WO2006075515A1

WO2006075515A1 - 表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法

Info

Publication number: WO2006075515A1
Application number: PCT/JP2005/023792
Authority: WO
Inventors: Akinori Izumi; Kazuya Kaida; Koji Yamabuchi; Makoto Nakahara; Nobuo Sasaki
Original assignee: Sharp Kabushiki Kaisha
Priority date: 2005-01-13
Filing date: 2005-12-26
Publication date: 2006-07-20
Also published as: CN100492105C; CN101010711A; US7868964B2; JPWO2006075515A1; US20070259589A1; KR20070094658A

Abstract

　液晶表示パネルの製造装置は、少なくとも一方の表面に光学フィルムが貼り付けられた基板を固定するためのステージ（３）を備える。ステージ（３）は、基板を吸引するための吸引孔（８）を有する。ステージ（３）は、吸引孔が形成されている領域の周りに、介在部材（１０）を含み、介在部材（１０）は、平面形状が閉じた枠形に形成されている。基板を安定して固定することができる液晶表示パネルの製造装置を提供することができる。

Description

明細書

表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法に関する。特に、基板を吸引によりステージに固定する表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法に関する。

背景技術

[0002] 表示パネルの代表例として液晶表示パネルがある。液晶表示パネルの製造方法においては、大型の基板に対して、複数の液晶表示セルを形成して、後に個々の単一の液晶表示セルに分断する多面取りによる方法がある。 5インチ程度の中小型の大きさを有する液晶表示パネルの製造方法においては、初めに複数の液晶表示セルを含む貼り合せ基板を形成する。貼り合せ基板は、シール材によって互いに貼り合わされた 2枚の大型のガラス基板を含む。この大型の貼り合せ基板を分断して、短冊状の貼り合せ基板を形成する。

[0003] 次に、短冊状の貼り合せ基板に液晶の注入および封止などを行なって、単一の液晶表示セルに分断する。次に、それぞれの単一の液晶表示セルに対して、主表面に光学フィルムを貼り付けて液晶表示パネルを製造する。光学フィルムには、偏光板や位相差板などが含まれる。光学フィルムの貼り付けにおいては、このような単一の液晶表示セルの表面に 1枚ずつ光学フィルムを貼り付ける方法が一般的であった。

[0004] ところが、この方法においては、個々の液晶表示セルに対して、個別に 1枚ずつ光学フィルムを貼り付ける必要があるため、生産効率が悪いという問題がある。たとえ、専用の光学フィルムの貼り付け装置を用いて貼り付けを行なっても、静電気によって光学フィルム丄枚当りの貼り付け速度が制約を受けるため、光学フィルムの貼り付け速度の高速化にも限界がある。このため、光学フィルムの貼り付けのために、多数の光学フィルム貼り付け装置を導入しなければ高い生産性を確保することができないとレ、う問題があった。光学フィルムを貼り付けるための設備投資が大幅に膨らんで、ひレ、ては最終製品である液晶表示装置の価格上昇につながるという問題があった。 [0005] 特開 2004— 4636号公報においては、一方の大型の基板に環状に配置されたシ一ル材の内側の領域、または、他方の大型の基板のうちシール材の内側に対応する領域に液晶を供給して基板同士を貼り合せる製造方法が開示されている。この大型の貼り合せ基板には、複数の液晶表示セルが形成されている。次に、貼り合せ基板に対して大型の光学フィルムを一括して貼り付け、その後に個々の液晶表示セルに分断する方法が開示されている。大型の光学フィルムを貼り合せ基板に貼り付ける装置については、たとえば、特開 2003— 161935号公報に開示されている。

[0006] 図 18に、複数の液晶表示セルを含む貼り合せ基板の概略平面図を、図 19に概略断面図を示す。図 18および図 19に示す貼り合せ基板には、 20行 X 14列で、合計 2 80個の液晶表示セルが形成されている。貼り合せ基板 34は、互いに対向するように貝占り合わされた 2枚のガラス基板を備える。貼り合せ基板 34の主表面には、光学フィルム 32が貼り付けられている。貝占り合せ基板 34は、複数の液晶表示セル 33を含む。液晶表示セル 33は、平面形状がほぼ長方形になるように形成され、それぞれが規則的に配列されている。それぞれの液晶表示セル 33は、互いに間隔をあけて配置されている。光学フィルム 32は、貝占り合せ基板 34に形成された全ての液晶表示セル 33を覆うように配置されている。

[0007] 図 20に示すように、複数の液晶表示セルが形成された貼り合せ基板を個々の液晶表示セルに分断する工程において、光学フィルム 32の一部を帯状に除去してガラス基板を帯状に露出させる。切除部 39が光学フィルム 32の一部を切除した部分である。切除部 39は、貼り合せ基板 34に形成された液晶表示セル同士の間に形成される。光学フィルム 32は、それぞれの液晶表示セルに対応する形状となる。

[0008] 次に、ガラススクライブ形成用のホイルカツタによって、切除部 39に分断用の亀裂を形成する。最後に、形成された亀裂に沿って、貼り合せ基板 31を分断して個々の液晶表示セルを形成する。分断された個々の液晶表示セルには外部駆動装置などが接続され、筐体に配置されて液晶表示装置として製造される。

[0009] 図 19に示すように、液晶表示パネルの中には、基板の両側に、光学フィルムが貼り付けられるもの力 Sある。たとえば、透過型の液晶表示パネルにおいては、貼り合わされた両側の基板の表面に光学フィルムが貼り付けられる。 [0010] 貼り合せ基板に対して、液晶表示セルの周りの光学フィルムを切除し、その後、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置においては、貼り合せ基板をステージに固定して、刃物によって光学フィルムの一部を切除し、ホイルカツタによって光学フィルム切除部に分断用の亀裂を形成する。たとえば、図

20に示す貼り合せ基板においては、切除部 39を形成するとともに、切除部 39に分断用の亀裂を形成する。

[0011] 基板の両側の表面に光学フィルムが貼り付けられた貼り合せ基板の光学フィルムの切除と基板への亀裂の形成においては、はじめに貼り合せ基板を分断装置のステージに固定する。

[0012] 図 21に、分断装置において貼り合せ基板をステージに固定したときの概略断面図を、図 22に概略平面図を示す。図 21および図 22に示す貼り合せ基板 31には、 4行 X 5列の合計 20個の液晶表示セルが形成されている。また、図 21および図 22に示す分断装置は、吸引により貼り合せ基板 31をステージ 43に固定するように形成されている。

[0013] ステージ 43には、複数の吸引孔 8が形成され、吸引孔 8は図示しない真空排気装置に接続されている。ステージ 43の平面形状は、ほぼ長方形になるように形成されている。貼り合せ基板 31は、ステージ 43のほぼ中央に配置されている。ステージ 43 は、吸引孔 8に連通するようにステージ 43の表面に形成された吸引溝 9を有する。吸引溝 9は、平面視したときに格子状に形成されている。吸引孔 8は、一定の間隔をあけて形成されている。吸引孔 8は、格子状の吸引溝 9が交わる部分に形成されている特許文献 1 :特開 2004— 4636号公報

特許文献 2 :特開 2003— 161935号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0014] 図 21および図 22を参照して、真空排気装置により、矢印 51に示す向きに吸引が行なわれる。この分断装置は、貼り合せ基板 31の表面に形成された光学フィルム 32 aがステージ 43に吸着して、貝占り合せ基板 31がステージ 43に固定されるように形成されている。

[0015] 貝占り合せ基板 31の両側の表面に貼り付けられた光学フィルムのうち、光学フィルム 32aには、切除部 39が形成され、光学フィルムの一部の切除が行なわれている。また、貼り合せ基板 31の光学フィルム 32aの側の表面には亀裂 42が形成されている。光学フィルム 32bの一部を切除し、その後、切除部 39に分断用の亀裂を形成する際には、切除部 39が形成された光学フィルム 32aをステージ 43に吸着させる必要がある。

[0016] しかし、切除部 39と吸引溝 9とが連通しているため、切除部 39および吸引溝 9を通つて吸引孔 8に空気が流入する。このため、貼り合せ基板 31を十分に吸引固定することができないという問題があった。すなわち、矢印 53に示すように外部から空気が流入して、十分な吸引固定が行なえないという問題があった。このような問題は、液晶表示パネルのみならず、主表面に光学フィルムを有する有機 EL表示パネルの製造においても、同様に発生する。

課題を解決するための手段

[0017] 本発明は、基板を安定して固定することができる表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。

[0018] 本発明に基づく表示パネルの製造装置は、少なくとも一方の表面に光学フィルムが貝占り付けられた基板を固定するためのステージを備え、ステージは、基板を吸引するための吸引孔を有し、ステージは、吸引孔が形成されている領域の周りに突起部を有し、突起部は、平面形状が閉じた枠形に形成されている。この構成を採用することにより、基板を安定して吸引固定できる表示パネルの製造装置を提供することができる。

[0019] 上記発明において好ましくは、突起部は、平らな表面を有し、突起部は、表面がステージの表面と平行であって、突起部は、基板の吸引を行い、光学フィルムの表面をステージの表面に密着させたときに、突起部の表面と基板の表面とが密着する高さを有する。この構成を採用することにより、基板が湾曲して固定されることを防止できるとともに、突起部の表面と基板の表面との接触面積を大きくすることができ、より安定して基板をステージに吸引固定することができる。 [0020] 上記発明において好ましくは、ステージは、板状部材を含み、突起部は、板状部材と基板とに挟まれるように形成された介在部材を有する。この構成を採用することにより、突起部の構成を変更可能にすることができ、容易に多種の基板に対応することができる。

[0021] 上記発明において好ましくは、弾性を有するパッキンを備え、パッキンは、ステージと基板とに挟まれるように配置され、パッキンは、突起部に沿うように、吸引孔が形成されている領域の周りに配置され、パッキンは、無負荷のときに、突起部の表面より頂部の高さが高くなるように形成され、基板の吸引が行なわれたときに、突起部の表面と同じ高さに変形するものである。この構成を採用することにより、突起部とパッキンとで密封することができ、より強く基板を吸引固定することができる。

[0022] 上記発明において好ましくは、弾性を有するパッキンを備え、突起部は、基板が接触する側の表面に窪み部を有し、パッキンは、窪み部に配置されている。また、パッキンは、無負荷のときに、窪み部が形成されている突起部の表面より頂部の高さが高くなるように形成され、基板の吸引が行なわれたときに、突起部の表面と同じ高さに変形するものである。この構成を採用することにより、突起部とパッキンとで密封することができ、より強く基板を吸引固定することができる。

[0023] 本発明に基づく表示パネルの製造方法は、表示パネルの製造方法において、光学フィルムをステージに対向させ配置する工程と、吸引孔を用いて基板を吸引することによって、突起部の表面と基板の表面とが密着して閉空間を形成し、光学フィルムの表面をステージの表面に吸着させる工程を含む。この方法を採用することにより、安定して基板を固定できるので、正確に基板を加工できる。

発明の効果

[0024] 本発明によれば、基板を安定して固定することができる表示パネルの製造装置および表示パネルの製造方法を提供することができる。

図面の簡単な説明

[0025] [図 1]実施の形態 1におけるステージの概略断面図である。

[図 2]実施の形態 1におけるステージの概略平面図である。

[図 3]実施の形態 1におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの概略断面図である。

園 4]実施の形態 1におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの概略平面図である。

園 5]実施の形態 1におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第 1 の概略断面図である。

園 6]実施の形態 1におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第 2 の概略断面図である。

園 7]実施の形態 1における他の光学フィルムを貼り付けた基板の斜視図である。園 8]実施の形態 1におけるさらに他の光学フィルムを貼り付けた基板の斜視図である。

園 9]実施の形態 2におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第 1 の概略断面図である。

園 10]実施の形態 2におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第 2 の概略断面図である。

園 11]実施の形態 2におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの外周部の概略断面図である。

園 12]実施の形態 3におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第 1 の概略断面図である。

園 13]実施の形態 3におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第 2 の概略断面図である。

園 14]実施の形態 3におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの外周部の概略断面図である。

園 15]実施の形態 4におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第 1 の概略断面図である。

園 16]実施の形態 4におけるステージに貼り合せ基板を配置したときの外周部の第 2 の概略断面図である。

園 17]実施の形態 4におけるステージに貼り合せ基板を固定したときの外周部の概略断面図である。 [図 18]貼り合せ基板に光学フィルムを貼り付けたときの概略平面図である。

[図 19]貼り合せ基板に光学フィルムを貼り付けたときの概略断面図である。

[図 20]光学フィルムを液晶表示セルに沿って切除したときの概略平面図である。

[図 21]従来の技術に基づく液晶表示パネルの製造装置において、ステージに貼り合せ基板を配置したときの概略断面図である。

[図 22]従来の技術に基づく液晶表示パネルの製造装置において、ステージに貼り合せ基板を配置したときの概略平面図である。

符号の説明

[0026] 3〜6, 43 ステージ、 8 吸引孔、 9 吸引、溝、 10〜： 13 介在部材、 15, 16 パツキン、 17 板状部材、 19 刃物、 20 切欠き部、 21, 22 窪み部、 23 ホイルカツタ、 3 1 , 34 貝占り合せ基板、 32, 32a, 32b, 35, 36 光学フイノレム、 33 夜晶表示セノレ、 39 切除部、 42 亀裂、 51〜53 矢印。

発明を実施するための最良の形態

[0027] (実施の形態 1)

図 1から図 8および図 18から図 20を参照して、本発明に基づく実施の形態 1として表示パネルの一例である液晶表示パネルの製造装置および製造方法について説明する。

[0028] 本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置は、貼り合せ基板を個々の液晶表示セルに分断する工程において、基板表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置である。

[0029] 図 18および図 19に示すように、貼り合せ基板は、互いに対向するように 2枚のガラス基板が貼り合せられている。 2枚のガラス基板の間には、複数の液晶表示セルが形成されている。液晶表示セルは、平面形状がほぼ長方形になるように形成され、規則的に配列されている。貝占り合せ基板の両側の主表面には、光学フィルムが貼り付けられている。本実施の形態における分断装置は、図 20に示すように、液晶表示セル同土の間の光学フィルムを帯状に切除して、光学フィルムを液晶表示パネルの形状に形成するとともに切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断するための装置である。

[0030] 図 1に、本実施の形態における分断装置のステージの部分の概略断面図を、図 2 にステージの概略平面図を示す。貼り合せ基板を固定するためのステージ 3は、板状部材 17と介在部材 10とを有する。以下、例示する貼り合せ基板には、 4行 X 5列の合計 20個の液晶表示セルが形成されてレ、るが、液晶表示セルの個数に関係なく本発明を適用することができる。

[0031] 板状部材 17は、平板状に形成され、平面形状がほぼ長方形になるように形成されている。板状部材 17は、吸引を行なうための吸引孔 8を有する。板状部材 17は、貼り合せ基板が配置される側の表面に平面視したときに線状に形成された吸引溝 9を有する。吸引孔 8は、図示しない真空排気装置に接続されている。

[0032] 本実施の形態における吸引孔 8は、板状部材 17を貫通するように形成されている。

吸引孔 8は、平面視したときに等間隔に配置されている。本実施の形態における吸引溝 9は、延びる方向がステージ 3の外縁にほぼ平行になるように形成されている。吸引溝 9は、平面視したときに格子状の形状に形成されている。吸引孔 8は、吸引溝 9同士が交わる部分に形成されている。吸引孔 8は、吸引溝 9に連通している。吸引孔 8および吸引溝 9は、基板に配置された光学フィルムが密着する領域に形成されている。吸引孔 8は、板状部材 17の基板が配置される側（以下、表面側と称する）とは反対側 (以下、裏面側と称する）で、図示しない真空排気装置に接続されている。

[0033] ステージ 3は、吸引孔 8が形成されている領域の周りに形成された介在部材 10を有する。介在部材 10は、ステージの表面から突出する突起部として形成されている。本実施の形態においては、介在部材 10はアルミニウムで形成されている。介在部材 10 は、板状部材 17とボルトで固定され、介在部材 10と板状部材 17との接合部分を通じて空気が流入しないように形成されている。介在部材 10は、断面形状が長方形になるように形成され、平面視したときに閉じた枠形の形状を有する。吸引孔 8および吸引溝 9は、平面視したときに介在部材 10の内側に配置されている。

[0034] 図 1を参照して、介在部材 10は、配置されるべき貼り合せ基板と板状部材 17とに挟まれるように配置されている。板状部材 17には、外周全体に表面を切り欠いた形状を有する切欠き部 20が形成され、切欠き部 20に介在部材 10が配置されている。 [0035] 介在部材 10は、貝占り合せ基板をステージ 3に吸引し、光学フィルムの表面をステージ 3の表面に密着させたときに、介在部材 10の表面と貼り合せ基板の表面とが密着するように形成されている。換言すると、介在部材 10の貼り合せ基板が配置される側 (以下、表面側と称する）の面は、光学フィルムが接触する板状部材 17の表面からほぼ光学フィルムの厚さだけ高くなるように形成されてレ、る。

[0036] 図 18から図 20に示すように、貝占り合せ基板の両側に大型の光学フィルムを貼り付ける。次に、貝占り合せ基板の主表面に貼り付けた光学フィルムのうち、一方の光学フィルムの一部を貼り合せ基板に形成されている液晶表示セルの外縁に沿って帯状に切除する。その後、切除部に分断用の亀裂を形成する。さらに、他方の光学フィルムについても同様に一部を切除し、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する。

[0037] 表裏両側のうち一方の光学フィルムの切除及び本切除部への分断用の亀裂形成工程にぉレ、ては、ステージに密着する他方の光学フィルムの表面が平面状であるため（図 19参照）、十分にステージに吸引固定することができる。

[0038] 図 3に、貝占り合せ基板をステージに固定したときの概略断面図を示し、図 4に貼り合せ基板をステージに固定したときの概略平面図を示す。図 3は、表裏のうち一方の光学フィルム 32aの一部を帯状に切除して切除部 39を形成して、さらに分断用の亀裂 42を形成したのちに、他方の光学フィルム 32bの一部を切除して分断用の亀裂を形成するときの概略断面図である。

[0039] 光学フィルム 32aの切除部 39の形成と切除部 39の分断用の亀裂 42の形成が完了したら、光学フィルム 32aがステージ 3の板状部材 17に接触するように貼り合せ基板 31を反転させ、配置する。たとえば、貼り合せ基板 31の光学フィルム 32aを図示しない板状部材に吸着させて反転した後、更に、貝占り合せ基板 31の光学フィルム 32bを図示しない別の板状部材に吸着させてステージ 3上に移動する。ステージ 3において、貼り合せ基板 31の位置合せを行なう。貼り合せ基板 31の位置合せにおいては、たとえば、吸引孔 8から空気を送風して貼り合せ基板 31を浮遊させた状態で図示しない位置決めピンにより位置合せを行なう。

[0040] 次に、図示しない真空排気装置を駆動して、矢印 51に示すように吸引孔 8を通じて貝占り合せ基板 31の吸引を行なう。図 3に示すように、貼り合せ基板 31をステージ 3に吸引固定した後に、刃物 19を矢印 52および矢印 52に直交する方向に水平移動させて光学フィルム 32bの一部を帯状に切除し、さらに、光学フィルム 32bの切除部にホイルカツタ 23を水平移動させて分断用の亀裂を形成する。この動作を隣り合う液晶表示セル同士の間に対し、行方向及び列方向に繰返した後に、個々の液晶表示セルに分断する。

[0041] 図 5に、吸引固定を行なっているときの介在部材を形成した部分付近を拡大した概略拡大断面図を示す。図 6に、図 5における VI—VI線に関する矢視断面図を示す。吸引が行なわれ、光学フィルム 32aの表面がステージ 3の板状部材 17の表面に密着するときに、貼り合せ基板 31の表面が介在部材 10の表面に密着する。貼り合せ基板 31と介在部材 10とが密着することにより密封部分が形成される。

[0042] 図 3および図 4を参照して、介在部材 10は、ステージ 3の吸引孔 8が形成されている領域のまわりに配置され、閉じた枠形の形状を有する。このため、貼り合せ基板 31、介在部材 10、および板状部材 17で囲まれる空間が、真空排気装置に接続された閉空間になり、空気の流入を防止することができる。この結果、貼り合せ基板 31を安定してステージ 3に吸引固定することができる。すなわち、光学フィルム 32aに形成された切除部 39や吸引溝 9を通って、空気がステージ 3の吸引孔 8に流入することを防止でき、貝占り合せ基板 31を安定してステージ 3に吸引固定することができる。

[0043] また、介在部材 10が、平らでステージ 3の表面と平行な表面を有し、貼り合せ基板

31をステージ 3に吸引して光学フィルム 32aの表面をステージ 3の板状部材 17の表面に密着させたときに、介在部材 10の表面と貼り合せ基板 31の表面とが密着する高さを有することによって、介在部材 10の表面と貼り合せ基板 31の表面との接触面積を大きくすることができ、より確実に空気の流入を防止することができる。さらに、貼り合せ基板 31がステージ 3に吸引固定されたときに、貝占り合せ基板 31が湾曲することを防止できる。たとえば、光学フィルム 32の一部の切除においては、貼り合せ基板 3 1を水平に固定することができ、光学フィルム 32の切除を確実に行うことができる。また、ホイルカツタ 23による分断についても確実に行うことが可能となる。

[0044] 本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置を製造したところ、図 21および図 22に示した従来の製造装置においては、貝占り合せ基板を十分にステージに吸引固定することができなかった力 S、ステージに切欠き部を形成して介在部材を配置することにより、貝占り合せ基板を十分に吸引固定することができた。

[0045] 本実施の形態においては、ステージが板状部材を有し、ステージの突起部として板状部材と基板とに挟まれるように形成された介在部材を有する。この構成を採用することにより、介在部材を交換するのみで、様々な厚さおよび大きさを有する基板を固定すること力 Sできる。ただし、ステージの突起部としては、この形態に限られず、たとえば、板状部材と突起部とが 1つの部材から一体的に形成されていても構わない。

[0046] また、本実施の形態においては、介在部材がアルミニウムで形成されている力この形態に限られず、基板と介在部材との間から空気が流入しない材質で形成されていれば構わない。たとえば、介在部材は、塩ィ匕ビュルで形成されていても構わない。

[0047] 本実施の形態においては、介在部材の断面形状がほぼ長方形になるように形成されている。この構成を採用することにより、介在部材と基板との接触面積を大きくすることができ、より確実に空気の流入を防止することができる。介在部材の断面形状は、長方形に限られず、任意の形状を採用することができるが、例えば長方形といったように、介在部材の基板が配置される部分力 Sステージと平行な平面形状に形成されていれば、基板に反りが生じずより好適である。

[0048] また、ステージに形成された吸引孔は、ステージの突起部の内側の任意の位置に形成することができ、また、吸引溝もステージの突起部の内側において任意の形状に形成することができる。たとえば、吸引溝が放射状に形成され、吸引溝に沿って等間隔で吸引孔が形成されていても構わない。

[0049] 本実施の形態においては、基板表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置について説明を行なったが、光学フィルムの切除と基板の亀裂形成を共に行なう装置に限定されず、たとえば、基板表面に配置された光学フィルムの一部を切除する光学フィルム切除装置や単に基板表面に亀裂を形成する分断装置にも適用することができる。

[0050] また、吸引孔または吸引溝と光学フィルムの平面視したときの端辺とが連通するものであれば、上記した装置に限られず、本実施の形態を適用することができる。たとえば、図 7に示すような少なくとも一方の表面に比較的小型の光学フィルム 35を複数枚貼り付けた貼り合せ基板 31を、ステージに光学フィルム 35を吸着させて固定しカロェする装置についても適用できる。この場合においても、基板をステージに吸引したときに光学フィルムが配置されてレ、なレ、部分から外気が入らなレ、ので基板を安定して吸引固定できる。

[0051] または、図 8に示すような少なくとも一方の表面に一部を切除した光学フィルム 36を貝占り付けた貼り合せ基板 31を、ステージに光学フィルム 36を吸着させて固定しカロェする装置についても適用できる。この場合においても、同様に基板を吸引したときに光学フィルムを切除した部分から外気が入らないので基板を安定して吸引固定できる。

[0052] 基板としては、液晶表示パネル用の貼り合せ基板に限られず、光学フィルムを貼り付けた任意の基板に対して本実施の形態の表示パネルの製造装置を用いることができる。たとえば、光学フィルムを有する有機 EL表示パネルを製造する場合においても、本実施の形態の表示パネルの製造装置を用いることができる。

[0053] (実施の形態 2)

図 9から図 11を参照して、本発明に基づく実施の形態 2における液晶表示パネルの製造装置および製造方法について説明する。本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置は、貼り合せ基板の表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、切除部に分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置である。ステージに吸引孔および吸収溝が形成され、吸引孔が真空排気装置に接続されていることは、実施の形態 1と同様である。

[0054] 図 9に、基板を配置して吸引固定を行なう前のステージの外周部の概略拡大断面図を示す。また、図 10に、図 9における X_X線に関する矢視断面図を示す。本実施の形態におけるステージ 4は、板状部材 17および介在部材 11を含む。板状部材 17 には、外周全体に切欠き部 20が形成されている。

[0055] 切欠き部 20の表面には、介在部材 11およびパッキン 15が配置されている。介在部材 11は、パッキン 15が収納できる程度に切欠き部 20よりも水平方向が小さい。介在部材 11は、断面形状がほぼ長方形になるように形成されている。介在部材 11は、平面的に見て枠形に形成されている。介在部材 11は、板状部材 17および固定されるべき貼り合せ基板 31に挟まれるように配置されてレヽる。

[0056] パッキン 15は、断面形状が円形になるように形成されている。パッキン 15は、平面形状が線状になるように形成されている。パッキン 15は弾性を有するように形成されている。本実施の形態においては、パッキン 15はシリコーンゴムで形成されている。パッキン 15は、板状部材 17と貼り合せ基板 31とに挟まれるように配置されている。パッキン 15は、平面視したときに介在部材 11の内側であって、切欠き部 20の内側端にある段差と介在部材 11との間に配置される。パッキン 15は、介在部材 11に沿うように配置されている。パッキン 15は、枠形に形成されている。パッキン 15は、吸引孔および吸引溝が形成されてレ、る領域の周りを取り囲むように配置されてレ、る。

[0057] 介在部材 11は、貼り合せ基板 31をステージ 4に向かって吸引して、光学フィルム 3 2aの表面をステージ 4の表面に密着させたときに、介在部材 11の表面と貼り合せ基板 31の表面とが密着する高さを有する。

[0058] パッキン 15は、基板を配置したときに最も基板と早く接触する部分 (以下、頂部と称する）が、基板を配置していない無負荷のときに、介在部材 11の表面よりも高さが高くなるように形成されている。具体的には、パッキン 15は、基板を配置したときにパッキン 15の頂部の高さが介在部材 11の表面の高さと同等となる力、或いは、貼り合せ基板 31の吸引が行なわれていないときに、パッキン 15の頂部の高さが介在部材 11 の表面の高さよりも高くなるように形成されている。パッキン 15は、前者においては、基板の配置とともにパッキン 15の頂部が介在部材 11の表面の高さと同じ高さまで圧縮され、後者においては、貝占り合せ基板 31の吸引が行なわれたときにパッキン 15の頂部が介在部材 11の表面の高さと同じ高さまで圧縮されるように形成されている。以下に記載する作用および効果については、後者の場合を基に説明する。

[0059] 本実施の形態においては、介在部材の内側にパッキンが配置されている力特にこの形態に限られず、介在部材の外側にパッキンが配置されていても構わなレ、。この場合には、パッキンが貼り合せ基板に接触するように切欠き部および介在部材を形成して、パッキンを配置する。 [0060] その他の構成については、実施の形態 1と同様であるので、ここでは説明を繰返さなレ、。また、上記した実施の形態 1にかかる種々の変形に関しても同様に本実施の形態に適用することができる。

[0061] 本実施の形態における分断装置において、真空排気装置を駆動することにより、ステージに形成された吸引孔および吸引溝を通して、貼り合せ基板が吸引され、ステージに固定されることは、実施の形態 1と同様である。

[0062] 図 11に、貝占り合せ基板をステージに吸引固定したときのステージの端部の概略断面図を示す。吸引が開始されるとともに、貼り合せ基板 31は、ステージ 4に向かって引き寄せられる。パッキン 15は、板状部材 17と貼り合せ基板 31とに挟まれ圧縮される。

[0063] 光学フィルム 32aが板状部材 17の表面に密着するとともに、貝占り合せ基板 31が介在部材 11の表面に密着する。本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置においては、介在部材 11と貼り合せ基板 31とが密着することにより第 1の密封部が形成される。さらに、パッキン 15が板状部材 17および貼り合せ基板 31に密着することにより、第 2の密封部を形成することができる。このように本実施の形態においては、二重の密封部で空気の流入を防止することができ、貼り合せ基板をより強く吸引固定すること力 Sできる。

[0064] 本実施の形態においては、パッキンの断面形状が円形になるように形成されている力この形態に限られず、空気の流入を防止するように機能するものであれば任意の形状のパッキンを用いることができる。

[0065] 次に、本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置を実際に形成して性能試験を行なった。パッキン 15は、無負荷の時に、介在部材 11の表面より頂部の高さが約 100 x m高くなる大きさに形成した。パッキン 15をシリコーンゴムで形成して、介在部材 11をアルミニウムで形成した。さらに、介在部材 1 1の内側にパッキン 15を配置した分断装置の他に、介在部材 11の外側にパッキン 15を配置した分断装置についても性能試験を行なった。

[0066] 性能試験の結果、従来の技術においては、空気の流入のために十分に吸引固定できなかった貼り合せ基板について、介在部材の内側にパッキンが配置された分断装置および介在部材の外側にパッキンが配置された分断装置の両方について、貼り合せ基板を十分に吸引固定することができた。

[0067] その他の作用および効果については、実施の形態 1と同様であるのでここでは説明を繰返さない。

[0068] (実施の形態 3)

図 12から図 14を参照して、本発明に基づく実施の形態 3における液晶表示パネルの製造装置および製造方法について説明する。本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置は、貼り合せ基板の表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置である。ステージに吸引孔および吸収溝が形成され、吸引孔が真空排気装置に接続されてレ、ることは、実施の形態 1と同様である。

[0069] 図 12に、貝占り合せ基板をステージに配置して、吸引固定を行なう前のステージの外周部の概略断面図を示す。また、図 13に、図 12における XIII— XIII線に関する矢視断面図を示す。本実施の形態におけるステージ 5は、板状部材 17および介在部材 12を含む。板状部材 17には、外周全体に切欠き部 20が形成されている。

[0070] 切欠き部 20の表面には、介在部材 12およびパッキン 16が配置されている。介在部材 12は、断面形状がほぼ長方形になるように形成されている。介在部材 12は、平面的に見て枠形に形成されている。介在部材 12は、板状部材 17および固定されるべき貼り合せ基板 31に挟まれるように配置されてレ、る。

[0071] 介在部材 12は、基板と接触する領域に窪み部 21を含む。窪み部 21は、平面的に見て線状に形成されている。窪み部 21は、平面的に見て介在部材 12が延びる方向に沿うように形成されている。窪み部 21の内部には、パッキン 16が配置されている。パッキン 16は断面形状が円形になるように形成されている。パッキン 16は、平面視したときに線状の枠形に形成されている。窪み部 21は、底部がパッキン 16の断面形状の円形に沿うように半円に形成されている。

[0072] 介在部材 12は、貝占り合せ基板 31をステージ 5に向かって吸引して、光学フィルム 3 2aの表面をステージ 5の表面に密着させたときに、介在部材 12の表面と貼り合せ基板 31の表面とが密着する高さを有する。 [0073] パッキン 16は、基板を配置していない無負荷のときに、窪み部 21が形成されている介在部材 12の表面よりもパッキン 16の頂部の高さが高くなるように形成されている。具体的には、パッキン 16は、基板を配置したときにパッキン 16の頂部の高さが介在部材 12の表面の高さと同等となる力或いは、貝占り合せ基板 31の吸引が行なわれていないときに、パッキン 16の頂部の高さが介在部材 12の表面の高さよりも高くなるように形成されている。パッキン 16は、前者においては、基板の配置とともにパッキン 1 6の頂部が介在部材 12の表面の高さと同じ高さまで圧縮され、後者においては、貝占り合せ基板 31の吸引が行なわれたときに、パッキン 16の頂部が介在部材 12の表面の高さと同じ高さまで圧縮されるように形成されている。以下に記載する作用および効果については、後者の場合を基に説明する。

[0074] その他の構成については、実施の形態 1と同様であるので、ここでは説明を繰返さない。また、上記した実施の形態 1にかかる種々の変形に関しても同様に本実施の形態に適用することができる。

[0075] 本実施の形態における分断装置において、真空排気装置を駆動することにより、ステージに形成された吸引孔および吸引溝を通して、貼り合せ基板が吸引され、ステージに固定されることは、実施の形態 1と同様である。

[0076] 図 14に、貝占り合せ基板をステージに吸引固定したときのステージの端部の概略断面図を示す。真空排気装置により吸引が行なわれることにより、貼り合せ基板 31がステージ 6に向かって吸引される。ノッキン 16は圧縮され、窪み部 21および貼り合せ基板 31に密着する。光学フィルム 32aが、板状部材 17の表面に密着するとともに、貝占り合せ基板 31の表面が介在部材 12の表面に密着する。

[0077] 本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置においては、貼り合せ基板 31 と介在部材 12とが密着することにより、第 1の密封部を形成でき、さらに、パッキン 16 が窪み部 21および貼り合せ基板 31に密着することにより、第 2の密封部を形成すること力 Sできる。このように本実施の形態においては、二重の密封部で空気の流入を防止することができ、貝占り合せ基板をより強く吸引固定することができる。

[0078] 本実施の形態においては、ノッキンの断面形状が円形になるように形成されている力この形態に限られず、空気の流入を防止するように機能するものであれば任意の形状のパッキンを用いることができる。窪み部の底部は、パッキンの形状に沿うように形成されていることが好ましい。この構成を採用することにより、窪み部とパッキンとの接触面積を大きくすることができ、より確実に空気の流入を防止できる。

[0079] 次に、本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置を実際に形成して性能試験を行なった。介在部材 12をアルミニウムを用いて形成して、パッキン 16をシリコーンゴムを用いて形成した。パッキン 16は、無負荷の時に、介在部材 12の表面より頂部の高さが約 100 x m高くなる大きさに形成した。性能試験の結果、従来の技術においては、空気の流入のために十分に吸引固定できなかった貼り合せ基板を十分に吸引固定することができた。

[0080] その他の作用および効果については、実施の形態 1と同様であるのでここでは説明を繰返さない。

[0081] (実施の形態 4)

図 15から図 17を参照して、本発明に基づく実施の形態 4における液晶表示パネルの製造装置について説明する。本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置は、貝占り合せ基板の表面に配置された光学フィルムの一部を切除し、その後、分断用の亀裂を形成して個々の液晶表示セルに分断する分断装置である。ステージに吸引孔および吸収溝が形成され、吸引孔が真空排気装置に接続されていることは、実施の形態 1と同様である。

[0082] 図 15に、貝占り合せ基板をステージに配置して、吸引固定を行なう前のステージの外周部の概略断面図を示す。また、図 16に、図 15における XVI— XVI線に関する矢視断面図を示す。本実施の形態におけるステージ 6は、板状部材 17および介在部材 13を含む。板状部材 17には、外周全体に切欠き部 20が形成されている。

[0083] 切欠き部 20の表面には、介在部材 13が配置されている。介在部材 13は、断面形状がほぼ長方形になるように形成され、該長方形の 4つの角のうち、 1つの角に窪み部 22が形成されている。介在部材 13は、平面的に見て枠形に形成されている。介在部材 13は、板状部材 17および固定されるべき貼り合せ基板 31に挟まれるように配置されている。

[0084] 窪み部 22は、介在部材 13の内側に形成されている。窪み部 22には、パッキン 16 が配置されている。パッキン 16は、断面形状が円形になるように形成されている。窪み部 22は、ノッキン 16の断面形状の円形に沿うように、円弧状の部分を有する。窪み部 22およびパッキン 16は、平面視したときに線状の枠形に形成されている。

[0085] 介在部材 13は、貝占り合せ基板 31をステージ 6に向かって吸引して、光学フィルム 3 2aの表面をステージ 6の表面に密着させたときに、介在部材 13の表面と貼り合せ基板 31の表面とが密着する高さを有する。

[0086] パッキン 16は、基板を配置していない無負荷のときに、窪み部 22が形成されている介在部材 13の表面よりもパッキン 16の頂部の高さが高くなるように形成されている。具体的には、パッキン 16は、基板を配置したときにパッキン 16の頂部の高さが介在部材 13の表面の高さと同等となる力或いは、貝占り合せ基板 31の吸引が行なわれていないときに、パッキン 16の頂部の高さが介在部材 13の表面の高さよりも高くなるように形成されている。パッキン 16は、前者においては、基板の配置とともにパッキン 1 6の頂部が介在部材 13と同じ高さまで圧縮され、後者においては、貼り合せ基板 31 の吸引が行なわれたときに、ノッキン 16の頂部の高さが介在部材 13の表面の高さと同じ高さまで圧縮されるように形成されている。以下に記載する作用および効果については、後者の場合を基に説明する。

[0087] 本実施の形態における窪み部 22は、介在部材 13の内側に形成されているが、介在部材 13の外側に形成されても構わない。

[0088] その他の構成については、実施の形態 1と同様であるので、ここでは説明を繰返さなレ、。また、上記した実施の形態 1にかかる種々の変形に関しても同様に本実施の形態に適用することができる。

[0089] 本実施の形態における分断装置において、真空排気装置を駆動することにより、ステージに形成された吸引孔および吸引溝を通して、貼り合せ基板が吸引され、ステージに固定されることは、実施の形態 1と同様である。

[0090] 図 17に、貝占り合せ基板をステージに吸引固定したときのステージの端部の概略断面図を示す。真空排気装置により吸引が行なわれることにより、貼り合せ基板 31がステージ 6に向かって吸引される。パッキン 16は圧縮され、窪み部 22および貼り合せ基板 31に密着する。光学フィルム 32aが、ステージ 6の板状部材 17に密着するとともに、貝占り合せ基板 31の表面と介在部材 13の表面とが密着する。

[0091] 本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置においては、介在部材 13と貼り合せ基板 31とが密着して第 1の密封部を形成でき、さらに、パッキン 16が窪み部 2 2および貼り合せ基板 31に密着することによって第 2の密封部を形成することができる。このように本実施の形態においては、二重の密封部で空気の流入を防止することができ、貝占り合せ基板をより強く吸引固定することができる。

[0092] 本実施の形態においては、ノッキンの断面形状が円形になるように形成されているが、この形態に限られず、空気の流入を防止するように機能するものであれば任意の形状のパッキンを用いることができる。窪み部の底部は、パッキンの形状に沿うように形成されていることが好ましい。この構成を採用することにより、窪み部とパッキンとの接触面積を大きくすることができ、より確実に空気の流入を防止できる。

[0093] 次に、本実施の形態における液晶表示パネルの製造装置を用いて、性能試験を行なった。介在部材 13は、アルミニウムを用いて形成して、パッキンは、シリコーンゴムを用いて形成した。パッキン 16は、無負荷のときに、介在部材 13の表面より頂部の高さが約 100 / m高くなる大きさに形成した。また、窪み部が介在部材の外側に形成され、窪み部にパッキンが配置されたものについても同様の性能試験を行なった。性能試験の結果、窪み部が介在部材の内側に配置された分断装置および窪み部が介在部材の外側に配置された分断装置ともに、従来の技術においては、十分に吸引固定できなかった貼り合せ基板を十分に吸引固定することができた。

[0094] その他の作用および効果については、実施の形態 1と同様であるのでここでは説明を繰返さない。

[0095] なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であつて制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

産業上の利用可能性

[0096] 本発明は、表示パネルの製造に有利に適用されうる。

Claims

請求の範囲

少なくとも一方の表面に光学フイノレム（32, 32a, 32b, 35, 36)力 S貝占り付けられた基板（31 , 34)を固定するためのステージ（3〜6)を備え、

前記ステージ（3〜6)は、前記基板（31 , 34)を吸引するための吸引孔（8)を有し、前記ステージ（3〜6)は、前記吸引孔（8)が形成されてレ、る領域の周りに突起部を含み、

前記突起部は、平面形状が閉じた枠形に形成された、表示パネルの製造装置。前記突起部は、前記基板（31 , 34)の吸引を行い、前記光学フィルム（32, 32a, 3 2b, 35, 36)の表面を前記ステージ（3〜6)の表面に密着させたときに、前記突起部の表面と前記基板（31， 34)の表面とが密着する高さを有する、請求項 1に記載の表示パネルの製造装置。

前記突起部は、平らな表面を有し、

前記突起部は、前記表面が前記ステージ（3〜6)の表面と平行である、請求項 2に記載の表示パネルの製造装置。

前記ステージ（3〜6)は、板状部材（17)を含み、

前記突起部は、前記板状部材（17)と前記基板（31 , 34)とに挟まれるように形成された介在部材（10〜： 13)を有する、請求項 1に記載の表示パネルの製造装置。弾性を有するパッキン（15)を備え、

前記パッキン（15)は、前記ステージ (4)と前記基板（31 , 34)とに挟まれるように配置され、

前記パッキン（15)は、前記突起部に沿うように、前記吸引孔 (8)が形成されている領域の周りに配置され、

前記パッキン（15)は、無負荷のときに、前記突起部の表面より頂部の高さが高くなるように形成された、請求項 1に記載の表示パネルの製造装置。

前記パッキン（15)は、前記基板（31 , 34)の吸引が行なわれたときに、前記突起部の表面と同じ高さに頂部の高さが変形する、請求項 5に記載の表示パネルの製造装置。

弾性を有するパッキン（16)を備え、前記突起部は、前記基板（31 , 34)が接触する側の表面に窪み部（21 , 22)を有し前記パッキン（16)は、前記窪み部（21 , 22)に配置され、

前記パッキン（16)は、無負荷のときに、前記窪み部（21， 22)が形成されている前記突起部の表面より頂部の高さが高くなるように形成された、請求項 1に記載の表示パネルの製造装置。

前記パッキン（16)は、前記基板（31 , 34)の吸引が行なわれたときに、前記突起部の表面と同じ高さに頂部の高さが変形する、請求項 7に記載の表示パネルの製造装置。

前記突起部は、平面形状が閉じた枠形に形成された表示パネルの製造装置を用レ、る表示パネルの製造方法であって、

前記光学フィルム（32, 32a, 32b, 35, 36)と前記ステージ（3〜6)とを対向させ配置する工程と、

前記吸引孔（8)を用いて前記基板（31， 34)を吸引することによって、前記突起部の表面と前記基板（31 , 34)の表面とが密着して閉空間を形成し、前記光学フィルム (32, 32a, 32b, 35, 36)の表面を前記ステージ（3〜6)の表面に吸着させる工程とを含む、表示パネルの製造方法。