JPWO2006075515A1 - 表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

液晶表示パネルの製造装置は、少なくとも一方の表面に光学フィルムが貼り付けられた基板を固定するためのステージ（３）を備える。ステージ（３）は、基板を吸引するための吸引孔（８）を有する。ステージ（３）は、吸引孔が形成されている領域の周りに、介在部材（１０）を含み、介在部材（１０）は、平面形状が閉じた枠形に形成されている。基板を安定して固定することができる液晶表示パネルの製造装置を提供することができる。

Description

本発明は、表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法に関する。特に、基板を吸引によりステージに固定する表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法に関する。

表示パネルの代表例として液晶表示パネルがある。液晶表示パネルの製造方法においては、大型の基板に対して、複数の液晶表示セルを形成して、後に個々の単一の液晶表示セルに分断する多面取りによる方法がある。５インチ程度の中小型の大きさを有する液晶表示パネルの製造方法においては、初めに複数の液晶表示セルを含む貼り合せ基板を形成する。貼り合せ基板は、シール材によって互いに貼り合わされた２枚の大型のガラス基板を含む。この大型の貼り合せ基板を分断して、短冊状の貼り合せ基板を形成する。

次に、短冊状の貼り合せ基板に液晶の注入および封止などを行なって、単一の液晶表示セルに分断する。次に、それぞれの単一の液晶表示セルに対して、主表面に光学フィルムを貼り付けて液晶表示パネルを製造する。光学フィルムには、偏光板や位相差板などが含まれる。光学フィルムの貼り付けにおいては、このような単一の液晶表示セルの表面に１枚ずつ光学フィルムを貼り付ける方法が一般的であった。

ところが、この方法においては、個々の液晶表示セルに対して、個別に１枚ずつ光学フィルムを貼り付ける必要があるため、生産効率が悪いという問題がある。たとえ、専用の光学フィルムの貼り付け装置を用いて貼り付けを行なっても、静電気によって光学フィルム１枚当りの貼り付け速度が制約を受けるため、光学フィルムの貼り付け速度の高速化にも限界がある。このため、光学フィルムの貼り付けのために、多数の光学フィルム貼り付け装置を導入しなければ高い生産性を確保することができないという問題があった。光学フィルムを貼り付けるための設備投資が大幅に膨らんで、ひいては最終製品である液晶表示装置の価格上昇につながるという問題があった。

特開２００４−４６３６号公報においては、一方の大型の基板に環状に配置されたシール材の内側の領域、または、他方の大型の基板のうちシール材の内側に対応する領域に液晶を供給して基板同士を貼り合せる製造方法が開示されている。この大型の貼り合せ基板には、複数の液晶表示セルが形成されている。次に、貼り合せ基板に対して大型の光学フィルムを一括して貼り付け、その後に個々の液晶表示セルに分断する方法が開示されている。大型の光学フィルムを貼り合せ基板に貼り付ける装置については、たとえば、特開２００３−１６１９３５号公報に開示されている。

図１８に、複数の液晶表示セルを含む貼り合せ基板の概略平面図を、図１９に概略断面図を示す。図１８および図１９に示す貼り合せ基板には、２０行×１４列で、合計２８０個の液晶表示セルが形成されている。貼り合せ基板３４は、互いに対向するように貼り合わされた２枚のガラス基板を備える。貼り合せ基板３４の主表面には、光学フィルム３２が貼り付けられている。貼り合せ基板３４は、複数の液晶表示セル３３を含む。液晶表示セル３３は、平面形状がほぼ長方形になるように形成され、それぞれが規則的に配列されている。それぞれの液晶表示セル３３は、互いに間隔をあけて配置されている。光学フィルム３２は、貼り合せ基板３４に形成された全ての液晶表示セル３３を覆うように配置されている。

図２０に示すように、複数の液晶表示セルが形成された貼り合せ基板を個々の液晶表示セルに分断する工程において、光学フィルム３２の一部を帯状に除去してガラス基板を帯状に露出させる。切除部３９が光学フィルム３２の一部を切除した部分である。切除部３９は、貼り合せ基板３４に形成された液晶表示セル同士の間に形成される。光学フィルム３２は、それぞれの液晶表示セルに対応する形状となる。

次に、ガラススクライブ形成用のホイルカッタによって、切除部３９に分断用の亀裂を形成する。最後に、形成された亀裂に沿って、貼り合せ基板３１を分断して個々の液晶表示セルを形成する。分断された個々の液晶表示セルには外部駆動装置などが接続され、筐体に配置されて液晶表示装置として製造される。

図１９に示すように、液晶表示パネルの中には、基板の両側に、光学フィルムが貼り付けられるものがある。たとえば、透過型の液晶表示パネルにおいては、貼り合わされた両側の基板の表面に光学フィルムが貼り付けられる。

貼り合せ基板に対して、液晶表示セルの周りの光学フィルムを切除し、その後、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置においては、貼り合せ基板をステージに固定して、刃物によって光学フィルムの一部を切除し、ホイルカッタによって光学フィルム切除部に分断用の亀裂を形成する。たとえば、図２０に示す貼り合せ基板においては、切除部３９を形成するとともに、切除部３９に分断用の亀裂を形成する。

基板の両側の表面に光学フィルムが貼り付けられた貼り合せ基板の光学フィルムの切除と基板への亀裂の形成においては、はじめに貼り合せ基板を分断装置のステージに固定する。

図２１に、分断装置において貼り合せ基板をステージに固定したときの概略断面図を、図２２に概略平面図を示す。図２１および図２２に示す貼り合せ基板３１には、４行×５列の合計２０個の液晶表示セルが形成されている。また、図２１および図２２に示す分断装置は、吸引により貼り合せ基板３１をステージ４３に固定するように形成されている。

ステージ４３には、複数の吸引孔８が形成され、吸引孔８は図示しない真空排気装置に接続されている。ステージ４３の平面形状は、ほぼ長方形になるように形成されている。貼り合せ基板３１は、ステージ４３のほぼ中央に配置されている。ステージ４３は、吸引孔８に連通するようにステージ４３の表面に形成された吸引溝９を有する。吸引溝９は、平面視したときに格子状に形成されている。吸引孔８は、一定の間隔をあけて形成されている。吸引孔８は、格子状の吸引溝９が交わる部分に形成されている。
特開２００４−４６３６号公報 特開２００３−１６１９３５号公報

図２１および図２２を参照して、真空排気装置により、矢印５１に示す向きに吸引が行なわれる。この分断装置は、貼り合せ基板３１の表面に形成された光学フィルム３２ａがステージ４３に吸着して、貼り合せ基板３１がステージ４３に固定されるように形成されている。

貼り合せ基板３１の両側の表面に貼り付けられた光学フィルムのうち、光学フィルム３２ａには、切除部３９が形成され、光学フィルムの一部の切除が行なわれている。また、貼り合せ基板３１の光学フィルム３２ａの側の表面には亀裂４２が形成されている。光学フィルム３２ｂの一部を切除し、その後、切除部３９に分断用の亀裂を形成する際には、切除部３９が形成された光学フィルム３２ａをステージ４３に吸着させる必要がある。

しかし、切除部３９と吸引溝９とが連通しているため、切除部３９および吸引溝９を通って吸引孔８に空気が流入する。このため、貼り合せ基板３１を十分に吸引固定することができないという問題があった。すなわち、矢印５３に示すように外部から空気が流入して、十分な吸引固定が行なえないという問題があった。このような問題は、液晶表示パネルのみならず、主表面に光学フィルムを有する有機ＥＬ表示パネルの製造においても、同様に発生する。

本発明は、基板を安定して固定することができる表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。

本発明に基づく表示パネルの製造装置は、少なくとも一方の表面に光学フィルムが貼り付けられた基板を固定するためのステージを備え、ステージは、基板を吸引するための吸引孔を有し、ステージは、吸引孔が形成されている領域の周りに突起部を有し、突起部は、平面形状が閉じた枠形に形成されている。この構成を採用することにより、基板を安定して吸引固定できる表示パネルの製造装置を提供することができる。

上記発明において好ましくは、突起部は、平らな表面を有し、突起部は、表面がステージの表面と平行であって、突起部は、基板の吸引を行い、光学フィルムの表面をステージの表面に密着させたときに、突起部の表面と基板の表面とが密着する高さを有する。この構成を採用することにより、基板が湾曲して固定されることを防止できるとともに、突起部の表面と基板の表面との接触面積を大きくすることができ、より安定して基板をステージに吸引固定することができる。

上記発明において好ましくは、ステージは、板状部材を含み、突起部は、板状部材と基板とに挟まれるように形成された介在部材を有する。この構成を採用することにより、突起部の構成を変更可能にすることができ、容易に多種の基板に対応することができる。

上記発明において好ましくは、弾性を有するパッキンを備え、パッキンは、ステージと基板とに挟まれるように配置され、パッキンは、突起部に沿うように、吸引孔が形成されている領域の周りに配置され、パッキンは、無負荷のときに、突起部の表面より頂部の高さが高くなるように形成され、基板の吸引が行なわれたときに、突起部の表面と同じ高さに変形するものである。この構成を採用することにより、突起部とパッキンとで密封することができ、より強く基板を吸引固定することができる。

上記発明において好ましくは、弾性を有するパッキンを備え、突起部は、基板が接触する側の表面に窪み部を有し、パッキンは、窪み部に配置されている。また、パッキンは、無負荷のときに、窪み部が形成されている突起部の表面より頂部の高さが高くなるように形成され、基板の吸引が行なわれたときに、突起部の表面と同じ高さに変形するものである。この構成を採用することにより、突起部とパッキンとで密封することができ、より強く基板を吸引固定することができる。

本発明に基づく表示パネルの製造方法は、表示パネルの製造方法において、光学フィルムをステージに対向させ配置する工程と、吸引孔を用いて基板を吸引することによって、突起部の表面と基板の表面とが密着して閉空間を形成し、光学フィルムの表面をステージの表面に吸着させる工程を含む。この方法を採用することにより、安定して基板を固定できるので、正確に基板を加工できる。

本発明によれば、基板を安定して固定することができる表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法を提供することができる。

実施の形態１におけるステージの概略断面図である。 実施の形態１におけるステージの概略平面図である。 実施の形態１におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの概略断面図である。 実施の形態１におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの概略平面図である。 実施の形態１におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第１の概略断面図である。 実施の形態１におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第２の概略断面図である。 実施の形態１における他の光学フィルムを貼り付けた基板の斜視図である。 実施の形態１におけるさらに他の光学フィルムを貼り付けた基板の斜視図である。 実施の形態２におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第１の概略断面図である。 実施の形態２におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第２の概略断面図である。 実施の形態２におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの外周部の概略断面図である。 実施の形態３におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第１の概略断面図である。 実施の形態３におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第２の概略断面図である。 実施の形態３におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの外周部の概略断面図である。 実施の形態４におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第１の概略断面図である。 実施の形態４におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第２の概略断面図である。 実施の形態４におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの外周部の概略断面図である。 貼り合せ基板に光学フィルムを貼り付けたときの概略平面図である。 貼り合せ基板に光学フィルムを貼り付けたときの概略断面図である。 光学フィルムを液晶表示セルに沿って切除したときの概略平面図である。 従来の技術に基づく液晶表示パネルの製造装置において、ステージに貼り合せ基板を配置したときの概略断面図である。 従来の技術に基づく液晶表示パネルの製造装置において、ステージに貼り合せ基板を配置したときの概略平面図である。

符号の説明

３〜６，４３ ステージ、８ 吸引孔、９ 吸引溝、１０〜１３ 介在部材、１５，１６ パッキン、１７ 板状部材、１９ 刃物、２０ 切欠き部、２１，２２ 窪み部、２３ ホイルカッタ、３１，３４ 貼り合せ基板、３２，３２ａ，３２ｂ，３５，３６ 光学フィルム、３３ 液晶表示セル、３９ 切除部、４２ 亀裂、５１〜５３ 矢印。

（実施の形態１）
図１から図８および図１８から図２０を参照して、本発明に基づく実施の形態１として表示パネルの一例である液晶表示パネルの製造装置および製造方法について説明する。

本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置は、貼り合せ基板を個々の液晶表示セルに分断する工程において、基板表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置である。

図１８および図１９に示すように、貼り合せ基板は、互いに対向するように２枚のガラス基板が貼り合せられている。２枚のガラス基板の間には、複数の液晶表示セルが形成されている。液晶表示セルは、平面形状がほぼ長方形になるように形成され、規則的に配列されている。貼り合せ基板の両側の主表面には、光学フィルムが貼り付けられている。本実施の形態における分断装置は、図２０に示すように、液晶表示セル同士の間の光学フィルムを帯状に切除して、光学フィルムを液晶表示パネルの形状に形成するとともに切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断するための装置である。

図１に、本実施の形態における分断装置のステージの部分の概略断面図を、図２にステージの概略平面図を示す。貼り合せ基板を固定するためのステージ３は、板状部材１７と介在部材１０とを有する。以下、例示する貼り合せ基板には、４行×５列の合計２０個の液晶表示セルが形成されているが、液晶表示セルの個数に関係なく本発明を適用することができる。

板状部材１７は、平板状に形成され、平面形状がほぼ長方形になるように形成されている。板状部材１７は、吸引を行なうための吸引孔８を有する。板状部材１７は、貼り合せ基板が配置される側の表面に平面視したときに線状に形成された吸引溝９を有する。吸引孔８は、図示しない真空排気装置に接続されている。

本実施の形態における吸引孔８は、板状部材１７を貫通するように形成されている。吸引孔８は、平面視したときに等間隔に配置されている。本実施の形態における吸引溝９は、延びる方向がステージ３の外縁にほぼ平行になるように形成されている。吸引溝９は、平面視したときに格子状の形状に形成されている。吸引孔８は、吸引溝９同士が交わる部分に形成されている。吸引孔８は、吸引溝９に連通している。吸引孔８および吸引溝９は、基板に配置された光学フィルムが密着する領域に形成されている。吸引孔８は、板状部材１７の基板が配置される側（以下、表面側と称する）とは反対側（以下、裏面側と称する）で、図示しない真空排気装置に接続されている。

ステージ３は、吸引孔８が形成されている領域の周りに形成された介在部材１０を有する。介在部材１０は、ステージの表面から突出する突起部として形成されている。本実施の形態においては、介在部材１０はアルミニウムで形成されている。介在部材１０は、板状部材１７とボルトで固定され、介在部材１０と板状部材１７との接合部分を通じて空気が流入しないように形成されている。介在部材１０は、断面形状が長方形になるように形成され、平面視したときに閉じた枠形の形状を有する。吸引孔８および吸引溝９は、平面視したときに介在部材１０の内側に配置されている。

図１を参照して、介在部材１０は、配置されるべき貼り合せ基板と板状部材１７とに挟まれるように配置されている。板状部材１７には、外周全体に表面を切り欠いた形状を有する切欠き部２０が形成され、切欠き部２０に介在部材１０が配置されている。

介在部材１０は、貼り合せ基板をステージ３に吸引し、光学フィルムの表面をステージ３の表面に密着させたときに、介在部材１０の表面と貼り合せ基板の表面とが密着するように形成されている。換言すると、介在部材１０の貼り合せ基板が配置される側（以下、表面側と称する）の面は、光学フィルムが接触する板状部材１７の表面からほぼ光学フィルムの厚さだけ高くなるように形成されている。

図１８から図２０に示すように、貼り合せ基板の両側に大型の光学フィルムを貼り付ける。次に、貼り合せ基板の主表面に貼り付けた光学フィルムのうち、一方の光学フィルムの一部を貼り合せ基板に形成されている液晶表示セルの外縁に沿って帯状に切除する。その後、切除部に分断用の亀裂を形成する。さらに、他方の光学フィルムについても同様に一部を切除し、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する。

表裏両側のうち一方の光学フィルムの切除及び本切除部への分断用の亀裂形成工程においては、ステージに密着する他方の光学フィルムの表面が平面状であるため（図１９参照）、十分にステージに吸引固定することができる。

図３に、貼り合せ基板をステージに固定したときの概略断面図を示し、図４に貼り合せ基板をステージに固定したときの概略平面図を示す。図３は、表裏のうち一方の光学フィルム３２ａの一部を帯状に切除して切除部３９を形成して、さらに分断用の亀裂４２を形成したのちに、他方の光学フィルム３２ｂの一部を切除して分断用の亀裂を形成するときの概略断面図である。

光学フィルム３２ａの切除部３９の形成と切除部３９の分断用の亀裂４２の形成が完了したら、光学フィルム３２ａがステージ３の板状部材１７に接触するように貼り合せ基板３１を反転させ、配置する。たとえば、貼り合せ基板３１の光学フィルム３２ａを図示しない板状部材に吸着させて反転した後、更に、貼り合せ基板３１の光学フィルム３２ｂを図示しない別の板状部材に吸着させてステージ３上に移動する。ステージ３において、貼り合せ基板３１の位置合せを行なう。貼り合せ基板３１の位置合せにおいては、たとえば、吸引孔８から空気を送風して貼り合せ基板３１を浮遊させた状態で図示しない位置決めピンにより位置合せを行なう。

次に、図示しない真空排気装置を駆動して、矢印５１に示すように吸引孔８を通じて貼り合せ基板３１の吸引を行なう。図３に示すように、貼り合せ基板３１をステージ３に吸引固定した後に、刃物１９を矢印５２および矢印５２に直交する方向に水平移動させて光学フィルム３２ｂの一部を帯状に切除し、さらに、光学フィルム３２ｂの切除部にホイルカッタ２３を水平移動させて分断用の亀裂を形成する。この動作を隣り合う液晶表示セル同士の間に対し、行方向及び列方向に繰返した後に、個々の液晶表示セルに分断する。

図５に、吸引固定を行なっているときの介在部材を形成した部分付近を拡大した概略拡大断面図を示す。図６に、図５におけるＶＩ−ＶＩ線に関する矢視断面図を示す。吸引が行なわれ、光学フィルム３２ａの表面がステージ３の板状部材１７の表面に密着するときに、貼り合せ基板３１の表面が介在部材１０の表面に密着する。貼り合せ基板３１と介在部材１０とが密着することにより密封部分が形成される。

図３および図４を参照して、介在部材１０は、ステージ３の吸引孔８が形成されている領域のまわりに配置され、閉じた枠形の形状を有する。このため、貼り合せ基板３１、介在部材１０、および板状部材１７で囲まれる空間が、真空排気装置に接続された閉空間になり、空気の流入を防止することができる。この結果、貼り合せ基板３１を安定してステージ３に吸引固定することができる。すなわち、光学フィルム３２ａに形成された切除部３９や吸引溝９を通って、空気がステージ３の吸引孔８に流入することを防止でき、貼り合せ基板３１を安定してステージ３に吸引固定することができる。

また、介在部材１０が、平らでステージ３の表面と平行な表面を有し、貼り合せ基板３１をステージ３に吸引して光学フィルム３２ａの表面をステージ３の板状部材１７の表面に密着させたときに、介在部材１０の表面と貼り合せ基板３１の表面とが密着する高さを有することによって、介在部材１０の表面と貼り合せ基板３１の表面との接触面積を大きくすることができ、より確実に空気の流入を防止することができる。さらに、貼り合せ基板３１がステージ３に吸引固定されたときに、貼り合せ基板３１が湾曲することを防止できる。たとえば、光学フィルム３２の一部の切除においては、貼り合せ基板３１を水平に固定することができ、光学フィルム３２の切除を確実に行うことができる。また、ホイルカッタ２３による分断についても確実に行うことが可能となる。

本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置を製造したところ、図２１および図２２に示した従来の製造装置においては、貼り合せ基板を十分にステージに吸引固定することができなかったが、ステージに切欠き部を形成して介在部材を配置することにより、貼り合せ基板を十分に吸引固定することができた。

本実施の形態においては、ステージが板状部材を有し、ステージの突起部として板状部材と基板とに挟まれるように形成された介在部材を有する。この構成を採用することにより、介在部材を交換するのみで、様々な厚さおよび大きさを有する基板を固定することができる。ただし、ステージの突起部としては、この形態に限られず、たとえば、板状部材と突起部とが１つの部材から一体的に形成されていても構わない。

また、本実施の形態においては、介在部材がアルミニウムで形成されているが、この形態に限られず、基板と介在部材との間から空気が流入しない材質で形成されていれば構わない。たとえば、介在部材は、塩化ビニルで形成されていても構わない。

本実施の形態においては、介在部材の断面形状がほぼ長方形になるように形成されている。この構成を採用することにより、介在部材と基板との接触面積を大きくすることができ、より確実に空気の流入を防止することができる。介在部材の断面形状は、長方形に限られず、任意の形状を採用することができるが、例えば長方形といったように、介在部材の基板が配置される部分がステージと平行な平面形状に形成されていれば、基板に反りが生じずより好適である。

また、ステージに形成された吸引孔は、ステージの突起部の内側の任意の位置に形成することができ、また、吸引溝もステージの突起部の内側において任意の形状に形成することができる。たとえば、吸引溝が放射状に形成され、吸引溝に沿って等間隔で吸引孔が形成されていても構わない。

本実施の形態においては、基板表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置について説明を行なったが、光学フィルムの切除と基板の亀裂形成を共に行なう装置に限定されず、たとえば、基板表面に配置された光学フィルムの一部を切除する光学フィルム切除装置や単に基板表面に亀裂を形成する分断装置にも適用することができる。

また、吸引孔または吸引溝と光学フィルムの平面視したときの端辺とが連通するものであれば、上記した装置に限られず、本実施の形態を適用することができる。たとえば、図７に示すような少なくとも一方の表面に比較的小型の光学フィルム３５を複数枚貼り付けた貼り合せ基板３１を、ステージに光学フィルム３５を吸着させて固定し加工する装置についても適用できる。この場合においても、基板をステージに吸引したときに光学フィルムが配置されていない部分から外気が入らないので基板を安定して吸引固定できる。

または、図８に示すような少なくとも一方の表面に一部を切除した光学フィルム３６を貼り付けた貼り合せ基板３１を、ステージに光学フィルム３６を吸着させて固定し加工する装置についても適用できる。この場合においても、同様に基板を吸引したときに光学フィルムを切除した部分から外気が入らないので基板を安定して吸引固定できる。

基板としては、液晶表示パネル用の貼り合せ基板に限られず、光学フィルムを貼り付けた任意の基板に対して本実施の形態の表示パネルの製造装置を用いることができる。たとえば、光学フィルムを有する有機ＥＬ表示パネルを製造する場合においても、本実施の形態の表示パネルの製造装置を用いることができる。

（実施の形態２）
図９から図１１を参照して、本発明に基づく実施の形態２における液晶表示パネルの製造装置および製造方法について説明する。本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置は、貼り合せ基板の表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置である。ステージに吸引孔および吸収溝が形成され、吸引孔が真空排気装置に接続されていることは、実施の形態１と同様である。

図９に、基板を配置して吸引固定を行なう前のステージの外周部の概略拡大断面図を示す。また、図１０に、図９におけるＸ−Ｘ線に関する矢視断面図を示す。本実施の形態におけるステージ４は、板状部材１７および介在部材１１を含む。板状部材１７には、外周全体に切欠き部２０が形成されている。

切欠き部２０の表面には、介在部材１１およびパッキン１５が配置されている。介在部材１１は、パッキン１５が収納できる程度に切欠き部２０よりも水平方向が小さい。介在部材１１は、断面形状がほぼ長方形になるように形成されている。介在部材１１は、平面的に見て枠形に形成されている。介在部材１１は、板状部材１７および固定されるべき貼り合せ基板３１に挟まれるように配置されている。

パッキン１５は、断面形状が円形になるように形成されている。パッキン１５は、平面形状が線状になるように形成されている。パッキン１５は弾性を有するように形成されている。本実施の形態においては、パッキン１５はシリコーンゴムで形成されている。パッキン１５は、板状部材１７と貼り合せ基板３１とに挟まれるように配置されている。パッキン１５は、平面視したときに介在部材１１の内側であって、切欠き部２０の内側端にある段差と介在部材１１との間に配置される。パッキン１５は、介在部材１１に沿うように配置されている。パッキン１５は、枠形に形成されている。パッキン１５は、吸引孔および吸引溝が形成されている領域の周りを取り囲むように配置されている。

介在部材１１は、貼り合せ基板３１をステージ４に向かって吸引して、光学フィルム３２ａの表面をステージ４の表面に密着させたときに、介在部材１１の表面と貼り合せ基板３１の表面とが密着する高さを有する。

パッキン１５は、基板を配置したときに最も基板と早く接触する部分（以下、頂部と称する）が、基板を配置していない無負荷のときに、介在部材１１の表面よりも高さが高くなるように形成されている。具体的には、パッキン１５は、基板を配置したときにパッキン１５の頂部の高さが介在部材１１の表面の高さと同等となるか、或いは、貼り合せ基板３１の吸引が行なわれていないときに、パッキン１５の頂部の高さが介在部材１１の表面の高さよりも高くなるように形成されている。パッキン１５は、前者においては、基板の配置とともにパッキン１５の頂部が介在部材１１の表面の高さと同じ高さまで圧縮され、後者においては、貼り合せ基板３１の吸引が行なわれたときにパッキン１５の頂部が介在部材１１の表面の高さと同じ高さまで圧縮されるように形成されている。以下に記載する作用および効果については、後者の場合を基に説明する。

本実施の形態においては、介在部材の内側にパッキンが配置されているが、特にこの形態に限られず、介在部材の外側にパッキンが配置されていても構わない。この場合には、パッキンが貼り合せ基板に接触するように切欠き部および介在部材を形成して、パッキンを配置する。

その他の構成については、実施の形態１と同様であるので、ここでは説明を繰返さない。また、上記した実施の形態１にかかる種々の変形に関しても同様に本実施の形態に適用することができる。

本実施の形態における分断装置において、真空排気装置を駆動することにより、ステージに形成された吸引孔および吸引溝を通して、貼り合せ基板が吸引され、ステージに固定されることは、実施の形態１と同様である。

図１１に、貼り合せ基板をステージに吸引固定したときのステージの端部の概略断面図を示す。吸引が開始されるとともに、貼り合せ基板３１は、ステージ４に向かって引き寄せられる。パッキン１５は、板状部材１７と貼り合せ基板３１とに挟まれ圧縮される。

光学フィルム３２ａが板状部材１７の表面に密着するとともに、貼り合せ基板３１が介在部材１１の表面に密着する。本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置においては、介在部材１１と貼り合せ基板３１とが密着することにより第１の密封部が形成される。さらに、パッキン１５が板状部材１７および貼り合せ基板３１に密着することにより、第２の密封部を形成することができる。このように本実施の形態においては、二重の密封部で空気の流入を防止することができ、貼り合せ基板をより強く吸引固定することができる。

本実施の形態においては、パッキンの断面形状が円形になるように形成されているが、この形態に限られず、空気の流入を防止するように機能するものであれば任意の形状のパッキンを用いることができる。

次に、本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置を実際に形成して性能試験を行なった。パッキン１５は、無負荷の時に、介在部材１１の表面より頂部の高さが約１００μｍ高くなる大きさに形成した。パッキン１５をシリコーンゴムで形成して、介在部材１１をアルミニウムで形成した。さらに、介在部材１１の内側にパッキン１５を配置した分断装置の他に、介在部材１１の外側にパッキン１５を配置した分断装置についても性能試験を行なった。

性能試験の結果、従来の技術においては、空気の流入のために十分に吸引固定できなかった貼り合せ基板について、介在部材の内側にパッキンが配置された分断装置および介在部材の外側にパッキンが配置された分断装置の両方について、貼り合せ基板を十分に吸引固定することができた。

その他の作用および効果については、実施の形態１と同様であるのでここでは説明を繰返さない。

（実施の形態３）
図１２から図１４を参照して、本発明に基づく実施の形態３における液晶表示パネルの製造装置および製造方法について説明する。本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置は、貼り合せ基板の表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置である。ステージに吸引孔および吸収溝が形成され、吸引孔が真空排気装置に接続されていることは、実施の形態１と同様である。

図１２に、貼り合せ基板をステージに配置して、吸引固定を行なう前のステージの外周部の概略断面図を示す。また、図１３に、図１２におけるＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に関する矢視断面図を示す。本実施の形態におけるステージ５は、板状部材１７および介在部材１２を含む。板状部材１７には、外周全体に切欠き部２０が形成されている。

切欠き部２０の表面には、介在部材１２およびパッキン１６が配置されている。介在部材１２は、断面形状がほぼ長方形になるように形成されている。介在部材１２は、平面的に見て枠形に形成されている。介在部材１２は、板状部材１７および固定されるべき貼り合せ基板３１に挟まれるように配置されている。

介在部材１２は、基板と接触する領域に窪み部２１を含む。窪み部２１は、平面的に見て線状に形成されている。窪み部２１は、平面的に見て介在部材１２が延びる方向に沿うように形成されている。窪み部２１の内部には、パッキン１６が配置されている。パッキン１６は断面形状が円形になるように形成されている。パッキン１６は、平面視したときに線状の枠形に形成されている。窪み部２１は、底部がパッキン１６の断面形状の円形に沿うように半円に形成されている。

介在部材１２は、貼り合せ基板３１をステージ５に向かって吸引して、光学フィルム３２ａの表面をステージ５の表面に密着させたときに、介在部材１２の表面と貼り合せ基板３１の表面とが密着する高さを有する。

パッキン１６は、基板を配置していない無負荷のときに、窪み部２１が形成されている介在部材１２の表面よりもパッキン１６の頂部の高さが高くなるように形成されている。具体的には、パッキン１６は、基板を配置したときにパッキン１６の頂部の高さが介在部材１２の表面の高さと同等となるか、或いは、貼り合せ基板３１の吸引が行なわれていないときに、パッキン１６の頂部の高さが介在部材１２の表面の高さよりも高くなるように形成されている。パッキン１６は、前者においては、基板の配置とともにパッキン１６の頂部が介在部材１２の表面の高さと同じ高さまで圧縮され、後者においては、貼り合せ基板３１の吸引が行なわれたときに、パッキン１６の頂部が介在部材１２の表面の高さと同じ高さまで圧縮されるように形成されている。以下に記載する作用および効果については、後者の場合を基に説明する。

その他の構成については、実施の形態１と同様であるので、ここでは説明を繰返さない。また、上記した実施の形態１にかかる種々の変形に関しても同様に本実施の形態に適用することができる。

本実施の形態における分断装置において、真空排気装置を駆動することにより、ステージに形成された吸引孔および吸引溝を通して、貼り合せ基板が吸引され、ステージに固定されることは、実施の形態１と同様である。

図１４に、貼り合せ基板をステージに吸引固定したときのステージの端部の概略断面図を示す。真空排気装置により吸引が行なわれることにより、貼り合せ基板３１がステージ６に向かって吸引される。パッキン１６は圧縮され、窪み部２１および貼り合せ基板３１に密着する。光学フィルム３２ａが、板状部材１７の表面に密着するとともに、貼り合せ基板３１の表面が介在部材１２の表面に密着する。

本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置においては、貼り合せ基板３１と介在部材１２とが密着することにより、第１の密封部を形成でき、さらに、パッキン１６が窪み部２１および貼り合せ基板３１に密着することにより、第２の密封部を形成することができる。このように本実施の形態においては、二重の密封部で空気の流入を防止することができ、貼り合せ基板をより強く吸引固定することができる。

本実施の形態においては、パッキンの断面形状が円形になるように形成されているが、この形態に限られず、空気の流入を防止するように機能するものであれば任意の形状のパッキンを用いることができる。窪み部の底部は、パッキンの形状に沿うように形成されていることが好ましい。この構成を採用することにより、窪み部とパッキンとの接触面積を大きくすることができ、より確実に空気の流入を防止できる。

次に、本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置を実際に形成して性能試験を行なった。介在部材１２をアルミニウムを用いて形成して、パッキン１６をシリコーンゴムを用いて形成した。パッキン１６は、無負荷の時に、介在部材１２の表面より頂部の高さが約１００μｍ高くなる大きさに形成した。性能試験の結果、従来の技術においては、空気の流入のために十分に吸引固定できなかった貼り合せ基板を十分に吸引固定することができた。

その他の作用および効果については、実施の形態１と同様であるのでここでは説明を繰返さない。

（実施の形態４）
図１５から図１７を参照して、本発明に基づく実施の形態４における液晶表示パネルの製造装置について説明する。本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置は、貼り合せ基板の表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置である。ステージに吸引孔および吸収溝が形成され、吸引孔が真空排気装置に接続されていることは、実施の形態１と同様である。

図１５に、貼り合せ基板をステージに配置して、吸引固定を行なう前のステージの外周部の概略断面図を示す。また、図１６に、図１５におけるＸＶＩ−ＸＶＩ線に関する矢視断面図を示す。本実施の形態におけるステージ６は、板状部材１７および介在部材１３を含む。板状部材１７には、外周全体に切欠き部２０が形成されている。

切欠き部２０の表面には、介在部材１３が配置されている。介在部材１３は、断面形状がほぼ長方形になるように形成され、該長方形の４つの角のうち、１つの角に窪み部２２が形成されている。介在部材１３は、平面的に見て枠形に形成されている。介在部材１３は、板状部材１７および固定されるべき貼り合せ基板３１に挟まれるように配置されている。

窪み部２２は、介在部材１３の内側に形成されている。窪み部２２には、パッキン１６が配置されている。パッキン１６は、断面形状が円形になるように形成されている。窪み部２２は、パッキン１６の断面形状の円形に沿うように、円弧状の部分を有する。窪み部２２およびパッキン１６は、平面視したときに線状の枠形に形成されている。

介在部材１３は、貼り合せ基板３１をステージ６に向かって吸引して、光学フィルム３２ａの表面をステージ６の表面に密着させたときに、介在部材１３の表面と貼り合せ基板３１の表面とが密着する高さを有する。

パッキン１６は、基板を配置していない無負荷のときに、窪み部２２が形成されている介在部材１３の表面よりもパッキン１６の頂部の高さが高くなるように形成されている。具体的には、パッキン１６は、基板を配置したときにパッキン１６の頂部の高さが介在部材１３の表面の高さと同等となるか、或いは、貼り合せ基板３１の吸引が行なわれていないときに、パッキン１６の頂部の高さが介在部材１３の表面の高さよりも高くなるように形成されている。パッキン１６は、前者においては、基板の配置とともにパッキン１６の頂部が介在部材１３と同じ高さまで圧縮され、後者においては、貼り合せ基板３１の吸引が行なわれたときに、パッキン１６の頂部の高さが介在部材１３の表面の高さと同じ高さまで圧縮されるように形成されている。以下に記載する作用および効果については、後者の場合を基に説明する。

本実施の形態における窪み部２２は、介在部材１３の内側に形成されているが、介在部材１３の外側に形成されても構わない。

その他の構成については、実施の形態１と同様であるので、ここでは説明を繰返さない。また、上記した実施の形態１にかかる種々の変形に関しても同様に本実施の形態に適用することができる。

本実施の形態における分断装置において、真空排気装置を駆動することにより、ステージに形成された吸引孔および吸引溝を通して、貼り合せ基板が吸引され、ステージに固定されることは、実施の形態１と同様である。

図１７に、貼り合せ基板をステージに吸引固定したときのステージの端部の概略断面図を示す。真空排気装置により吸引が行なわれることにより、貼り合せ基板３１がステージ６に向かって吸引される。パッキン１６は圧縮され、窪み部２２および貼り合せ基板３１に密着する。光学フィルム３２ａが、ステージ６の板状部材１７に密着するとともに、貼り合せ基板３１の表面と介在部材１３の表面とが密着する。

本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置においては、介在部材１３と貼り合せ基板３１とが密着して第１の密封部を形成でき、さらに、パッキン１６が窪み部２２および貼り合せ基板３１に密着することによって第２の密封部を形成することができる。このように本実施の形態においては、二重の密封部で空気の流入を防止することができ、貼り合せ基板をより強く吸引固定することができる。

本実施の形態においては、パッキンの断面形状が円形になるように形成されているが、この形態に限られず、空気の流入を防止するように機能するものであれば任意の形状のパッキンを用いることができる。窪み部の底部は、パッキンの形状に沿うように形成されていることが好ましい。この構成を採用することにより、窪み部とパッキンとの接触面積を大きくすることができ、より確実に空気の流入を防止できる。

次に、本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置を用いて、性能試験を行なった。介在部材１３は、アルミニウムを用いて形成して、パッキンは、シリコーンゴムを用いて形成した。パッキン１６は、無負荷のときに、介在部材１３の表面より頂部の高さが約１００μｍ高くなる大きさに形成した。また、窪み部が介在部材の外側に形成され、窪み部にパッキンが配置されたものについても同様の性能試験を行なった。性能試験の結果、窪み部が介在部材の内側に配置された分断装置および窪み部が介在部材の外側に配置された分断装置ともに、従来の技術においては、十分に吸引固定できなかった貼り合せ基板を十分に吸引固定することができた。

その他の作用および効果については、実施の形態１と同様であるのでここでは説明を繰返さない。

なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

本発明は、表示パネルの製造に有利に適用されうる。

Claims (9)

1. 少なくとも一方の表面に光学フィルム（３２，３２ａ，３２ｂ，３５，３６）が貼り付けられた基板（３１，３４）を固定するためのステージ（３〜６）を備え、
   前記ステージ（３〜６）は、前記基板（３１，３４）を吸引するための吸引孔（８）を有し、
   前記ステージ（３〜６）は、前記吸引孔（８）が形成されている領域の周りに突起部を含み、
   前記突起部は、平面形状が閉じた枠形に形成された、表示パネルの製造装置。
2. 前記突起部は、前記基板（３１，３４）の吸引を行い、前記光学フィルム（３２，３２ａ，３２ｂ，３５，３６）の表面を前記ステージ（３〜６）の表面に密着させたときに、前記突起部の表面と前記基板（３１，３４）の表面とが密着する高さを有する、請求項１に記載の表示パネルの製造装置。
3. 前記突起部は、平らな表面を有し、
   前記突起部は、前記表面が前記ステージ（３〜６）の表面と平行である、請求項２に記載の表示パネルの製造装置。
4. 前記ステージ（３〜６）は、板状部材（１７）を含み、
   前記突起部は、前記板状部材（１７）と前記基板（３１，３４）とに挟まれるように形成された介在部材（１０〜１３）を有する、請求項１に記載の表示パネルの製造装置。
5. 弾性を有するパッキン（１５）を備え、
   前記パッキン（１５）は、前記ステージ（４）と前記基板（３１，３４）とに挟まれるように配置され、
   前記パッキン（１５）は、前記突起部に沿うように、前記吸引孔（８）が形成されている領域の周りに配置され、
   前記パッキン（１５）は、無負荷のときに、前記突起部の表面より頂部の高さが高くなるように形成された、請求項１に記載の表示パネルの製造装置。
6. 前記パッキン（１５）は、前記基板（３１，３４）の吸引が行なわれたときに、前記突起部の表面と同じ高さに頂部の高さが変形する、請求項５に記載の表示パネルの製造装置。
7. 弾性を有するパッキン（１６）を備え、
   前記突起部は、前記基板（３１，３４）が接触する側の表面に窪み部（２１，２２）を有し、
   前記パッキン（１６）は、前記窪み部（２１，２２）に配置され、
   前記パッキン（１６）は、無負荷のときに、前記窪み部（２１，２２）が形成されている前記突起部の表面より頂部の高さが高くなるように形成された、請求項１に記載の表示パネルの製造装置。
8. 前記パッキン（１６）は、前記基板（３１，３４）の吸引が行なわれたときに、前記突起部の表面と同じ高さに頂部の高さが変形する、請求項７に記載の表示パネルの製造装置。
9. 少なくとも一方の表面に光学フィルム（３２，３２ａ，３２ｂ，３５，３６）が貼り付けられた基板（３１，３４）を固定するためのステージ（３〜６）を備え、
   前記ステージ（３〜６）は、前記基板（３１，３４）を吸引するための吸引孔（８）を有し、
   前記ステージ（３〜６）は、前記吸引孔（８）が形成されている領域の周りに突起部を含み、
   前記突起部は、平面形状が閉じた枠形に形成された表示パネルの製造装置を用いる表示パネルの製造方法であって、
   前記光学フィルム（３２，３２ａ，３２ｂ，３５，３６）と前記ステージ（３〜６）とを対向させ配置する工程と、
   前記吸引孔（８）を用いて前記基板（３１，３４）を吸引することによって、前記突起部の表面と前記基板（３１，３４）の表面とが密着して閉空間を形成し、前記光学フィルム（３２，３２ａ，３２ｂ，３５，３６）の表面を前記ステージ（３〜６）の表面に吸着させる工程とを含む、表示パネルの製造方法。

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