JP6746756B1 - 吸着プレート、切断装置および切断方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態における切断装置50を模式的に示す図である。切断装置50は、供給ユニットA、切断ユニットB、検査ユニットC、および収容ユニットDを備える。供給ユニットAはマガジンを備え、複数の封止済基板1を収容している。供給ユニットAは供給機構30を有し、切断対象物としての封止済基板1が供給機構30から切断ユニットBに搬送される。
図2は、封止済基板1と、吸着プレート10と、切断装置50の基台21とを示す斜視図である。吸着プレート10は、上述のとおりここでは切断用テーブルとして機能する。切断装置50は、吸引機構20が設けられた基台21と、吸着プレート10とをその構成要素として含んでいる。
図3は、吸着プレート10の分解した状態の上面側から見た様子を示す斜視図であり、図4は、吸着プレート10の分解した状態の底面側から見た様子を示す斜視図である。図5は、切断装置50の基台21上に吸着プレート10が配置されている状態を示す断面図である。
図3を主として参照して、ベース部15は、枠部16と複数のリブ部17A,17Bとを有する。枠部16は略同一の厚みを有し、矩形状を有する。枠部16の底面の形状は、基台21に設けられた枠状支持部21A(図2)の形状に対応し、枠部16は枠状支持部21Aにより支持される。
図2〜図4を参照して、カバー11は、枠状の形状を有する。カバー11は樹脂製であってもよく、アルミやステンレスなどの金属製であってもよい。カバー11は、ベース部15の枠部16に対応した形状を有しており、カバー11の内側には開口部11Hが設けられる。カバー11は、不図示の締結部材または接着部材などを用いてベース部15に固定される。カバー11とベース部15との間に嵌合構造を設け、この嵌合構造によりカバー11をベース部15に固定してもよい。また、超音波溶着によりカバー11をベース部15に固定してもよい。
図3,図4に示すように、載置部12は、全体として薄板状に形成され、表面12Aと、表面12Aの反対側に位置する裏面12Bとを有している。載置部12の裏面12Bは、複数のリブ部17A,17Bの上端に重なるように配置される。載置部12は、表面12A側から裏面12B側に貫通する複数の吸着孔12Hを形成している。この吸着孔は個片化された夫々の電子部品を吸着する。
図5を参照して、ベース部15が基台21上に配置された状態では、複数のリブ部17A,17Bの各々の突出部17Dの突出方向における端面17DS(図5)が、凸状支持部22の頂面22Aに接触し、これによって複数のリブ部17A,17Bは凸状支持部22によって支持される。したがって切断加工の際に切断に伴う応力を吸着プレート10が受けたとしても、吸着プレート10に撓み等の変形が発生することは効果的に抑制可能である。一方で、後退部17Cの端面17CSは凸状支持部22の頂面22Aから離れており、後退部17Cの端面17CSと凸状支持部22の頂面22Aとの間の隙間を通して空気は通流することができる。
図2を参照して、吸着プレート10は、載置部12およびベース部15を貫通する導通部材19をさらに備えていてもよい。図2に示す例においては、載置部12およびベース部15を厚み方向に貫通する貫通孔12Jが形成されており、貫通孔12Jの中に導通部材19が収容されている。導通部材19は、例えば軸方向に弾性的に伸縮可能なボールプランジャーから構成される。
図4,図5を参照して、金属製板状部14の載置部12側の面(ここでは載置部12の裏面12B)には溝部14Gが形成されていることが好ましい。溝部14Gは、金属製板状部14に形成された複数のうちの隣り合う貫通孔14Hを連通させる。溝部14Gは、全体的に金属製板状部14を貫通するものではなく、貫通孔14Hを含めば貫通孔14Hの形成位置において金属製板状部14を貫通し、貫通孔14Hが形成されない位置において金属製板状部14を貫通しないことになる。
図3〜図5を参照して、複数のリブ部17A,17Bが交差している部分には、貫通孔17Hが形成されていてもよい。貫通孔17Hは、吸引機構20と複数の吸着孔12Hとを連通させることができ、より大きな吸引力を得ることが可能となる。貫通孔17Hの構成は、上記他の構成2における溝部14Gと組み合わせて実施されることでより大きな吸引力を得ることが可能となる。
上記の吸着プレート10においては、複数のリブ部17A,17Bは、枠部16の内側に設けられる。複数のリブ部17Aは、第1の方向に延びて互いに平行となるように配置されており、複数のリブ部17Bは、第1の方向と交差する第2の方向に互いに平行となるように配置されている。これにより略四角形状を有する吸気経路18が枠部16の内側に形成されている。複数のリブ部は、互いに交差するように格子状に形成されていれば、例えば吸気経路18が平面視で三角形や六角形などの多角形状を有するように構成されていてもよく、円形状などであってもよい。
上述の実施の形態では、吸着プレート10が切断ユニットBの切断用テーブルとして用いられる例に基づいて説明した。吸着プレート10と同一の構成を有する吸着プレートが、切断ユニットBにおけるアンローダ38として用いられてもよく、検査ユニットCにおける検査用ステージ41および/またはインデックステーブル42として用いられてもよい。
Claims (10)
- 吸引機構が設けられた切断装置の基台上に配置される枠部と、前記枠部の内側に設けられた複数のリブ部とを有し、複数の前記リブ部同士が交差するように格子状に配置されたベース部と、
前記複数のリブ部に重なるように配置され、表面側から裏面側に貫通する複数の吸着孔が形成された載置部と、を備え、
前記複数のリブ部により、前記吸引機構と前記複数の吸着孔とを連通させる複数の吸気経路が前記枠部の前記内側に形成されており、
前記載置部の前記裏面が前記複数の吸気経路を覆うように配置された状態で、前記表面上に載置された切断対象物は前記吸着孔に発生した負圧によって前記表面上に吸着され、
複数の前記リブ部同士が交差している部分の一部は、前記基台が配置される側に向かって突出している、
吸着プレート。 - 前記ベース部は、樹脂から形成されている、
請求項1に記載の吸着プレート。 - 前記載置部および前記ベース部を貫通し、前記載置部上に配置された切断対象物と前記基台とを電気的に接続するための導通部材をさらに備える、
請求項2に記載の吸着プレート。 - 複数の前記リブ部同士が交差している部分に、前記吸引機構と前記複数の吸着孔とを連通させる貫通孔が形成されている、
請求項1から3のいずれか1項に記載の吸着プレート。 - 枠状の形状を有し、前記載置部の周囲部分を前記ベース部に固定するカバーをさらに備える、
請求項1から4のいずれか1項に記載の吸着プレート。 - 前記カバーと前記枠部との間に、前記ベース部のうちの前記複数のリブ部が設けられている領域を取り囲むシール部材をさらに備える、
請求項5に記載の吸着プレート。 - 前記載置部は、前記載置部の前記表面側の構成要素であるラバー部と、前記載置部の前記裏面側の構成要素である金属製板状部と、を含み、
前記金属製板状部の前記ベース部側の面には、前記金属製板状部に形成された前記吸着孔の複数を連通させるための溝部が形成されている、
請求項1から6のいずれか1項に記載の吸着プレート。 - 吸引機構が設けられた基台と、
前記基台上に配置される、請求項1から7のいずれか1項に記載の吸着プレートと、を備える、
切断装置。 - 前記基台は、前記枠部を支持する枠状支持部と、前記枠状支持部の内側に設けられ、前記複数のリブ部を支持する複数の凸状支持部と、を含む、
請求項8に記載の切断装置。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の吸着プレート上に切断対象物を吸着させる工程と、
前記切断対象物を前記吸着プレート上に吸着させた状態で切断する工程とを備える、切断方法。
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