JP6722460B2 - 産業用ロボット - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。

従来、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）と半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する水平多関節ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）の一部を構成しており、ＥＦＥＭの筐体の内部に配置されている。ＥＦＥＭは、半導体ウエハ処理装置の前側に配置され、ＦＯＵＰは、ＥＦＥＭの前側に配置されている。ＥＦＥＭの筐体は、前後方向を短手方向とし左右方向を長手方向とする細長い直方体の箱状に形成されている。

また、特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、基端側が本体部に回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部と、第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに先端側にハンドが回動可能に連結される第３アーム部とから構成されている。本体部は、上端にアームの基端側（すなわち、第１アーム部の基端側）が回動可能に連結される柱状部材と、柱状部材を昇降可能に保持する筐体と、柱状部材を昇降させる昇降機構とを備えている。柱状部材が下降しているときには、柱状部材は、筺体に収容されている。また、柱状部材が上昇しているときであっても、柱状部材の下端側部分は、筺体に収容されている。

筺体は、上下方向から見たときの形状が略正方形となるように形成されており、筺体の前面および後面は、前後方向に直交する平面状に形成され、筺体の左右の両側面は、左右方向に直交する平面状に形成されている。また、上下方向から見たときに、柱状部材は、筺体の外形の中に入っている。柱状部材は、上下方向から見たときに、左右方向における筺体の中心位置に配置されている。また、柱状部材は、上下方向から見たときに、前後方向において、筺体の前面側に配置されている。すなわち、上下方向から見たときに、柱状部材に連結されるアームの基端側は、筺体の前面側に配置されている。

特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、ＥＦＥＭの筐体の内部の前面と水平多関節ロボットの筺体の前面とが隣接するように、ＥＦＥＭの筐体の内部に配置されている。すなわち、この水平多関節ロボットは、柱状部材に連結されるアームの基端側とＥＦＥＭの筐体の内部の前面とが隣接するように、ＥＦＥＭの筺体の内部に配置されている。そのため、この水平多関節ロボットが設置される半導体の製造システムでは、第１アーム部、第２アーム部および第３アーム部の長さを確保しつつ、ＥＦＥＭの筺体の内部の前面および後面と、アームとの干渉を防止することが可能になっている。

特開２０１５−３６１８６号公報

特許文献１に記載の水平多関節ロボットが配置されるＥＦＥＭの筐体の内部では、各種の配管や配線が引き回されることがある。しかしながら、特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、第１アーム部、第２アーム部および第３アーム部の長さを確保しつつ、ＥＦＥＭの筺体の内部の前面および後面とアームとの干渉を防止するために、ＥＦＥＭの筐体の内部の前面と水平多関節ロボットのアームの基端側とが隣接するようにＥＦＥＭの筐体の内部に配置されており、ＥＦＥＭの筐体の内部の前面と水平多関節ロボットの筐体の前面とが隣接している。したがって、特許文献１に記載の水平多関節ロボットが配置されるＥＦＥＭの筐体の内部では、ＥＦＥＭの筐体の内部の前面に沿って配管や配線を引き回すことが困難になり、その結果、配管や配線の引き回しの自由度が低くなる。

そこで、本発明の課題は、ＥＦＥＭ等の筐体の内部の側面にアームの基端側が隣接するように配置されても、ＥＦＥＭ等の筐体の内部での配管や配線の引き回しの自由度を高めることが可能な産業用ロボットを提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、本体部は、アームの基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、昇降体を昇降可能に保持するとともに昇降体の少なくとも下端側の一部が収容される筐体とを備え、昇降体は、前後方向の一方側へ突出する突出部を昇降体の上端側に備え、アームの基端側は、突出部の上面側に配置され、突出部に回動可能に連結され、突出部の左右方向の幅は、昇降体の左右方向の幅よりも狭くなっており、筐体の上端側には、昇降体が下降しているときに突出部が配置される切欠き部が形成されていることを特徴とする。

本発明の産業用ロボットでは、昇降体は、前後方向の一方側へ突出する突出部を昇降体の上端側に備え、アームの基端側は、突出部の上面側に配置され、突出部に回動可能に連結されている。そのため、本発明では、たとえば、ＥＦＥＭの筐体の内部の側面にアームの基端側が隣接するように産業用ロボットがＥＦＥＭの筐体の内部に配置されても、突出部の下側の空間を利用して、アームの基端側が隣接するＥＦＥＭの筐体の内部の側面に沿って配管や配線を引き回すことが可能になる。したがって、本発明では、ＥＦＥＭ等の筐体の内部の側面にアームの基端側が隣接するように産業用ロボットが配置されても、ＥＦＥＭ等の筐体の内部での配管や配線の引き回しの自由度を高めることが可能になる。

本発明において、昇降体は、昇降体の下降時に筐体に収容されるフレーム部と、突出部が形成される上端側フレーム部とを備え、フレーム部と上端側フレーム部とは別体で形成され、互いに固定されていることが好ましい。このように構成すると、共通のフレーム部に対して、突出部の突出量の異なる複数種類の上端側フレーム部を固定することが可能になる。したがって、昇降体の全体を変更しなくても、上端側フレーム部を交換することで、昇降体の突出部の突出量を変更することが可能になる。

本発明において、たとえば、筐体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成されている。

本発明において、本体部は、昇降体を昇降させる昇降機構を備え、昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され昇降体の下降時に筐体に収容されるフレーム部を備え、昇降機構は、上下方向から見たときに、フレーム部と重なるように筐体に収容されていることが好ましい。このように構成すると、昇降機構が前後方向においてフレーム部とずれた状態で筐体に収容されている場合と比較して、前後方向における筐体の幅を狭くすることが可能になる。その結果、本体部を薄型化することが可能になる。

本発明において、本体部は、ガイドレールとガイドレールに係合するガイドブロックとを有し昇降体を上下方向へ案内するガイド機構を備え、昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され昇降体の下降時に筐体に収容されるフレーム部を備え、ガイドレールおよびガイドブロックは、左右方向におけるフレーム部の両外側に配置されるとともに筐体の内部に収容されていることが好ましい。このように構成すると、フレーム部の左側に配置されるガイドレールおよびガイドブロックと、フレーム部の右側に配置されるガイドレールおよびガイドブロックとの距離を長くすることが可能になる。したがって、ガイド機構によって昇降体を上下方向へ円滑に案内することが可能になる。

以上のように、本発明では、ＥＦＥＭ等の筐体の内部の側面にアームの基端側が隣接するように産業用ロボットが配置されても、ＥＦＥＭ等の筐体の内部での配管や配線の引き回しの自由度を高めることが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図であり、（Ａ）は昇降体が下降している状態を示す図、（Ｂ）は昇降体が上昇している状態を示す図である。 図１に示す産業用ロボットの側面図である。 図１に示す産業用ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。 図２のＥ−Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図であり、（Ａ）は昇降体２０が下降している状態を示す図、（Ｂ）は昇降体２０が上昇している状態を示す図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１が使用される半導体製造システム９の概略平面図である。図４は、図２のＥ−Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。

本形態の産業用ロボット１は、搬送体対象物である半導体ウエハ２（図３参照）を搬送するための水平多関節ロボットである。この産業用ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７とを備えている。以下の説明では、産業用ロボット１を「ロボット１」とし、半導体ウエハ２を「ウエハ２」とする。また、以下の説明では、上下方向に直交する図１等のＸ方向を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する図１等のＹ方向を「前後方向」とするとともに、Ｘ１方向側を「右」側、Ｘ２方向側を「左」側、Ｙ１方向側を「前」側、Ｙ２方向側を「後（後ろ）」側とする。

図３に示すように、ロボット１は、半導体製造システム９に組み込まれて使用される。この半導体製造システム９は、ＥＦＥＭ１０と、ウエハ２に対して所定の処理を行う半導体ウエハ処理装置１１とを備えている。ＥＦＥＭ１０は、半導体ウエハ処理装置１１の前側に配置されている。ロボット１は、ＥＦＥＭ１０の一部を構成している。また、ＥＦＥＭ１０は、ＦＯＵＰ１２を開閉する複数のロードポート１３と、ロボット１が収容される筺体１４とを備えている。筺体１４は、左右方向に細長い直方体の箱状に形成されている。ロードポート１３は、筺体１４の前側に配置されている。ロボット１は、筐体１４の内部の前側面１４ａにアーム６の基端側が隣接するように筐体１４の内部に配置されており、ＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間でウエハ２を搬送する。

アーム６は、基端側が本体部７に回動可能に連結される第１アーム部１６と、第１アーム部１６の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１７と、第２アーム部１７の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部１８とから構成されている。第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８は、中空状に形成されている。本体部７と第１アーム部１６と第２アーム部１７と第３アーム部１８とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。

ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド４、５の基端側部分は、第３アーム部１８の先端側に回動可能に連結されている。また、ハンド４、５は、上下方向で重なるように配置されている。具体的には、ハンド４が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。また、ハンド４、５は、第３アーム部１８よりも上側に配置されている。なお、図３では、ハンド５の図示を省略している。

本体部７は、アーム６の基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体２０と、昇降体２０を昇降可能に保持する筺体２１と、筺体２１に対して昇降体２０を昇降させる昇降機構２２（図４参照）と、昇降体２０を上下方向へ案内するガイド機構２３（図４参照）とを備えている。

筺体２１は、扁平な略直方体の箱状に形成されており、上下方向から見たときの筺体２１の形状は、左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となっている。具体的には、上下方向から見たときの筺体２１の形状は、左右方向に細長い略長方形状となっている。筺体２１の前面および後面は、前後方向に直交する平面となっており、筺体２１の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっている。また、筺体２１の上面および底面は、上下方向に直交する平面となっている。

昇降体２０は、扁平な略直方体に形成されるフレーム部２５と、フレーム部２５の上端側に固定される上端側フレーム部２６とを備えている。フレーム部２５と上端側フレーム部２６とは別体で形成され、互いに固定されている。具体的には、フレーム部２５と上端側フレーム部２６とは、図示を省略するネジによって互いに固定されている。

フレーム部２５は、底面が開口する箱状に形成されており、上下方向から見たときのフレーム部２５の形状は左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となっている。具体的には、上下方向から見たときのフレーム部２５の形状は、左右方向に細長い略長方形状となっている。フレーム部２５の前面および後面は、前後方向に直交する平面となっており、フレーム部２５の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっている。また、フレーム部２５の上面は、上下方向に直交する平面となっている。

上端側フレーム部２６は、略直方体状に形成されている。この上端側フレーム部２６は、上下方向から見たときの形状が前後方向を長手方向とし左右方向を短手方向とする略長方形状となるように形成されている。また、上端側フレーム部２６は、中空状に形成されている。上端側フレーム部２６の左右方向の幅はフレーム部２５の左右方向の幅よりも狭くなっている。上端側フレーム部２６は、フレーム部２５に固定される被固定部２６ａを備えている。被固定部２６ａは、フレーム部２５の上端側の左右方向の中心に形成される凹部の中に収容されている。

また、上端側フレーム部２６は、被固定部２６ａの前端に繋がるとともにフレーム部２５の前面から前側へ突出する突出部２６ｂを備えている。すなわち、昇降体２０は、前側に突出する突出部２６ｂを昇降体２０の上端側に備えるとともに、突出部２６ｂが形成される上端側フレーム部２６を備えている。アーム６の基端側は、突出部２６ｂの上面側に配置されており、突出部２６ｂに回動可能に連結されている。すなわち、第１アーム部１６の基端側は、突出部２６ｂの上面側に配置されており、突出部２６ｂに回動可能に連結されている。

昇降体２０の下降時には、フレーム部２５は筐体２１に収容されている。具体的には、昇降体２０が下限位置まで下降しているとき（図１（Ａ）に示す状態のとき）には、フレーム部２５の全体が筐体２１に収容されている。すなわち、昇降体２０が下限位置まで下降しているときには、昇降体２０の、突出部２６ｂ以外の部分が筐体２１に収容されている。また、昇降体２０が下限位置から上昇しているとき（図１（Ｂ）に示す状態のとき）には、フレーム部２５の下端側部分が筐体２１に収容されている。すなわち、昇降体２０が下限位置から上昇しているときには、昇降体２０の下端側部分が筐体２１に収容されている。筐体２１の前面部の上端側には、昇降体２０が下降しているときに突出部２６ｂが配置される切欠き部２１ａ（図１（Ｂ）参照）が形成されている。なお、筐体２１の上面部には、昇降体２０の昇降時にフレーム部２５が通過する切欠き部が形成されている。

昇降機構２２は、筐体２１に収容されている。この昇降機構２２は、図４に示すように、モータ２８とボールネジ２９とを備えている。ボールネジ２９は、モータ２８の動力で回転するネジ軸３０と、ネジ軸３０に係合するナット３１とを備えている。モータ２８は、筐体２１に収容されており、筐体２１の下端側に固定されている。また、モータ２８は、左右方向における筐体２１の略中心位置に配置されている。ネジ軸３０は、ネジ軸３０の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、ネジ軸３０は、モータ２８よりも右側に配置されている。このネジ軸３０は、筐体２１に回転可能に保持されている。

ナット３１は、ナット保持部材３２に固定されている。ナット保持部材３２は、フレーム部２５の内部に固定されている。すなわち、ナット３１は、ナット保持部材３２を介してフレーム部２５の内部に固定されている。モータ２８の出力軸には、プーリ３３が固定され、ネジ軸３０の下端側には、プーリ３４が固定されている。プーリ３３とプーリ３４とには、ベルト３５が架け渡されている。図４に示すように、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、昇降体２０と重なるように筐体２１に収容されている。より具体的には、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、フレーム部２５と重なるように筐体２１に収容されている。

ガイド機構２３は、ガイドレール３８と、ガイドレール３８に係合するガイドブロック３９とを備えている。ガイドレール３８は、ガイドレール３８の長手方向と上下方向とが一致するように筐体２１の内部に固定されている。また、ガイドレール３８は、筐体２１の内部の左右の両端側に固定されている。ガイドブロック３９は、ブロック保持部材４０に固定されている。ブロック保持部材４０は、フレーム部２５の左右の両側面のそれぞれに固定されている。すなわち、ガイドブロック３９は、ブロック保持部材４０を介してフレーム部２５の左右の両側面に固定されており、ガイドレール３８およびガイドブロック３９は、左右方向におけるフレーム部２５の両外側に配置されている。また、ガイドレール３８およびガイドブロック３９は、筐体２１に収容されている。

本形態では、モータ２８が回転すると、昇降体２０は、ガイド機構２３に案内されながら筐体２１に対して上下動する。なお、フレーム部２５の内部には、ケーブルベア（登録商標）４２の一端側が固定され、筐体２１の内部には、ケーブルベア（登録商標）４２の他端側が固定されている。ケーブルベア（登録商標）４２は、モータ２８よりも左側に配置されている。

また、ロボット１は、第１アーム部１６および第２アーム部１７を回動させて第１アーム部１６と第２アーム部１７とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構４５（図２参照）と、第３アーム部１８を回動させる第３アーム部駆動機構（図示省略）と、ハンド４を回動させるハンド駆動機構（図示省略）と、ハンド５を回動させるハンド駆動機構（図示省略）とを備えている。

アーム部駆動機構４５は、図２に示すように、モータ４６と、モータ４６の動力を減速して第１アーム部１６に伝達するための減速機４７と、モータ４６の動力を減速して第２アーム部１７に伝達するための減速機４８とを備えている。モータ４６は、上端側フレーム部２６の被固定部２６ａの下面部に固定されている。具体的には、モータ４６は、モータ４６の出力軸が被固定部２６ａの内部に配置されるとともに、モータ４６の本体部がフレーム部２５の内部に配置されるように被固定部２６ａの下面部に固定されている。

減速機４７は、第１アーム部１６と突出部２６ｂとを繋ぐ関節部を構成している。この減速機４７は、中空減速機である。減速機４７のケース体は、突出部２６ｂの内部に固定されている。減速機４７の出力軸の上端面は、第１アーム部１６の基端側の下面に固定されている。減速機４７は、第１アーム部１６の基端側の下面に固定される出力軸の上端側の一部分を除いて突出部２６ｂの内部に収容されている。モータ４６と減速機４７とは、モータ４６の出力軸に固定されるプーリ４９と、減速機４７の入力軸に固定されるプーリ５０と、プーリ４９とプーリ５０とに架け渡されるベルト５１を介して連結されている。プーリ４９、５０およびベルト５１は、上端側フレーム部２６の内部に収容されている。

減速機４８は、第１アーム部１６と第２アーム部１７とを繋ぐ関節部を構成している。この減速機４８は、減速機４７と同様に、中空減速機である。モータ４６と減速機４８とは、プーリ４９、５０、ベルト５１および第１アーム部１６の内部に配置されるプーリ、ベルト（図示省略）等を介して連結されている。

第３アーム部駆動機構は、モータと、このモータの動力を減速して第３アーム部１８に伝達するための減速機とを備えている。第３アーム部駆動機構のモータは、第２アーム部１７の内部に配置され、第３アーム部駆動機構の減速機は、第２アーム部１７と第３アーム部１８とを繋ぐ関節部を構成している。ハンド駆動機構は、モータと、このモータの動力を減速してハンド４、５に伝達するための減速機とを備えている。ハンド駆動機構のモータおよび減速機は、第３アーム部１８の内部に配置されている。また、ハンド駆動機構の減速機とハンド４、５とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結されている。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、昇降体２０は、前側に突出する突出部２６ｂを昇降体２０の上端側に備えており、アーム６の基端側は、突出部２６ｂに回動可能に連結されている。そのため、本形態では、図３に示すように、ＥＦＥＭ１０の筐体１４の内部の前側面１４ａにアーム６の基端側が隣接するようにロボット１が筐体１４の内部に配置されても、突出部２６ｂの下側の空間（図２参照）を利用して、筐体１４の内部で引き回される配管や配線を筐体１４の前側面１４ａに沿って引き回すことが可能になる。したがって、本形態では、筐体１４の前側面１４ａにアーム６の基端側が隣接するようにロボット１が配置されても、筐体１４の内部での配管や配線の引き回しの自由度を高めることが可能になる。

本形態では、フレーム部２５と上端側フレーム部２６とは別体で形成され、互いに固定されている。そのため、本形態では、共通のフレーム部２５に対して、突出部２６ｂの突出量の異なる複数種類の上端側フレーム部２６を固定することが可能になる。したがって、本形態では、昇降体２０の全体を変更しなくても、上端側フレーム部２６およびベルト５１を交換することで、昇降体２０の突出部２６ｂの突出量を変更することが可能になる。

本形態では、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、筐体２１に収容されるフレーム部２５と重なるように筐体２１に収容されている。そのため、本形態では、昇降機構２２が前後方向においてフレーム部２５とずれた状態で筐体２１に収容されている場合と比較して、前後方向における筐体２１の幅を狭くすることが可能になり、その結果、本体部７を薄型化することが可能になる。

本形態では、フレーム部２５は、上下方向から見たときの形状が左右方向に細長い略長方形状となるように形成されており、ガイドレール３８およびガイドブロック３９は、左右方向におけるフレーム部２５の両外側に配置されている。そのため、本形態では、フレーム部２５の左側に配置されるガイドレール３８およびガイドブロック３９と、フレーム部２５の右側に配置されるガイドレール３８およびガイドブロック３９との距離を長くすることが可能になる。したがって、本形態では、ガイドレール３８とガイドブロック３９とによって昇降体２０を上下方向へ円滑に案内することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、突出部２６ｂは、フレーム部２５の前面から前側へ突出しているが、突出部２６ｂは、フレーム部２５の後面から後ろ側へ突出していても良い。この場合には、ＥＦＥＭ１０の筐体１４の内部の後側面にアーム６の基端側が隣接するようにロボット１が筐体１４の内部に配置される。また、上述した形態では、筺体２１およびフレーム部２５は、上下方向から見たときの形状が左右方向に細長い略長方形状となるように形成されているが、筺体２１およびフレーム部２５は、たとえば、上下方向から見たときの形状が正方形状、四角形以外の多角形状、あるいは、円形状となるように形成されても良い。

上述した形態では、フレーム部２５と上端側フレーム部２６とが別体で形成されて互いに固定されているが、フレーム部２５と上端側フレーム部２６とが一体で形成されても良い。すなわち、フレーム部２５に突出部２６ｂが直接、形成されていても良い。また、上述した形態では、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、筐体２１に収容されるフレーム部２５と重なるように筐体２１に収容されているが、昇降機構２２は、前後方向においてフレーム部２５とずれた状態で筐体２１に収容されても良いし、左右方向においてフレーム部２５とずれた状態で筐体２１に収容されても良い。

上述した形態では、昇降体２０が下限位置まで下降しているときに、フレーム部２５の全体が筐体２１に収容されているが、昇降体２０が下限位置まで下降しているときに、フレーム部２５の上端側部分が筐体２１の上面よりも上側へ突出していても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、本体部７を昇降させる（具体的には、筐体２１を昇降させる）昇降機構を備えていても良い。すなわち、特開２０１５−３６１８５号公報に開示された昇降機構と同様の昇降機構をロボット１が備えていても良い。

上述した形態では、第３アーム部１８の先端側に２個のハンド４、５が取り付けられているが、第３アーム部１８の先端側に１個のハンドが取り付けられても良い。また、上述した形態では、アーム６は、第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８の３個のアーム部によって構成されているが、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４、５ ハンド
６ アーム
７ 本体部
２０ 昇降体
２１ 筐体
２２ 昇降機構
２３ ガイド機構
２５ フレーム部
２６ 上端側フレーム部
２６ｂ 突出部
３８ ガイドレール
３９ ガイドブロック
Ｘ 左右方向
Ｙ 前後方向

Claims (5)

1. 搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、
   前記本体部は、前記アームの基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、前記昇降体を昇降可能に保持するとともに前記昇降体の少なくとも下端側の一部が収容される筐体とを備え、
   前記昇降体は、前後方向の一方側へ突出する突出部を前記昇降体の上端側に備え、
   前記アームの基端側は、前記突出部の上面側に配置され、前記突出部に回動可能に連結され、
   前記突出部の左右方向の幅は、前記昇降体の左右方向の幅よりも狭くなっており、
   前記筐体の上端側には、前記昇降体が下降しているときに前記突出部が配置される切欠き部が形成されていることを特徴とする産業用ロボット。
2. 前記昇降体は、前記昇降体の下降時に前記筐体に収容されるフレーム部と、前記突出部が形成される上端側フレーム部とを備え、
   前記フレーム部と前記上端側フレーム部とは別体で形成され、互いに固定されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
3. 前記筐体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
4. 前記本体部は、前記昇降体を昇降させる昇降機構を備え、
   前記昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され前記昇降体の下降時に前記筐体に収容されるフレーム部を備え、
   前記昇降機構は、上下方向から見たときに、前記フレーム部と重なるように前記筐体に収容されていることを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。
5. 前記本体部は、ガイドレールと前記ガイドレールに係合するガイドブロックとを有し前記昇降体を上下方向へ案内するガイド機構を備え、
   前記昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され前記昇降体の下降時に前記筐体に収容されるフレーム部を備え、
   前記ガイドレールおよび前記ガイドブロックは、左右方向における前記フレーム部の両外側に配置されるとともに前記筐体の内部に収容されていることを特徴とする請求項３または４記載の産業用ロボット。

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