JPH07217655A - 静圧気体軸受スピンドル - Google Patents
静圧気体軸受スピンドルInfo
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Abstract
上に載置されたワーク表面に付着するのを防止すること
ができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。 【構成】 ハウジング1のスリーブ取付孔2にチャック
用スリーブ5と軸受スリーブ3とを上下に取付け、その
両スリーブ3、5間に形成された排気空間19をハウジ
ング1に設けた排気路21を介して外部に連通させる。
主軸6の上端にワークを支持するテーブル7を取付け
る。チャック用スリーブ5にはテーブル7に形成された
ワーク吸着用の吸引凹部26に連通する吸引路22を設
ける。主軸6と軸受スリーブ3間のラジアル軸受すきま
10に供給された圧縮気体を排気空間19および排気路
21から外部に排出させる。チャック用スリーブ5と主
軸6間の隙間に圧縮気体が流れ込んだ場合に、その圧縮
気体をチャック用スリーブ5に形成された吸引路22に
吸引してハウジング1上に圧縮気体が流出するのを防止
する。
Description
ィスクの検査等に用いられる静圧気体軸受スピンドルに
関するものである。
示したものが従来から知られている。この静圧気体軸受
スピンドルは、ハウジング30に形成されたスリーブ取
付孔31の上下に2つの軸受スリーブ32、33を取付
け、その軸受スリーブ32、33間にチャック用スリー
ブ34を取付け、各スリーブ32、33、34の内側に
主軸35を挿通し、その主軸35と軸受スリーブ32、
33との間にラジアル軸受すきま36を設け、軸受スリ
ーブ32、33のそれぞれにそのラジアル軸受すきま3
6に圧縮気体を噴射するノズル37を形成している。
付け、主軸35の下端には下側軸受スリーブ33の下端
のフランジ33aと対向するスラスト板39を設け、そ
のスラスト板39の下面に対向して軸受板40を設け、
その軸受板40および軸受スリーブ33のフランジ33
aのそれぞれに上記スラスト板39との間に形成された
スラスト軸受すきま41に圧縮気体を噴射するノズル4
2を設けている。
ーブル38に設けられたディスク吸着用の吸引凹部38
aと連通する吸引路43を設けている。
ルにおいては、テーブル38上に光ディスクや磁気ディ
スク等のワークを載置して吸着支持し、ノズル37、4
2のそれぞれからラジアル軸受すきま36およびスラス
ト軸受すきま41に圧縮気体を噴射し、各軸受すきま3
6、41に形成される気体膜により主軸35を支持する
状態で主軸35を高速回転させてワークの検査を行なう
ようにしている。
静圧気体軸受スピンドルにおいては、2つの軸受スリー
ブ32、33とチャック用スリーブ34との間に環状の
排気空間44を設け、ハウジング30には上記各排気空
間44と連通する排気路45を形成し、ラジアル軸受す
きま36およびスラスト軸受すきま41に供給された圧
縮気体を上記排気路45から外部に排出させるようにし
ている。
主軸35との間に形成されたラジアル軸受すきま36は
テーブル38の下面とハウジング30の上面間に連通し
ているため、ラジアル軸受すきま36に供給された圧縮
気体はハウジング30上に流出する。その流出を抑える
ため、ハウジング30の上面にカバー46を取付けてい
るが、圧縮気体の外部流出を確実に防止することはでき
ない。
と、ハウジング30上に流出する圧縮気体中の粉塵がテ
ーブル38に支持されたワークの表面に付着することが
あり、ワークを精度よく検査することができない問題が
ある。
た圧縮気体がハウジング上に流出するのを防止して、圧
縮気体中に含まれる粉塵がテーブルで支持されたディス
ク等のワークに付着するのを防止することができる静圧
気体軸受スピンドルを提供することである。
めに、この発明においては、ハウジングに形成されたス
リーブ取付孔の上端部に吸引路を有するチャック用スリ
ーブを取付け、そのチャック用スリーブの下端面とその
下方に設けられた軸受スリーブの上端面間に環状の排気
空間を形成し、ハウジングには上記排気空間に連通する
排気路を設けた構成としている。
ック用スリーブを設け、そのチャック用スリーブの下方
の排気空間に排気路を連通させたことにより、軸受スリ
ーブと主軸間の軸受すきまに供給された圧縮気体は、排
気空間および排気路から外部に排出される。このため、
上記圧縮気体はチャック用スリーブと主軸間に形成され
た隙間に流れ込むことはない。仮に上記隙間に圧縮気体
が流入しても、チャック用スリーブの吸引路に吸引さ
れ、ハウジング上に流出することはない。
明する。
スリーブ取付孔2には軸受スリーブ3が取付けられ、そ
の軸受スリーブ3の下端にフランジ4が設けられてい
る。
ブ3の上方にチャック用スリーブ5が取付けられ、その
チャック用スリーブ5と軸受スリーブ3の内側に主軸6
が挿通されている。
ている。また、主軸6には軸受スリーブ3のフランジ4
と対向するスラスト板8が設けられ、そのスラスト板8
の下方に環状の軸受板9が設けられている。
と主軸6との間に形成されたラジアル軸受すきま10に
連通するノズル11が設けられている。また、軸受スリ
ーブ3のフランジ4と軸受板9にはスラスト板8との間
に形成されたスラスト軸受すきま12に連通するノズル
13が設けられ、これらの各ノズル11、13とハウジ
ング1に形成された供給口14とは給気路15で連通し
ている。
設けられ、その小径軸16にモータロータ17が取付け
られている。一方、ハウジング1にはモータステータ1
8が取付けられ、そのモータステータ18に対する通電
によって主軸6が回転される。
例えば、小径軸にタービン羽根を取付け、そのタービン
羽根の周囲に設けたノズルからタービン羽根に圧縮気体
を噴射して主軸を回転させるようにしてもよい。
スリーブ3の上端面間には環状の排気空間19が設けら
れ、その排気空間19と前記スラスト軸受すきま12と
は軸受スリーブ3に形成した軸方向の通路20で連通し
ている。また、排気空間19はハウジング1に形成され
た排気路21を介して外部と連通している。
に複数の半径方向の孔を形成した吸引路22が形成さ
れ、その吸引路22とハウジング1の下端に形成された
吸引口23とは通路24を介して連通している。また、
吸引路22は、主軸6に形成された通路25を介してテ
ーブル7に設けられたワーク吸着用の吸引凹部26と連
通している。
おいては、吸引口23に吸引力を付与し、その吸引力を
チャック用スリーブ5の吸引路22および主軸6の通路
25を介してテーブル7の吸引凹部26に作用させ、テ
ーブル7上に載置された光ディスクあるいは磁気ディス
ク等のワークを吸着する。
の圧縮気体をノズル11、13のそれぞれからラジアル
軸受すきま10およびスラスト軸受すきま12に噴射
し、各軸受すきま10、12に形成される気体膜により
主軸6を支持する状態でその主軸6を高速回転させてワ
ークの検査を行なう。
ブ3のノズル11から噴射された圧縮気体は上下方向に
流れ、上方向に流れる圧縮気体は排気空間19に流入す
る。一方、下方向に流れる圧縮気体、およびノズル1
1、13からスラスト軸受すきま12に噴射された圧縮
気体は通路20から排気空間19に流入する。この排気
空間19に流入した圧縮気体は、排気路21に流れて外
部に排出され、チャック用スリーブ5と主軸6との間に
形成された隙間に流れ込むことはない。
も、チャック用スリーブ5の吸引路22には吸引力が付
与されているため、圧縮気体は吸引路22に吸引され
る。このため、圧縮気体はハウジング1の上方に漏洩す
ることはなく、圧縮気体に含まれる粉塵がテーブル7上
のワーク表面に付着することはない。したがって、ワー
クを精度よく検査することができる。
軸受スピンドルにおいては、ハウジングに形成されたス
リーブ取付孔の上端部にチャック用スリーブを取付け、
そのチャック用スリーブとその下方に取付けられた軸受
スリーブとの間にハウジングに形成された排気路を介し
て外部に連通する排気空間を設けたので、ラジアル軸受
すきまおよびスラスト軸受すきまのそれぞれに噴射され
た圧縮気体は排気空間および排気路から外部に排出され
ると共に、チャック用スリーブと主軸との間に圧縮気体
が流れたとしても、その圧縮気体はチャック用スリーブ
の吸引路に吸引される。
せず、圧縮気体に含まれる粉塵がテーブル上のワーク表
面に付着するのを確実に防止することができる。
施例を示す縦断正面図
図
Claims (1)
- 【請求項1】 ハウジングの上面で開口するスリーブ取
付孔に軸受スリーブとチャック用スリーブとを取付け、
その両スリーブの内側に挿通された主軸の上端にテーブ
ルを取付け、主軸の下部にはスラスト板を設け、そのス
ラスト板の下面に対向して設けた軸受板と上記軸受スリ
ーブの下端に設けられたフランジのそれぞれに、上記ス
ラスト板との間に形成されたスラスト軸受すきまに圧縮
気体を噴射するノズルを形成し、かつ軸受スリーブには
主軸との間に形成されたラジアル軸受すきまに圧縮気体
を噴射するノズルを設け、前記チャック用スリーブには
前記テーブルに形成されたワーク吸着用の吸引凹部と連
通する吸引路を設けた静圧気体軸受スピンドルにおい
て、前記チャック用スリーブをスリーブ取付孔の上端部
に設け、そのチャック用スリーブとその下方に設けられ
た前記軸受スリーブとの間に環状の排気空間を形成し、
ハウジングには上記排気空間に連通する排気路を設けた
ことを特徴とする静圧気体軸受スピンドル。
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