CN101010711A - 显示板的制造装置和显示板的制造方法 - Google Patents

Abstract

液晶显示板的制造装置具备用来固定至少在一个表面上贴附光学薄膜的基板的载物台(3)。载物台(3)具有吸引基板用的吸引孔(8)。载物台(3)在形成吸引孔区域的周围含有中间构件(10)，中间构件(10)的平面形状形成闭合的框形。提供能稳定地固定基板的液晶显示板的制造装置。

Description

显示板的制造装置和显示板的制造方法

技术领域

本发明涉及显示板的制造装置和显示板的制造方法。尤其涉及利用吸引将基板固定在载物台上的显示板制造装置和显示板制造方法。

背景技术

作为显示板的代表性的例子，有液晶显示板。在液晶显示板的制造方法中，有利用对大型的基板形成多个液晶显示单元，然后分割成单个液晶显示单元的多面采用的方法。在5英时程度的中小型大小的液晶显示板的制造方法中，先形成含有多个液晶显示板的贴合基板。贴合基板含有用密封材料互相贴合的2片大型的玻璃。分割该大型的贴合基板，形成薄长方形的贴合基板。

接着，对薄长方形的贴合基板进行液晶的注入和密封，分割为单个液晶显示单元。接着对各单个液晶显示单元主表面粘附光学薄膜，制造液晶显示板。光学薄膜上含有偏光板或相位板。光学薄膜的贴附中，一般是在这种单个液晶显示单元的表面上逐片贴附光学薄膜的方法。

可是，该方法中，由于必须对每个液晶显示单元个别地逐个贴附光学薄膜，故存在生产效率低的问题。即使用专用的光学薄膜贴附装置进行贴附，也因静电使光学薄膜每一片的贴附速度受到制约，光学薄膜贴附速度的高速化也存在限制。因此，为了光学薄膜的贴附，若不导入多个光学薄膜贴附装置，就存在不能确保高生产率的问题。存在用来贴附光学薄膜的设备投资大幅度膨胀，进而导致最终产品即液晶显示装置的价格上升的问题。

特开2004-4636公报中，揭示了在大型基板上配置成环形的密封材料的内侧区域，或在大型基板中密封材料内侧对应的区域，供给液晶，并使基板之间贴合的制造方法。在该大型的贴合基板上形成多个液晶显示单元。其次，揭示了对贴合基板总括地贴附大型的光学薄膜，然后分割成单个的液晶显示单元的方法。有关将大型光学薄膜贴附到贴合基板上的装置，例如由特开2003-161935公报所揭示。

图18示出包含多个液晶显示单元的贴合基板的概略平面图，图19示出概略剖视图。图18和图19所示的贴合基板中，形成20行×14列，合计280个液晶显示单元。贴合基板34具备互相相对地贴合的2片玻璃基板。在贴合基板34的主表面上，贴附光学薄膜32。贴合基板34包含多个液晶显示单元33。液晶显示单元33形成实质上长方形的平面形状，各自规则地排列。各液晶显示单元33互相隔开间隔地配置。配置光学薄膜32使覆盖形成于贴合基板34上的全部液晶显示单元。

如图20所示，在将形成多个液晶显示单元的贴合基板分割成单个液晶显示单元的工序中，带形地除去光学薄膜32的一部分，使露出带形的玻璃基板。切除部39是切除光学薄膜32的一部分的部分。切除部39形成于贴合基板34上形成的液晶显示单元相互之间。光学薄膜32对应于各液晶显示单元的形状。

接着，用玻璃划线形成用的滚动刀具，在切除部39上形成割断用的龟裂。最后，沿形成的龟裂截断贴合基板31，形成单个液晶显示单元。外部驱动装置等连接到被分割的单个液晶显示单元上，配置壳体，制成液晶显示装置。

如图19所示，在液晶显示板中基板的两侧，贴附了光学薄膜。例如，在透射型的液晶显示板中，贴合的两侧基板的表面上，贴附了光学薄膜。

在对贴合基板切除液晶显示单元周围的光学薄膜，然后在切除部分形成分割用的龟裂，分割成单个液晶显示单元的分割装置中，将贴合基板固定在载物台上，用刀具切除光学薄膜的一部分，由滚动刀具在光学薄膜切除部分形成分割用的龟裂。例如图20所示的贴合基板中形成切除部分39的同时，在切除部分39形成分割用的龟裂。

在光学薄膜贴附到基板两侧表面的贴合基板的光学薄膜的切除与对基板的龟裂形成中，先将贴合基板固定到分割装置的载物台上。

图21示出分割装置中贴合基板固定到载物台上时的概略剖视图，图22示出概略平面图。图21和图22所示的贴合基板31中，形成4行×5列合计20个液晶显示单元。另外，图21和图22所示的分割装置利用吸引将贴合基板31固定到载物台43上。

载物台43上形成多个吸引孔8，吸引孔8连接到未图示的真空排气装置。载物台43的平面形状使实质上为长方形。贴合基板31配置于载物台43的实质上中央位置。载物台43具有形成于载物台表面的使连通吸引孔8的吸引沟9。吸引沟9从顶面看时形成格子形。吸引孔8隔开一定间隔地形成。吸引孔8形成在格子形吸引沟的交叉部分。

专利文献1：特开2004-4636号公报

专利文献2：特开2003-161935号公报

参照图21和图22，利用真空排气装置在箭头所示的方向上吸气。该分割装置将形成于贴合基板31表面上的光学薄膜32a吸附到载物台43上，使贴合基板31固定于载物台43上。

贴附在贴合基板31的两侧表面的光学薄膜之中，光学薄膜32a中形成切除部39，实施光学薄膜的一部分切除。另外，在贴合基板31的光学薄膜32a侧的表面上，形成龟裂42。在切除光学薄膜32b的一部分，然后在切除部39上形成分割用的龟裂之际，有必要使形成切除部39的光学薄膜32a吸附在载物台43上。

但是，由于切除部39与吸引沟9相连通，故空气通过切除部39和吸引沟9流入吸引孔8。因此，存在不能充分吸引固定贴合基板31的问题。即是说，存在如箭头53所示，空气从外部流入，不能进行充分的吸引固定的问题。这样的问题，不仅在液晶显示板而且在主表面上有光学薄膜的有机EL显示板的制造中，也同样发生。

发明内容本发明的目的在于提供一种能稳定地固定基板的显示板的制造装置和显示板的制造方法。

基于本发明的显示板的制造装置，具备用来固定至少在一方的表面上贴附光学薄膜的基板的载物台，载物台具有用来吸引基板的吸引孔，载物台在吸引孔形成区域的周围含有突起部，突起部平面形状形成闭合的框形。通过采用这种构成，能提供可稳定地吸引固定基板的显示板的制造装置。

上述发明中理想的是，突起部具有平的表面，突起部的表面与载物台的表面平行，突起部具有在进行基板的吸引，使所述光学薄膜的表面紧密接触到载物台的表面时，突起部的表面与基板的表面紧密接触的高度。通过采用这种构成，能防止基板被弯曲地固定，同时能加大突起部表面与基板表面的接触面积，可更稳定地将基板吸引固定到载物台上。

上述发明中理想的是，载物台含有板状构件，突起部具有由板状构件与基板夹着地形成的中间构件。通过采用这种构成，使可能变更突起部的构成，能容易地对应于多种基板。

上述发明中理想的是，具备有弹性的填密件，由载物台与基板夹住地配置填密件，填密件沿着突起部配置于形成吸引孔的区域的周围，形成填密件使在无负荷时顶部高度比突起部的表面来得高，在基板的吸引被实施时，顶部高度变形为与突起部的表面同等的高度。通过采用这种构成，能以突起部与填密件进行密封，能更强力地吸引固定基板。

上述发明中理想的是，具备有弹性的填密件，突起部在基板接触一侧表面具有凹部，填密件配置于凹部中。另外，形成填密件使在无负荷时顶部高度比形成凹部的突起部的表面来得高，在基板的吸引被实施时，顶部高度变形为与突起部的表面同等的高度。通过采用这种构成，能以突起部与填密件进行密封，能更强力地吸引固定基板。

基于本发明的显示板的制造方法，是在显示板的制造方法中包括以下工序：使光学薄膜向着载物台配置的工序，通过用吸引孔吸引基板，突起部的表面与基板的表面紧密接触，形成闭合空间，使光学薄膜的表面吸附到载物台的表面的工序。通过采用这种方法，能稳定地固定基板，因此能正确地加工基板。

根据本发明，能提供可稳定地固定基板的显示板的制造装置和显示板的制造方法。

附图说明

图1是实施形态1中的载物台的概略剖视图。

图2是实施形态1中的载物台的概略平面图。

图3是实施形态1中的将贴合基板固定于载物台时的概略剖视图。

图4是实施形态1中的将贴合基板固定于载物台时的概略平面图。

图5是实施形态1中的将贴合基板配置于载物台时的外周部的第1概略剖视图。

图6是实施形态1中的将贴合基板配置于载物台时的外周部的第2概略剖视图。

图7是实施形态1中的另一种贴附光学薄膜的基板的斜视图。

图8是实施形态1中的再一种贴附光学薄膜的基板的斜视图。

图9是实施形态2中的将贴合基板配置于载物台时的外周部的第1概略剖视图。

图10是实施形态2中的将贴合基板配置于载物台时的外周部的第2概略剖视图。

图11是实施形态2中的将贴合基板固定于载物台时的外周部的概略剖视图。

图12是实施形态3中的将贴合基板配置于载物台时的外周部的第1概略剖视图。

图13是实施形态3中的将贴合基板配置于载物台时的外周部的第2概略剖视图。

图14是实施形态3中的将贴合基板固定于载物台时的外周部的概略剖视图。

图15是实施形态4中的将贴合基板配置于载物台时的外周部的第1概略剖视图。

图16是实施形态4中的将贴合基板配置于载物台时的外周部的第2概略剖视图。

图17是实施形态4中的将贴合基板固定于载物台时的外周部的概略剖视图。

图18是将光学薄膜贴附到贴合基板时的概略平面图。

图19是将光学薄膜贴附到贴合基板时的概略剖视图。

图20是沿液晶显示单元切除光学薄膜时的概略平面图。

图21是基于以往的技术的液晶显示板的制造装置中在载物台上配置贴合基板时的概略剖视图。

图22是基于以往的技术的液晶显示板的制造装置中在载物台上配置贴合基板时的概略平面图。

标号说明

3～6、43载物台，8吸引孔，9吸引沟，10～13中间构件，15、16填密件，17板形构件，19刀具，20切口部，21、22凹部，23滚动刀具，31、34贴合基板，32、32a、32b、35、36光学薄膜，33液晶显示单元，39切除部，42龟裂，51～53箭头。

具体实施方式

(实施形态1)

参照图1至图8和图18至图20，说明作为基于本发明的实施形态1的液晶显示板的一例即液晶显示板的制造装置和制造方法。

本实施形态中的液晶显示板的制造装置，是在对贴合基板分割为单个的液晶显示单元的工序中，切除配置于基板表面的光学薄膜的一部分，然后对切除部形成分割用的龟裂，分割成单个的液晶显示单元的分割装置。

如图18和图19所示，贴合基板使2片玻璃基板互相对向地贴合。在2片玻璃基板之间形成多个液晶显示单元。形成液晶显示单元使平面形状实质上为长方形的、有规则地配置。在贴合基板两侧的主表面上，贴附光学薄膜。本实施形态中的分割装置，如图20所示，是用于带形地切除液晶显示单元相互间的光学薄膜，使光学薄膜形成液晶显示板的形状，同时对切除部形成分割用的龟裂，分割成单个的液晶显示单元的装置。

图1示出本实施形态中的分割装置的载物台的部分的概略剖视图，图2示出载物台的概略平面图。用来固定贴合基板的载物台3具有板形构件17与中间构件10。以下例示的贴合基板中形成4行×5列的合计20个液晶显示单元，但是可与液晶显示单元的个数无关地应用本发明。

板形构件17形成平板形，平面形状实质上为长方形。板形构件17具有用来实施吸引的吸引孔8。板形构件17在配置贴合基板的一侧表面上，从顶面看时具有形成线形的吸引沟9。吸引孔8连接未图示的真空排气装置。

本实施形态中的吸引孔8贯通板形构件17。吸引孔8从顶面看时，配置成等间隔。本实施形态中的吸引沟9，延伸方向实质上平行于载物台3的外缘。吸引沟9从顶面看时形成格子形。吸引孔8形成于吸引沟9相互交叉的部分上。吸引孔8连通到吸引沟9。吸引孔8和吸引沟9形成于基板上配置的光学薄膜紧密接触的区域。在与板形构件17的配置基板一侧(下称表面侧)的反面侧(下称底面侧)，吸引孔8连接未图示的真空排气装置。

载物台3具有在形成吸引孔8的区域的周围形成的中间构件10。中间构件10形成为从载物台的表面突出的突起部。在本实施形态中，中间构件10由铝形成。中间构件10与板形构件17用螺丝固定，使空气不能通过中间构件10与板形构件17的接合部分流入。中间构件10的断面形状为长方形，从顶面看时具有闭合的框形。吸引孔8和吸引沟9在从顶面看时配置于中间构件10的内侧。

参照图1，配置中间构件10，使得由应配置的贴合基板与板形构件17所夹持。板形构件17在其全部外周上形成具有切开表面形状的缺口部20，中间构件10配置于缺口部20上。

在将贴合基板吸引到载物台3，使光学薄膜的表面紧密接触载物台3的表面时，中间构件10使其表面与贴合基板的表面紧密接触。换句话说，形成中间构件10的配置贴合基板一侧(下称表面侧)的面，使距光学薄膜接触的板形构件17的表面的高度，实质上只是光学薄膜的厚度。

如图18至图20所示，在贴合基板的两侧贴附大型的光学薄膜。接着，贴附于贴合基板主表面上的光学薄膜中，沿形成于贴合基板上的液晶显示单元的外缘，带形地切除一方的光学薄膜的一部分。然后，对切除部形成分割用的龟裂。再对另一方光学薄膜也同样切除一部分，对切除部形成分割用的龟裂，分割成单个的液晶显示单元。

在表里两侧中一方的光学薄膜的切除和对该切除部的分割用的龟裂形成工序中，因紧密接触载物台的另一方光学薄膜的表面是平面形状(参照图19)，因此能充分地吸引固定于载物台上。

图3示出贴合基板固定于载物台上时的概略剖视图，图4示出贴合基板固定于载物台上时的概略平面图。图3是在带形地切除表里中的一方的光学薄膜32a的一部分并形成切除部39，再形成分割用的龟裂42之后，切除另一方光学薄膜32b的一部分并形成分割用的龟裂时的概略剖视图。

完成光学薄膜32a的切除部39的形成与切除部39的分割用的龟裂42的形成后，反转配置贴合基板31，使光学薄膜32a接触载物台3的板形构件17。例如，在反转贴合基板31的光学薄膜32a并吸附到未图示的板形构件上后，再使贴合基板31的光学薄膜32b吸附到未图示的另一板形构件上，移动到载物台3。在载物台3中进行贴合基板的位置对准。贴合基板31的位置对准中，例如，从吸引孔8送入空气使贴合基板31浮起的状态下，利用未图示的定位销进行位置对准。

其次，驱动未图示的真空排气装置，如箭头51所示，通过吸引孔8吸引贴合基板31。如图3所示，将贴合基板31吸引固定于载物台3之后，在箭头52和正交于箭头52的方向上使刀具19水平移动，带形地切除光学薄膜32b的一部分，再在光学薄膜32b的切除部使滚刀23水平移动，形成分割用的龟裂。对相邻的液晶显示单元相互之间，在行方向和列方向上重复这一动作之后，分割成单个的液晶显示单元。

图5示出放大了形成实施吸引固定时的中间构件的部分附近的概略放大剖视图。图6示出图5中VI-VI线的剖视图。在实施吸引，光学薄膜32a的表面紧密接触载物台3的板形构件17的表面时，贴合基板31的表面紧密接触中间构件10的表面。通过贴合基板31与中间构件10紧密接触，形成了密封部分。

参照图3和图4，中间构件10配置于载物台3的吸引孔8形成的区域的周围，具有闭合框形。因此，由贴合基板31、中间构件10和板形构件17包围的空间成为连接了真空排气装置的闭合空间，能防止空气的流入。结果，能稳定地吸引贴合基板31固定到载物台3上。也就是说，通过光学薄膜32a上形成的切除部39和吸引沟9，可防止空气流入载物台3的吸引孔8，能稳定地吸引贴合基板31固定到载物台3上。

另外，中间构件10具有平的、与载物台3的表面平行的表面，在贴合基板31吸附到载物台3，光学薄膜32a的表面紧密接触载物台3的板形构件17的表面时，具有中间构件10的表面与贴合基板31的表面紧密接触的高度，从而能加大中间构件10的表面与贴合基板31的表面的接触面积，并能更可靠地防止空气的流入。而且，当贴合基板被吸引固定于载物台3时，能防止贴合基板31的弯曲。例如，在光学薄膜32的一部分的切除中，能水平地固定贴合基板31，能可靠地实施光学薄膜32的切除。另外，也可能可靠地进行由滚动刀具23实施的分割。

图21和图22所示的以往的制造装置中，不能将贴合基板充分地吸引固定于载物台上，但在制造本实施形态的液晶显示板的制造装置中，通过对载物台形成切口，配置中间构件，能充分地吸引固定贴合基板。

本实施形态中，载物台具有板形构件，具有由板形构件与基板夹持地形成的中间构件，作为载物台的突起部。通过采用这种构成，只需交换中间构件就能固定具有各种厚度和大小的基板。但是作为载物台的突起部，不限于这种形态，例如也不妨由一个构件一体地形成板形构件与突起部。

另外，本实施形态中，中间构件由铝形成，但不限于这种形态，也可用空气不从基板与中间构件之间流入的材质来形成。例如，中间构件也可用氯化乙烯形成。

本实施形态中，中间构件的断面形状实质上为长方形。通过采用这种构成，可加大中间构件与基板的接触面积，能更可靠地防止空气的流入。中间构件的断面形状不限于长方形，可采用任意的形状，但如果形成中间构件的配置基板的部分为与载物台平行的平面形状，例如像长方形那样，则基板不产生弯曲，更为合适。

另外，形成于载物台的吸引孔，可形成于载物台的突起部内侧的任意位置，又吸引沟也可以在载物台的突起部内侧形成任意的形状。例如，也可以形成吸引沟为放射形，沿吸引沟等间隔地形成吸引孔。

本实施形态中，对切除配置于基板表面的光学薄膜的一部分，然后在切除部分形成分割用的龟裂，分割成单个的液晶显示单元的分割装置作了说明，但不限定于一起进行光学薄膜的切除与基板龟裂的形成的装置，例如也可适用于切除配置于基板表面的光学薄膜的一部分的光学薄膜切除装置或单是在基板表面上形成龟裂的分割装置。

另外，如果是吸引孔或吸引沟与光学薄膜的从顶面看到时的端边相连通的情况，则不限于上述装置，能应用本实施形态。例如，也能适用于使光学薄膜35吸附到载物台，固定加工如图7所示那样至少在一方的表面上贴附多片比较小型的光学薄膜的基板31的装置。在这种场合因载物台吸引基板时，外界空气不从未配置光学薄膜的部分进入，故也能稳定地吸引固定基板。

或者，也能适用于使光学薄膜36吸附到载物台，固定加工如图8所示那样贴附至少在一方的表面上切除一部分的光学薄膜36的贴合基板31的装置。在这种场合同样因载物台吸引基板时，外界空气不从切除光学薄膜的部分进入，故也能稳定地吸引固定基板。

作为基板，不限于液晶显示板用的贴合基板，对于贴附光学薄膜的任何基板，能用本实施形态的显示板的制造装置。例如在制造具有光学薄膜的有机EL显示板时，也能用本实施形态的显示板的制造装置。

(实施形态2)

参照图9至图11，说明基于本发明的实施形态2的液晶显示板的制造装置和制造方法。本实施形态的液晶显示板的制造装置，是切除配置于贴合基板表面的光学薄膜的一部分，然后在切除部形成分割用的龟裂，分割成单个的液晶显示单元的分割装置。对载物台形成吸引孔和吸引沟，吸引孔被连接到真空排气装置这一方面，是与实施形态1相同的。

图9示出配置基板、进行吸引固定前的载物台的外周部分的概略放大剖视图。图10示出图9中X-X线的剖视图。本实施形态的载物台4包含板形构件17和中间构件11。板形构件17的外周全部形成切口部20。

切口部20的表面上配置中间构件11和填密件15。中间构件11其水平方向比切口部20来得小，约为可收纳填密件的程度。中间构件11其断面形状形实质上为长方形。中间构件11从顶面看时形成框形。配置中间构件11使由板形构件17和应被固定的贴合基板31所夹持。

填密件15其断面形状形成圆形，其平面形状形成线形，具有弹性。本实施形态中填密件15由硅橡胶形成。配置填密件15使由板形构件17和贴合基板31所夹持。填密件15在从顶面看时是在中间构件11的内侧，配置在位于切口部20的内侧端的台阶与中间构件11之间。填密件15沿中间构件11配置，形成框形。配置填密件15使包围吸引孔和吸引沟形成区域的周围。

中间构件11，在将贴合基板31吸引到载物台4，使光学薄膜32a的表面紧密接触载物台4的表面时，具有中间构件11的表面与贴合基板31的表面紧密接触的高度。

形成填密件15，使得配置基板时最早与基板接触的部分(下称顶部)，在不配置基板的无负荷时，其高度比中间构件11的表面来得高。具体地说，形成填密件15，使在配置了基板时填密件15的顶部高度与中间构件11的表面高度为等高，或者，在不实施贴合基板31的吸引时，填密件15的顶部高度比中间构件11的表面高度来得高。形成填密件15，使在前者情况中，一配置基板，填密件15的顶部就被压缩到与中间构件11的表面高度等高，在后者情况中，在实施贴合基板31的吸引时，填密件15的顶部才被压缩到与中间构件11的表面高度等高。下面所述的作用与效果，基于后者的情况来说明。

本实施形态中，填密件配置于中间构件的内侧，但不限于这种特定情况，也可将填密件配置于中间构件的外侧。这时，形成切口部和中间构件使填密件接触贴合基板，配置填密件。

其他的构成因与实施形态1相同，这里不重复说明。另外，有关上述实施形态1的各种变形，也同样能适用于本实施形态。

本实施形态中的分割装置中，有关通过驱动真空排气装置，从而通过载物台上形成的吸引孔和吸引沟，吸引贴合基板，固定到载物台上，这些方面是与实施形态1相同的。

图11示出将贴合基板吸引固定到载物台上时的载物台端部的概略剖视图。吸引一开始，贴合基板31就被吸向载物台4。填密件15被板形构件17与贴合基板31所夹持并压缩。

光学薄膜32a紧密接触板形构件17的表面的同时，贴合基板31紧密接触中间构件11的表面。本实施形态的液晶显示板的制造装置中，通过中间构件11与贴合基板31紧密接触，形成第1密封部。另外，通过填密件15紧密接触板形构件17和贴合基板31，能形成第2密封部。这样，本实施形态中能用双重密封部防止空气的流入，能更强力地吸引固定贴合基板。

本实施形态中，形成填密件的断面形状为圆形，但不限于这种形态，只要能防止空气的流入，可用任意形状的填密件。

其次，实际形成本实施形态的液晶显示板的制造装置，并进行了性能试验。填密件15在无负荷时，顶部高度比中间构件11的表面高出约100μm。填密件15由硅橡胶形成，中间构件11由铝形成。此外，除填密件15配置在中间构件11内侧的分割装置外，还对填密件15配置在中间构件11外侧的分割装置进行了性能试验。

性能试验的结果，对以往的技术中因空气流入而不能充分吸引固定的贴合基板，在填密件配置于中间构件内侧的分割装置和填密件配置于中间构件外侧的分割装置的两者中，都能充分吸引固定贴合基板。

关于其他的作用和效果，因与实施形态1相同，故这里不重复说明。

(实施形态3)

参照图12至图14，说明基于本发明的实施形态3的液晶显示板的制造装置和制造方法。本实施形态的液晶显示板的制造装置，是切除配置于贴合基板表面的光学薄膜的一部分，然后形成分割用的龟裂，分割成单个的液晶显示单元的分割装置。对载物台形成吸引孔和吸引沟，吸引孔被连接到真空排气装置这一方面，是与实施形态1相同的。

图12示出在载物台配置贴合基板、进行吸引固定前的载物台的外周部的概略剖视图。图13示出图12中XIII-XIII线的剖视图。本实施形态的载物台5包含板形构件17和中间构件12。板形构件17的外周全部形成切口部20。

切口部20的表面上配置中间构件12和填密件16。中间构件12其断面形状实质上形成为长方形。中间构件12从顶面看时形成框形。配置中间构件12使由板形构件17和应被固定的贴合基板31所夹持。

中间构件12，与基板接触的区域含有凹部21。凹部21从顶面看时形成线形。凹部21，从顶面看时沿着中间构件12延伸的方向形成。凹部21的内部配置填密件16。填密件16断面形状为圆形。填密件16从顶面看时形成线形的框。凹部21底部沿填密件16的断面形状形成为半圆形。

中间构件12，在向载物台5吸引贴合基板31，使光学薄膜32a的表面紧密接触载物台5的表面时，具有中间构件12的表面与贴合基板31的表面紧密接触的高度。

形成填密件16，在不配置基板的无负荷时，其顶部高度比形成凹部21的中间构件12的表面来得高。具体地说，形成填密件16，使在配置了基板时填密件16的顶部高度与中间构件12的表面高度为等高，或者，在不实施贴合基板31的吸引时，填密件16的顶部高度比中间构件12的表面高度来得高。形成填密件16，使在前者情况中，一配置基板，填密件16的顶部就被压缩到与中间构件12的表面高度等高，在后者情况中，在实施贴合基板31的吸引时，填密件16的顶部才被压缩到与中间构件12的表面高度等高。下面所述的作用与效果，基于后者的情况来说明。

其他的构成因与实施形态1相同，这里不重复说明。另外，有关上述实施形态1的各种变形，也同样能适用于本实施形态。

本实施形态中的分割装置中，有关通过驱动真空排气装置，从而通过载物台上形成的吸引孔和吸引沟，吸引贴合基板，固定到载物台上，这些方面是与实施形态1相同的。

图14示出将贴合基板吸引固定到载物台上时的载物台端部的概略剖视图。通过用真空排气装置实施吸引，贴合基板31被吸向载物台6。填密件16被压缩，凹部21与贴合基板31紧密接触。光学薄膜32a紧密接触板形构件17表面的同时，贴合基板31的表面紧密接触到中间构件12的表面。

本实施形态的液晶显示板的制造装置中，通过贴合基板31与中间构件12紧密接触，能形成第1密封部，另外，通过填密件16紧密接触凹部21和贴合基板31，能形成第2密封部。这样，本实施形态中能用双重密封部防止空气的流入，能更强力地吸引固定贴合基板。

本实施形态中，形成填密件的断面形状为圆形，但不限于这种形态，只要能防止空气的流入，可用任意形状的填密件。凹部的底部沿填密件的形状形成，较为理想。通过采用这种构成，能加大凹部与填密件的接触面积，更可靠地防止空气的流入。

其次，实际形成本实施形态的液晶显示板的制造装置，并进行了性能试验。用铝形成中间构件12，用硅橡胶形成填密件16。填密件16在无负荷时，顶部高度比中间构件12的表面高出约100μm。性能试验的结果，能充分吸引固定以往的技术中因空气流入而不能充分吸引固定的贴合基板。

关于其他的作用和效果，因与实施形态1相同，故这里不重复说明。

(实施形态4)

参照图15至图17，说明基于本发明的实施形态4的液晶显示板的制造装置。本实施形态的液晶显示板的制造装置，是切除配置于贴合基板表面的光学薄膜的一部分，然后形成分割用的龟裂，分割成单个的液晶显示单元的分割装置。对载物台形成吸引孔和吸引沟，吸引孔被连接到真空排气装置这一方面，是与实施形态1相同的。

图15示出在载物台配置贴合基板、进行吸引固定前的载物台的外周部的概略剖视图。图16示出图15中XVI-XVI线的剖视图。本实施形态的载物台6包含板形构件17和中间构件13。板形构件17的外周全部形成切口部20。

切口部20的表面上配置中间构件13。中间构件13其断面形状实质上形成为长方形，该长方形四个角中的一个角形成凹部22。中间构件13从顶面看时形成框形。配置中间构件13使由板形构件17和应被固定的贴合基板31所夹持。

凹部22形成于中间构件13的内侧。凹部22中配置填密件16。填密件16的断面形状形成圆形。凹部22沿填密件16的断面形状的圆形，具有圆弧形的部分。凹部22和填密件16从顶面看时形成线形的框。

中间构件13，在向载物台6吸引贴合基板31，使光学薄膜32a的表面紧密接触载物台6的表面时，具有中间构件13的表面与贴合基板31的表面紧密接触的高度。

形成填密件16，在不配置基板的无负荷时，其顶部高度比形成凹部22的中间构件13的表面来得高。具体地说，形成填密件16，使在配置了基板时填密件16的顶部高度与中间构件13的表面高度为等高，或者，在不实施贴合基板31的吸引时，填密件16的顶部高度比中间构件13的表面高度来得高。形成填密件16，使在前者情况中，一配置基板，填密件16的顶部就被压缩到与中间构件13等高，在后者情况中，在实施贴合基板31的吸引时，填密件16的顶部高度才被压缩到与中间构件13的表面高度等高。下面所述的作用与效果，基于后者的情况来说明。

本实施形态的凹部22形成于中间构件13的内侧，但也可形成于中间构件13的外侧。

其他的构成因与实施形态1相同，这里不重复说明。另外，有关上述实施形态1的各种变形，也同样能适用于本实施形态。

本实施形态中的分割装置中，有关通过驱动真空排气装置，从而通过载物台上形成的吸引孔和吸引沟，吸引贴合基板，固定到载物台上，这些方面是与实施形态1相同的。

图17示出将贴合基板吸引固定到载物台上时的载物台端部的概略剖视图。通过用真空排气装置实施吸引，贴合基板31被吸向载物台6。填密件16被压缩，凹部22与贴合基板31紧密接触。光学薄膜32a紧密接触载物台6的板形构件17的同时，贴合基板31的表面与中间构件13的表面紧密接触。

本实施形态的液晶显示板的制造装置中，中间构件13与贴合基板31紧密接触，能形成第1密封部，另外，通过填密件16紧密接触凹部22和贴合基板31，能形成第2密封部。这样，本实施形态中能用双重密封部防止空气的流入，能更强力地吸引固定贴合基板。

本实施形态中，形成填密件的断面形状为圆形，但不限于这种形态，只要能防止空气的流入，可用任意形状的填密件。凹部的底部沿填密件的形状形成，较为理想。通过采用这种构成，能加大凹部与填密件的接触面积，更可靠地防止空气的流入。

其次，用本实施形态的液晶显示板的制造装置，进行了性能试验。用铝形成中间构件13，用硅橡胶形成填密件。填密件16在无负荷时，顶部高度比中间构件13的表面高出约100μm。另外，对凹部形成在中间构件的外侧，凹部中配置了填密件的装置也进行了同样的性能试验。性能试验的结果，凹部配置在中间构件内侧的分割装置和凹部配置在中间构件外侧的分割装置，都能充分吸引固定以往的技术中因空气流入而不能充分吸引固定的贴合基板。

关于其他的作用和效果，因与实施形态1相同，故这里不重复说明。

这次揭示的上述的实施形态所有方面都是例示性而不是限制性的。本发明的范围不是由上述说明而是由权利要求范围所表示，包含与权利要求范围等效的意义和范围内的所有变更。

工业上的实用性

本发明有利地适用于显示板的制造。

Claims (9)

1.一种显示板的制造装置，其特征在于，

具备用来固定至少在一方的表面上贴附光学薄膜(32，32a，32b，35，36)的基板(31，34)的载物台(3～6)，

所述载物台(3～6)具有用来吸引所述基板(31，34)的吸引孔(8)，

所述载物台(3～6)在所述吸引孔(8)形成区域的周围含有突起部，

所述突起部，平面形状形成闭合的框形。

2.如权利要求1所述的显示板制造装置，其特征在于，

所述突起部具有在进行所述基板的吸引而使所述光学薄膜(32，32a，32b，35，36)的表面紧密接触到所载物台(3～6)的表面时，所述突起部的表面与所述基板(31，34)的表面紧密接触的高度。

3.如权利要求2所述的显示板制造装置，其特征在于，

所述突起部具有平的表面，

所述突起部的所述表面与所述载物台(3～6)的表面平行。

4.如权利要求1所述的显示板制造装置，其特征在于，

所述载物台(3～6)含有板状构件(17)，

所述突起部具有由所述板状构件(17)与所述基板(31，34)夹着地形成的中间构件(10～13)。

5.如权利要求1所述的显示板制造装置，其特征在于，

具备有弹性的填密件(15)，

由所述载物台(4)与所述基板(31，34)夹住地配置所述填密件(15)，

所述填密件(15)，沿着所述突起部配置于形成所述吸引孔(8)的区域的周围，

形成所述填密件(15)，使在无负荷时顶部高度比所述突起部的表面来得高。

6.如权利要求5所述的显示板制造装置，其特征在于，

所述填密件(15)在所述基板(31，34)的吸引被实施时，项部高度变形为与所述突起部的表面同等的高度。

7.如权利要求1所述的显示板制造装置，其特征在于，

具备有弹性的填密件(16)，

所述突起部在所述基板(31，34)接触的一侧表面具有凹部(21，22)，

所述填密件(16)配置于所述凹部(21，22)中，

形成所述填密件(16)，使得在无负荷时顶部高度比形成所述凹部(21，22)的所述突起部的表面来得高。

8.如权利要求7所述的显示板制造装置，其特征在于，

所述填密件(16)在所述基板(31，34)的吸引被实施时，顶部高度变形为与所述突起部的表面同等的高度。

9.一种显示板的制造方法，是使用显示板的制造装置的显示板的制造方法，所述显示板

具备用来固定至少在一方的表面上贴附光学薄膜(32，32a，32b，35，36)的基板(31，34)的载物台(3～6)，

所述载物台(3～6)具有用来吸引所述基板(31，34)的吸引孔(8)，

所述载物台(3～6)在所述吸引孔(8)形成区域的周围含有突起部，

所述突起部，平面形状形成闭合的框形，

其特征在于，所述显示板的制造方法包括以下工序：

使所述光学薄膜(32，32a，32b，35，36)与所述载物台(3～6)对向地配置的工序，

通过用所述吸引孔(8)吸引所述基板(31，34)，所述突起部的表面与所述基板(31，34)的表面紧密接触，形成闭合空间，使所述光学薄膜(32，32a，32b，35，36)的表面吸附到所述载物台(3～6)的表面的工序。

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