JPS62193704A - 超精密旋盤 - Google Patents

超精密旋盤

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JPS62193704A
JPS62193704A JP61033722A JP3372286A JPS62193704A JP S62193704 A JPS62193704 A JP S62193704A JP 61033722 A JP61033722 A JP 61033722A JP 3372286 A JP3372286 A JP 3372286A JP S62193704 A JPS62193704 A JP S62193704A
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JP
Japan
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air bearing
vacuum
main shaft
passage
air
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JP61033722A
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English (en)
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Hiroshi Yashiki
屋鋪　博
Kenji Morita
健二 森田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Turning (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、超精密旋盤に係り、特に磁気ディスク等の薄
板状のワークの表面切削加工に好適な超精密旋盤に関す
る。
［従来の技術］ 超精密旋盤を用いて磁気ディスクのごとき薄板状のワー
クの表面切削加工を行う場合、そのワークを保持するに
は真空吸引力を利用した真空チャックが最も多く用いら
れている。この真空チャック方式による超精密旋盤では
、回転部材である主軸に設けられた真空通路と、固定部
材側の真空通路とを何等かの接続手段により、気密性よ
く接続しなければならない。
前記回転部材側の真空通路と固定部材側の真空通路とを
接続する従来の技術として、第３図に示すようなボール
ジヨイントを用いた回転継手がある。
この第３図に示す回転継手は、位置固定の本体１と、こ
れに回転可能に支持されたスリーブ２と、前記本体１の
内部においてスリーブ２の一端部に嵌着されたスリーブ
インサート３と、前記本体１の内部に植設されたノック
ピン５を介して摺動可能に設けられかつ前記スリーブイ
ンサート３に当接するフローティングシート４と、この
フローティングシート４をスリーブインサート３に密着
させる圧縮ばね６と、回転部分に潤滑油を供給するオイ
ルカップ７と、前記本体１にスリーブ２を支持するボー
ルベアリング８，９と、前記本体１とスリーブ２間にス
ペーサｌＯを介して組み付けられたオイルシール１１と
、スリーブ２の内部とスリーブインサート３の内部とフ
ローティングシート４の内部を貫通しかつ本体１の内部
を通って本体１の外部に抜ける真空通路１２とを有して
いる。
この回転継手では、回転部材であるスリーブインサート
３をボールベアリング８，９により支持している。そし
て、スリーブインサート３の端面にフローティングシー
ト４を圧縮ばね６のばね圧により押し付け、回転部材側
の真空通路と固定部材側の真空通路との気密性を保持す
る構造となっている。なお、第３図中、１３はスリーブ
インサートとフローティングシートの当接部である。
また、他の従来技術として特開昭５９−５３１３７号公
報に開示されている技術があり、これを第４図に示す。
この第４図に示す従来技術は、フレーム１４上に設置さ
れた空気軸受１５．１６と、両空気軸受１．５．１６に
支持された回転軸１８と、一方の空気軸受１５の一側部
に取り付けられたスラスト軸受２０と、前記回転軸１８
の一端部に連結された接続筒２３と、この接続筒２３に
取り付けられた従動プーリ２４と、前記接続筒２３側に
設置された支持アーム２５と、この支持アーム２５上に
固定された容器状の接続体２６と、前記回転軸１８の他
端部に取り付けられた真空チャック２７と、回転部材側
に設けられた真空通路と、固定部材側に設けられた真空
通路と、前記回転部材側の真空通路と固定部材側の真空
通路とをシールするシール手段と、前記接続体２６に取
り付けられた吸気ホース３１とを備えた精密機械におけ
る回転軸への通路接続装置である。
前記空気軸受１５．１６には、給気口１７が設けられて
おり、各給気口１７はニアコンプレッサ（図示せず）に
接続されている。前記空気軸受１５．１６の内周面と回
転軸１８の外周面間には、細い周隙】９が形−３＝ 成されている。そして、前記吸気口１７から周隙１９に
圧縮空気が吹き込まれ、回転軸１８が非接触状態で支持
されている。
前記スラスト軸受２０は、回転軸１８の一側部に取り付
けられたスラスト円板２１と、これの両端面に向かって
圧縮空気を吹き出す給気口２２とを有している。各給気
口２２は、前記ニアコンプレッサに接続されていて、各
給気口２２からスラスト円板２１の両端面に圧縮空気が
吹き込まれ、スラスト円板２１を介して回転軸１８が非
接触状態で支持されている。
前記従動プーリ２４は、ベルト（図示せず）を介して回
転駆動源（図示せず）に連結されており、回転軸１８を
回転駆動するようになっている。
前記回転部材側の真空通路は、回転軸１８の内部に設け
られた貫通孔２８と、前記回転軸１８に連結された接続
筒２３の内部に設けられかつ前記貫通孔２８に連通ずる
貫通孔２９とにより構成されている。一方、固定部材側
の真空通路は前記接続体２６の内部に設けられた連通孔
３０により構成されており、この連通孔３０は前記接続
筒２３に設けられた貫通孔２９と前記接続体２６に取り
付けられた吸気ホース３１とに連通している。そして、
前記吸気ホース３１、連通孔３０および貫通孔２９．２
８を通じて真空チャック２７に真空が供給され、真空チ
ャック２７はその吸引力によりワーク１００を吸着し、
保持するようになっている。
前記回転部材側の真空通路と固定部材側の真空通路のシ
ール手段は、環状の永久磁石３２と、環状のポールピー
ス３３，３４と、磁性流体のシール３５とを有している
。前記永久磁石３２は、前記接続体２６の内周面に固定
されている。前記ポールピース３３゜３４の内周面は、
傾斜面に形成されている。前記ポールピース３３．３４
は、永久磁石３２の両側に配置されかつ接続体２６の内
周面に固定されており、磁性材料製の接続筒２３の外周
面と各ポールピース３３゜３４の先鋭端部間にわずかな
周隙が形成されている。
前記磁性流体のシール３５は、前記接続筒２３の外周面
と各ポールピース３３．３４の先鋭端部間の周隙に設け
られていて、この部分をシールすることによって回転部
材側の真空通路と固定部材側の真空通路間の気密を保持
するようになっている。
さらに、他の従来技術として空気軸受型回転継手がある
。
この従来の空気軸受型回転継手は、ハウジング内に筒状
の空気軸受が設けられ、この空気軸受の内部に周隙を有
して回転軸が設けられている。前記ハウジングの外部か
ら内部を通りかつ空気軸受を通って周隙に圧縮空気を吹
き込む圧縮空気経路が設けられている。一方、回転軸に
はその一端部から内部を通って外周面に抜ける真空通路
が形成されている。他方、空気軸受とハウジングには前
記真空通路に連通しかつ空気軸受からハウジングの内部
を通って外部に抜ける真空通路が形成されている。
そして、この空気軸受型回転継手を横型の旋盤等に採用
するには、ハウジングをベッド等に取り付けられた支持
アームに設置するようになっている。
［発明が解決しようとする問題点］ ところで、前記第３図に示す回転継手には■　スリーブ
インサート３とフローティングシート４の当接部１３に
傷が付きやすく、真空の気密性が阻害される。
■　ボールベアリング８，９と前記当接部１３とが振動
発生源となり、特に高速回転時に振動が激しく、高精度
加工用の機械には適用できない、■　横型の旋盤に適用
する場合には、ベッド等から主軸台の側部に支持アーム
を設け、この支持アームに回転継手を設置する必要があ
り、支持アームが張り出す不具合があり、支持アームが
振動発生源となることがある、 等の問題があった。
次に、前記第４図に示す通路接続装置では、振動が少な
い利点があるが、 ■　磁性流体のシール３５を用いており、この磁性流体
が高価であり、設備費が嵩む、 ■　前記磁性流体が消耗するため、補給する必要があり
、さらに磁性流体が飛散した時に回りの部材に悪影響を
与える可能性があるため、保守。
管理に多大な注意を要する、 ■　横型の旋盤に適用した場合には、前記回転継手の場
合と同様、支持アーム２５が張り出し、かつ振動発生源
となることがある、 等の問題がある。
ついで、前記空気軸受型回転継手では振動が少なく、ま
た磁性流体を使用する必要がないため、設備費および保
守、管理の点でも利点が多い。しかし、この空気軸受型
回転継手を単に横型の旋盤に適用した場合に、支持アー
ムが張り出して邪魔になり、また前記支持アームが振動
発生源になる不具合を免れ得ない問題がある。
本発明の目的は、前記従来技術の問題を解決し、振動が
極めて少なく、かつ高速回転に適し、しかも設備、保守
、管理を簡略化でき、小型化をも図り得る超精密旋盤を
提供することにある。
［問題点を解決するための手段〕 本発明は、主軸台の内部に空気軸受が組み込まれ、この
空気軸受の内部に主軸が装着されている。
前記主軸には、真空チャックが取り付けられている。ま
た、主軸には真空チャック取り付け端部から主軸の内部
を通って主軸の外周面に開口する第１の真空通路が形成
されている。前記主軸の外周面には、前記第１の真空通
路に連通ずる環状の第１の接続口が形成されている。
前記空気軸受の内周面には、前記第１の接続口に対応す
る位置に、環状の第２の接続口が形成されている。前記
空気軸受と主軸台には、前記第２の接続口から空気軸受
と主軸台の内部を通って主軸台の外部に抜ける第２の真
空通路が形成されている。
［作用］ 本発明では、主軸台の内部に組み込まれた空気軸受に圧
縮空気を吹き込み、この空気軸受の内部に装着された主
軸を、前記空気軸受により非接触で支持する。
また、主軸台と空気軸受にわたって形成された第２の真
空通路と、空気軸受の内周面に形成された第２の接続口
と、主軸の外周面に形成された第１の接続口と、主軸の
外周面から内部を通って真空チャックに至る第１の真空
通路を通じて真空を供給し、真空チャックでワークを吸
着し、保持する。
前記空気軸受により主軸を支持したうえで、主軸を回転
させ、切削工具により前記ワークを切削加工する。
前述のごとく、本発明では主軸の外周に形成された環状
の第１の接続口と、空気軸受の内周面に形成された環状
の第２の接続口とにより、回転部材側の真空通路である
主軸に形成された第１の真空通路と、回転部材側の真空
通路である空気軸受から主軸台にわたって形成された第
２の真空通路とを気密的に接続し得るので、主軸台の外
部に回転継手の支持アームが不要となる。したがって、
回転継手の支持アームが振動発生源となって発生する振
動を皆無になし得ること、また主軸を振動が殆どない空
気軸受により支持していること、しかも固定部材側の振
動が主軸には伝達されないこと等が相まち、主軸の振動
を極めて少なくすることができる。その結果、主軸を高
速回転させることが可能となる。
さらに、回転部材側の真空通路と固定部材側の真空通路
間をシールするために、磁性流体を用いる必要がないの
で、設備、保守、管理を簡略化することができる。
また、回転継手の支持アームが不要となるため、主軸台
の回りを小型化することができる。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す一部破断側面図、第２
図は一部分の拡大縦断側面図である。
これらの図に示す実施例の超精密旋盤は、第１図に示す
ように、ベッド４０上に主軸台４１が固定され、この主
軸台４１の内部には空気軸受４２が組み込まれ、この空
気軸受４２の内部には主軸５４が装着されている。
前記空気軸受４２には、第２図に示すように、一端部に
フランジ４３が付設されていて、空気軸受４２は前記フ
ランジ４３を介して主軸台４１に固定されている。前記
空気軸受４２と主軸台４１間には、軸方向に間隔をおい
てシール部材４４が介装されている。
前記空気軸受４２の内周面と主軸５４の外周面間には、
例えば５〜１５μｍの細い周隙４５が形成されている。
前記周隙４５には、ニアコンプレッサ（図示せず）→主
軸台４１の外部から内部に向かって形成された圧縮空気
通路４６→この圧縮空気通路４６から空気軸受４２に向
かって分岐された複数個の分岐通路４７→空気軸受４２
に形成されかつ各分岐通路４７に接続された吹き出し口
４８を通じて圧縮空気を吹き込み、例えば６ｋｇＺｄ１
以上の空気圧で主軸５４を浮上させ、非接触で支持する
ようになっている。
前記周隙４５からは、第２図から分かるように、軸方向
に間隔をおいて空気軸受４２と主軸５４間に形成された
排気口４９．５０→各排気口４９．５０から空気軸受４
２と主軸台４１の内部に向かって形成された排気通路５
１，５２→両排気通路５１．５２に連通しかつ主軸台４
１の内部から一端部に抜ける排気通路５３を通じて排気
し得るようになっている。
前記主軸５４には、第１図、第２図に示すように、一端
部にフランジ５５が付設されており、主軸５４は空気軸
受４２とエンドプレート５６間に前記フランジ＝１２− ５５をはさんで、空気軸受４２の内部に回転可能に支持
されている。
前記主軸５４の一端部には、第１図に示すように、真空
チャック５７が取り付けられていて、この真空チャック
５７によりワーク１００を吸着し、保持するようになっ
ている。
前記主軸５４には、第２図に示すように、第１の真空通
路５８と、第１の接続口５９とが形成されている。前記
第１の真空通路５８は、主軸５４の真空チャック取り付
け端部から主軸５４の内部に向かって設けられた通路部
分と、この通路部分から主軸５４の直径方向に貫通し、
主軸５４の外周面に開口する通路部分とにより構成され
ている。前記第１の接続口５９は、主軸５４の外周面に
おいて前記第１の真空通路５８に連通ずる位置に、環状
に形成されており。
前記排気口４９．５０間のほぼ中間位置に設けられてい
る。
前記空気軸受４２には、第２図に示すように、第２の接
続口６０が形成されている。前記第２の接続口６０は、
空気軸受４２の内周面において前記第１の接続口５９に
対応する位置に、環状に形成されている。
前記空気軸受４２と主軸台４１には、前記第２の接続口
６０がら空気軸受４２の内部を通り、主軸台４１の内部
を通って主軸台４１の一端部に抜ける第２の真空通路６
１が形成されていて、この第２の真空通路６１は真空ポ
ンプ（図示せず）に接続されている。
その結果、前記真空チャック５７からは真空ポンプ→第
２の真空通路６１→第２の接続口６０→第１の接続口５
９→第１の真空通路５８を通じて真空が供給され、真空
チャック５７は例えば５００＋ｎｍＨｇ程度の真空圧で
ワーク１００を吸着し得るように構成されている。
前記ベッド４０には、主軸用のモータ６２が設置されて
いる。このモータ６２からは第１図に示すように、駆動
プーリ６３→ベルト６４→主軸５４の他端部に取り付け
られた被動プーリ６５に動力が伝達され、主軸５４を回
転させるようになっている。
前記ベッド４０上には、第１図に示すように、往復台６
６が設置され、この往復台６６には刃物台６７が搭載さ
れ、この刃物台６７にはダイヤモンドバイト等の切削工
具６８が取り付けられている。
前記実施例の超精密旋盤は、次のように運転され、作用
する。
すなわち、ニアコンプレッサ、主軸台４１に形成された
圧縮空気通路４６→同分岐通路４７→空気軸受４２に形
成された吹き出し口４８を通じて、空気軸受４２と主軸
５４間に形成された周隙４５内に、例えば６　ｋｇ／ｄ
以上の圧縮空気２００を吹き込む。
前記周隙４５に圧縮空気２００を吹き込むと、周隙４５
内が６　ｋｇ／ｆｆ１以上の空気圧に上昇し、この空気
圧により主軸５４が浮上し、主軸５４は非接触で回転可
能に支持される。前記周隙４５内が設定空気圧以上にな
ると、圧縮空気２００の一部分は周隙４５の開放端部か
ら大気中に逃げるものの、大部分は排気口４９．５０→
排気通路５１．５２→排気通路５３を通って排気される
。
一方、真空ポンプ→第２の真空通路６１→第２の接続口
６０→第１の接続口５９→第１の真空通路５８を通じて
真空チャック５７に真空を供給し、真空チャツク５７を
例えば５００ｗｍＨｇ程度の真空圧とし、真空チャック
５７に例えば磁気ディスク用の薄いＡ１基板等のワーク
１００を吸着させ、保持する。
そして、モータ６２を駆動し、駆動プーリ６３→ベルト
６４→被動プーリ６５を介して主軸５４を例えば２００
０ｒｐｍで回転させ、往復台６６および刃物台６７を介
して切削工具６８に送りを与え、切削加工を行う。
前記切削加工中、主軸５４が高速回転しても、主軸５４
を空気軸受４２により支持しており、また回転継手の支
持アームが振動発生源となって振動するようなことがな
く、しかも主軸５４には固定部材側の振動が伝達されな
いので、前記ワーク１００がＡ１基板のようなものであ
っても、表面粗さＲｍａｘを０．０３μｍ（実績値）に
仕上げることが可能である。
また、主軸５４の回転中、回転部材側の真空通路である
主軸５４の第１の真空通路５８と、固定部材側の真空通
路である空気軸受４２から主軸台４１にわたって形成さ
れた第２の真空通路６１とは、主軸５４の外周面に環状
に形成された第１の接続口５９と、空気軸受４２の内周
面に環状に形成された第２の接続ロ６０とが合わさって
常に接続され、気密が保持され、所期の真空圧に保たれ
る。
さらに、この実施例では真空通路をシールするために磁
性流体を使用する必要がないので、かかる磁性流体が消
耗した時の補給および他の部材への付着を防止するため
の対策を講する必要がなく、したがって設備、保守、管
理を簡略化することができる。
なお、本発明では各部の具体的な構造は、図面に示す実
施例に限らず、所期の機能を有するものであればよい。
［発明の効果］ 以上説明した本発明によれば、主軸台の内部に空気軸受
を組み込み、この空気軸受の内部に主軸を装着し、この
主軸に真空チャックを取り付け、前記主軸の真空チャッ
ク取り付け端部から主軸の内部を通って主軸の外周面に
開口する第１の真空通路を形成し、前記主軸の外周面に
、前記第１の真空通路に連通ずる環状の第１の接続口を
形成し、前記空気軸受の内周面における前記第１の接続
口に対応する位置に、環状の第２の接続口を形成し、前
記第２の接続口から空気軸受と主軸台の内部を通って主
軸台の外部に抜ける第２の真空通路を形成しているので
、主軸を振動が殆どない空気軸受で支持していること、
回転継手の支持アームを必要とせず、該支持アームが振
動発生源となって発生する振動が全くないこと、固定部
材側の振動が主軸に伝達されないこと等が相まち、主軸
の振動を極めて少なくすることができるし、主軸を高速
回転させることも可能となるので、磁気ディスク用のＡ
ｌ基板等の薄板状のワークを超精密に切削加工し得る効
果がある。
また、本発明によれば、主軸の外周面に環状に形成され
た第１の接続口と、空気軸受の内周面に環状に形成され
た第２の接続口とが合わさって、回転部材側の真空通路
と固定部材側の真空通路とを常に接続でき、気密を保持
し得るので、両真空通路をシールするための磁性流体を
使用する必要がなく、したがって磁性流体が消耗した時
の補給や他の部材への付着を防止するための対策が不要
となるため、設備、保守および管理の簡略化を図り得る
効果がある。
さらに、本発明によれば、回転継手の支持アームを必要
としないので、機械の小型化をも図り得る効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す一部破断側面図、第２
図は一部分の拡大縦断側面図、第３図は従来技術として
のポールジョイン１〜を用いた回転継手の縦断側面図、
第４図は他の従来技術としての磁性流体を用いた回転継
手の縦断側面図である。 ４０・・・ベッド、４１・・主軸台、４２・・・空気軸
受、４５・・・空気軸受の内周面と主軸の外周面間の細
い周隙、４６・・・圧縮空気通路、４７・・・圧縮空気
の分岐通路、４８・・同吹き出し口、４９．５０・・・
排気口、５１〜５３・・排気通路、５４・主軸、５７・
・真空チャック、５８・・・第１．の真空通路、５９・
・・第１−の接続口、６０・・・第２の接続口、６１・
・・第２の真空通路、６２・・主軸用のモータ、６３・
・・駆動プーリ、６４・・・ベルト、６５・・・被動プ
ーリ、６６・・・往復台、６７・・・刃物台、６８・・
・切削工具、１００・・・ワー−１９＝

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、主軸台の内部に空気軸受を組み込み、この空気軸受
    の内部に主軸を装着し、この主軸に真空チャックを取り
    付け、前記主軸の真空チャック取り付け端部から主軸の
    内部を通って主軸の外周面に開口する第１の真空通路を
    形成し、前記主軸の外周面に、前記第１の真空通路に連
    通する環状の第１の接続口を形成し、前記空気軸受の内
    周面における前記第１の接続口に対応する位置に、環状
    の第２の接続口を形成し、前記第２の接続口から空気軸
    受と主軸台の内部を通って主軸台の外部に抜ける第２の
    真空通路を形成したことを特徴とする超精密旋盤。
JP61033722A 1986-02-20 1986-02-20 超精密旋盤 Pending JPS62193704A (ja)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62218889A (ja) * 1986-03-20 1987-09-26 日本精工株式会社 真空吸着機構付き静圧気体軸受スピンドル
US4976177A (en) * 1986-11-13 1990-12-11 S.A.: Societe Europeenne De Propulsion Workpiece-carrier spindle assembly having magnetic bearings, and a device implementing such an assembly for a very high precision machine tool
JP2007010057A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Ntn Corp 静圧気体軸受スピンドル
CN102463471A (zh) * 2010-11-09 2012-05-23 深圳市远望工业自动化设备有限公司 一种可旋转加工装置
CN105290430A (zh) * 2015-12-04 2016-02-03 思维福特南通精密机械有限公司 一种高速数控车床主轴
KR20200002727U (ko) 2019-06-07 2020-12-16 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 장치
US11027386B2 (en) 2018-10-25 2021-06-08 Fanuc Corporation Spindle device

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3744117A1 (de) * 1987-12-24 1989-07-06 Loh Kg Optikmaschf Vorrichtung zum zentrieren von optischen linsen fuer die mechanische halterung insbesondere beim randschleifen und facettieren
US5107730A (en) * 1988-09-09 1992-04-28 Yamazaki Mazak Kabushiki Kaisha Workpiece spindle control unit and control method
DE3901254A1 (de) * 1989-01-18 1990-07-19 Erwin Junker Verfahren und vorrichtung zum aufspannen instabiler teile
SE469214B (sv) * 1991-11-29 1993-06-07 Etp Transmission Ab Maskinspindel med integrerad chuck samt foerfarande foer framstaellning daerav
US5445052A (en) * 1994-01-06 1995-08-29 Nichols, Jr.; John D. Vacuum chuck for lathe
US6178856B1 (en) * 1995-02-22 2001-01-30 Robert John Caddaye Lathes
US5628918A (en) * 1995-05-01 1997-05-13 Xerox Corporation Method for supporting a photoreceptor during laser ablation
US5921560A (en) * 1997-02-07 1999-07-13 Wj Semiconductor Equipment Group, Inc. Direct drive rotational motor with axial vacuum
US6302005B1 (en) 2000-04-25 2001-10-16 Mouafak C. Albasateneh Pneumatic bar feeding apparatus for automatically feeding a plurality of bar stocks to a lathe or the like device
JP4739108B2 (ja) * 2006-04-27 2011-08-03 東芝機械株式会社 精密ロール旋盤
JP4837448B2 (ja) * 2006-06-14 2011-12-14 東芝機械株式会社 精密ロール旋盤
JP4786432B2 (ja) * 2006-06-15 2011-10-05 東芝機械株式会社 精密ロール旋盤
TW200920521A (en) * 2007-04-05 2009-05-16 Toshiba Machine Co Ltd Method and apparatus for machining surface of roll
US7847191B2 (en) * 2007-11-06 2010-12-07 Xerox Corporation Electrical component, manufacturing system and method
JP5355950B2 (ja) 2008-07-17 2013-11-27 東芝機械株式会社 Ｖ溝加工方法および装置
JP6177724B2 (ja) * 2014-05-27 2017-08-09 ファナック株式会社 工具把持機構
JP2016132046A (ja) * 2015-01-16 2016-07-25 株式会社ディスコ マウントフランジ
CN109108390B (zh) * 2018-08-31 2020-11-17 广州每通自动化设备有限公司 一种三工位去毛刺加工方法
US11199562B2 (en) 2019-08-08 2021-12-14 Western Digital Technologies, Inc. Wafer testing system including a wafer-flattening multi-zone vacuum chuck and method for operating the same
CN116748539A (zh) * 2023-08-22 2023-09-15 霖鼎光学(江苏)有限公司 一种超精密车削加工系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE458797A (ja) * 1944-02-17
US3533316A (en) * 1967-04-24 1970-10-13 Babcock & Wilcox Co Hydrostatic precision tailstocks
DE2004940A1 (de) * 1970-02-04 1971-08-19 Forkardt Paul Kg Spindelkasten fur mit Schwenkfuttern ausgestattete Drehmaschinen
US3761146A (en) * 1970-11-07 1973-09-25 Toyoda Machine Works Ltd Fluid bearing
US3690780A (en) * 1971-02-26 1972-09-12 Powers Chemco Inc Vacuum actuated rotary drill
JPS5815636A (ja) * 1981-07-15 1983-01-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 旋盤

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62218889A (ja) * 1986-03-20 1987-09-26 日本精工株式会社 真空吸着機構付き静圧気体軸受スピンドル
JPH0582907B2 (ja) * 1986-03-20 1993-11-22 Nippon Seiko Kk
US4976177A (en) * 1986-11-13 1990-12-11 S.A.: Societe Europeenne De Propulsion Workpiece-carrier spindle assembly having magnetic bearings, and a device implementing such an assembly for a very high precision machine tool
JP2007010057A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Ntn Corp 静圧気体軸受スピンドル
JP4657029B2 (ja) * 2005-06-30 2011-03-23 Ｎｔｎ株式会社 静圧気体軸受スピンドル
CN102463471A (zh) * 2010-11-09 2012-05-23 深圳市远望工业自动化设备有限公司 一种可旋转加工装置
CN105290430A (zh) * 2015-12-04 2016-02-03 思维福特南通精密机械有限公司 一种高速数控车床主轴
US11027386B2 (en) 2018-10-25 2021-06-08 Fanuc Corporation Spindle device
KR20200002727U (ko) 2019-06-07 2020-12-16 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 장치

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