JPS5953137A - 精密機械における回転軸への通路接続装置 - Google Patents

精密機械における回転軸への通路接続装置

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JPS5953137A
JPS5953137A JP16055382A JP16055382A JPS5953137A JP S5953137 A JPS5953137 A JP S5953137A JP 16055382 A JP16055382 A JP 16055382A JP 16055382 A JP16055382 A JP 16055382A JP S5953137 A JPS5953137 A JP S5953137A
Authority
JP
Japan
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rotating shaft
connecting cylinder
hole
connecting body
suction
Prior art date
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Pending
Application number
JP16055382A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Miwa
祐司 三輪
Yu Kawanabe
川那辺 祐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Brother Industries Ltd filed Critical Brother Industries Ltd
Priority to JP16055382A priority Critical patent/JPS5953137A/ja
Publication of JPS5953137A publication Critical patent/JPS5953137A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25BTOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/005Vacuum work holders
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/0009Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts
    • B23Q1/0018Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts comprising hydraulic means
    • B23Q1/0027Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts comprising hydraulic means between moving parts between which an uninterrupted energy-transfer connection is maintained
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/50Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/52Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
    • B23Q1/522Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair which is perpendicular to the working surface

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Turning (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は貫通孔を有する回転軸に対し該貫通孔に通路を
気密に接続する精密機械における回転軸への通路接続装
置に関する。
〔従来技術〕
例えばコンピュータの記憶装置に用いられるフロッピー
ディスクは磁性材製の円盤を高速回転させつつバイトで
切削するという切削加工により表面仕上げを行なう。こ
の場合、従来より被加工物たるフロッピーディスクを高
速回転させる構造としては、軸受装置に回転自在に支承
した回転軸に貫通孔を形成し、該回転軸の一端部に貫通
孔に連通して所謂真空チャックを設けると共に、回転軸
の他端部に真空ポンプに連結した接続体を例えば0リン
グを介して気密且つ回転可能に接続し、もってフロッピ
ーディスクを真空チャックに吸着保持させると同時にこ
れを回転軸と共に高速回転させるようにしている。
ところで、近時前記回転軸を支承する軸受装置として、
空気軸受を利用することが考えられている。このように
すれば、軸受抵抗を極めて小さくし得る上に回転軸の振
動が生じにくいから、高速回転及び高精度を要求される
この種の装置にとって頗る好都合である。しかしながら
、回転軸を真空ポンプ側に接続する接続体には固体相互
の摺動を避は得ない0リング等を用いていたため、回転
抵抗が大きくしかも振動等を生じ易く、結局未だ十分な
高速且つ高精度の加工をなし得ないという開門があった
〔目的〕
そこで、本発明の目的は、回転軸を小さな軸受抵抗にて
且つ振動を生じさせることなく支承できると共に、回転
軸に形成、した貫通孔に通路を小さな回転抵抗且つ振動
を生じさせることなく慨密に接続でき、もって回転軸の
高速且つ高精度回転を図ることができる精密機械におけ
る回転軸への通路接続装置を提供するにある。
〔実施例〕
(3) 以下本発明の一実施例をフロッピーディスク加工用の旋
盤に適用した一実施例につき図面を参照して説明する。
1は床面2に緩衝体3を介して設置したベッド、4はベ
ッド1上に固定したフレーム、5は回転軸で、この回転
軸5は左端部に磁性材料製の接続筒6を同軸に固定して
成ると共に、一端よりflに端に向って貫通孔7が形成
されている。
8及び9はフレーム4上の左右に設けた空気軸受で、こ
れらは夫々軸受孔8n、9aに回転軸5を徽細な隙間を
存して挿通させると共に、その隙間に図示しないコンプ
レッサから給気口10を介して圧縮空気を送入し、もっ
て回転軸5を非接触状態で回転可能に支持している。寸
だ、左側の空気軸受8には回転軸5に鍔状に設けたスラ
スト円板11を非接触状態で受けるスラスト軸受部12
を形成、している。13は真空チャックにより構成した
吸着保持部で、これは回転軸5の左端部に固定し上基盤
14とこの基盤14の円形凹部14aに嵌合固定した吸
着盤15とから成、る。詳細には第5図に示す如く、基
盤14の円形凹部14a底部(4) に前記回転l1IIII5の貫通孔7に連通ずる吸気溝
16を放射状に形成し、且つ吸着盤15にはこの吸気溝
16に連通ずるようにして多数の吸質孔17を影線して
おり、もって後述する真空ポンプにより回転軸5の貫通
孔7を介して排気することによって吸着盤15に被加工
物たるフロッピーディスク(図示せず)を吸着保持する
ものである。18は回転軸5の左端寄り部位に設けた従
動プーリ、19.20は中間プーリで、この中間プーリ
19゜20は共に空気軸受21を介してフレーム4に回
転可能に支持した中間軸22に嵌着されている。
23はスピンドルモータで、こねは前記ベッド1とは別
体の支持台24上に固定されている。そして、このスピ
ンドルモータ23の駆動プーリ25と前記一方の中間プ
ーリ20との間及び他方の中間プーリ19と回転軸5の
従動プーリ18との間には夫々柔軟性を有するベル)2
6.27を張設し、もってスピンドルモータ23により
回転軸5を高速で回転駆動し得るようにしている“。尚
、このようにスピンドルモータ23の支持台24をベッ
ド1とは別体に設け、中間軸22を空気軸受21により
゛支承し、且つベルト26.27を柔軟性あるものにて
構成したのは、スピンドルモータ23の振動が回転軸5
に極力伝わらないようにするためである。さて、28は
右端面を開放した容器状の接続体であり、とれは内部に
前記接続筒6の左半部を位置させるようにして支持アー
ム29を介してフレーム4に固定されており、左端面部
に内外を連通させるよう形成した連通孔30には空電吸
引装置に相当する真空ポンプ(図示せず)の吸気ホース
31を連結している。32は環状の永久磁石で、これは
接続体28内に接続筒6を包囲するよう配設され、左端
側及び右端側が互いに異極となるよう着磁されている。
33.34は環状のポールピースで、これらは永久磁石
32の左端面部及び右端面部に夫々後して接続体28内
に固着され、共に内周面を斜面状に形成することにより
内周側を先鋭に構成して接続筒6の外周を僅かな隙間を
存して包囲するようにしている。35は磁性流体で、こ
れは一方のポールピース33から接続筒6内を通って他
方のポールピース34へ至る永久磁石32の磁束に吸引
されて各ポールピース33,34の先鋭部分と接続筒6
との間に吸着されており、これにより接続筒5内を連通
孔ろ0側とブ連通孔30側とを気密にシールしている。
尚、36はベッド1上に配設されモータ37により移動
される横送り台、38は横送り1台36上に配設されモ
ータ39により移動される縦送り台で、この縦送り台3
8にはバイトを固定した刃物台(いずれも図示せず)を
固定し、もってこのバイトにより吸着保持部16に吸着
保持せしめたフロッピーディスクを切削加工するように
している。
而して、上記構成において、真空ポンプを作動させると
、接続体28の連通孔609回転軸5の貫通孔7.吸着
保持部13の吸気溝16及び吸気孔17から排慨される
ため、フロッピーディスクを吸着保持部15の吸着盤1
5に宛かうと該フロッピーディスクが吸着保持されるよ
うになる、そして、図示しないコンプレッサにより空気
軸受8゜9.21に送気しつつスピンド〃モータ23を
回(7) 転させると、回転軸5が空気軸受8.9に支承されて高
速で回転する。そこで、横送り台36及び縦送り台68
を所定位置に移動させてバイトをフロッピーディスクに
宛がって切削を行う。このとき、回転軸5は空気軸受8
,9により無接触状態で支承されているから、鋼球やコ
ロ等の転動体を用いるものに比べて軸受抵抗が極めて小
さく、しかも振動が少なく回転軸50回転精変が頗る高
い。
一方、回転軸5の接続筒6と接続体28のポールピース
33.34との間は磁性流体35によりシールされてい
るから、0リング等の固体シール材を用いるものに比べ
て回転抵抗が小さい上に振動がほとんど発生しない。従
って、回転軸5全体の回転抵抗を小さく抑え得て高速回
転が可能であり、且つ回転軸5の振動を抑え得て高精度
回転が可能となり、もってフロッピーディスクを高速且
つ高精度で加工することができる。
尚、本実施例では、吸着保持部13の吸着盤15には無
孔質材に多数の吸気孔17を形成、するようにしたが、
吸着盤としては例えば焼結金属等の(8) 多孔質材により溝戊してもよい。その他、本発明は上記
し且つ図面に示す実施例に限定されるものではなく要旨
を逸脱しない範囲で種々変更して実施することができる
〔効果〕 本発明は以上述べたように、回転軸を小さな軸受抵抗に
て且つ振動を生じさせることなく支承できると共に、回
転軸に形成した貫通孔に通路を小さな回転抵抗にて且つ
振動を生じさせることなく気密に接続でき、もって回転
軸の高速回転及び高精度回転を図り得る精密機械におけ
る回転軸への通路接続装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示し、第1図は一部破断して
示す全体の縦断側面図、第2図は回転軸支持部の拡大縦
断側面図、第5図は吸着保持部の一部破断正面図である
。 図中、4はフレーム、5は回転軸、7は貫通孔、8.9
は空気軸受、13は吸着保持部、23はスピンドルモー
タ、28は接続体、3oは連通孔、32は永久磁石、3
5は磁性流体である。 出願人   ブラザー工業株式会社

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 磁性材料からなりフレーム(4)に対して非接触
    状態で回転可能に支持され一端より他端に向って貫通孔
    (7)が設けられた回転軸(5)と、その回転軸(5)
    の一端に設けられ前記貫通孔(7)と接続されて被加工
    物を吸引力により吸着保持するための県着保持部(13
    )と、前記回転軸(5)の他端にそれと非接触状態で位
    置するように前Pフレーム(4)に支持されて配設され
    内部に一端が前記貫通孔(7)と連通され他端が空気9
    引装置に接続された連通孔(3o)が設けられた接続体
    (28)と、その接続体(28)と前記回転軸(5)と
    の少なくとも一方に設けられた永久磁石(32)と、そ
    の永久磁石(32)により励磁されて前記接続体(28
    )と前記回転軸(5)との闇に介在された磁性流体(3
    5)とを備えてなる精密機械(1) における回転軸への通路接続装置。
JP16055382A 1982-09-13 1982-09-13 精密機械における回転軸への通路接続装置 Pending JPS5953137A (ja)

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JPS5953137A true JPS5953137A (ja) 1984-03-27

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ID=15717475

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JP16055382A Pending JPS5953137A (ja) 1982-09-13 1982-09-13 精密機械における回転軸への通路接続装置

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007010057A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Ntn Corp 静圧気体軸受スピンドル
CN102744618A (zh) * 2012-07-10 2012-10-24 宇瀚光电科技(苏州)有限公司 一种cnc通用治具
CN102886700A (zh) * 2012-03-05 2013-01-23 陈江源 仪表车床悬持式气动夹持机构
CN104325157A (zh) * 2014-10-13 2015-02-04 漳州东刚精密机械有限公司 一种主轴箱
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007010057A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Ntn Corp 静圧気体軸受スピンドル
JP4657029B2 (ja) * 2005-06-30 2011-03-23 Ntn株式会社 静圧気体軸受スピンドル
CN102886700A (zh) * 2012-03-05 2013-01-23 陈江源 仪表车床悬持式气动夹持机构
CN102886700B (zh) * 2012-03-05 2014-12-17 陈江源 仪表车床悬持式气动夹持机构
CN102744618A (zh) * 2012-07-10 2012-10-24 宇瀚光电科技(苏州)有限公司 一种cnc通用治具
CN104325157A (zh) * 2014-10-13 2015-02-04 漳州东刚精密机械有限公司 一种主轴箱
CN104325157B (zh) * 2014-10-13 2017-02-01 漳州东刚精密机械有限公司 一种主轴箱
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