JP7058117B2 - 旋回動作に追従する配線・配管の保護装置 - Google Patents
旋回動作に追従する配線・配管の保護装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7058117B2 JP7058117B2 JP2017248726A JP2017248726A JP7058117B2 JP 7058117 B2 JP7058117 B2 JP 7058117B2 JP 2017248726 A JP2017248726 A JP 2017248726A JP 2017248726 A JP2017248726 A JP 2017248726A JP 7058117 B2 JP7058117 B2 JP 7058117B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- piping
- fixing member
- swivel
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
12 本体(固定部)
14 カセット収納ステージ
16 アライメントステージ
18 粗研削ステージ
20 精研削ステージ
22 研磨ステージ
23 研磨布洗浄ステージ
24 ウエハ洗浄ステージ
26 仕切板
27 研磨布ドレッシングステージ
28 インデックステーブル
30、32、34、36 チャック
38 旋回動作部
38a 旋回軸線
38b 外周壁面
38A 固定ユニット
38B 旋回ユニット
40 基台
42 モータ
42a 壁面(固定ユニットの壁面)
44 保護壁板材
44a 壁面(固定ユニットの壁面)
46 旋回動作部
48 環状の空間
50 配線・配管群
50a 湾曲部
52 結束具(保護装置)
54A、54B コネクタ
56 第2の保護部材
58 第1の固定部材
58a 本体部
58b 水平部
58c 垂直部
60 第2の固定部材
60a 本体部
60b 水平部
60c 垂直部
62 連結部材
62a ボルト
62b ナット
64 クッション材
66 第1の保護部材
66a 窓孔
Claims (6)
- 旋回不能に配置された固定ユニットと、前記固定ユニットとの間に空間を設けて旋回可能に配置された旋回ユニットと、一端側を前記固定ユニットに連結し、他端側を前記旋回ユニットと一体に旋回可能に連結した可撓性を有する複数の配線・配管で構成された配線・配管群と、を備え、前記旋回ユニットの旋回時に前記配線・配管群を旋回追従移動可能にした配線・配管の保護装置であって、
前記配線・配管群は、前記複数の配線・配管を前記旋回ユニットの旋回軸線に沿って列状に配置して構成され、
前記配線・配管群の一面側に配置された第1の固定部材と、
前記配線・配管群を挟んで前記第1の固定部材と対向する他面側に配置され、前記第1の固定部材と連結固定されて前記複数の配線・配管を結束保持する第2の固定部材と、
側面から視て前記配線・配管群と重なる位置に矩形状の窓孔を設けて中抜き形状にして配置される第1の保護部材と、
を有する結束具を備える、ことを特徴とする旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。 - 前記第1の固定部材と前記第2の固定部材は、それぞれ上下両端に、内側へ向かって折曲された水平部と前記水平部から外側へ向かって折曲された垂直部とを一体に有し、
前記第1の固定部材の前記垂直部と前記第2の固定部材の前記垂直部は、互いに向き合わせて連結固定される、ことを特徴とする請求項1に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。 - 前記結束具は、前記配線・配管群と前記第1の固定部材、及び、前記配線・配管群と前記第2の固定部材の間に、それぞれクッション材を配置した、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
- 前記第1の保護部材に設けられた窓孔の上下のうち、少なくとも一方は、前記配線・配管群の上下端に当接して前記配線・配管群を支持する、ことを特徴とする請求項1、2又は3に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
- 前記配線・配管群が、前記固定ユニットと前記旋回ユニットとの間の前記空間内に、半径方向へ向かって重ねて複数収容されているとともに、各前記配線・配管群の間に屈曲可能な可撓性を有する板状の第2の保護部材を各々介装してなる、ことを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
- 前記旋回ユニットが半導体製造装置の複数のチャックテーブルを配置しているインデックステーブルである、ことを特徴とする請求項1、2、3、4又は5に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017248726A JP7058117B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 旋回動作に追従する配線・配管の保護装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017248726A JP7058117B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 旋回動作に追従する配線・配管の保護装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019111630A JP2019111630A (ja) | 2019-07-11 |
JP7058117B2 true JP7058117B2 (ja) | 2022-04-21 |
Family
ID=67223487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017248726A Active JP7058117B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 旋回動作に追従する配線・配管の保護装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7058117B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4874138A (en) | 1987-04-22 | 1989-10-17 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschften E.V. | Rotary transmission device for a plurality of cables between two restrictedly rotatable structures |
JP2007229904A (ja) | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | ターンテーブルを有する加工装置 |
JP2010142912A (ja) | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Jtekt Corp | 配線ガイド機構 |
JP2010538594A (ja) | 2007-09-03 | 2010-12-09 | カーベルシュレップ ゲーエムベーハー | 導線、ホース等を案内する装置 |
JP5069381B1 (ja) | 2012-04-24 | 2012-11-07 | グリーンリバー株式会社 | 支柱自立用固定三脚及び支柱の設置方法 |
JP2013035113A (ja) | 2011-08-11 | 2013-02-21 | Disco Corp | 可動配線配管接続装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS575908Y2 (ja) * | 1977-03-03 | 1982-02-03 | ||
JPS6364488U (ja) * | 1986-10-16 | 1988-04-28 | ||
JPH0569381A (ja) * | 1991-09-17 | 1993-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 旋回ケーブルベア装置 |
-
2017
- 2017-12-26 JP JP2017248726A patent/JP7058117B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4874138A (en) | 1987-04-22 | 1989-10-17 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschften E.V. | Rotary transmission device for a plurality of cables between two restrictedly rotatable structures |
JP2007229904A (ja) | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | ターンテーブルを有する加工装置 |
JP2010538594A (ja) | 2007-09-03 | 2010-12-09 | カーベルシュレップ ゲーエムベーハー | 導線、ホース等を案内する装置 |
JP2010142912A (ja) | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Jtekt Corp | 配線ガイド機構 |
JP2013035113A (ja) | 2011-08-11 | 2013-02-21 | Disco Corp | 可動配線配管接続装置 |
JP5069381B1 (ja) | 2012-04-24 | 2012-11-07 | グリーンリバー株式会社 | 支柱自立用固定三脚及び支柱の設置方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019111630A (ja) | 2019-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007229904A (ja) | ターンテーブルを有する加工装置 | |
JP5715198B2 (ja) | ロボット用駆動ケーブルの処理構造体及びそれを具備するロボット装置 | |
TWI437180B (zh) | A linear shaft cable handling mechanism and a substrate handling apparatus using the same | |
JP5990010B2 (ja) | 研磨装置 | |
JP6511939B2 (ja) | ロボット | |
TW200529996A (en) | Cable processor of robot | |
TWI251288B (en) | Device for handling flat panels in a vacuum | |
JP7058117B2 (ja) | 旋回動作に追従する配線・配管の保護装置 | |
CN108883539A (zh) | 机械臂机构及旋转关节装置 | |
US7430939B2 (en) | Laying device for laying line element | |
CN115076518A (zh) | 一种柔性管道机器人 | |
JP2016097463A (ja) | 加工装置 | |
JPH07107650A (ja) | 旋回動作部へのケーブル・ホース類の取付け構造 | |
KR102054922B1 (ko) | 랩 제거 장치 | |
US4468070A (en) | Swiveling apparatus having installed electric cables | |
JP7104233B2 (ja) | 多関節型支持部材を含むケーブル | |
JP6420105B2 (ja) | 加工装置 | |
US20110280702A1 (en) | Integrated connector assembly for a rotary apparatus | |
US6349807B1 (en) | Method and apparatus for inhibiting tangling of cables | |
JP5814040B2 (ja) | 可動配線配管接続装置 | |
WO2021181919A1 (ja) | 搬送システム | |
JP2018103319A (ja) | 伝達線カバーアセンブリ及び加工装置 | |
JP6028833B2 (ja) | ダイシング装置の吸着保持装置 | |
CN105143749B (zh) | 机械部件的保护装置 | |
JP3630370B2 (ja) | インデックス装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201026 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220329 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220411 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7058117 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |