JP2000015535A - 被加工物吸着保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 筒状主軸の振動を抑制して被加工物の回転精
度を高めることができ、それだけ加工精度を向上させる
ことができる。 【解決手段】 筒状主軸２の内穴２ａを真空チャック３
の吸着穴４ｂに接続される吸込路１０に形成し、機体１
に支持部材６を配設し、支持部材に真空源に接続される
接続口８及び接続路９を形成した継手部材７を配設する
と共に継手部材を筒状主軸の内穴としての吸込路にシー
ル材１１をもって気密嵌挿してなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は例えばパソコン用磁
気ディスク、光デイスク、光磁気デイスク等の各種の情
報記録媒体としての円盤状のディスク素材の旋削加工機
械等に用いられる被加工物吸着保持装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来この種の被加工物吸着保持装置とし
て、図７に示す如く、旋盤等の機体ａに筒状主軸ｂを回
転自在に配設し、筒状主軸ｂの前部に被加工物を真空吸
着可能な吸着穴ｃをもつ真空チャックｄを配設し、筒状
主軸ｂの内穴ｅに筒状主軸ｂの後部から前部に至る長さ
の吸込筒ｆを遊嵌挿し、吸込筒ｆの前部を真空チャック
ｄに挿通し、吸込筒ｆの後部に吸込筒ｆの回転を許容す
ると共に真空ポンプ等の真空源に接続される吸込ホース
ｇを接続可能な回転継手ｈを取付け、吸込筒ｆの内穴を
吸込路ｉに形成し、しかして、図外の真空源と回転継手
ｈとを吸込ホースｇにより接続し、吸込筒ｆの吸込路ｉ
を介して真空チャックｄの吸着穴ｃに負圧吸着作用を生
じさせ、真空チャックｄに被加工物Ｗを吸着させ、筒状
主軸ｂを図外の駆動源により回転させると共に被加工物
Ｗを図外の刃物により旋削加工等を行うものが知られて
いる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
構造の場合、筒状主軸の内穴に筒状主軸の後部から前部
に至る長さの長い吸込筒が遊嵌挿され、筒状主軸の駆動
回転により吸込筒が連れ回り接触回転し、筒状主軸の高
速回転により吸込筒の半径方向の振動現象が生起され、
この吸込筒の振動が筒状主軸の回転精度に影響を及ぼす
ことがあり、又、回転継手を用いた場合には、回転継手
中のメカニカルなベアリング軸受の存在により筒状主軸
の高速回転に伴うベアリング摩耗によっても吸込筒の振
動現象が生起されることがあり、それだけ加工精度を低
下させることがあると共にトラブル発生の要因となるこ
とがあるという不都合を有している。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような不都
合を解決することを目的とするもので、本発明のうち、
請求項１記載の発明は、機体に筒状主軸を回転自在に配
設し、該筒状主軸の前部に被加工物を真空吸着可能な吸
着穴をもつ真空チャックを配設し、該筒状主軸の後部に
該真空チャックに真空源を接続する継手機構を配設して
なり、上記筒状主軸の内穴を上記真空チャックの吸着穴
に接続される吸込路に形成し、上記機体に支持部材を配
設し、該支持部材に上記真空源に接続される接続口及び
接続路を形成した継手部材を配設すると共に該継手部材
を筒状主軸の内穴としての吸込路にシール材をもって気
密嵌挿して構成したことを特徴とする被加工物吸着保持
装置にある。

【０００５】又、請求項２記載の発明にあっては、上記
継手部材に上記接続路及び吸込路を存して筒状主軸の前
部に臨む吹出筒を貫通配設し、該吹出筒に流体源に接続
される接続口を形成すると共に該吹出筒の内穴を吹出路
に形成してなることを特徴とするものであり、又、請求
項３記載の発明は、上記継手部材を筒状主軸の吸込路に
Ｏリングからなるシール材をもって気密嵌挿して構成し
たことを特徴とするものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】図１乃至図６は本発明を旋削加工
機械に適用した実施の形態例を示し、図１乃至図４は第
一形態例、図５、図６は第二形態例である。

【０００７】図１乃至図４の第一形態例において、１は
機体であって、機体１に筒状主軸２を回転自在に横設
し、図示省略の駆動モータにより高速回転させるように
構成している。

【０００８】３は真空チャックであって、この場合、上
記筒状主軸２の前部にチャック体４を取り付け、チャッ
ク体４の前面を被加工物Ｗを真空吸着可能な吸着面４ａ
に形成すると共に吸着面４ａに臨む複数個の吸着穴４ｂ
を形成し、これにより真空源の負圧作用により被加工物
Ｗを吸着面４ａに吸着すると共に負圧解除により被加工
物Ｗを吸着面から釈放するように構成している。

【０００９】５は継手機構であって、上記筒状主軸２の
後部に設けられ、この場合、機体１の後部に支持部材６
を突設し、支持部材６の取付部６ａに筒状の継手部材７
を取付固定し、継手部材７の後部に図示省略の真空ポン
プ等の真空源に接続される吸込ホースを接続可能な接続
口８を形成すると共に継手部材７に内穴としての接続路
９を形成し、かつ、上記筒状主軸２の内穴を上記真空チ
ャック３の吸着穴４ｂに連通接続される吸込路１０に形
成し、この吸込路１０の後部に継手部材７の前部をシー
ル材１１をもって気密に嵌挿して構成している。

【００１０】この場合、上記シール材１１として複数個
のＯリングが用いられ、継手部材７の前部外周面に複数
個の嵌着溝１２を形成し、この複数個の嵌着溝１２にシ
ール材１１としてのＯリングを嵌着し、筒状主軸２の吸
込路１０にＯリングからなるシール材をもって気密嵌挿
して構成している。

【００１１】この実施の第一形態例は上記構成であるか
ら、図外の真空源と真空チャック３の吸着穴４ｂとが継
手機構５により接続され、排気Ｋにより被加工物Ｗは吸
着面４ａに吸着され、筒状主軸２を図外の駆動源により
回転させると共に被加工物Ｗを図外の刃物により旋削加
工等を行うことになり、この際、上記筒状主軸２の内穴
を真空チャック３の吸着穴４ｂに接続される吸込路１０
に形成し、機体１に支持部材６を配設し、支持部材６に
真空源に接続される接続口８及び接続路９を形成した継
手部材７を配設すると共に継手部材７を筒状主軸２の内
穴としての吸込路１０にシール材１１をもって気密嵌挿
しているので、真空源による排気Ｋは真空チャック３の
吸着穴４ｂから筒状主軸２の内穴としての吸込路１０を
経て排気されることになり、しかも、継手部材７を筒状
主軸２の内穴としての吸込路１０にシール材１１をもっ
て気密嵌挿しているので、排気Ｋによる外部からの空気
吸込を防ぐことができ、従って、従来構造の吸込筒ｆを
不要とすることができ、吸込筒ｆの存在による筒状主軸
２の振動現象を無くすことができ、筒状主軸２の振動を
抑制して被加工物Ｗの回転精度を高めることができ、そ
れだけ加工精度を向上させることができる。

【００１２】又、この場合、上記継手部材７を筒状主軸
２の吸込路１０にＯリングからなるシール材１１をもっ
て気密嵌挿しているので、気密構造を簡素化することが
できると共に製作コストを低減することができる。

【００１３】図５乃至図６の第二形態例は別例構造を示
し、上記第一形態例と同一態様部分には同符号を付して
説明すると、上記継手部材７に上記接続路９及び吸込路
１０を存して筒状主軸２の前部に臨む吹出筒１３を貫通
配置し、この吹出筒１３に流体源に接続される接続口１
４を形成すると共に吹出筒１３の内穴を吹出路１５に形
成してなり、この場合、支持部材６に筒状の継手部材７
を取付固定し、継手部材７の後部に接続部材１６を取付
け、接続部材１６に図示省略の圧縮空気源や潤滑油等の
流体源に接続される吹出ホースを接続可能な接続口１６
ａを形成すると共に継手部材７に内穴としての接続路９
を形成し、接続路９の後部に駒筒１７を回転自在に軸受
すると共に駒筒１７を接続路９内にシール材１８として
のＯリングをもって気密に嵌挿し、継手部材７の側部に
接続路９に連通する接続口８を形成し、取付部６ａに接
続路９に連通すると共に図示省略の真空ポンプ等の真空
源に接続される吸込ホースを接続可能な連通口１９を形
成して構成している。

【００１４】この実施の第二形態例は上記構成であるか
ら、上記第一形態例と同様な作用効果を得ることができ
ると共に吹出筒１３に圧縮空気源や潤滑油供給源等の流
体源に接続することにより筒状主軸２を介しての真空チ
ャック３側への流体Ｍの給送により切粉吹き飛ばし用の
エアーブロー作用や潤滑油吹き付け作用を得ることもで
きる。

【００１５】尚、本発明は上記実施の形態例に限られる
ものではなく、筒状主軸２、真空チャック３、継手部材
７、接続口８、接続路９等の構造や形態等は適宜変更し
て設計される。

【００１６】

【発明の効果】本発明は上述の如く、請求項１記載の発
明にあっては、筒状主軸の内穴を真空チャックの吸着穴
に接続される吸込路に形成し、機体に支持部材を配設
し、支持部材に真空源に接続される接続口及び接続路を
形成した継手部材を配設すると共に継手部材を筒状主軸
の内穴としての吸込路にシール材をもって気密嵌挿して
いるので、真空源による排気は真空チャックの吸着穴か
ら筒状主軸の内穴としての吸込路を経て排気されること
になり、しかも、継手部材を筒状主軸の内穴としての吸
込路にシール材をもって気密嵌挿しているので、排気に
よる外部からの空気吸込を防ぐことができ、従って、従
来構造の吸込筒を不要とすることができ、吸込筒の存在
による筒状主軸の振動現象を抑制することができ、筒状
主軸の振動を抑制して被加工物の回転精度を高めること
ができ、それだけ加工精度を向上させることができる。

【００１７】又、請求項２記載の発明にあっては、継手
部材に上記接続路及び吸込路を存して筒状主軸の前部に
臨む吹出筒を貫通配設し、該吹出筒に流体源に接続され
る接続口を形成すると共に該吹出筒の内穴を吹出路に形
成しているので、吹出筒に圧縮空気源や潤滑油供給源等
の流体源に接続することにより筒状主軸を介しての真空
チャック側への流体の給送により切粉吹き飛ばし用のエ
アーブロー作用や潤滑油吹き付け作用を得ることもで
き、又、請求項３記載の発明にあっては、上記継手部材
を筒状主軸の吸込路にＯリングからなるシール材をもっ
て気密嵌挿しているので、気密構造を簡素化することが
できると共に製作コストを低減することができる。

【００１８】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の第一形態例の全体説明断面図で
ある。

【図２】本発明の実施の第一形態例の部分断面図であ
る。

【図３】本発明の実施の第一形態例の部分拡大断面図で
ある。

【図４】本発明の実施の第一形態例の横断面図である。

【図５】本発明の実施の第二形態例の部分断面図であ
る。

【図６】本発明の実施の第二形態例の横断面図である。

【図７】従来構造の全体説明断面図である。

【符号の説明】

１ 機体 ２ 筒状主軸 ３ 真空チャック ４ａ 吸着面 ４ｂ 吸着穴 ５ 継手機構 ６ 支持部材 ７ 継手部材 ８ 接続口 ９ 接続路 １０ 吸込路 １１ シール材 １３ 吹出筒 １４ 接続口 １５ 吹出路 １６ 接続部材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 機体に筒状主軸を回転自在に配設し、該
   筒状主軸の前部に被加工物を真空吸着可能な吸着穴をも
   つ真空チャックを配設し、該筒状主軸の後部に該真空チ
   ャックに真空源を接続する継手機構を配設してなり、上
   記筒状主軸の内穴を上記真空チャックの吸着穴に接続さ
   れる吸込路に形成し、上記機体に支持部材を配設し、該
   支持部材に上記真空源に接続される接続口及び接続路を
   形成した継手部材を配設すると共に該継手部材を筒状主
   軸の内穴としての吸込路にシール材をもって気密嵌挿し
   て構成したことを特徴とする被加工物吸着保持装置。
2. 【請求項２】 上記継手部材に上記接続路及び吸込路を
   存して筒状主軸の前部に臨む吹出筒を貫通配設し、該吹
   出筒に流体源に接続される接続口を形成すると共に該吹
   出筒の内穴を吹出路に形成してなることを特徴とする請
   求項１記載の被加工物吸着保持装置。
3. 【請求項３】 上記継手部材を筒状主軸の吸込路にＯリ
   ングからなるシール材をもって気密嵌挿して構成したこ
   とを特徴とする請求項１又は２記載の被加工物吸着保持
   装置。