配設され、ターンテーブルの回転に追従して屈曲移動するため、ターンテーブルの外周にはケーブルベアラーが移動できる余裕が必要であり、研削装置が比較的大型になるという問題がある。また、ケーブルが比較的長くなりやすく、取扱いが困難な上に不経済であるという問題点がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ターンテーブルを有する加工装置の小型化を図ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るターンテーブルを有する加工装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを２個以上支持するターンテーブルと、該ターンテーブルを支持するターンテーブルベースと、前記チャックテーブルに保持されたウエーハに加工を施す加工手段と、を備えたターンテーブルを有する加工装置であって、前記ターンテーブルベースは、前記ターンテーブルの外周部を回動可能に支持する外周支持部と、前記ターンテーブルの回転中心を回転可能に支持する中心支持部と、を備え、前記チャックテーブルに連結される複数のケーブルが前記外周支持部の内側に形成されたケーブル収納室に収納されることを特徴とする。

また、本発明に係るターンテーブルを有する加工装置は、上記発明において、前記ターンテーブルの回転中心には回転軸が垂下し、前記ターンテーブルベースの前記中心支持部には前記回転軸が挿入する回転軸挿入口が形成されていて、前記チャックテーブルに連結された前記ケーブルの延在部が屈曲可能に束ねられて前記回転軸に固定され前記ターンテーブルの回転に伴って前記ケーブルが前記回転軸に巻きつけられることを特徴とする。

また、本発明に係るターンテーブルを有する加工装置は、上記発明において、前記ターンテーブルの回転中心には貫通孔を有する回転軸が垂下し、前記ターンテーブルベースの前記中心支持部には前記回転軸が挿入する回転軸挿入口が形成されていて、前記チャックテーブルに連結された前記ケーブルが前記貫通孔を通り前記ケーブルの延在部が前記ケーブル収納室内に這い回されることを特徴とする。

また、本発明に係るターンテーブルを有する加工装置は、上記発明において、前記加工手段は、前記チャックテーブルに保持されたウエーハの面を研削する研削ホイールが装着された研削手段であることを特徴とする。

また、本発明に係るターンテーブルを有する加工装置は、上記発明において、前記ターンテーブルは、原点位置からの回転角度が規制された範囲内で往復回転することを特徴とする。

また、本発明に係るターンテーブルを有する加工装置は、上記発明において、前記チャックテーブルは、ウエーハを吸引保持する吸引領域と、該吸引領域を囲繞する枠体と、該枠体を回転するモータと、前記吸引領域に吸引力を伝達する吸引力伝達部と、前記吸引領域に水を供給する水供給部と、を備え、前記ケーブルは、前記モータに連結される電線と、前記吸引力伝達部に連結される吸引ホースと、前記水供給部に連結される給水ホースと、を含むことを特徴とする。

本発明に係るターンテーブルを有する加工装置は、ターンテーブルベースの外周支持部の内側に形成されたケーブル収納室にチャックテーブルに連結される複数のケーブルが収納されるようにしたので、ターンテーブルベースの外周にケーブル這い回しのための余裕を持たせる必要がなく加工装置を小型にできるとともに、ケーブルを比較的短くすることができ経済的であるという効果を奏する。

また、本発明に係るターンテーブルを有する加工装置は、チャックテーブルに連結されたケーブルの延在部が屈曲可能に束ねられてターンテーブルの回転軸に固定されターンテーブルの回転に伴ってケーブルが回転軸に巻きつけられるようにしたので、ターンテーブルの回転に伴って屈曲するケーブルが絡み合ったり断線してしまうことを防止でき、ケーブルの信頼性を向上させることができ、かつ、屈曲するケーブル部分が軽量化されるためにターンテーブルを回転させるためのモータの負荷を軽減させることができるという効果を奏する。

また、本発明に係るターンテーブルを有する加工装置は、チャックテーブルに連結されたケーブルが回転軸の貫通孔を通りケーブルの延在部がケーブル収納室内に這い回されるようにしたので、ケーブルの延在部が固定的でよく、ターンテーブルの回転に伴う屈曲動作がなくなり、回転軸への巻きつけも不要となり、ケーブルの長さを一層短くすることができ、ターンテーブルを回転させるモータの負荷を一層軽減させることができるという効果を奏する。

以下、本発明を実施するための最良の形態であるターンテーブルを有する加工装置について図面を参照して説明する。

本実施の形態は、ターンテーブルを有する加工装置の一例として、ターンテーブルを有する研削装置への適用例を示す。図１は、本実施の形態の切削装置を示す外観斜視図である。研削装置１０は、ウエーハＷを収容するカセット１１，１２と、カセット１１からのウエーハＷの搬出またはカセット１２へのウエーハＷの搬入を行う搬出入手段１３と、ウエーハＷの中心位置合わせを行う位置合わせ手段１４と、ウエーハＷを搬送する搬送手段１５，１６と、ウエーハＷを吸引保持する３つのチャックテーブル１７〜１９と、これらのチャックテーブル１７〜１９をそれぞれ回転自在に支持して回転するターンテーブル２０と、各チャックテーブル１７〜１９に保持されたウエーハＷに研削処理を施す研削手段３０，４０と、研削後のチャックテーブル１７〜１９を洗浄する洗浄手段５１と、研削後のウエーハＷを洗浄する洗浄手段５２とを備えている。

このような研削装置１０においては、カセット１１に収納されたウエーハＷが搬出入手段１３によって位置合わせ手段１４に搬送され、ここで中心位置合わせがされた後、搬送手段１５によってチャックテーブル１７上に搬送され載置される。チャックテーブル１７〜１９は、それぞれが回転可能であるとともにターンテーブル２０の回転に伴ってＸＹ平面上を移動する構成となっており、ウエーハＷを吸引保持したチャックテーブル１７については所定角度、例えば反時計方向に１２０度回転することにより研削手段３０の直下に位置づけられる。

チャックテーブル１７〜１９に保持されたウエーハＷに加工を施す加工手段の一例として設けられた研削手段３０は、壁部３１にＺ軸方向に配設された一対のガイドレール３２にガイドされてモータ３３の駆動により上下動する支持部３４に支持され、支持部３４の上下動に伴ってＺ軸方向に上下動するように構成されている。この研削手段３０は、回転可能に支持されたスピンドル３５ａを回転するモータ３５と、スピンドル３５ａの先端にホイールマウント３６を介して装着されてウエーハＷの裏面を研削する研削ホイール３７とを備えている。研削ホイール３７は、その下面に円環状に固着された粗研削用の研削砥石３８を備えている。

そこで、研削手段３０がモータ３５によるスピンドル３５ａの回転を伴ってＺ軸方向の下方に研削送りされて、回転する研削ホイール３７の研削砥石３８がウエーハＷの裏面に接触することにより、チャックテーブル１７に保持され研削手段３０の直下に位置づけられたウエーハＷの裏面が粗研削される。

次いで、ターンテーブル２０が反時計方向に同じ角度だけ回転することにより、粗研削されたウエーハＷが研削手段４０の直下に位置づけられる。

チャックテーブル１７〜１９に保持されたウエーハＷに加工を施す加工手段の一例として設けられた研削手段４０は、壁部３１にＺ軸方向に配設された一対のガイドレール４１にガイドされてモータ４２の駆動により上下動する支持部４３に支持され、支持部４３の上下動に伴ってＺ軸方向に上下動するように構成されている。この研削手段４０は、回転可能に支持されたスピンドル４４ａを回転するモータ４４と、スピンドル４４ａの先端にホイールマウント４５を介して装着されてウエーハＷの裏面を研削する研削ホイール４６とを備えている。研削ホイール４６は、その下面に円環状に固着された仕上げ研削用の研削砥石４７を備えている。すなわち、研削手段４０は、研削手段３０とは研削砥石の種類のみが異なる構成とされている。

そこで、研削手段４０がモータ４４によるスピンドル４４ａの回転を伴ってＺ軸方向の下方に研削送りされて、回転する研削ホイール４６の研削砥石４７がウエーハＷの裏面に接触することにより、チャックテーブル１７に保持され研削手段４０の直下に位置づけられたウエーハＷの裏面が仕上げ研削される。

裏面が仕上げ研削されたウエーハＷを吸引保持しているチャックテーブル１７は、ターンテーブル２０の時計方向への逆回転により、図１中に示す初期位置に戻される。この位置で、裏面が仕上げ研削されたウエーハＷは、搬送手段１６によって洗浄手段５２に搬送され、ここで洗浄により研削屑が除去された後に、搬出入手段１３によってカセット１２に収容される。また、洗浄手段５１は、仕上げ研削されたウエーハＷが搬送手段１６によって取り上げられて空き状態となったチャックテーブル１７の洗浄を行う。

他のチャックテーブル１８，１９上のウエーハＷに対する粗研削、仕上げ研削、他のチャックテーブル１８，１９に対するウエーハＷの搬出入等もターンテーブル２０の回転位置に応じて同様に行われる。

次に、研削装置１０中のターンテーブル２０付近の構成について説明する。図２は、ターンテーブル２０付近の構成例を示す分解斜視図である。円盤状に形成されたターンテーブル２０は、回転軸２１と３個の貫通孔２２〜２４と３個のケーブル挿通孔２５〜２７と複数個の支柱２８とベルト溝２９とを備える。回転軸２１は、ターンテーブル２０の回転中心φに形成された中心孔２０ａ（図５参照）を通してターンテーブル２０から真下方向に垂下するものであり、上端に形成されたフランジ部２１ａがねじ２１ｂによりターンテーブル２０上に固定されることによりターンテーブル２０に一体化されている。また、回転軸２１は、上下方向に貫通する貫通孔２１ｃを有し、下端側外周にはねじ２１ｄにより着脱自在に固定される径大な巻きつけ部２１ｅ（図５参照）を有する。

貫通孔２２〜２４は、３個のチャックテーブル１７〜１９を回転中心φ回りに１２０度ずつ等間隔で離れた位置に配設するとともに、これらのチャックテーブル１７〜１９を回転自在に支持するためのものである。ケーブル挿通孔２５〜２７は、貫通孔２２〜２４よりも内周側位置に形成されて後述するケーブルを挿通させるためのものである。支柱２８は、ターンテーブル２０上に載置される後述のターンテーブルカバーとターンテーブル２０との間に空間を確保するためのものであり、ねじ構造によりターンテーブル２０上に固定されている。ベルト溝２９は、ターンテーブル２０の外周面上に全周に亘って形成されたもので、ターンテーブル２０を回転させるための回転ベルト２９ａが装着される。

また、研削装置１０は、ターンテーブル２０の下部側にターンテーブルベース６０を備え、ターンテーブル２０の上部側にターンテーブルカバー７０を備える。ターンテーブルベース６０は、研削装置１０の内部のベース板等に固定配置されるもので、外周支持部６１と中心支持部６２とを備えている。外周支持部６１は、載置されるターンテーブル２０の外周部２０ｂ（図５参照）を、分割配置された複数のエアーベアリング６３を介して回動可能に支持するもので、ターンテーブル２０と同一径の円筒状に形成されている。中心支持部６２は、ターンテーブルベース６０の頂部側に形成された凹部６４内の中央位置に突出形成されてターンテーブル２０の回転中心φを回転可能に支持するためのものであって、ターンテーブル２０の回転軸２１が挿入する回転軸挿入孔６５（図５参照）が形成されている。ここで、中心支持部６２は、上端に固定されてベアリング６６ａ，６６ｂを支持するベアリング支持体６６ｃを備える。ベアリング６６ａ，６６ｂは、ターンテーブル２０の中心孔２０ａの内周壁に当接することにより、ターンテーブル２０を回転自在に支持する。

また、ターンテーブルベース６０は、ケーブル収納室６７と回転ベルトモータ６８とを備える。ケーブル収納室６７は、外周支持部６１の内側に形成された空間であり、外周支持部６１の一部にはケーブル収納室６７を外部に連通させる開口部６１ａが形成されている。回転ベルトモータ６８は、外周支持部６１の外周面の一部に固定されたもので、回転ベルト２９ａがモータ軸６８ａに掛け渡されることによりターンテーブル２０を反時計方向、時計方向に往復回転させるためのものである。本実施の形態では、ターンテーブル２０は、所定の原点位置からの回転角度が所定角度、例えば２７０度に規制された範囲内で往復回転するように設定されている。

また、ターンテーブルカバー７０は、ターンテーブル２０よりも一回り大きく形成されてターンテーブル２０上に支柱２８を介して載置されてその上面を覆うものである。ターンテーブルカバー７０は、３個の貫通孔２２〜２４のそれぞれに対応する位置に一回り大きく形成された貫通孔７１〜７３と、貫通孔７１〜７３の周縁に上方に向けて突出形成された防水用の環状リブ７１ａ〜７３ａを備える。また、ターンテーブルカバー７０は、外周縁に下方に向けて突出形成された防水用の環状リブ７０ａを備える。環状リブ７０ａは、切削装置１０のターンテーブル２０周りに設けられた排水カバー５３の開口５４の周縁に上方に向けて突出形成された防水用の環状リブ５４ａとの組合せにより防水機能を果たすものである。

次に、チャックテーブル１７〜１９の構成について説明する。チャックテーブル１７〜１９の構成は同一であり、ここではチャックテーブル１７を例に挙げて説明する。図３は、本実施の形態のチャックテーブル１７の構成を示す斜視図であり、図４は、チャックテーブル１７の縦断側面図である。チャックテーブル１７は、吸引領域８１と枠体８２とモータ８３とエンコーダ８４と吸引力伝達部８５と水供給部８６とを備える。吸引領域８１は、多孔質のセラミック材等により円盤状に形成されてウエーハＷを吸引保持するためのものである。枠体８２は、吸引領域８１を囲繞するように形成されたものであり、吸引領域８１の下部に空間８７を形成し、かつ、下方に向けて空間８７に連通する流路８８を形成する回転軸８９を備える。

このような枠体８２は、貫通孔７１，２２に回転自在に装填されるものであり、環状リブ７１ａに回転自在に嵌合する環状溝８２ａを備える。モータ８３は、ターンテーブル２０上に回転自在に支持された枠体８２を回転するためのものであって、回転軸８９の周りでターンテーブル２０の貫通孔２２に固定して設けられている。この場合の枠体８２は、モータ８３に対してベアリング９０により回転自在とされている。エンコーダ８４は、モータ８３の下部に設けられて回転軸８９の回転状態を検出するためのものである。ここで、モータ８３には電力供給用の電線１０１ａが連結され、エンコーダ８４には信号線用の電線１０１ｂが連結される。

また、吸引力伝達部８５は、吸引領域８１にウエーハＷを吸引保持するための吸引力を流路８８、空間８７を介して伝達するためのものであり、回転軸８９の下端側に設けられたロータリジョイント９１を介して流路８８に連通する。この吸引力伝達部８５には、他端側がバキュームタンク等の吸引源（図示せず）に連結された吸引ホース１０２が連結される。

また、水供給部８６は、吸引領域８１に流路８８、空間８７を介して水を供給するためのものであって、回転軸８９の下端側に設けられたロータリジョイント９２を介して流路８８に連通する。この水供給部８６には、他端側が水源（図示せず）に連結された給水ホース１０３が連結される。これにより、研削済みのウエーハＷをチャックテーブル１７上から搬出する際に、吸引領域８１に水を供給することでウエーハＷを吸引領域８１による吸着面から浮き上がらせるようにし、薄板のウエーハＷを吸引領域８１から離れやすくする。なお、水供給部８６は、水と圧縮空気との混合流体を供給するものであってもよい。

ここで、本実施の形態では、チャックテーブル１７に連結されてチャックテーブル１７の所要の機能を伝達するためのケーブル１００は、上述のモータ８３に連結される電線１０１ａと、エンコーダ８４に連結される電線１０１ｂと、吸引力伝達部８５に連結される吸引ホース１０２と、水供給部８６に連結される給水ホース１０３とを含む構成とされている。チャックテーブル１８，１９についても同様であり、切削装置１０としてはチャックテーブル１７〜１９に連結される複数本のケーブル１００を備えることとなる。

次に、ケーブル１００の収納について説明する。図５は、ケーブル１００の収納状態を示す模式図である。本実施の形態では、チャックテーブル１７〜１９に連結される複数のケーブル１００は、ターンテーブルベース６０のケーブル収納室６７に収納されている。ここで、チャックテーブル１７〜１９に連結されたケーブル１００は、ケーブル収納室６７から開口部６１ａを経てそれぞれの電源、吸引源、水源等の供給源に向けて延在されることとなるが、このようなケーブル１００の延在部１００Ａはターンテーブル２０の回転に追従し得る長さ分が確保されて屈曲可能に束ねられて、ケーブル収納室６７内に突出させた回転軸２１の巻きつけ部２１ｅに固定金具２００、ボルト２０１等により固定されている。また、ケーブル１００の延在部１００Ａは、開口部６１ａ付近では、ベース板等に固定された固定板２０２に対して固定金具２０３、ボルト２０４等により固定されている。これにより、ターンテーブル２０の回転に伴ってケーブル１００の延在部１００Ａは、回転軸２１の巻きつけ部２１ｅの周りに巻きつけられ、逆回転で、解かれるように挙動することとなる。

ここで、ケーブル１００の具体的な配設例および挙動について図６および図７を参照して詳細に説明する。図６は、ケーブル１００の延在部１００Ａ部分の配設例を示す概略斜視図であり、図７−１および図７−２はその挙動を示す概略平面図である。ケーブル１００は、それぞれ複数本ずつの電線１０１、吸引ホース１０２、給水ホース１０３がそれぞれ電線群１０１Ｇ、吸引ホース群１０２Ｇ、給水ホース群１０３Ｇとして接着により上下方向に重ねて一体化させることによりフラットケーブル化され、固定金具２００、２０３による固定部では、それぞれの電線群１０１Ｇ、吸引ホース群１０２Ｇ、給水ホース群１０３Ｇ間にスペーサ２０５，２０６を介在させて固定することにより、延在部１００Ａとしては屈曲可能に束ねられている。

ここで、電線群１０１Ｇは、例えば７本の電線１０１ａ〜１０１ｇからなり、一番上の電線１０１ａがモータ８３に対する電力供給用、電線１０１ｂがエンコーダ８４に対する信号線用とされ、一番下の電線１０１ｇはターンテーブル２０の回転に伴う屈曲変動時に他の電線１０１ａ〜１０１ｆがベース板と擦れないようにするためのダミー用とされ、電線１０１ｅ，１０１ｆは、特殊仕様に対処可能とするための予備配線用とされている。

また、固定金具２００による固定部よりも内部側の位置では、図７−１および図７−２中に示すように、電線群１０１Ｇ、吸引ホース群１０２Ｇ、給水ホース群１０３からなるケーブル１００は、回転軸２１の巻きつけ部２１ｅに固定された分岐部２１０内に引き込まれ、この分岐部２１０から貫通孔２１ｃに連通する開口部２１ｆから回転軸２１の貫通孔２１ｃを通して上端から引き出され、さらに、ケーブル挿通孔２５〜２７を通して各チャックテーブル１７〜１９に向けて分岐されチャックテーブル１７〜１９に連結されている。ここで、分岐部２１０は、回転軸２１の巻きつけ部２１ｅに固定されているので、分岐部２１０、回転軸２１、チャックテーブル１７〜１９、およびチャックテーブル１７〜１９と分岐部２１０との間を接続するケーブル１００は、ターンテーブル２０と一体となって回転し、ターンテーブル２０が回転しても各チャックテーブル１７〜１９との相対的な位置関係に変動はなく、貫通孔２１ｃを通したケーブル１００に捩れ等は生じない。

ここで、図７−１はターンテーブル２０の回転位置が０度なる原点位置にある状態を示し、ケーブル１００の延在部１００Ａは、回転軸２１に対して巻きついていない状態にある。このような状態から、ターンテーブル２０が例えば１８０度反時計方向に回転すると、図７−２に示すように、ターンテーブル２０の回転に伴いケーブル１００の延在部１００Ａが回転軸２１の巻きつけ部２１ｅ周りに巻きつけられるように挙動することとなる。ターンテーブル２０がさらに規制された２７０度反時計方向に回転すると、ターンテーブル２０の回転に伴いケーブル１００の延在部１００Ａが回転軸２１の巻きつけ部２１ｅ周りにさらに巻きつけられるように挙動することとなる。ターンテーブル２０が時計方向に逆回転する場合には、回転軸２１の巻きつけ部２１ｅに巻きつけられたケーブル１００の延在部１００Ａは順次解かれるように挙動することとなる。

本実施の形態の研削装置１０によれば、ターンテーブルベース６０が、ターンテーブル２０の外周部２０ｂを回動可能に支持する外周支持部６１と、ターンテーブル２０の回転中心を回転可能に支持する中心支持部６２とを備え、チャックテーブル１７〜１９に連結される複数のケーブル１００が外周支持部６１の内側に形成されたケーブル収納室６７に収納されるので、ターンテーブルベース６０の外周にターンテーブル２０の回転に追従すべきケーブル這い回しのための余裕を持たせる必要がなく研削装置１０を小型にできる。また、ターンテーブル２０の回転に追従すべきケーブル１００の長さを比較的短くすることができ経済的である。

また、本実施の形態の研削装置１０によれば、ターンテーブル２０の回転中心φには回転軸２１が垂下し、ターンテーブルベース６０の中心支持部６２には回転軸２１が挿入する回転軸挿入口６５が形成されていて、チャックテーブル１７〜１９に連結されたケーブル１００の延在部１００Ａが屈曲可能に束ねられて回転軸２１に固定されターンテーブル２０の回転に伴ってケーブル１００が回転軸２１に巻きつけられるようにしたので、ターンテーブル２０の回転に伴って屈曲変位するケーブル１００同士が絡み合ったり断線してしまうことを防止でき、ケーブル信頼性を向上させることができ、かつ、屈曲するケーブル部分が軽量化されるためにターンテーブル２０を回転させるための回転ベルトモータ６８の負荷を軽減させることができる。

また、本実施の形態の研削装置１０によれば、各チャックテーブル１７〜１９に接続されたケーブル１００等のメンテナンス時には、ケーブル１００を分岐部２１０部分から外して延在部１００Ａ側をそのままとした状態で、ねじ２１ｄを緩めて巻きつけ部２１ｅを回転軸２１から取り外すことにより、回転軸２１をターンテーブル２０とともに上方に抜くことができ、作業性を向上させることができる。

次に、ケーブル１００の延在部１００Ａの束ね方の変形例を説明する。図８は、延在部１００Ａの束ね方の変形例を示す部分的な斜視図である。本変形例は、延在部１００Ａに関して、それぞれの電線群１０１Ｇ、吸引ホース群１０２Ｇ、給水ホース群１０３Ｇ間に介在させた屈曲可能な仕切りシート材３００の両端を固定金具２００，２０３、ボルト２０１，２０４等により固定するようにしたものである。滑りのよい仕切りシート材３００を介在させることにより、屈曲変位する延在部１００Ａにおける電線群１０１Ｇ、吸引ホース群１０２Ｇ、給水ホース群１０３Ｇの滑りを良くし、互いに擦れないようにすることができる。

また、ケーブル１００の分岐配設の変形例を説明する。図９は、ケーブル１００の分岐配設の変形例を説明するためのターンテーブルベース６０の構成例を示す平面図である。本変形例は、図２等に示した構成に代えて、ケーブル１００を回転軸２１の貫通孔２１ｃ内を通さずに各チャックテーブル１７〜１９に向けて配設させるために、回転中心φの周りに円弧状長孔として半径位置を異ならせて同心円状に形成されたケーブル挿通孔６９を備える。ケーブル挿通孔６９は、ターンテーブル２０の回転可能な角度に対応させて約２７０度の角度分の長さに形成されて、それぞれ１２０度ずつずらして形成されている。また、ターンテーブル２０が原点位置に位置するときの貫通孔２２〜２４の位置がそれぞれのケーブル挿通孔６９の一端付近となるように設定されている。

このような形状のケーブル挿通孔６９によれば、ターンテーブル２０の回転に伴い一体となって回転し相対位置関係が変わらないチャックテーブル１７〜１９と分岐部２１０との間に位置固定のターンテーブルベース６０が存在しても、チャックテーブル１７〜１９と分岐部２１０との間に連結されたそれぞれのケーブル１００は、ケーブル挿通孔６９による空間を支障なく移動できる。これにより、ケーブル１００を貫通孔２１ｃ、ケーブル挿通孔２５〜２７に通すようにターンテーブル２０上を迂回させて配設する必要がなく、最短経路で連結することができるため、チャックテーブル１７〜１９と分岐部２１０との間を連結するケーブル１００の長さを必要最小限に短くすることができる。

さらに、ケーブルの収納状態の変形例を説明する。図１０は、ケーブル１００の収納状態の変形例を示す模式図である。本変形例は、チャックテーブル１７〜１９に連結されたケーブル１００が回転軸２１の貫通孔２１ｃを真下に向けて通り抜けてベース板２１１上に固定された分岐部２１０まで配線され、さらに、分岐部２１０から先のケーブル１００の延在部１００Ａがケーブル収納室６７内に適宜這い回されるようにしたものである。カバーボックス２１２は、例えば分岐部２１０に付設されて分岐部２１０から貫通孔２１ｃ内に配線されるケーブル１００の方向性をガイドするためのものである。

本変形例によれば、ケーブル１００が回転軸２１の貫通孔２１ｃ内を通るように配設されているが、回転軸２１の上端とケーブル挿通孔２５〜２７との間のケーブル１００に余裕を持たせておけば、ケーブル１００が捩れてもターンテーブル２０の間欠的な往復回転に追従することができる。また、ケーブル１００の延在部１００Ａは、ターンテーブル２０の間欠的な往復回転に追従する必要がなく固定的でよいため、ターンテーブル２０の間欠的な往復回転に伴う屈曲動作がなく、回転軸２１への巻きつけも不要となる。これにより、ケーブル１００の延在部１００Ａは、適宜長さとしてケーブル収納室６７内に収容すればよいものとなり、ケーブル１００の長さを一層短くすることができ、ターンテーブル２０を回転させる回転ベルトモータ６８の負荷を一層軽減させることができる。また、ケーブル１００の可動部分が減るため、絡み合いや断線の心配がなく、ケーブル信頼性が向上する。

本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、本実施の形態は、加工装置として研削装置１０への適用例で説明したが、研削装置に限らず、ターンテーブル、チャックテーブルを有する切削装置等にも適用可能である。また、これに対応して、加工手段としても切削手段３０，４０に限らず、例えば加工装置が切削装置の場合であれば、チャックテーブルに保持されたウエーハの面を切削する切削ブレードが装着された切削手段であってもよい。

また、ケーブル１００の種類（配線、配管）、本数についても、適用される加工装置の種類やチャックテーブル、加工手段の機能に応じて適宜設定すればよい。例えば、加工手段が切削手段の場合であれば、ケーブルはチャックテーブルに対して水を供給するための給水ホースを含んでいなくてもよい。

さらに、本実施の形態の研削装置１０では、３個のチャックテーブル１７〜１９を備える例として説明したが、２個以上であれば３個に限らず適用可能である。研削手段３０，４０も２個に限らず、例えば１個であってもよい。

本実施の形態の加工装置を示す外観斜視図である。 ターンテーブル付近の構成例を示す分解斜視図である。 チャックテーブルの構成を示す斜視図である。 チャックテーブルの縦断側面図である。 ケーブルの収納状態を示す模式図である。 ケーブルの延在部部分の配設例を示す概略斜視図である。 ケーブルの延在部部分の挙動を示す原点位置での概略平面図である。 ケーブルの延在部部分の挙動を示す１８０度回転位置での概略平面図である。 延在部の束ね方の変形例を示す部分的な斜視図である。 ターンテーブルベースの変形例を示す平面図である。 ケーブルの収納状態の変形例を示す模式図である。

符号の説明

１７〜１９ チャックテーブル
２０ ターンテーブル
２０ｂ 外周部
２１ 回転軸
２１ｃ 貫通孔
３０ 研削手段
３７ 研削ホイール
４０ 研削手段
４６ 研削ホイール
６０ ターンテーブルベース
６１ 外周支持部
６２ 中心支持部
６５ 回転軸挿入孔
６７ ケーブル収納室
８１ 吸引領域
８２ 枠体
８３ モータ
８５ 吸引力伝達部
８６ 水供給部
１００ ケーブル
１００Ａ 延在部
１０１ａ 電線
１０２ 吸引ホース
１０３ 給水ホース
φ 回転中心
Ｗ ウエーハ

Claims (6)

1. ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを２個以上支持するターンテーブルと、該ターンテーブルを支持するターンテーブルベースと、前記チャックテーブルに保持されたウエーハに加工を施す加工手段と、を備えたターンテーブルを有する加工装置であって、
   前記ターンテーブルベースは、前記ターンテーブルの外周部を回動可能に支持する外周支持部と、前記ターンテーブルの回転中心を回転可能に支持する中心支持部と、を備え、
   前記チャックテーブルに連結される複数のケーブルが前記外周支持部の内側に形成されたケーブル収納室に収納されることを特徴とするターンテーブルを有する加工装置。
2. 前記ターンテーブルの回転中心には回転軸が垂下し、前記ターンテーブルベースの前記中心支持部には前記回転軸が挿入する回転軸挿入口が形成されていて、前記チャックテーブルに連結された前記ケーブルの延在部が屈曲可能に束ねられて前記回転軸に固定され前記ターンテーブルの回転に伴って前記ケーブルが前記回転軸に巻きつけられることを特徴とする請求項１に記載のターンテーブルを有する加工装置。
3. 前記ターンテーブルの回転中心には貫通孔を有する回転軸が垂下し、前記ターンテーブルベースの前記中心支持部には前記回転軸が挿入する回転軸挿入口が形成されていて、前記チャックテーブルに連結された前記ケーブルが前記貫通孔を通り前記ケーブルの延在部が前記ケーブル収納室内に這い回されることを特徴とする請求項１に記載のターンテーブルを有する加工装置。
4. 前記加工手段は、前記チャックテーブルに保持されたウエーハの面を研削する研削ホイールが装着された研削手段であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載のターンテーブルを有する加工装置。
5. 前記ターンテーブルは、原点位置からの回転角度が規制された範囲内で往復回転することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載のターンテーブルを有する加工装置。
6. 前記チャックテーブルは、ウエーハを吸引保持する吸引領域と、該吸引領域を囲繞する枠体と、該枠体を回転するモータと、前記吸引領域に吸引力を伝達する吸引力伝達部と、前記吸引領域に水を供給する水供給部と、を備え、
   前記ケーブルは、前記モータに連結される電線と、前記吸引力伝達部に連結される吸引ホースと、前記水供給部に連結される給水ホースと、を含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載のターンテーブルを有する加工装置。

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