JP2013079672A

JP2013079672A - 伝達線固定部材

Info

Publication number: JP2013079672A
Application number: JP2011219794A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Ogawara; 聡大河原; Manpei Tanaka; 万平田中; Jun Yagihara; 惇八木原; shintaro Matsuoka; 伸太郎松岡; Jun Sato; 佐藤　　淳
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2011-10-04
Filing date: 2011-10-04
Publication date: 2013-05-02

Abstract

【課題】伝達線の発埃や破損を抑制しつつ、可動部の移動に円滑に追従するように伝達線を固定する伝達線固定部材提供すること。
【解決手段】本発明の伝達線固定部材（７）は、第１の箇所と第２の箇所とに掛け渡された伝達線（８５）に沿うように長鎖状に連結された複数のリンクプレート（７１）と、隣り合うリンクプレート（７１）の連結位置において伝達線（８５）を固定する複数の可動連結板（７７）とを備え、可動連結板（７７）は、第１の箇所と第２の箇所の相対移動による伝達線（８５）の屈曲に沿って回転可能にリンクプレート（７１）に連結されており、リンクプレート（７１）は、屈曲した伝達線（８５）を逃がすように形成されている。
【選択図】図６

Description

本発明は、可動部に接続されたリード線やチューブ等の複数の伝達線を、可動部の移動に追従できるように固定した伝達線固定部材に関する。

加工装置は、被加工物を吸着保持する保持手段（チャックテーブル）と被加工物に加工を施す加工手段とを可動部として備えている。保持手段には、吸着面に吸引力を伝達するチューブやモータ等の駆動装置に電力を伝達するリード線が接続されている。加工手段には、洗浄水を伝達するチューブやモータ等の駆動装置に電力を供給するリード線が接続されている。保持手段や加工手段に接続されたチューブやリード線などの各種の伝達線は、加工装置の基台内から引き出されている。

加工装置では、保持手段と加工手段とを相対的に移動させることにより、保持手段に保持された被加工物が加工される。このため、伝達線は、保持手段や加工手段の移動に追従できるように余裕をもった長さで引き出されている。この場合、複数の伝達線は、保持手段や加工手段の移動の妨げにならないように、伝達線固定部材にまとめた状態で収容される。このような伝達線固定部材として、多数の枠体を回動可能に連結して長鎖状にしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に記載の伝達線固定部材は、多数の枠体の回動により円孤状に屈曲（湾曲）可能に構成されている。上記の加工装置では、例えば、伝達線固定部材の一端部が可動部としての保持手段に固定され、伝達線固定部材の他端部が基台に固定される。そして、伝達線固定部材の一端部は、保持手段の移動によって基台に固定された他端部に対して一方向に移動される。これにより、伝達線固定部材の円弧状の屈曲部分の位置が一方向に連続的に移り変わり、伝達線固定部材内に収容された伝達線が保持手段の移動に追従される。

特開２００２−１７６２７４号公報

しかしながら、特許文献１の伝達線固定部材を使用した場合、伝達線が可動部の移動に追従するものの、伝達線固定部材内で伝達線同士の擦れや、伝達線と伝達線固定部材の内壁面との擦れが発生する。この伝達線の擦れによって発埃し、伝達線が破損するおそれがあった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、伝達線の発埃や破損を抑制しつつ、可動部の移動に円滑に追従するように伝達線を固定する伝達線固定部材を提供することを目的とする。

本発明の伝達線固定部材は、複数のリード線又はチューブからなる伝達線を第１の箇所と第２の箇所との間に掛け渡し、前記第１の箇所に対して前記第２の箇所が相対的に移動した際に、前記伝達線を屈曲させながら移動させて前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の掛け渡しを維持する伝達線固定部材であって、底板及び前記底板の向かい合う２辺に前記底板に垂直に延在した側面板から形成されたリンクプレートと、前記リンクプレートの各側面板の両端で且つ前記底板と所定の間隔を有した位置に開口した４つの孔と、隣り合うリンクプレートの前記側面板の前記孔同士を締結し前記リンクプレート同士を屈曲自在に連結する連結ボルトとから構成され、複数の前記リンクプレートが複数の前記連結ボルトにより長鎖状に連結されており、前記連結ボルトの締結方向に延在し且つ前記底板と前記連結ボルトとの間に回転可能に前記連結ボルトで締結された可動連結板と、前記可動連結板に複数本の伝達線を並列させて前記可動連結板に固定する固定具とを更に備え、屈曲の際には、屈曲箇所の前記可動連結板が前記伝達線の屈曲に追従して回転すると共に近傍の前記伝達線は前記可動連結板と前記リンクプレートの前記底板との隙間に逃げること、を特徴とする。

この構成によれば、リンクプレート間の各可動連結板に複数本の伝達線が固定されるため、第１の箇所に対して第２の箇所が相対的に移動する場合に、長鎖状の複数のリンクプレートに沿って伝達線が屈曲される。このとき、伝達線を固定した可動連結板が回転し、伝達線の膨らみ（撓み）が可動連結板とリンクプレートの底板との隙間に逃げるため、伝達線の屈曲がリンクプレートに沿って円滑に行われる。また、各伝達線の複数箇所が各可動連結板に固定されているため、伝達線同士の相対的な位置ズレや伝達線とリンクプレートとの相対的な位置ズレがない。これにより、伝達線の擦れを抑制して、伝達線からの発埃及び伝達線の破損が防止される。

本発明の他の伝達線固定部材は、複数のリード線又はチューブからなる伝達線を第１の箇所と第２の箇所との間に掛け渡し、前記第１の箇所に対して前記第２の箇所が相対的に移動した際に、前記伝達線を屈曲させながら移動させて前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の掛け渡しを維持する伝達線固定部材であって、向かい合う２つの側面板と、各側面板の両端に開口した２つの孔と、隣り合う前記側面板の前記孔同士を締結し前記側面板同士を屈曲自在に連結する連結ボルトとから構成され、複数の前記側面板が複数の前記連結ボルトにより２列の長鎖状に連結されており、前記連結ボルトの締結方向に延在し且つ２枚の向かい合う前記側面板の間に回転可能に前記連結ボルトで締結された可動連結板と、前記可動連結板に複数本の伝達線を並列させて前記可動連結板に固定する固定具とを更に備え、屈曲の際には、屈曲箇所の前記可動連結板が前記伝達線の屈曲に追従して回転すること、を特徴とする。

この構成によれば、向かい合う２つの側面板には、伝達線を覆う底板が設けられていないため、伝達線固定部材全体の軽量化を図ることができる。また、側面板間の各可動連結板に複数本の伝達線が固定されるため、第１の箇所に対して第２の箇所が相対的に移動する場合に、長鎖状の複数の側面板に沿って伝達線が屈曲される。このとき、伝達線を固定した可動連結板が回転し、伝達線の膨らみ（撓み）が向かい合う２つの側面板間から外部に逃げるため、伝達線の屈曲が側面板に沿って円滑に行われる。また、各伝達線の複数箇所が各可動連結板に固定されているため、伝達線同士の相対的な位置ズレがなくなり、伝達線同士の擦れが抑制される。また、側面板に底板が設けられていないため、伝達線と底板とが擦れることがない。これにより、伝達線の擦れを抑制して、伝達線からの発埃及び伝達線の破損が防止される。

本発明によれば、伝達線の発埃や破損を抑制しつつ、可動部の移動に円滑に追従するように伝達線を固定することができる。

本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。本実施の形態に係る伝達線固定部材の周辺の斜視図である。本実施の形態に係る伝達線固定部材の分解斜視図である。本実施の形態に係る伝達線固定部材に対する伝達線の固定状態を示す斜視図である。比較例に係る伝達線固定部材の屈曲動作の説明図である。本実施の形態に係る伝達線固定部材の屈曲動作の説明図である。変形例に係る伝達線固定部材に対する伝達線の固定状態を示す斜視図である。他の変形例に係る固定具を示す模式図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。なお、以下では、伝達線固定部材を加工装置としての切削装置に適用する構成について説明するが、この構成に限定されるものではない。本実施の形態に係る伝達線固定部材は、可動部が伝達線の屈曲を伴って移動する加工装置に適用可能である。また図１では、説明の便宜上、ブレードユニット用の伝達線固定部材を省略している。

図１に示すように、切削装置１は、切削ブレード４１を有する一対のブレードユニット４と被加工物Ｗを保持したチャックテーブル３とを相対移動させて、被加工物Ｗを切削するように構成されている。被加工物Ｗは、略円板状に形成されており、表面に格子状に配列された分割予定ラインによって複数の領域に区画されている。この区画された領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。また、被加工物Ｗは、貼着テープ２３を介して環状フレーム２４に支持された状態で切削装置１に搬入される。

なお、本実施の形態においては、被加工物Ｗとしてシリコンウェーハ、ガリウムヒソ等の半導体ウェーハを例に挙げて説明するが、この構成に限定されるものではない。半導体ウェーハの裏面に設けられるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミック、ガラス、サファイア（Al₂O₃）系の無機材料基板、各種電気部品やミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料を被加工物としてもよい。

切削装置１は、基台１１を有しており、基台１１上にはチャックテーブル３をＸ軸方向に加工送りするチャックテーブル移動機構５が設けられている。また、基台１１上には、チャックテーブル移動機構５を跨ぐように立設した門型の柱部１２が設けられ、柱部１２には、チャックテーブル３の上方において一対のブレードユニット４をＹ軸方向に割出送りするブレードユニット移動機構６が設けられている。

チャックテーブル移動機構５は、基台１１の上面に配置されたＸ軸方向に平行な一対のガイドレール５２と、一対のガイドレール５２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＸ軸テーブル５１とを有している。Ｘ軸テーブル５１の上部には、チャックテーブル３が設けられている。また、Ｘ軸テーブル５１の背面側には、図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ５３が螺合されている。そして、ボールネジ５３の一端部には、駆動モータ５４が連結されている。駆動モータ５４によりボールネジ５３が回転駆動され、チャックテーブル３がガイドレール５２に沿ってＸ軸方向に移動される。

チャックテーブル３は、Ｘ軸テーブル５１の上面に固定されたＺ軸回りに回転可能なθテーブル３１と、θテーブル３１の上部に設けられ、被加工物Ｗを吸着保持する保持部３２とを有している。保持部３２は、所定の厚みを有する円盤状であり、上面中央部分にはポーラスセラミック材により吸着面が形成されている。保持部３２の周囲には、θテーブル３１の四方から径方向外側に延びる一対の支持アームを介して４つのクランプ部３３が設けられている。４つのクランプ部３３は、エアーアクチュエータにより駆動し、被加工物Ｗの周囲の環状フレーム２４を挟持固定する。

また、チャックテーブル３には、吸着面に吸引力を伝達するチューブやθテーブル３１等の駆動装置に電力を伝達するリード線が接続されている。このチューブやリード線等の各種の伝達線８５は、基台１１の上面から余裕をもった長さで引き出されており、途中部分で円弧状に屈曲（湾曲）されている。基台１１から引き出された伝達線８５は、伝達線８５の捩れや断線を防止するための長鎖状の伝達線固定部材７に固定されている。なお、伝達線固定部材７の詳細については後述する。

ブレードユニット移動機構６は、柱部１２の前面に対してＹ軸方向に平行な一対のガイドレール６３と、一対のガイドレール６３にスライド可能に設置されたモータ駆動の一対のＹ軸テーブル６１を有している。また、ブレードユニット移動機構６は、各Ｙ軸テーブル６１の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６４と、各ガイドレール６４にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル６２とを有している。各Ｚ軸テーブル６２には、ブレードユニット４が設けられている。

また、各Ｙ軸テーブル６１、各Ｚ軸テーブル６２の背面側には、それぞれ図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ６５、６６が螺合されている。そして、Ｙ軸テーブル６１用のボールネジ６５、Ｚ軸テーブル６２用のボールネジ６６の一端部には、それぞれ駆動モータ６７、６８が連結されている。これら駆動モータ６７、６８によりボールネジが回転駆動され、ブレードユニット４がガイドレール６３、６４に沿ってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動される。

ブレードユニット４は、Ｙ軸回りに回転するスピンドルの先端に設けられた円盤状の切削ブレード４１と、切削部分に切削水を噴射する図示しない噴射ノズルとを有している。ブレードユニット４は、スピンドルにより切削ブレード４１を高速回転させ、複数のノズルから切削部分に切削水を噴射しつつ被加工物Ｗを切削加工する。

また、ブレードユニット４には、噴射ノズルに切削水を供給するチューブやスピンドルの駆動装置に電力を伝達するリード線が接続されている。このチューブやリード線等の各種の伝達線は、柱部１２の前面から余裕をもった長さで引き出されおり、途中部分で円弧状に屈曲（湾曲）されている。柱部１２から引き出された伝達線は、伝達線８５の捩れや断線を防止するための図示しない長鎖状の伝達線固定部材に固定されている。

この切削装置１においては、Ｙ軸テーブル６１の移動によって切削ブレード４１が被加工物Ｗの分割予定ラインに位置合わせされる。次に、Ｚ軸テーブル６２の移動によって回転された切削ブレード４１の被加工物Ｗに対する切り込み深さが調整される。そして、切削ブレード４１に対してＸ軸テーブル５１が相対移動されることにより、チャックテーブル３に保持された被加工物Ｗが分割予定ラインに沿って切削される。

図２を参照して、伝達線固定部材について説明する。図２は、本実施の形態に係る伝達線固定部材の周辺の斜視図である。図３は、本実施の形態に係る伝達線固定部材の分解斜視図である。図４は、本実施の形態に係る伝達線固定部材に対する伝達線の固定状態を示す斜視図である。

図２に示すように、伝達線固定部材７は、円弧状に屈曲した複数の伝達線８５を固定可能なように、多数のリンクプレート７１を長鎖状に連結して構成される。複数の伝達線８５は、Ｘ軸テーブル５１の下面の第１の箇所と基台１１の上面の第２の箇所とを掛け渡すように延在している。複数の伝達線８５は、Ｘ軸方向に延びるガイドレール５２に沿って配置された伝達線固定部材７に固定されることで、Ｘ軸方向に延在するように揃えられている。なお、伝達線８５は、チューブやリード線に限定されるものではなく、切削装置１の可動部分に追従するケーブルであればよく、例えば、光ファイバ等の通信ケーブルでもよい。

伝達線固定部材７は、複数の伝達線８５に沿って円弧状に屈曲され、一端部がＸ軸テーブル５１下面に接続され、他端部が基台１１上面に接続されている。伝達線固定部材７の一端部は、チャックテーブル３のＸ軸方向への移動に伴って、基台１１に固定された他端部に対して相対的にＸ軸方向に移動される。伝達線固定部材７では、この他端部に対する一端部の相対移動によって円弧状の屈曲部分の位置がＸ軸方向に連続的に移り変わることで、チャックテーブル３の移動に追従可能となっている。

図３、図４に示すように、リンクプレート７１は、金属板を折り曲げて形成されており、矩形状の底板７２と、底板７２の向かい合う左右２辺から垂直に立ち上がる側面板７３とを有している。各側面板７３の長手方向の両端部７４は、底板７２の向い合う前後２辺よりも前後方向に突出して形成されている。この各側面板７３の両端部７４には、底板７２から所定間隔だけ離れた位置に連結孔（孔）７５が開口されている。隣り合うリンクプレート７１は、各側面板７３の両端部７４の連結孔７５を合わせて一対の連結ボルト７６を挿通することで屈曲自在に連結される。

この場合、リンクプレート７１の一方の側面板７３の端部７４は、隣接するリンクプレート７１の一方の側面板７３の端部７４に対して内側から接している。また、リンクプレート７１の他方の側面板７３の端部７４は、隣接するリンクプレート７１の他方の側面板７３の端部７４に対して外側から接している。すなわち、隣り合うリンクプレート７１を左右にずらして、対応する側面板７３の端部を互いに合わせることで、同一幅のリンクプレート７１による連結を可能にしている。

また、一対の側面板７３の両端部７４には、複数の伝達線８５を支持する可動連結板７７が取り付けられている。可動連結板７７は、連結ボルト７６の締結方向である左右方向に延在し、側面板７３に沿うように延在方向の両端部７８を折り曲げて形成される。可動連結板７７の延在方向の両端部７８には、ネジ孔が形成され、側面板７３の連結孔７５に挿通された連結ボルト７６が締結される。連結孔７５が底板７２から所定間隔だけ離れているため、可動連結板７７が底板７２から浮いた状態で一対の側面板７３に両持ちで支持される。この構成により、可動連結板７７の左右方向に延在する水平部分７９と底板７２との間には隙間Ｃが形成される（図６参照）。

可動連結板７７の水平部分７９は、複数の伝達線８５を並列に支持している。この水平部分７９には、結束バンド８２の挿通可能な多数のバンド挿通孔８１が等間隔に形成されている。複数の伝達線８５は、任意の２つのバンド挿通孔８１を通して巻き付けられた結束バンド８２に結束されることで、可動連結板７７の水平部分７９に固定される。この場合、複数の伝達線８５は、伝達線８５同士の干渉を抑えるため、所定の間隔を空けて配置されることが好ましい。

このように構成された伝達線固定部材７は、隣り合うリンクプレート７１と可動連結板７７とが連結ボルト７６を介して相対回転に連結されている。このため、多数のリンクプレート７１が屈曲した場合には、伝達線８５を固定した可動連結板７７が回転し、リンクプレート７１に沿って伝達線８５が屈曲される。このとき、伝達線８５の膨らみ（撓み）が可動連結板７７の水平部分７９と底板７２との隙間Ｃに逃げるため、伝達線８５の屈曲がリンクプレート７１に阻害されることがない。

図５及び図６を参照して、伝達線固定部材の屈曲動作について説明する。図５は、比較例に係る伝達線固定部材の屈曲動作の説明図である。図６は、本実施の形態に係る伝達線固定部材の屈曲動作の説明図である。なお、比較例に係る伝達線固定部材は、いわゆるケーブルベア（登録商標）である。

図５Ａに示すように、比較例に係る伝達線固定部材１１１は、底板１１２、上板１１３、及び一対の側面板１１４からなる多数の枠体１１５を長鎖状に連結して構成されている。伝達線固定部材１１１の一端部は、チャックテーブル３の下面に固定され、伝達線固定部材１１１の他端部は、基台１１の上面に固定されている。この伝達線固定部材１１１には複数の伝達線８５が収容されている。複数の伝達線８５の両端部は、伝達線固定部材１１１の両端に位置する可動しない枠体１１５に固定されている。

この場合、伝達線８５同士の干渉防止等のために、伝達線固定部材１１１内の複数の伝達線８５の占積率が３０％以下になるように構成されている。また、複数の伝達線８５は、伝達線固定部材７内において張り過ぎたり、弛ませ過ぎたりしないように収容されている。具体的には、複数の伝達線８５は、伝達線固定部材１１１の屈曲部分において、底板１１２と上板１１３との中央を通るようにして伝達線固定部材１１１に収容される。よって、複数の伝達線８５は、伝達線固定部材１１１の屈曲部分を境にして、一端側では上板１１３に載置され、他端側では底板１１２に載置される。

図５Ｂに示すように、伝達線固定部材１１１の一端部が他端部に対して移動すると、伝達線固定部材１１１及び複数の伝達線８５の屈曲部分が矢印Ｄ１方向に移動する。このとき、複数の伝達線８５は、伝達線固定部材１１１の直線部分では上板１１３又は底板１１２に沿って移動するが、伝達線固定部材１１１の屈曲部分では上板１１３又は底板１１２から離れて別体で（自由に）移動する。このため、伝達線固定部材１１１の屈曲部分では、伝達線固定部材１１１と複数の伝達線８５との間で相対的に位置ズレが生じる。

この相対的な位置ズレによって、複数の伝達線８５が伝達線固定部材１１１の上板１１３から離れる際に擦れが生じ、複数の伝達線８５が伝達線固定部材１１１の底板１１２に接触する際に擦れが生じる。このため、比較例に係る伝達線固定部材１１１では、伝達線８５の擦れによって発埃し、伝達線８５が破損するおそれがあった。また、比較例に係る伝達線固定部材１１１内では、伝達線８５同士の擦れを抑制するため仕切板を設けなければならなかった。さらに、伝達線固定部材１１１内の複数の伝達線８５の占積率を３０％以下にしなければならず、伝達線固定部材１１１が大型化していた。

一方、図６Ａに示すように、本実施の形態に係る伝達線固定部材７は、底板７２及び一対の側面板７３からなる多数のリンクプレート７１を長鎖状に連結して構成されている。隣り合うリンクプレート７１間には、可動連結板７７が設けられており、この可動連結板７７に結束バンド８２で複数の伝達線８５が並列に固定されている。よって、伝達線固定部材７内では、複数の伝達線８５がリンクプレート７１の底板７２に沿うように延在する。また、リンクプレート７１の底板７２と可動連結板７７との間には、複数の伝達線８５の屈曲部分を逃がすための隙間Ｃが形成されている。

図６Ｂに示すように、伝達線固定部材７の一端部が他端部に対して移動すると、伝達線固定部材７及び複数の伝達線８５の屈曲部分が矢印Ｄ１方向に移動する。この場合、複数の伝達線８５が可動連結板７７に固定されているため、伝達線固定部材７の底板７２に沿って複数の伝達線８５が移動される。この構成により、伝達線固定部材７の全長にわたって、伝達線固定部材７の底板７２と複数の伝達線８５との相対的な位置関係が変わらず、底板７２と複数の伝達線８５との間の擦れが抑制される。

また、複数の伝達線８５は、所定の間隔を空けて並列に固定されているため、伝達線８５同士の擦れも抑制される（図４参照）。この場合、リンクプレート７１に仕切板を設ける必要がなく、リンクプレート７１を簡易な構成にできる。このように、伝達線８５の擦れが抑制されるため、伝達線８５からの発埃及び伝達線８５の破損が防止される。

また、伝達線固定部材７の屈曲部分においては、複数の伝達線８５に追従して可動連結板７７が回転し、複数の伝達線８５の膨らみ（撓み）が可動連結板７７とリンクプレート７１の底板７２との隙間Ｃに逃がされる。このため、複数の伝達線８５がリンクプレート７１の底板７２に強く押し付けられることがないため、伝達線８５の屈曲が底板７２に阻害されることなく円滑に行われる。なお、リンクプレート７１の底板７２に対する伝達線８５の押し付け量は、リンクプレート７１の長さと隙間Ｃによって調整可能である。

また、本実施の形態に係る伝達線固定部材７では、伝達線８５の占積率に関係なく複数の伝達線８５の屈曲時の逃げ用の隙間Ｃを設ければよいため、比較例に係る伝達線固定部材７と比べて小型化できる。よって、切削装置１において、伝達線固定部材７の設置スペースを省スペース化することができる。

以上のように、本実施の形態に係る伝達線固定部材７によれば、リンクプレート７１間の各可動連結板７７に複数本の伝達線８５が固定されるため、長鎖状の複数のリンクプレート７１に沿って伝達線８５が屈曲される。このとき、各伝達線８５の複数箇所が各可動連結板７７に固定されているため、伝達線８５同士の相対的な位置ズレや伝達線８５とリンクプレート７１との相対的な位置ズレが生じない。これにより、伝達線８５の擦れを抑制して、伝達線８５からの発埃及び伝達線８５の破損が防止される。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、本実施の形態に係る伝達線固定部材７では、底板７２を有する構成としたが、この構成に限定されない。図７に示す変形例のように、伝達線固定部材９１が底板を有さない構成としてもよい。この場合、伝達線固定部材９１は、左右一対の側面板９２を２列の長鎖状に連結して構成される。隣り合う側面板９２は、両端部に位置する連結孔に連結ボルト９３を挿通することで連結される。また、左右一対の側面板９２は、連結ボルト９３に可動連結板９４が取り付けられることで一体化される。

この変形例に係る伝達線固定部材９１では、底板が設けられていない分だけ第１の実施の形態に係る伝達線固定部材７と比較して軽量化を図ることができる。また、側面板９２間の各可動連結板９４に複数本の伝達線８５が固定されるため、長鎖状の複数の側面板９２に沿って伝達線８５が屈曲される。また、各伝達線８５の複数箇所が各可動連結板９４に固定されているため、伝達線８５同士の相対的な位置ズレがなくなり、伝達線８５同士の擦れが抑制される。

さらに、伝達線固定部材９１に底板がないため、伝達線８５と底板とが擦れることがない。この構成により、伝達線８５の擦れを抑制して、伝達線８５からの発埃及び伝達線８５の破損が防止される。なお、変形例に係る伝達線固定部材７では、底板の代わりに上板が設けられる構成としてもよい。

また、本実施の形態に係る伝達線固定部材７では、固定具としての結束バンド８２により伝達線８５を可動連結板７７に固定したが、この構成に限定されない。固定具は、伝達線８５を可動連結板７７に固定可能であれば、どのような構成でもよい。例えば、固定具は、図８Ａに示すような伝達線８５を固定可能なフック９５でもよいし、図８Ｂに示すような伝達線８５を接着固定する接着部９６でもよい。また、固定具は、可動連結板７７に対して伝達線８５を完全に固定する構成に限らず、伝達線８５の僅かな移動を許容する程度に固定する構成でもよい。

また、本実施の形態に係る伝達線固定部材７では、全ての可動連結板７７において伝達線８５が固定されたが、この構成に限定されない。伝達線８５は、伝達線固定部材７に沿って屈曲するように可動連結板７７に固定されていればよい。

また、本実施の形態に係る伝達線固定部材７では、リンクプレート７１の底板７２と可動連結板７７との間に隙間Ｃを設けて屈曲した伝達線８５を逃がしたが、この構成に限定されない。屈曲した伝達線８５を逃がす構成であればよく、例えば、リンクプレート７１の底板７２に開口や凹部を設けた構成でもよい。

また、本実施の形態に係る伝達線固定部材７では、リンクプレート７１が底板７２と左右一対の側面板７３とからなる構成としたが、この構成に限定されるものではない。リンクプレート７１は、伝達線８５に沿って長鎖状に連結可能な構成であればよく、例えば、底板、上板、左右一対の側面板を有する枠状に形成されてもよい。

以上説明したように、本発明は、伝達線の発埃や破損を抑制しつつ、可動部の移動に円滑に追従するように伝達線を固定できるという効果を有し、特に、工作機等の加工装置に用いられる伝達線固定部材に有用である。

１切削装置
３チャックテーブル（第１の箇所）
４ブレードユニット
１１基台（第２の箇所）
７、９１伝達線固定部材
７１リンクプレート
７２底板
７３、９２側面板
７５連結孔（孔）
７６、９３連結ボルト
７７、９４可動連結板
８１バンド挿通孔
８２結束バンド（固定具）
８５伝達線
９５フック（固定具）
９６接着部（固定具）

Claims

複数のリード線又はチューブからなる伝達線を第１の箇所と第２の箇所との間に掛け渡し、前記第１の箇所に対して前記第２の箇所が相対的に移動した際に、前記伝達線を屈曲させながら移動させて前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の掛け渡しを維持する伝達線固定部材であって、
底板及び前記底板の向かい合う２辺に前記底板に垂直に延在した側面板から形成されたリンクプレートと、前記リンクプレートの各側面板の両端で且つ前記底板と所定の間隔を有した位置に開口した４つの孔と、隣り合うリンクプレートの前記側面板の前記孔同士を締結し前記リンクプレート同士を屈曲自在に連結する連結ボルトとから構成され、複数の前記リンクプレートが複数の前記連結ボルトにより長鎖状に連結されており、
前記連結ボルトの締結方向に延在し且つ前記底板と前記連結ボルトとの間に回転可能に前記連結ボルトで締結された可動連結板と、
前記可動連結板に複数本の伝達線を並列させて前記可動連結板に固定する固定具とを更に備え、
屈曲の際には、屈曲箇所の前記可動連結板が前記伝達線の屈曲に追従して回転すると共に近傍の前記伝達線は前記可動連結板と前記リンクプレートの前記底板との隙間に逃げること、
を特徴とする伝達線固定部材。
複数のリード線又はチューブからなる伝達線を第１の箇所と第２の箇所との間に掛け渡し、前記第１の箇所に対して前記第２の箇所が相対的に移動した際に、前記伝達線を屈曲させながら移動させて前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の掛け渡しを維持する伝達線固定部材であって、
向かい合う２つの側面板と、各側面板の両端に開口した２つの孔と、隣り合う前記側面板の前記孔同士を締結し前記側面板同士を屈曲自在に連結する連結ボルトとから構成され、複数の前記側面板が複数の前記連結ボルトにより２列の長鎖状に連結されており、
前記連結ボルトの締結方向に延在し且つ２枚の向かい合う前記側面板の間に回転可能に前記連結ボルトで締結された可動連結板と、
前記可動連結板に複数本の伝達線を並列させて前記可動連結板に固定する固定具とを更に備え、
屈曲の際には、屈曲箇所の前記可動連結板が前記伝達線の屈曲に追従して回転すること、
を特徴とする伝達線固定部材。