JP7085890B2 - 接続線支持装置 - Google Patents

Description

本開示は、接続線支持装置に関する。

特許文献１の加工装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを２個以上支持するターンテーブルと、該ターンテーブルを支持するターンテーブルベースとを備える。ターンテーブルベースは、ターンテーブルの外周部を回動可能に支持する外周支持部と、ターンテーブルの回転中心を回転可能に支持する中心支持部とを備える。チャックテーブルに連結される複数のケーブルは、外周支持部の内側に形成されたケーブル収納室に収納される。

特開２００７－２２９９０４号公報

本開示の一態様は、一部が巻取芯に対し固定され他の一部が固定筒に対し固定された配線または配管の急激な屈曲を抑制し、配線または配管の破損を抑制する、技術を提供する。

本開示の一態様に係る接続線支持装置は、
基板を保持する回転テーブルと共に回転する巻取芯に取り付けられ、前記巻取芯の径方向外側において配線または配管である接続線を保持する第１保持部と、
前記回転テーブルを回転自在に支持する固定ベースの、前記巻取芯が配置される部屋を形成する固定筒と、
前記固定筒に対する位置関係が固定されると共に、前記接続線を保持する第２保持部と、
前記第１保持部と前記第２保持部との間において前記接続線を保持する第３保持部と、
前記巻取芯が前記接続線の巻き取り方向に回転するときに前記第３保持部が前記固定筒の径方向内側に移動することによって弾性変形し、前記巻取芯が前記接続線の繰り出し方向に回転するときに前記弾性変形の復元力によって前記第３保持部を前記径方向外側に押し戻す弾性部とを備え、
前記第１保持部は、前記接続線が嵌め込まれる嵌合穴と、前記嵌合穴から前記接続線を前記繰り出し方向に導く接続線ガイドとを有する。

本開示の一態様によれば、一部が巻取芯に対し固定され他の一部が固定筒に対し固定された配線または配管の急激な屈曲を抑制し、配線または配管の破損を抑制することができる。

図１は、一実施形態に係る接続線支持装置を備える加工装置を示す断面図である。 図２は、一実施形態に係る接続線支持装置を備える加工装置を示す平面図である。 図３は、一実施形態に係る接続線支持装置を示す平面図であって、巻取芯の回転角度が０°のときの状態を示す平面図である。 図４は、一実施形態に係る接続線支持装置を示す平面図であって、巻取芯の回転角度が２７０°のときの状態を示す平面図である。 図５は、一実施形態に係る第１保持部を示す平面図であって、図３の一部を拡大した平面図である。 図６は、一実施形態に係る第１保持部を示す正面図である。 図７は、一実施形態に係る第２保持部、第３保持部および弾性部を示す平面図であって、図３の一部を拡大した平面図である。 図８は、一実施形態に係る第２保持部を示す正面図である。 図９は、一実施形態に係る第３保持部を示す正面図である。

以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。尚、各図面において同一の又は対応する構成には同一の又は対応する符号を付し、説明を省略することがある。

図１は、一実施形態に係る接続線支持装置を備える加工装置を示す断面図である。図２は、一実施形態に係る接続線支持装置を備える加工装置を示す平面図である。本明細書において、下方とは鉛直下方を意味し、上方とは鉛直上方を意味する。

加工装置１０は、基板２を加工する。基板２は、例えば、シリコンウェハなどの半導体基板、またはガラス基板である。加工装置１０は、回転テーブル２０と、４つの回転チャック３０と、１次加工ユニット３１と、２次加工ユニット３２と、３次加工ユニット３３とを備える。

尚、加工装置１０は、基板２の１次加工、２次加工および３次加工を行うため、基板２を加工する加工ユニットを３つ有するが、加工ユニットの数は３つには限定されない。加工ユニットの数は、１つでもよいし、２つでもよく、４つ以上でもよい。また、回転チャック３０の数は、加工ユニットの数よりも１つ多ければよい。

回転テーブル２０は、鉛直軸周りに回転させられる。回転テーブル２０の回転中心線の周りには、４つの回転チャック３０が等間隔で配設される。４つの回転チャック３０のそれぞれは、回転テーブル２０と共に回転し、受渡位置Ａ０、１次加工位置Ａ１、２次加工位置Ａ２および３次加工位置Ａ３に移動する。

受渡位置Ａ０は、搬送ロボットが加工前の基板２を回転チャック３０に載せる位置と、搬送ロボットが加工後の基板２を回転チャック３０から受け取る位置とを兼ねる。１次加工位置Ａ１は、１次加工ユニット３１が１次加工（例えば１次研削）を行う位置である。２次加工位置Ａ２は、２次加工ユニット３２が２次加工（例えば２次研削）を行う位置である。３次加工位置Ａ３は、３次加工ユニット３３が３次加工（例えば３次研削）を行う位置である。

尚、搬送ロボットが加工前の基板２を回転チャック３０に載せる位置と、搬送ロボットが加工後の基板２を回転チャック３０から受け取る位置とは、本実施形態では同じ位置であるが、異なる位置であってもよい。後者の場合、回転チャック３０の数は、加工ユニットの数よりも２つ多ければよい。

４つの回転チャック３０は、それぞれの回転中心線を中心に回転自在に、回転テーブル２０に取り付けられる。４つの回転チャック３０のそれぞれは、保持している基板２が加工ユニットによって加工される間、回転させられる。４つの回転チャック３０のそれぞれは、搬送ロボットとの間で加工前または加工後の基板２を受け渡す間、回転停止させられる。

４つの回転チャック３０のそれぞれは、基板２を下方から保持する。４つの回転チャック３０のそれぞれは、基板２の直径よりも大きい直径の円形の吸着面を有し、その吸着面に基板２を吸着する。

ところで、回転テーブル２０は、上板２１と、上板２１の下方に配置される下板２２と、上板２１と下板２２との間に隙間２３を形成するスペーサ２４とを有する。隙間２３には、回転テーブル２０と共に回転する機器と、回転テーブル２０の外部に配置される機器とを接続する可撓性の接続線５１が配置される。接続線５１は、配線または配管である。

接続線５１としての配線は、電力を供給する強電線、電気信号を送信する弱電線のいずれでもよい。強電線は、例えば、回転チャック３０を回転させる回転モータに電力を供給する。弱電線は、例えば、回転チャック３０の回転を検出するエンコーダからの電気信号を送信する。

接続線５１としての配管は、空気を吸引する吸引管、水を供給する給水管のいずれでもよい。吸引管は、例えば、回転チャック３０の吸引孔から空気を吸引することで、回転チャック３０に吸着力を発生させる。給水管は、例えば、回転チャック３０の吸着面から上方に水を噴出させることで、回転チャック３０の吸着面から基板２を取り外す。給水管は、水と圧縮空気との混合流体を供給するものでもよい。

回転テーブル２０の回転中心には、回転テーブル２０と共に回転する回転軸２５が設けられる。回転軸２５は回転テーブル２０から下方に突出し、回転軸２５の下端部に巻取芯２６が取り付けられる。回転軸２５の内部には接続線５１の通路が形成され、接続線５１は巻取芯２６に保持される。

加工装置１０は、回転テーブル２０を回転自在に支持する固定ベース４０を備える。固定ベース４０は、回転テーブル２０の下方に配置される。固定ベース４０は、巻取芯２６が配置される部屋４１を内部に形成する固定筒４２を有する。固定筒４２の外径と、回転テーブル２０の外径とは同程度である。固定筒４２には開口部４３が形成され、接続線５１は開口部４３を通り、回転テーブル２０の外部に配置される機器に接続される。

図３は、一実施形態に係る接続線支持装置を示す平面図であって、巻取芯の回転角度が０°のときの状態を示す平面図である。図３において、破線は、接続線支持装置５０が第１保持部１００の接続線ガイド１４０および弾性部４００を有しない場合の、接続線５１の状態を示す。図４は、一実施形態に係る接続線支持装置を示す平面図であって、巻取芯の回転角度が２７０°のときの状態を示す平面図である。尚、回転テーブル２０は本実施形態では０°から２７０°までの範囲で回転させられるが、その回転範囲は特に限定されない。

加工装置１０は、接続線５１を支持する接続線支持装置５０を備える。接続線支持装置５０は、回転テーブル２０と共に回転する巻取芯２６に取り付けられ接続線５１の一部を保持する第１保持部１００と、回転テーブル２０を回転自在に支持する固定ベース４０の固定筒４２と、固定筒４２に対する位置関係が固定されると共に接続線５１の一部を保持する第２保持部２００とを有する。第１保持部１００は、例えば巻取芯２６の径方向外側において接続線５１の一部を保持する。第２保持部２００は、固定筒４２に対する位置関係が固定されていればよく、固定筒４２に取り付けられてもよいし、固定筒４２とは別のフレームに取り付けられてもよい。第２保持部２００は、例えば固定筒４２の径方向内側において、接続線５１の一部を保持する。

回転テーブル２０を回転させることで巻取芯２６を図３に示す巻取開始位置から図４に示す巻取完了位置に向けて反時計回りに回転させると、巻取芯２６に接続線５１が巻き取られる。一方、回転テーブル２０を回転させることで巻取芯２６を図４に示す巻取完了位置から図３に示す巻取開始位置に向けて時計回りに回転させると、巻取芯２６から接続線５１が繰り出される。巻取開始位置は繰出完了位置を兼ね、巻取完了位置は繰出開始位置を兼ねる。

接続線５１の第１保持部１００から第２保持部２００までの長さ（以下、「接続線５１の取り回し長さ」とも呼ぶ。）は、接続線５１のコストを低減するため、また、接続線５１同士が絡まることを防止するため、短く設定される。そのため、図３に示すように、回転テーブル２０が巻取開始位置に位置するとき、接続線５１は巻取芯２６に巻き取られておらず巻取芯２６から離れる。このとき、接続線５１は、第１保持部１００から第２保持部２００までの間において、図３に実線で示すように、Ｕ字状に緩やかに湾曲する。

図５は、一実施形態に係る第１保持部を示す平面図であって、図３の一部を拡大した平面図である。図６は、一実施形態に係る第１保持部を示す正面図である。第１保持部１００は、互いに接触する接触面１１１ａ、１１２ａに接続線５１を挟んで保持する一対の第１接触部１１１、１１２と、一対の第１接触部１１１、１１２を分離可能に締結する第１締結部１１６とを有する。

一対の第１接触部１１１、１１２は、弾性を有する材料（例えばゴム）で、例えば板状に形成される。片側の接触面１１１ａに形成される断面半円状の嵌合溝１１３と、反対側の接触面１１２ａに形成される断面半円状の嵌合溝１１４とで、断面円状の嵌合穴１１５が構成される。嵌合穴１１５は上下方向に間隔をおいて複数形成され、複数の嵌合穴１１５のそれぞれに接続線５１が嵌め込まれる。

嵌合穴１１５に接続線５１が嵌め込まれる前に、嵌合穴１１５の直径は接続線５１の直径よりも僅かに小さい。一方、嵌合穴１１５に接続線５１が嵌め込まれると、一対の第１接触部１１１、１１２が弾性変形し、嵌合穴１１５の直径が接続線５１の直径と同じになる。一対の第１接触部１１１、１１２は、弾性変形の復元力により接続線５１を保持する。

一対の第１接触部１１１、１１２は、上下方向に間隔をおいて並ぶ複数の接続線５１で構成される第１接続線群５２を挟んで保持する。第１接続線群５２を構成する複数の接続線５１は、異なる直径を有してもよいが、同じ曲げ剛性になるように、可能な限り、同程度の直径を有する。

尚、第１接続線群５２を構成する複数の接続線５１は、本実施形態では間隔をおいて配置されるが、間隔をおかずに連続的に配置されてもよい。後者の場合、隣り合う接続線５１を融着または接着することができ、接続線５１が並ぶ方向（本実施形態では上下方向）の強度を向上できる。後者の場合、複数の嵌合穴１１５は、間隔をおかずに連続的に配置される。

第１締結部１１６は、一対の第１接触部１１１、１１２を接触面１１１ａ、１１２ａに直交する方向から挟み込む２枚のプレート部１１７、１１８と、２枚のプレート部１１７、１１８を締結するボルト１１９とを有する。

２枚のプレート部１１７、１１８は、例えば金属板である。２枚のプレート部１１７、１１８のうち、径方向内側のプレート部１１７は、巻取芯２６に固定される。また、径方向内側のプレート部１１７と第１接触部１１１との間には、接触防止シート５４が挟み込まれる。接触防止シート５４は、接続線５１と巻取芯２６との接触を防止し、接続線５１の摩耗を防止する。接触防止シート５４は、可撓性を有するものであり、例えば樹脂シートである。

ボルト１１９は、径方向外側のプレート部１１８のストレート穴を貫通すると共に径方向内側のプレート部１１７のねじ穴に螺合される軸部１１９ａと、径方向外側のプレート部１１８に当接される頭部１１９ｂとを有する。ボルト１１９を絞めることで一対の第１接触部１１１、１１２が締結され、ボルト１１９を緩めることで一対の第１接触部１１１、１１２の締結が解除され、一対の第１接触部１１１、１１２の分離が可能になる。

ボルト１１９の頭部１１９ｂは、作業員が巻取芯２６に邪魔されることなく頭部１１９ｂを回転操作できるように、２枚のプレート部１１７、１１８の径方向外側に配置される。その実現のため、軸部１１９ａが通るストレート穴は径方向外側のプレート部１１８に形成され、軸部１１９ａが螺合されるねじ穴は径方向内側のプレート部１１７に形成される。

尚、第１締結部１１６の構成は上記構成には限定されない。例えば、第１締結部１１６は、径方向内側のプレート部１１７に固定されると共に径方向外側のプレート部１１８のストレート穴を貫通するボルトと、当該ボルトの先端部に螺合されるナットとを有してもよい。この場合、ナットを締めることで一対の第１接触部１１１、１１２が締結され、ナットを緩めることで一対の第１接触部１１１、１１２の締結が解除され、一対の第１接触部１１１、１１２の分離が可能になる。ナットは、作業員が巻取芯２６に邪魔されることなくナットを回転操作できるように、ナットによって締結する２枚のプレート部１１７、１１８の径方向外側に配置される。その実現のため、ボルトは、径方向内側のプレート部１１７に固定され、径方向外側のプレート部１１８のストレート穴を貫通する。

第１保持部１００は、互いに接触する接触面１２１ａ、１２２ａに接続線５１を挟んで保持する一対の第２接触部１２１、１２２と、一対の第２接触部１２１、１２２を分離可能に締結する第２締結部１２６とを有する。一対の第２接触部１２１、１２２と、一対の第１接触部１１１、１１２とは、異なる接続線５１を挟んで保持する。一対の第２接触部１２１、１２２は、一対の第１接触部１１１、１１２よりも径方向外側において、接続線５１を挟んで保持する。

一対の第２接触部１２１、１２２は、弾性を有する材料（例えばゴム）で、例えば板状に形成される。片側の接触面１２１ａに形成される断面半円状の嵌合溝１２３と、反対側の接触面１２２ａに形成される断面半円状の嵌合溝１２４とで、断面円状の嵌合穴１２５が構成される。嵌合穴１２５は上下方向に間隔をおいて複数形成され、複数の嵌合穴１２５のそれぞれに接続線５１が嵌め込まれる。

嵌合穴１２５に接続線５１が嵌め込まれる前に、嵌合穴１２５の直径は接続線５１の直径よりも僅かに小さい。一方、嵌合穴１２５に接続線５１が嵌め込まれると、一対の第２接触部１２１、１２２が弾性変形し、嵌合穴１２５の直径が接続線５１の直径と同じになる。一対の第２接触部１２１、１２２は、弾性変形の復元力により接続線５１を保持する。

一対の第２接触部１２１、１２２は、上下方向に間隔をおいて並ぶ複数の接続線５１で構成される第２接続線群５３を挟んで保持する。第２接続線群５３を構成する複数の接続線５１は、異なる直径を有してもよいが、同じ曲げ剛性になるように、可能な限り、同程度の直径を有する。

尚、第２接続線群５３を構成する複数の接続線５１は、本実施形態では間隔をおいて配置されるが、間隔をおかずに連続的に配置されてもよい。後者の場合、隣り合う接続線５１を融着または接着することができ、接続線５１が並ぶ方向（本実施形態では上下方向）の強度を向上できる。後者の場合、複数の嵌合穴１２５は、間隔をおかずに連続的に配置される。

第２締結部１２６は、一対の第２接触部１２１、１２２を接触面１２１ａ、１２２ａに直交する方向から挟み込む２枚のプレート部１２７、１２８と、２枚のプレート部１２７、１２８を締結するボルト１２９とを有する。第２締結部１２６が一対の第１接触部１１１、１１２を締結しないように、且つ第１締結部１１６が一対の第２接触部１２１、１２２を締結しないように、第１締結部１１６のボルト１１９と第２締結部１２６のボルト１２９とは平行に離間して配置される。

２枚のプレート部１２７、１２８は、例えば金属板である。径方向内側のプレート部１２７と第２接触部１２１との間には、接触防止シート５５が挟み込まれる。接触防止シート５５は、一対の第１接触部１１１、１１２で挟み込まれる接続線５１と、一対の第２接触部１２１、１２２で挟み込まれる接続線５１との接触を防止し、接続線５１の摩耗を防止する。接触防止シート５５は、可撓性を有するものであり、例えば樹脂シートである。

ボルト１２９は、径方向外側のプレート部１２８のストレート穴を貫通すると共に径方向内側のプレート部１２７のねじ穴に螺合される軸部１２９ａと、径方向外側のプレート部１２８に当接される頭部１２９ｂとを有する。ボルト１２９を絞めることで一対の第２接触部１２１、１２２が締結され、ボルト１２９を緩めることで一対の第２接触部１２１、１２２の締結が解除され、一対の第２接触部１２１、１２２の分離が可能になる。

ボルト１２９の頭部１２９ｂは、作業員が巻取芯２６に邪魔されることなく頭部１２９ｂを回転操作できるように、２枚のプレート部１２７、１２８の径方向外側に配置される。その実現のため、軸部１２９ａが通るストレート穴は径方向外側のプレート部１２８に形成され、軸部１２９ａが螺合されるねじ穴は径方向内側のプレート部１２７に形成される。

尚、第２締結部１２６の構成は上記構成には限定されない。例えば、第２締結部１２６は、径方向内側のプレート部１２７に固定されると共に径方向外側のプレート部１２８のストレート穴を貫通するボルトと、当該ボルトの先端部に螺合されるナットとを有してもよい。この場合、ナットを締めることで一対の第２接触部１２１、１２２が締結され、ナットを緩めることで一対の第２接触部１２１、１２２の締結が解除され、一対の第２接触部１２１、１２２の分離が可能になる。ナットは、作業員が巻取芯２６に邪魔されることなくナットを回転操作できるように、ナットによって締結する２枚のプレート部１２７、１２８の径方向外側に配置される。その実現のため、ボルトは、径方向内側のプレート部１２７に固定され、径方向外側のプレート部１２８のストレート穴を貫通する。

第１保持部１００は、第１締結部１１６と第２締結部１２６とを分離可能に締結する第３締結部１３０を有する。第３締結部１３０は、例えば、第１締結部１１６のプレート部１１８と、第２締結部１２６のプレート部１２７とを締結するボルト１３１を有する。第３締結部１３０が一対の第１接触部１１１、１１２を締結しないように、且つ、第３締結部１３０が一対の第２接触部１２１、１２２を締結しないように、第３締結部１３０のボルト１３１は第１締結部１１６のボルト１１９および第２締結部１２６のボルト１２９とは平行に且つ離間して配置される。

第２締結部１２６のプレート部１２７は、第１締結部１１６のプレート部１１８よりも径方向外側に配置される。第３締結部１３０のボルト１３１は、径方向外側のプレート部１２７のストレート穴を貫通すると共に径方向内側のプレート部１１８のねじ穴に螺合される軸部１３１ａと、径方向外側のプレート部１２７に当接される頭部１３１ｂとを有する。ボルト１３１を絞めることで第１締結部１１６と第２締結部１２６とが締結され、ボルト１３１を緩めることで第１締結部１１６と第２締結部１２６との締結が解除され、第１締結部１１６と第２締結部１２６との分離が可能になる。

ボルト１３１の頭部１３１ｂは、作業員が巻取芯２６に邪魔されることなく頭部１３１ｂを回転操作できるように、２枚のプレート部１１８、１２７の径方向外側に配置される。その実現のため、軸部１３１ａが通るストレート穴は径方向外側のプレート部１２７に形成され、軸部１３１ａが螺合されるねじ穴は径方向内側のプレート部１１８に形成される。

尚、第２締結部１２６の構成は上記構成には限定されない。例えば、第２締結部１２６は、径方向内側のプレート部１１８に固定されると共に径方向外側のプレート部１２７のストレート穴を貫通するボルトと、当該ボルトの先端部に螺合されるナットとを有してもよい。この場合、ナットを締めることで第１締結部１１６と第２締結部１２６とが締結され、ナットを緩めることで第１締結部１１６と第２締結部１２６との締結が解除され、第１締結部１１６と第２締結部１２６との分離が可能になる。ナットは、作業員が巻取芯２６に邪魔されることなくナットを回転操作できるように、ナットによって締結する２枚のプレート部１１８、１２７の径方向外側に配置される。その実現のため、ボルトは、径方向内側のプレート部１１８に固定され、径方向外側のプレート部１２７のストレート穴を貫通する。

第１保持部１００は、上述の如く、第１締結部１１６と第２締結部１２６とを分離可能に締結する第３締結部１３０を有する。第１締結部１１６と第２締結部１２６とを分離できるため、第１締結部１１６による一対の第１接触部１１１、１１２の締結と、第２締結部１２６による一対の第２接触部１２１、１２２の締結とを別々に解除できる。

そのため、接続線５１の第１保持部１００によって保持される位置を変更する作業、つまり、接続線５１の取り回し長さを変更する作業が容易である。例えば、一対の第１接触部１１１、１１２の締結を解除し、一対の第１接触部１１１、１１２を分離すれば、一対の第１接触部１１１、１１２に挟み込まれる接続線５１の取り回し長さを変更できる。このとき、一対の第２接触部１２１、１２２の締結を解除せずに済むので、一対の第２接触部１２１、１２２で挟み込まれる接続線５１の取り回し長さを維持でき、また、一対の第２接触部１２１、１２２で挟み込まれる複数の接続線５１の四散を防止できる。

また、接続線５１の交換作業が容易である。例えば、一対の第１接触部１１１、１１２の締結を解除し、一対の第１接触部１１１、１１２を分離すれば、一対の第１接触部１１１、１１２で挟み込まれる接続線５１を交換できる。このとき、一対の第２接触部１２１、１２２の締結を解除せずに済むので、一対の第２接触部１２１、１２２で挟み込まれる接続線５１の取り回し長さを維持でき、また、一対の第２接触部１２１、１２２で挟み込まれる複数の接続線５１の四散を防止できる。

尚、接続線５１の本数が少ない場合、第１保持部１００は一対の第２接触部１２１、１２２および第２締結部１２６を有しなくてよく、その場合、第１保持部１００は当然に第３締結部１３０を有しなくてよい。一方、第１保持部１００が一対の第２接触部１２１、１２２および第２締結部１２６を有する場合、第１保持部１００が保持可能な接続線５１の本数を増加できる。

第１保持部１００は、接続線５１が嵌め込まれる嵌合穴（例えば嵌合穴１１５、１２５）と、接続線５１を嵌合穴から繰り出し方向（図３～図５において時計回り方向）に導く接続線ガイド１４０とを有する。接続線ガイド１４０は、例えば第２締結部１２６のプレート部１２８に固定され、プレート部１２８から、接続線５１の繰り出し方向に突き出す。図３に実線で示すように、また、図４に示すように、巻取芯２６から固定筒４２までの間において、接続線５１を湾曲させることができ、接続線５１の折れを防止できる。

尚、接続線ガイド１４０は、本実施形態では嵌合穴１１５に嵌め込まれる接続線５１と嵌合穴１２５に嵌め込まれる接続線５１との両者をガイドするが、いずれか一方のみをガイドしてもよい。例えば、接続線５１の本数が少ない場合、第１保持部１００は一対の第２接触部１２１、１２２および第２締結部１２６を有しなくてよく、その場合、第１保持部１００は嵌合穴１２５を有しない。そのため、接続線ガイド１４０は、嵌合穴１１５に嵌め込まれる接続線５１のみをガイドしてもよい。この場合、接続線ガイド１４０は、第１締結部１１６のプレート部１１８に固定され、プレート部１１８から、接続線５１の繰り出し方向に突き出す。

接続線ガイド１４０は、接続線５１の繰り出し方向に向かうに従って、巻取芯２６の径方向内方に向う傾斜部１４１を有する。第１保持部１００の近傍において、接続線５１を巻取芯２６に近付けることができる。そのため、巻取芯２６が接続線５１の巻き取り方向（図３～図５において反時計回り方向）に回転されるとき、接続線５１が巻取芯２６に巻き取られやすい。この効果は、第１保持部１００が一対の第２接触部１２１、１２２および第２締結部１２６を有する場合に顕著である。一対の第２接触部１２１、１２２は、一対の第１接触部１１１、１１２に比べて、巻取芯２６から離れた位置で、接続線５１を保持するためである。

図７は、一実施形態に係る第２保持部、第３保持部および弾性部を示す平面図であって、図３の一部を拡大した平面図である。図８は、一実施形態に係る第２保持部を示す正面図である。第２保持部２００は、第１保持部１００と同様に構成される。

第２保持部２００は、互いに接触する接触面２１１ａ、２１２ａに接続線５１を挟んで保持する一対の第１接触部２１１、２１２と、一対の第１接触部２１１、２１２を分離可能に締結する第１締結部２１６とを有する。

一対の第１接触部２１１、２１２は、弾性を有する材料（例えばゴム）で、例えば板状に形成される。片側の接触面２１１ａに形成される断面半円状の嵌合溝２１３と、反対側の接触面２１２ａに形成される断面半円状の嵌合溝２１４とで、断面円状の嵌合穴２１５が構成される。嵌合穴２１５は上下方向に間隔をおいて複数形成され、複数の嵌合穴２１５のそれぞれに接続線５１が嵌め込まれる。接続線５１が嵌合穴２１５に嵌め込まれる前に、嵌合穴２１５の直径は接続線５１の直径よりも小さい。一方、接続線５１が嵌合穴２１５に嵌め込まれると、一対の第１接触部２１１、２１２が弾性変形し、嵌合穴２１５の直径が接続線５１の直径と同じになる。一対の第１接触部２１１、２１２は、弾性変形の復元力により接続線５１を保持する。一対の第１接触部２１１、２１２は、上下方向に間隔をおいて並ぶ複数の接続線５１で構成される第１接続線群５２を挟んで保持する。尚、上述の如く第１接続線群５２を構成する複数の接続線５１が間隔をおかずに連続的に配置されてもよく、この場合、複数の嵌合穴２１５も間隔をおかずに連続的に配置される。

第１締結部２１６は、一対の第１接触部２１１、２１２を接触面２１１ａ、２１２ａに直交する方向から挟み込む２枚のプレート部２１７、２１８と、２枚のプレート部２１７、２１８を締結するボルト２１９とを有する。

２枚のプレート部２１７、２１８は、例えば金属板である。２枚のプレート部２１７、２１８のうち、径方向外側のプレート部２１７は、固定筒４２に固定される。また、径方向外側のプレート部２１７と第１接触部２１１との間には、接触防止シート５４が挟み込まれる。接触防止シート５４は、接続線５１と固定筒４２との接触を防止し、接続線５１の摩耗を防止する。

ボルト２１９は、径方向内側のプレート部２１８のストレート穴を貫通すると共に径方向外側のプレート部２１７のねじ穴に螺合される軸部２１９ａと、径方向内側のプレート部２１８に当接される頭部２１９ｂとを有する。ボルト２１９を絞めることで一対の第１接触部２１１、２１２が締結され、ボルト２１９を緩めることで一対の第１接触部２１１、２１２の締結が解除され、一対の第１接触部２１１、２１２の分離が可能になる。

ボルト２１９の頭部２１９ｂは、作業員が固定筒４２に邪魔されることなく頭部２１９ｂを回転操作できるように、２枚のプレート部２１７、２１８の径方向内側に配置される。その実現のため、軸部２１９ａが通るストレート穴は径方向内側のプレート部２１８に形成され、軸部２１９ａが螺合されるねじ穴は径方向外側のプレート部２１７に形成される。

尚、第１締結部２１６の構成は上記構成には限定されない。例えば、第２保持部２００の第１締結部２１６は、第１保持部１００の第１締結部１１６と同様に、ナットを有してもよい。

第２保持部２００は、互いに接触する接触面２２１ａ、２２２ａに接続線５１を挟んで保持する一対の第２接触部２２１、２２２と、一対の第２接触部２２１、２２２を分離可能に締結する第２締結部２２６とを有する。一対の第２接触部２２１、２２２と、一対の第１接触部２１１、２１２とは、異なる接続線５１を挟んで保持する。一対の第２接触部２２１、２２２は、一対の第１接触部２１１、２１２よりも径方向内側において、接続線５１を挟んで保持する。

一対の第２接触部２２１、２２２は、弾性を有する材料（例えばゴム）で、例えば板状に形成される。片側の接触面２２１ａに形成される断面半円状の嵌合溝２２３と、反対側の接触面２２２ａに形成される断面半円状の嵌合溝２２４とで、断面円状の嵌合穴２２５が構成される。嵌合穴２２５は上下方向に間隔をおいて複数形成され、複数の嵌合穴２２５のそれぞれに接続線５１が嵌め込まれる。接続線５１が嵌合穴２２５に嵌め込まれる前に、嵌合穴２２５の直径は接続線５１の直径よりも小さい。一方、接続線５１が嵌合穴２２５に嵌め込まれると、一対の第２接触部２２１、２２２が弾性変形し、嵌合穴２２５の直径が接続線５１の直径と同じになる。一対の第２接触部２２１、２２２は、弾性変形の復元力により接続線５１を保持する。一対の第２接触部２２１、２２２は、上下方向に間隔をおいて並ぶ複数の接続線５１で構成される第２接続線群５３を挟んで保持する。尚、上述の如く第２接続線群５３を構成する複数の接続線５１が間隔をおかずに連続的に配置されてもよく、この場合、複数の嵌合穴２２５も間隔をおかずに連続的に配置される。

第２締結部２２６は、一対の第２接触部２２１、２２２を接触面２２１ａ、２２２ａに直交する方向から挟み込む２枚のプレート部２２７、２２８と、２枚のプレート部２２７、２２８を締結するボルト２２９とを有する。第２締結部２２６が一対の第１接触部２１１、２１２を締結しないように、且つ第１締結部２１６が一対の第２接触部２２１、２２２を締結しないように、第１締結部２１６のボルト２１９と第２締結部２２６のボルト２２９とは平行に離間して配置される。

２枚のプレート部２２７、２２８は、例えば金属板である。径方向外側のプレート部２２７と第２接触部２２１との間には、接触防止シート５５が挟み込まれる。接触防止シート５５は、一対の第１接触部２１１、２１２で挟み込まれる接続線５１と、一対の第２接触部２２１、２２２で挟み込まれる接続線５１との接触を防止し、接続線５１の摩耗を防止する。

ボルト２２９は、径方向内側のプレート部２２８のストレート穴を貫通すると共に径方向外側のプレート部２２７のねじ穴に螺合される軸部２２９ａと、径方向内側のプレート部２２８に当接される頭部２２９ｂとを有する。ボルト２２９を絞めることで一対の第２接触部２２１、２２２が締結され、ボルト２２９を緩めることで一対の第２接触部２２１、２２２の締結が解除され、一対の第２接触部２２１、２２２の分離が可能になる。

ボルト２２９の頭部２２９ｂは、作業員が固定筒４２に邪魔されることなく頭部２２９ｂを回転操作できるように、２枚のプレート部２２７、２２８の径方向内側に配置される。その実現のため、軸部２２９ａが通るストレート穴は径方向内側のプレート部２２８に形成され、軸部２２９ａが螺合されるねじ穴は径方向外側のプレート部２２７に形成される。

尚、第２締結部２２６の構成は上記構成には限定されない。例えば、第２保持部２００の第２締結部２２６は、第１保持部１００の第２締結部１２６と同様に、ナットを有してもよい。

第２保持部２００は、第１締結部２１６と第２締結部２２６とを分離可能に締結する第３締結部２３０を有する。第３締結部２３０は、例えば、第１締結部２１６のプレート部２１８と、第２締結部２２６のプレート部２２７とを締結するボルト２３１を有する。第３締結部２３０が一対の第１接触部２１１、２１２を締結しないように、且つ、第３締結部２３０が一対の第２接触部２２１、２２２を締結しないように、第３締結部２３０のボルト２３１は第１締結部２１６のボルト２１９および第２締結部２２６のボルト２２９とは平行に且つ離間して配置される。

第２締結部２２６のプレート部２２７は、第１締結部２１６のプレート部２１８よりも径方向内側に配置される。第３締結部２３０のボルト２３１は、径方向内側のプレート部２２７のストレート穴を貫通すると共に径方向外側のプレート部２１８のねじ穴に螺合される軸部２３１ａと、径方向内側のプレート部２２７に当接される頭部２３１ｂとを有する。ボルト２３１を絞めることで第１締結部２１６と第２締結部２２６とが締結され、ボルト２３１を緩めることで第１締結部２１６と第２締結部２２６との締結が解除され、第１締結部２１６と第２締結部２２６との分離が可能になる。

ボルト２３１の頭部２３１ｂは、作業員が固定筒４２に邪魔されることなく頭部２３１ｂを回転操作できるように、２枚のプレート部２１８、２２７の径方向内側に配置される。その実現のため、軸部２３１ａが通るストレート穴は径方向内側のプレート部２２７に形成され、軸部２３１ａが螺合されるねじ穴は径方向外側のプレート部２１８に形成される。

尚、第３締結部２３０の構成は上記構成には限定されない。例えば、第２保持部２００の第３締結部２３０は、第１保持部１００の第３締結部１３０と同様に、ナットを有してもよい。

第２保持部２００は、上述の如く、第１締結部２１６と第２締結部２２６とを分離可能に締結する第３締結部２３０を有する。第１締結部２１６と第２締結部２２６とを分離できるため、第１締結部２１６による一対の第１接触部２１１、２１２の締結と、第２締結部２２６による一対の第２接触部２２１、２２２の締結とを別々に解除できる。そのため、第１保持部１００と同様に、接続線５１の第２保持部２００によって保持される位置を変更する作業、つまり、接続線５１の取り回し長さを変更する作業が容易である。また、第１保持部１００と同様に、接続線５１の交換作業が容易である。

尚、接続線５１の本数が少ない場合、第２保持部２００は一対の第２接触部２２１、２２２および第２締結部２２６を有しなくてよく、その場合、第２保持部２００は当然に第３締結部２３０を有しなくてよい。一方、第２保持部２００が一対の第２接触部２２１、２２２および第２締結部２２６を有する場合、第２保持部２００が保持可能な接続線５１の本数を増加できる。

図９は、一実施形態に係る第３保持部を示す正面図である。接続線支持装置５０は、第１保持部１００と第２保持部２００との間において接続線５１を保持する第３保持部３００を有する。第３保持部３００は、接続線５１の急激な屈曲を防止するためのものであり、後述の弾性部４００と組み合わせて用いられる。第３保持部３００は、第１保持部１００と同様に構成される。

第３保持部３００は、互いに接触する接触面３１１ａ、３１２ａに接続線５１を挟んで保持する一対の第１接触部３１１、３１２と、一対の第１接触部３１１、３１２を分離可能に締結する第１締結部３１６とを有する。

一対の第１接触部３１１、３１２は、弾性を有する材料（例えばゴム）で、例えば板状に形成される。片側の接触面３１１ａに形成される断面半円状の嵌合溝３１３と、反対側の接触面３１２ａに形成される断面半円状の嵌合溝３１４とで、断面円状の嵌合穴３１５が構成される。嵌合穴３１５は上下方向に間隔をおいて複数形成され、複数の嵌合穴３１５のそれぞれに接続線５１が嵌め込まれる。接続線５１が嵌合穴３１５に嵌め込まれる前に、嵌合穴３１５の直径は接続線５１の直径よりも小さい。一方、接続線５１が嵌合穴３１５に嵌め込まれると、一対の第１接触部３１１、３１２が弾性変形し、嵌合穴３１５の直径が接続線５１の直径と同じになる。一対の第１接触部３１１、３１２は、弾性変形の復元力により接続線５１を保持する。一対の第１接触部３１１、３１２は、上下方向に間隔をおいて並ぶ複数の接続線５１で構成される第１接続線群５２を挟んで保持する。尚、上述の如く第１接続線群５２を構成する複数の接続線５１が間隔をおかずに連続的に配置されてもよく、この場合、複数の嵌合穴３１５も間隔をおかずに連続的に配置される。

第１締結部３１６は、一対の第１接触部３１１、３１２を接触面３１１ａ、３１２ａに直交する方向から挟み込む２枚のプレート部３１７、３１８と、２枚のプレート部３１７、３１８を締結するボルト３１９とを有する。

２枚のプレート部３１７、３１８は、例えば金属板である。２枚のプレート部３１７、３１８のうち、径方向外側のプレート部３１７は、弾性部４００を介して第２保持部２００に取り付けられる。また、径方向外側のプレート部３１７と第１接触部３１１との間には、接触防止シート５４が挟み込まれる。接触防止シート５４は、接続線５１と固定筒４２との接触を防止し、接続線５１の摩耗を防止する。

ボルト３１９は、径方向内側のプレート部３１８のストレート穴を貫通すると共に径方向外側のプレート部３１７のねじ穴に螺合される軸部３１９ａと、径方向内側のプレート部３１８に当接される頭部３１９ｂとを有する。ボルト３１９を絞めることで一対の第１接触部３１１、３１２が締結され、ボルト３１９を緩めることで一対の第１接触部３１１、３１２の締結が解除され、一対の第１接触部３１１、３１２の分離が可能になる。

ボルト３１９の頭部３１９ｂは、作業員が固定筒４２に邪魔されることなく頭部３１９ｂを回転操作できるように、２枚のプレート部３１７、３１８の径方向内側に配置される。その実現のため、軸部３１９ａが通るストレート穴は径方向内側のプレート部３１８に形成され、軸部３１９ａが螺合されるねじ穴は径方向外側のプレート部３１７に形成される。

尚、第１締結部３１６の構成は上記構成には限定されない。例えば、第３保持部３００の第１締結部３１６は、第１保持部１００の第１締結部１１６と同様に、ナットを有してもよい。

第３保持部３００は、互いに接触する接触面３２１ａ、３２２ａに接続線５１を挟んで保持する一対の第２接触部３２１、３２２と、一対の第２接触部３２１、３２２を分離可能に締結する第２締結部３２６とを有する。一対の第２接触部３２１、３２２と、一対の第１接触部３１１、３１２とは、異なる接続線５１を挟んで保持する。一対の第２接触部３２１、３２２は、一対の第１接触部３１１、３１２よりも径方向内側において、接続線５１を挟んで保持する。

一対の第２接触部３２１、３２２は、弾性を有する材料（例えばゴム）で、例えば板状に形成される。片側の接触面３２１ａに形成される断面半円状の嵌合溝３２３と、反対側の接触面３２２ａに形成される断面半円状の嵌合溝３２４とで、断面円状の嵌合穴３２５が構成される。嵌合穴３２５は上下方向に間隔をおいて複数形成され、複数の嵌合穴３２５のそれぞれに接続線５１が嵌め込まれる。接続線５１が嵌合穴３２５に嵌め込まれる前に、嵌合穴３２５の直径は接続線５１の直径よりも小さい。一方、接続線５１が嵌合穴３２５に嵌め込まれると、一対の第２接触部３２１、３２２が弾性変形し、嵌合穴３２５の直径が接続線５１の直径と同じになる。一対の第２接触部３２１、３２２は、弾性変形の復元力により接続線５１を保持する。一対の第２接触部３２１、３２２は、上下方向に間隔をおいて並ぶ複数の接続線５１で構成される第２接続線群５３を挟んで保持する。尚、上述の如く第２接続線群５３を構成する複数の接続線５１が間隔をおかずに連続的に配置されてもよく、この場合、複数の嵌合穴３２５も間隔をおかずに連続的に配置される。

第２締結部３２６は、一対の第２接触部３２１、３２２を接触面３２１ａ、３２２ａに直交する方向から挟み込む２枚のプレート部３２７、３２８と、２枚のプレート部３２７、３２８を締結するボルト３２９とを有する。第２締結部３２６が一対の第１接触部３１１、３１２を締結しないように、且つ第１締結部３１６が一対の第２接触部３２１、３２２を締結しないように、第１締結部３１６のボルト３１９と第２締結部３２６のボルト３２９とは平行に離間して配置される。

２枚のプレート部３２７、３２８は、例えば金属板である。径方向外側のプレート部３２７と第２接触部３２１との間には、接触防止シート５５が挟み込まれる。接触防止シート５５は、一対の第１接触部３１１、３１２で挟み込まれる接続線５１と、一対の第２接触部３２１、３２２で挟み込まれる接続線５１との接触を防止し、接続線５１の摩耗を防止する。

ボルト３２９は、径方向内側のプレート部３２８のストレート穴を貫通すると共に径方向外側のプレート部３２７のねじ穴に螺合される軸部３２９ａと、径方向内側のプレート部３２８に当接される頭部３２９ｂとを有する。ボルト３２９を絞めることで一対の第２接触部３２１、３２２が締結され、ボルト３２９を緩めることで一対の第２接触部３２１、３２２の締結が解除され、一対の第２接触部３２１、３２２の分離が可能になる。

ボルト３２９の頭部３２９ｂは、作業員が固定筒４２に邪魔されることなく頭部３２９ｂを回転操作できるように、２枚のプレート部３２７、３２８の径方向内側に配置される。その実現のため、軸部３２９ａが通るストレート穴は径方向内側のプレート部３２８に形成され、軸部３２９ａが螺合されるねじ穴は径方向外側のプレート部３２７に形成される。

尚、第２締結部３２６の構成は上記構成には限定されない。例えば、第３保持部３００の第２締結部３２６は、第１保持部１００の第２締結部１２６と同様に、ナットを有してもよい。

第３保持部３００は、第１締結部３１６と第２締結部３２６とを分離可能に締結する第３締結部３３０を有する。第３締結部３３０は、例えば、第１締結部３１６のプレート部３１８と、第２締結部３２６のプレート部３２７とを締結するボルト３３１を有する。第３締結部３３０が一対の第１接触部３１１、３１２を締結しないように、且つ、第３締結部３３０が一対の第２接触部３２１、３２２を締結しないように、第３締結部３３０のボルト３３１は第１締結部３１６のボルト３１９および第２締結部３２６のボルト３２９とは平行に且つ離間して配置される。

第２締結部３２６のプレート部３２７は、第１締結部３１６のプレート部３１８よりも径方向内側に配置される。第３締結部３３０のボルト３３１は、径方向内側のプレート部３２７のストレート穴を貫通すると共に径方向外側のプレート部３１８のねじ穴に螺合される軸部３３１ａと、径方向内側のプレート部３２７に当接される頭部３３１ｂとを有する。ボルト３３１を絞めることで第１締結部３１６と第２締結部３２６とが締結され、ボルト３３１を緩めることで第１締結部３１６と第２締結部３２６との締結が解除され、第１締結部３１６と第２締結部３２６との分離が可能になる。

ボルト３３１の頭部３３１ｂは、作業員が固定筒４２に邪魔されることなく頭部３３１ｂを回転操作できるように、２枚のプレート部３１８、３２７の径方向内側に配置される。その実現のため、軸部３３１ａが通るストレート穴は径方向内側のプレート部３２７に形成され、軸部３３１ａが螺合されるねじ穴は径方向外側のプレート部３１８に形成される。

尚、第３締結部３３０の構成は上記構成には限定されない。第３保持部３００の第３締結部３３０は、第１保持部１００の第３締結部１３０と同様に、ナットを有してもよい。

第３保持部３００は、上述の如く、第１締結部３１６と第２締結部３２６とを分離可能に締結する第３締結部３３０を有する。第１締結部３１６と第２締結部３２６とを分離できるため、第１締結部３１６による一対の第１接触部３１１、３１２の締結と、第２締結部３２６による一対の第２接触部３２１、３２２の締結とを別々に解除できる。そのため、第１保持部１００および第２保持部２００と同様に、接続線５１の第３保持部３００によって保持される位置を変更する作業が容易である。また、第１保持部１００および第２保持部２００と同様に、接続線５１の交換作業が容易である。

尚、接続線５１の本数が少ない場合、第３保持部３００は一対の第２接触部３２１、３２２および第２締結部３２６を有しなくてよく、その場合、第３保持部３００は当然に第３締結部３３０を有しなくてよい。一方、第３保持部３００が一対の第２接触部３２１、３２２および第２締結部３２６を有する場合、第３保持部３００が保持可能な接続線５１の本数を増加できる。

接続線支持装置５０は、弾性部４００を有する。巻取芯２６が接続線５１の巻き取り方向（図３および図４において反時計回り方向）に回転するときに、第３保持部３００が径方向内側に移動することによって弾性部４００が弾性変形する。これにより、弾性変形の復元力Ｆが生じる。一方、巻取芯２６が接続線５１の繰り出し方向（図３および図４において時計回り方向）に回転するときに、弾性部４００は復元力Ｆによって第３保持部３００を径方向外側に押し戻す。

仮に接続線支持装置５０が弾性部４００を有しない場合、巻取芯２６が接続線５１の繰り出し方向に回転するときに、第１保持部１００から第２保持部２００までの間において接続線５１の形状を図３に実線で示すＵ字状に戻す力が生じない。そのため、図３に破線で示すように、接続線５１がジグザグに折り畳まれることがある。

一方、接続線支持装置５０は弾性部４００を有するため、巻取芯２６が接続線５１の繰り出し方向に回転するときに、第１保持部１００から第２保持部２００までの間において接続線５１の形状を図３に実線で示すＵ字状に戻す力が生じる。そのため、接続線５１の急激な屈曲を抑制でき、接続線５１の破損を抑制できる。従って、接続線５１としての配線の断線を抑制でき、また、接続線５１としての配管の破裂を抑制できる。尚、複数の接続線５１は、配線と配管の両方を含んでもよいし、配線のみを含んでもよいし、配管のみを含んでもよい。

弾性部４００は、一端部が第３保持部３００に取り付けられると共に他端部が第２保持部２００に取り付けられる板バネである。第２保持部２００を介して弾性部４００を固定筒４２に取り付けると共に、弾性部４００として板バネを用いるため、弾性部４００を固定筒４２に沿って配置でき、弾性部４００の配置スペースを確保しやすい。

以上、本開示に係る接続線支持装置の実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態などに限定されない。特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更、修正、置換、付加、削除、および組合わせが可能である。それらについても当然に本開示の技術的範囲に属する。

例えば、弾性部４００は、上記実施形態では第２保持部２００に取り付けられるが、第２保持部２００に取り付けられる代わりに、固定筒４２に取り付けられてもよい。また、弾性部４００は、上記実施形態では板バネであるが、板バネ以外のバネ、例えばコイルバネでもよい。

２ 基板
１０ 加工装置
２０ 回転テーブル
２６ 巻取芯
４０ 固定ベース
４１ 部屋
４２ 固定筒
５０ 接続線支持装置
５１ 接続線
５２ 第１接続線群
５３ 第２接続線群
５４ 接触防止シート
５５ 接触防止シート
１００ 第１保持部
１１１、１１２ 第１接触部
１１６ 第１締結部
１２１、１２２ 第２接触部
１２６ 第２締結部
１３０ 第３締結部
２００ 第２保持部
２１１、２１２ 第１接触部
２１６ 第１締結部
２２１、２２２ 第２接触部
２２６ 第２締結部
２３０ 第３締結部
３００ 第３保持部
３１１、３１２ 第１接触部
３１６ 第１締結部
３２１、３２２ 第２接触部
３２６ 第２締結部
３３０ 第３締結部

Claims (10)

1. 基板を保持する回転テーブルと共に回転する巻取芯に取り付けられ、前記巻取芯の径方向外側において配線または配管である接続線を保持する第１保持部と、
   前記回転テーブルを回転自在に支持する固定ベースの、前記巻取芯が配置される部屋を形成する固定筒と、
   前記固定筒に対する位置関係が固定されると共に、前記接続線を保持する第２保持部と、
   前記第１保持部と前記第２保持部との間において前記接続線を保持する第３保持部と、
   前記巻取芯が前記接続線の巻き取り方向に回転するときに前記第３保持部が前記固定筒の径方向内側に移動することによって弾性変形し、前記巻取芯が前記接続線の繰り出し方向に回転するときに前記弾性変形の復元力によって前記第３保持部を前記径方向外側に押し戻す弾性部とを備え、
   前記第１保持部は、前記接続線が嵌め込まれる嵌合穴と、前記嵌合穴から前記接続線を前記繰り出し方向に導く接続線ガイドとを有する、接続線支持装置。
2. 前記第２保持部は、前記固定筒に取り付けられる、請求項１に記載の接続線支持装置。
3. 前記第２保持部は、前記固定筒の径方向内側において、前記接続線を保持する、請求項１または２に記載の接続線支持装置。
4. 前記弾性部は、一端部が前記第３保持部に取り付けられると共に他端部が前記第２保持部に取り付けられる板バネである、請求項１～３のいずれか１項に記載の接続線支持装置。
5. 前記第１保持部、前記第２保持部および前記第３保持部によって保持され、前記巻取芯および前記固定筒と前記接続線との接触を防止する接触防止シートを有する、請求項１～４のいずれか１項に記載の接続線支持装置。
6. 前記第１保持部、前記第２保持部および前記第３保持部によって保持され、一の前記接続線と他の一の前記接続線との接触を防止する接触防止シートを有する、請求項１～５のいずれか１項に記載の接続線支持装置。
7. 前記接続線が前記嵌合穴に嵌め込まれる前に、前記嵌合穴の直径が前記接続線の直径よりも小さい、請求項１～６のいずれか１項に記載の接続線支持装置。
8. 前記第１保持部は、
   互いに接触する接触面に前記接続線を挟んで保持する一対の第１接触部と、
   一対の前記第１接触部を分離可能に締結する第１締結部と、
   一対の前記第１接触部が保持する前記接続線とは異なる前記接続線を、互いに接触する接触面に挟んで保持する一対の第２接触部と、
   一対の前記第２接触部を分離可能に締結する第２締結部と、
   前記第１締結部と前記第２締結部とを分離可能に締結する第３締結部とを有する、請求項１～７のいずれか１項に記載の接続線支持装置。
9. 前記第２保持部は、
   互いに接触する接触面に前記接続線を挟んで保持する一対の第１接触部と、
   一対の前記第１接触部を分離可能に締結する第１締結部と、
   一対の前記第１接触部が保持する前記接続線とは異なる前記接続線を、互いに接触する接触面に挟んで保持する一対の第２接触部と、
   一対の前記第２接触部を分離可能に締結する第２締結部と、
   前記第１締結部と前記第２締結部とを分離可能に締結する第３締結部とを有する、請求項１～８のいずれか１項に記載の接続線支持装置。
10. 前記第３保持部は、
    互いに接触する接触面に前記接続線を挟んで保持する一対の第１接触部と、
    一対の前記第１接触部を分離可能に締結する第１締結部と、
    一対の前記第１接触部が保持する前記接続線とは異なる前記接続線を、互いに接触する接触面に挟んで保持する一対の第２接触部と、
    一対の前記第２接触部を分離可能に締結する第２締結部と、
    前記第１締結部と前記第２締結部とを分離可能に締結する第３締結部とを有する、請求項１～９のいずれか１項に記載の接続線支持装置。

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