KR102327814B1 - 흡착 플레이트, 절단 장치 및 절단 방법 - Google Patents

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Abstract

흡착 플레이트(10)는, 테두리부(16)와 복수의 리브부(17A, 17B)를 갖는 베이스부(15)와, 복수의 리브부(17A, 17B)에 겹쳐지도록 배치되고 복수의 흡착구멍(12H)이 형성된 재치부(12)를 구비하고, 복수의 리브부(17A, 17B)끼리가 교차하고 있는 부분의 일부는 기대(21)가 배치되는 측을 향하여 돌출하고 있다.

Description

흡착 플레이트, 절단 장치 및 절단 방법{SUCTION PLATE, CUTTING APPARATUS AND CUTTING METHOD}
본 명세서는, 흡착 플레이트, 절단 장치 및 절단 방법에 관한 것이다.
하기한 일본 특개2016-040060호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 흡착 지그상에 봉지완료 기판을 흡착시킨 상태에서 절단하는 절단 장치가 알려져 있다. 봉지완료 기판은, 예를 들면 프린트 기판이나 리드 프레임 등으로 이루어지는 기판이고, 개개의 전자 부품에 대응하는 복수의 영역이 격자형상으로 가상적으로 구획되어 있다. 절단 장치에 의해 봉지완료 기판을 각각의 영역 단위로 절단하여 개편화한 것이 전자 부품이 된다.
특허문헌 1 : 일본 특개2016-040060호 공보
근래, 전자 부품의 사이즈는 점차로 작아지는 경향에 있다. 전자 부품을 흡착하는 흡착 플레이트(특허문헌 1의 흡착 지그 및 허니컴 플레이트(지지부)에 상당)의 전자 부품과의 접촉면적도 작게 되어 오고 있고, 이에 수반하여 전자 부품을 흡착하는 흡착구멍의 크기도 작게 되어 오고 있어서, 개개의 전자 부품에 흡착력을 작용시키는 것이 어렵게 되어 오고 있다. 보다 큰 흡착력을 얻기 위해서는, 흡착 플레이트 내에 마련한 흡인 통로를 확대하는 것이 생각되지만, 흡인 통로를 확대하는 것은 흡착 플레이트의 강성 저하를 초래한다.
흡착 플레이트의 강성이 저하되면, 절단 가공할 때에 절단에 수반하는 응력을 받아 흡착 플레이트에 휨 등의 변형이 발생하기 쉬워진다. 흡착 플레이트에 휨 등의 변형이 발생하면, 절단 대상물이 높은 정밀도로 절단되기 어려워져서, 제품화된 전자 부품에 높은 품질을 얻기가 어려워진다.
본 명세서는, 응력을 받았다고 하여도 휨 등의 변형이 발생하기 어려운 구성을 구비한 흡착 플레이트, 그와 같은 흡착 플레이트를 구비한 절단 장치 및 그와 같은 흡착 플레이트를 이용하여 절단을 행하는 절단 방법을 개시하는 것을 목적으로 한다.
본 명세서에 개시된 흡착 플레이트는, 흡인기구가 마련된 절단 장치의 기대상에 배치되는 테두리부와, 상기 테두리부의 내측에 마련된 복수의 리브부를 가지며, 복수의 상기 리브부끼리가 교차하도록 격자형상으로 배치된 베이스부와, 상기 복수의 리브부에 겹쳐지도록 배치되고, 표면측부터 이면측에 관통하는 복수의 흡착구멍이 형성된 재치부를 구비하고, 상기 복수의 리브부에 의해, 상기 흡인기구와 상기 복수의 흡착구멍을 연통시키는 복수의 흡기 경로가 상기 테두리부의 상기 내측에 형성되어 있고, 상기 재치부의 상기 이면이 상기 복수의 흡기 경로를 덮도록 배치된 상태에서, 상기 표면상에 재치된 절단 대상물은 상기 흡착구멍에 발생한 부압에 의해 상기 표면상에 흡착되고, 복수의 상기 리브부끼리가 교차하고 있는 부분의 일부는 상기 기대가 배치된 측을 향하여 돌출하고 있다.
본 명세서에 개시된 절단 장치는, 흡인기구가 마련된 기대와, 상기 기대상에 배치되는 본 명세서에 개시된 상기한 흡착 플레이트를 구비한다.
본 명세서에 개시된 절단 방법은, 본 명세서에 개시된 상기한 흡착 플레이트상에 절단 대상물을 흡착시키는 공정과, 상기 절단 대상물을 상기 흡착 플레이트상에 흡착시킨 상태에서 절단하는 공정을 구비한다.
이 발명의 상기 및 다른 목적, 특징, 국면 및 이점은 첨부한 도면과 관련하여 이해되는 이 발명에 관한 다음의 상세한 설명으로부터 분명해질 것이다.
도 1은 실시의 형태에서의 절단 장치(50)를 모식적으로 도시하는 도면.
도 2는 봉지완료 기판(1)과, 흡착 플레이트(10)와, 절단 장치(50)의 기대(21)를 도시하는 사시도.
도 3은 흡착 플레이트(10)의 분해한 상태의 상면측에서 본 양상을 도시하는 사시도.
도 4는 흡착 플레이트(10)의 분해한 상태의 저면측에서 본 양상을 도시하는 사시도.
도 5는 절단 장치(50)의 기대(21)상에 흡착 플레이트(10)가 배치되어 있는 상태를 도시하는 단면도.
실시의 형태에 관해 이하, 도면을 참조하면서 설명한다. 이하의 설명에서 동일한 부품 및 상당 부품에는 동일한 참조 번호를 붙이고, 중복되는 설명은 반복하지 않는 경우가 있다.
[절단 장치(50)(절단 방법)]
도 1은, 실시의 형태에서의 절단 장치(50)를 모식적으로 도시하는 도면이다. 절단 장치(50)는, 공급 유닛(A), 절단 유닛(B), 검사 유닛(C) 및 수용 유닛(D)을 구비한다. 공급 유닛(A)은 매거진을 구비하고, 복수의 봉지완료 기판(1)을 수용하고 있다. 공급 유닛(A)은 공급 기구(30)를 가지며, 절단 대상물로서의 봉지완료 기판(1)이 공급 기구(30)로부터 절단 유닛(B)에 반송된다.
절단 유닛(B)에는 절단용 테이블(2)이 마련된다. 절단용 테이블(2)은, 이동 기구(31), 회전 기구(32) 및 흡착 플레이트(10)를 구비한다. 흡착 플레이트(10)는 봉지완료 기판(1)의 기판면을 흡착 유지한 상태에서, 이동 기구(31) 및 회전 기구(32)에 의해 이동 및 회동 가능하다. 절단 유닛(B)은, 반송부(33)와 절단부(34)를 갖는다. 반송부(33)에는 카메라(35)가 마련되고, 카메라(35)의 촬상 결과에 의거하여 봉지완료 기판(1)상에 복수의 절단선(L)(도 2 참조)이 격자형상으로 설정된다. 흡착 플레이트(10)상의 봉지완료 기판(1)은 절단부(34)에 이송된다. 흡착 플레이트(10)상의 봉지완료 기판(1)은, 절단부(34)에서 절단된 후, 제1의 클리너(36)를 통하여 절단 전의 원래의 위치로 되돌려진다. 또한, 도 1의 절단용 테이블(2)은, 이송 전의 위치와 이송 후의 절단 위치의 양방을 도시하고 있다. 흡착 플레이트(10)는, 절단 전의 위치에 도시하고 있지만, 절단부(34)의 절단 위치에는 도시하고 있지 않다.
절단부(34)에는, 회전날(37)이 부착된 스핀들(3)이 마련된다. 흡착 플레이트(10)상에 절단 대상물로서의 봉지완료 기판(1)의 봉지면이 흡착되고, 이 상태에서 흡착 플레이트(10)와 스핀들을 상대적으로 이동시키면서, 회전날(37)에 의해 봉지완료 기판(1)이 절단된다. 봉지완료 기판(1)은 절단에 의해 복수의 전자 부품(P)으로 개편화 되고, 제1의 클리너(36)에 의해 물을 이용하여 세정되고, 공기를 이용하여 건조된다. 복수의 전자 부품(P)은, 흡착 플레이트(10)상에서 언로더(38)에 일괄하여 받아 전달되어지고, 언로더(38)에 흡착되어 들어 올려진 상태에서 제2의 클리너(39)에 의해 봉지면이 세정 및 건조된다.
검사 유닛(C)에는 검사 카메라(40) 및 검사용 스테이지(41)가 마련된다. 복수의 전자 부품(P)은 언로더(38)로부터 검사용 스테이지(41)에 일괄하여 받아 전달되어지고, 검사 카메라(40)에 의해 외관 검사가 행하여진다. 복수의 전자 부품(P)은 양품과 불량품으로 선별되고, 그 후, 인덱스 테이블(42)에 일괄하여 이송된다. 복수의 전자 부품(P)은 이송 기구(43)에 의해 수용 유닛(D)의 양품용 트레이(45) 및 불량품용 트레이(46)에 각각 수용되고, 수용부(47)에 이송된다. 트레이 공급부(48)로부터 새로운 트레이가 양품용 트레이(45) 및 불량품용 트레이(46)로서 공급된다.
(절단 장치(50)의 기대(21))
도 2는, 봉지완료 기판(1)과, 흡착 플레이트(10)와, 절단 장치(50)의 기대(21)를 도시하는 사시도이다. 흡착 플레이트(10)는, 상술한 바와 같이 여기서는 절단용 테이블로서 기능한다. 절단 장치(50)는, 흡인기구(20)가 마련된 기대(21)와, 흡착 플레이트(10)를 그 구성 요소로서 포함하고 있다.
절단 장치(50)의 기대(21)는, 흡착 플레이트(10)의 테두리부(16)(도 3 참조)를 하방측에서 지지한 테두리형상 지지부(21A)와, 테두리형상 지지부(21A)의 내측에 마련된 복수의 볼록형상 지지부(22)를 포함한다. 테두리형상 지지부(21A)의 내측에는 오목형상의 흡인 공간(23)이 형성되어 있고, 복수의 볼록형상 지지부(22)는, 기대(21) 중의 흡인 공간(23)의 하방에 위치하는 저면(21B)부터 기립하도록 마련되어 있다. 흡인 공간(23)은, 기대(21)의 저면(21B)에 마련된 개구부(24)를 통하여 흡인기구(20)에 접속되어 있다.
[흡착 플레이트(10)]
도 3은, 흡착 플레이트(10)의 분해한 상태의 상면측에서 본 양상을 도시하는 고시도이고, 도 4는, 흡착 플레이트(10)의 분해한 상태의 저면측에서 본 양상을 도시하는 사시도이다. 도 5는, 절단 장치(50)의 기대(21)상에 흡착 플레이트(10)가 배치되어 있는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 3∼도 5에 도시하는 바와 같이, 흡착 플레이트(10)는, 커버(11)와, 봉지완료 기판(1)이 그 표면상에 재치되는 재치부(12)와, 흡착 플레이트(10)를 절단 장치(50)의 기대(21)상에 고정하기 위한 베이스부(15)를 구비한다. 흡착 플레이트(10)는, 흡인기구(20)(도 2, 도 5)가 마련된 절단 장치(50)의 기대(21)상에 배치된다.
(베이스부(15))
도 3을 주로 참조하면, 베이스부(15)는, 테두리부(16)와 복수의 리브부(17A, 17B)를 갖는다. 테두리부(16)는 개략 동일한 두께를 가지며, 사각형형상을 갖는다. 테두리부(16)의 저면의 형상은, 기대(21)에 마련된 테두리형상 지지부(21A)(도 2)의 형상에 대응하고, 테두리부(16)는 테두리형상 지지부(21A)에 의해 지지된다.
복수의 리브부(17A, 17B)는, 테두리부(16)의 내측에 마련된다. 복수의 리브부(17A)는, 제1의 방향으로 늘어나 서로 평행하게 되도록 배치되어 있고, 복수의 리브부(17B)는, 제1의 방향과 교차하는 제2의 방향으로 서로 평행하게 되도록 배치되어 있다. 테두리부(16)가 테두리형상 지지부(21A)상에 배치된 상태에서는, 복수의 리브부(17A, 17B)는 볼록형상 지지부(22)(도 2)의 정상면(頂面)(22A)에 접촉하고, 복수의 리브부(17A, 17B)는 볼록형상 지지부(22)에 의해 지지된다.
테두리부(16)의 내측에서는, 복수의 리브부(17A)와 복수의 리브부(17B)가 교차하는, 즉 복수의 리브부끼리가 교차하도록 격자형상으로 배치되어 있고, 복수의 리브부(17A, 17B)에 의해, 복수의 흡기 경로(18)가 테두리부(16)의 내측에 형성되어 있다. 복수의 리브부(17A, 17B)의 상단(재치부(12)가 배치되는 측의 단부)은, 단차가 없게(이른바 동일면으로) 형성되어 있다(도 3 참조).
한편으로 도 4에 도시하는 바와 같이, 복수의 리브부(17A, 17B)의 하단(기대(21)가 위치하는 측의 단부)측에서는, 복수의 리브부(17A, 17B)가 교차하고 있는 부분의 일부는 기대(21)가 배치되는 측을 향하여 돌출하고 있다. 환언하면, 복수의 리브부(17A, 17B)가 교차하고 있는 부분을 교차부분이라고 하면, 복수 중의 일부의 교차부분은, 당해 교차부분에 인접하는 리브부(17A, 17B)에 대해 기대(21)가 배치된 측(여기서는 하방측)을 향하여 돌출하고 있다.
본 실시의 형태에서는, 복수의 리브부(17A, 17B)가 교차하고 있는 부분에, 후퇴부(17C) 및 돌출부(17D)가 형성되어 있다. 복수의 리브부(17A, 17B)가 교차하고 있는 부분(교차부분)의 몇개는 후퇴부(17C)를 구성하고 있고, 복수의 리브부(17A, 17B)가 교차하고 있는 부분(교차부분)의 다른 몇개는 돌출부(17D)를 구성하고 있다. 후퇴부(17C)는, 돌출부(17D)가 마련되어 있는 교차부분에 인접하는 리브부(17A, 17B)에 형성된다.
복수의 돌출부(17D)에서는, 각각의 돌출부(17D)의 돌출 방향에서의 단면(17DS)(도 5)이, 테두리부(16)의 저면(16S)(도 5)과 동일면이 된다. 복수의 후퇴부(17C)에서는, 각각의 후퇴부(17C)의 단면(17CS)(도 5)이, 테두리부(16)의 저면(16S)부터 재치부(12)가 배치되는 측을 향하여 후퇴한(오프셋한) 위치에 있다.
베이스부(15)의 테두리부(16)에는 환형상 홈(15G)(도 3, 도 5)이 마련되어 있다. 환형상 홈(15G)은, 베이스부(15) 중의 복수의 리브부(17A, 17B)가 마련되어 있는 영역을 둘러싼다. 환형상 홈(15G)에는, 후술하는 실 부재의 한 예로서 O링(11S)(도 4, 도 5)이 수용된다. 실 부재의 다른 예로서, 패킹이나 개스킷이 채용되어도 좋다. 패킹이나 개스킷이 이용되는 경우에는, 환형상 홈(15G)은 적절히 생략 가능한 구성이다.
이상과 같은 구성을 갖는 테두리부(16) 및 복수의 리브부(17A, 17B)를 구비한 베이스부(15)는, 예를 들면 수지로 형성할 수 있다. 사출 성형법이 알맞게 이용 가능하다. 베이스부(15)는, 알루미늄이나 스테인리스 등의 금속제라도 좋다.
(커버(11))
도 2∼도 4를 참조하면, 커버(11)는, 테두리형상의 형상을 갖는다. 커버(11)는 수지제라도 좋고, 알루미늄이나 스테인리스 등의 금속제라도 좋다. 커버(11)는, 베이스부(15)의 테두리부(16)에 대응하는 형상을 갖고 있고, 커버(11)의 내측에는 개구부(11H)가 마련된다. 커버(11)는, 도시하지 않은 체결 부재 또는 접착 부재 등을 이용하여 베이스부(15)에 고정된다. 커버(11)와 베이스부(15)의 사이에 감합 구조를 마련하고, 이 감합 구조에 의해 커버(11)를 베이스부(15)에 고정하여도 좋다. 또한, 초음파 용착에 의해 커버(11)를 베이스부(15)에 고정하여도 좋다.
(재치부(12))
도 3, 도 4에 도시하는 바와 같이, 재치부(12)는, 전체로서 박판형상으로 형성되고, 표면(12A)과, 표면(12A)의 반대측에 위치하는 이면(12B)을 갖고 있다. 재치부(12)의 이면(12B)은, 복수의 리브부(17A, 17B)의 상단에 겹쳐지도록 배치된다. 재치부(12)는, 표면(12A)측부터 이면(12B)측에 관통하는 복수의 흡착구멍(12H)을 형성하고 있다. 이 흡착구멍은 개편화된 각각의 전자 부품을 흡착한다.
본 실시의 형태의 재치부(12)는, 그 구성 요소로서 러버부(13) 및 금속제 판형상부(14)를 포함하고 있다. 러버부(13)는, 재치부(12)의 표면(12A)측의 구성 요소이고, 금속제 판형상부(14)는, 재치부(12)의 이면(12B)측의 구성 요소이다. 금속제 판형상부(14)는, 알루미늄이나 스테인리스 등의 금속제의 박판으로 구성 가능하다.
러버부(13) 중의 금속제 판형상부(14)와는 반대측의 표면이 「재치부(12)의 표면(12A)」을 구성하고 있다. 러버부(13)의 이면이, 금속제 판형상부(14)의 표면에 접합되어 있다. 금속제 판형상부(14)의 이면이, 「재치부(12)의 이면(12B)」을 구성하고 있다. 러버부(13)는 금속제 판형상부(14)에, 접착제 등에 의해 접합 가능하다.
금속제 판형상부(14)는 러버부(13)보다도 평면 방향으로 크다. 금속제 판형상부(14)와 러버부(13)가 접합된 상태에서, 러버부(13)의 외연으로부터 외측으로 돌출하는 금속제 판형상부(14)의 주위부분이 생긴다(도 3). 당해 주위부분은, 환형상의 형상을 갖는 커버(11)에 의해 덮여진다(도 2). 커버(11)는, 재치부(12)의 당해 둘레부분을 베이스부(15)에 고정한다.
커버(11)와 테두리부(16)의 사이에, 베이스부(15) 중의 복수의 리브부(17A, 17B)가 마련되어 있는 영역을 둘러싸는 실 부재가 마련된다. 본 실시의 형태에서는, 베이스부(15)(테두리부(16))에 마련된 환형상 홈(15G) 내에는 O링(11S)(도 4, 도 5)이 배치되고, O링(11S)은, 베이스부(15) 중의 복수의 리브부(17A, 17B)가 마련되어 있는 영역을 둘러싼다. O링(11S)은, 커버(11)와 테두리부(16) 사이에서 끼워 넣어지며 좋다(도 5). 패킹이나 개스킷을 실 부재로서 채용하는 경우에도, 패킹 등은 베이스부(15) 중의 복수의 리브부(17A, 17B)가 마련되어 있는 영역을 둘러싼다. 패킹 등은, 커버(11)와 테두리부(16) 사이에서 끼워 넣어지면 좋다. 이 경우에는 환형상 홈(15G)은 적절히 생략 가능한 구성이다.
러버부(13)에는 복수의 관통구멍(13H)이 형성되어 있고, 금속제 판형상부(14)에도 복수의 관통구멍(14H)이 형성되어 있다. 관통구멍(13H, 14H)은 서로 개략 일치하도록 동축형상으로 형성되어 있고, 러버부(13)가 금속제 판형상부(14)에 접합된 상태에서는, 관통구멍(13H, 14H)에 의해, 표면(12A)측부터 이면(12B)측에 관통하는 흡착구멍(12H)이 구성된다. 즉 본 실시의 형태에서는, 흡착구멍(12H)이 관통구멍(13H)과 관통구멍(14H)으로 형성되어 있다(도 5).
도 5에 도시하는 바와 같이, 재치부(12)의 이면(12B)이 복수의 흡기 경로(18)를 덮도록 배치된다. 복수의 흡기 경로(18)는, 흡인 공간(23)에 연통함과 함께, 기대(21)에 마련된 흡인기구(20)와 복수의 흡착구멍(12H)을 연통시키고 있다. 이 상태에서, 재치부(12)의 표면(12A)상에 재치된 봉지완료 기판(1)은, 흡착구멍(12H)에 발생한 부압에 의해 표면(12A)상에 흡착된다.
(작용 및 효과)
도 5를 참조하면, 베이스부(15)가 기대(21)상에 배치된 상태에서는, 복수의 리브부(17A, 17B)의 각각의 돌출부(17D)의 돌출 방향에서의 단면(17DS)(도 5)이, 볼록형상 지지부(22)의 정상면(22A)에 접촉하고, 이에 의해 복수의 리브부(17A, 17B)는 볼록형상 지지부(22)에 의해 지지된다. 따라서 절단 가공할 때에 절단에 수반하는 응력을 흡착 플레이트(10)가 받았다고 하여도, 흡착 플레이트(10)에 휨 등의 변형이 발생하는 것은 효과적으로 억제 가능하다. 한편으로, 후퇴부(17C)의 단면(17CS)은 볼록형상 지지부(22)의 정상면(22A)부터 떨어지고 있고, 후퇴부(17C)의 단면(17CS)과 볼록형상 지지부(22)의 정상면(22A)과의 사이의 간극을 통하여 공기는 통류할 수 있다.
가정하여, 복수의 리브부(17A, 17B)의 전부에 관해, 기대(21)측의 단면이 후퇴부(17C)의 단면(17CS)과 동일 높이로 동일면이 되도록 형성되어 있다고 한다. 이 경우에는, 복수의 리브부(17A, 17B)와 볼록형상 지지부(22)의 정상면(22A) 사이의 간극을 통하여 공기의 통류를 얻을 수 있지만, 상술한 실시의 형태의 경우에 비하여 복수의 리브부(17A, 17B)의 높이가 낮고, 복수의 리브부(17A, 17B) 그 자체의 강성이 낮다.
가정하여, 복수의 리브부(17A, 17B)의 전부에 관한 대, 기대(21)측의 단면이 돌출부(17D)의 단면(17DS)과 동일 높이로 동일면이 되도록 형성되어 있다고 한다. 이 경우에는, 상술한 실시의 형태의 경우에 비교하여 복수의 리브부(17A, 17B) 그 자체의 강성이 높아지지만, 복수의 리브부(17A, 17B)와 볼록형상 지지부(22)의 정상면(22A)과의 사이에 충분한 간극이 형성되기 어렵고, 공기의 통류 즉, 충분한 흡인력을 얻기가 어려워진다.
상기 2개의 가정의 구성에 비하여 실시의 형태의 흡착 플레이트(10)에 의하면, 복수의 리브부(17A, 17B)가 교차하고 있는 부분을 교차부분이라고 하면, 복수 중의 일부의 교차부분은, 당해 교차부분에 인접하는 리브부(17A, 17B)에 대해 기대(21)가 배치되는 측을 향하여 돌출하고 있다. 이와 같은 구성이 채용되어 있음으로써, 흡착 플레이트(10)의 전체로서의 높은 강성과, 봉지완료 기판(1)에 대한 높은 흡인력을 얻는 것이 가능하게 되어 있다.
베이스부(15)가 수지로 형성되는 경우에는, 사출 성형에 의해 베이스부(15)를 높은 생산성으로 용이하게 제작할 수 있다. 흡착 플레이트(10) 전체로서의 경량화도 도모할 수 있고, 베이스부(15)가 금속인 경우에 비하여 흡착 플레이트(10)의 생산성 및 취급성도 향상하고, 비용 메리트도 얻어진다. 베이스부(15)가 수지로 형성되는 경우에, 흡착 플레이트(10)의 강성을 배려한 상술한 바와 같은 구성을 채용하는 것이 보다 바람직하다. 상기한 구성을 구비한 흡착 플레이트(10)에 의하면, 흡착 플레이트(10)를 제작함에 있어서, 재치부(12)에 관해서는 흡착 대상물인 전자 부품의 사양에 응하여 설계하고, 베이스부(15)에 관해서는 여러가지의 구성을 갖는 재치부(12)에 공통되게 범용적으로 이용하는 것이 가능하다.
상술한 흡착 플레이트(10)에서는, 재치부(12)의 주위부분을 베이스부(15)에 고정하는 커버(11)가 이용되고 있다. 커버(11)에 의해 재치부(12)를 안정하게 베이스부(15)에 고정할 수 있고, 흡착 플레이트(10)의 디자인성의 향상도 도모할 수 있다.
상술한 흡착 플레이트(10)에서는, O링(11S)은, 베이스부(15) 중의 복수의 리브부(17A, 17B)가 마련되어 있는 영역을 둘러싸고, 커버(11)와 테두리부(16)의 사이에서 끼워 넣어진다(도 5). O링(11S)의 존재는, 커버(11)와 베이스부(15)의 사이의 간극으로부터 공기가 누설되어 흡인력이 저하되는 것을 억제한다.
도 5에 도시하는 바와 같이, O링(11S)과 같은 구성이, 베이스부(15)의 테두리부(16)와 기대(21)의 테두리형상 지지부(21A)의 사이에 실현되어 있어도 좋다. 도 5에 도시하는 예에서는, 테두리형상 지지부(21A)에 환형상 홈(25G)이 마련되어 있고, 환형상 홈(25G)의 내측에 O링(25S)이 배치되어 있다. O링(25S)은, 흡인 공간(23)을 둘러싸고, 베이스부(15)의 테두리부(16)와 기대(21)의 테두리형상 지지부(21A) 사이에서 끼워 넣어진다. O링(25S)의 존재는, 베이스부(15)의 테두리부(16)와 기대(21)의 테두리형상 지지부(21A) 사이의 간극으로부터 공기가 누설되어 흡인력이 저하되는 것을 억제한다.
(다른 구성 1)
도 2를 참조하면, 흡착 플레이트(10)는, 재치부(12) 및 베이스부(15)를 관통하는 도통 부재(19)를 또한 구비하고 있어도 좋다. 도 2에 도시하는 예에서는, 재치부(12) 및 베이스부(15)를 두께 방향으로 관통하는 관통구멍(12J)이 형성되어 있고, 관통구멍(12J)의 중에 도통 부재(19)가 수용되어 있다. 도통 부재(19)는 예를 들면 축방향으로 탄성적으로 신축 가능한 볼 플런저로 구성된다.
도통 부재(19)는, 재치부(12)상에 배치된 봉지완료 기판(1)과 기대(21)를 전기적으로 접속한다. 베이스부(15)가 수지로 형성되는 경우에는, 재치부(12)상의 봉지완료 기판(1)이 대전하기 쉬워진다. 도통 부재(19)에 의하면 이와 같은 대전을 방지 가능하다. 볼 플런저에 의하면, 가압됨으로써 축방향으로 수축하기 때문에, 봉지완료 기판(1)과 기대(21)의 사이에서 불필요한 응력을 발생시키는 일은 거의 없고, 절단 가공시에 봉지완료 기판(1)에 위치 어긋남을 발생시키는 일도 거의 없다. 또한, 볼 플런저로서, 일단측에만 볼이 배치된 볼 플런저, 양단측의 각각에 볼이 배치된 더블 볼 플런저의 어느 것도 사용 가능하지만, 양단측에서 수축 가능한 더블 볼 플런저의 쪽이 바람직하다.
(다른 구성 2)
도 4, 도 5를 참조하면, 금속제 판형상부(14)의 재치부(12)측의 면(여기서는 재치부(12)의 이면(12B))에는 홈부(14G)가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 홈부(14G)는, 금속제 판형상부(14)에 형성된 복수 중의 이웃하는 관통구멍(14H)을 연통시킨다. 홈부(14G)는, 전체적으로 금속제 판형상부(14)를 관통하는 것이 아니고, 관통구멍(14H)을 포함하면 관통구멍(14H)의 형성 위치에서 금속제 판형상부(14)를 관통하고, 관통구멍(14H)이 형성되지 않는 위치에서 금속제 판형상부(14)를 관통하지 않게 된다.
도 5를 참조하면, 가령 홈부(14G)가 형성되지 않은 경우에는, 흡착구멍(12H)이 리브부(17A, 17B)에 의해 막히는 면적이 커짐에 따라, 흡기 경로(18)가 흡착구멍(12H)과, 보다 연통하기 어려워진다. 홈부(14G)가 형성되어 있으면, 흡착구멍(12H)이 리브부(17A, 17B)에 의해 막혔다고 하여도, 흡기 경로(18)는 홈부(14G)를 통하여 흡착구멍(12H)에 연통 가능하여 흡인력을 얻을 수 있다.
또한, 홈부(14G)를 갖는 금속제 판형상부(14)로서는, 복수의 금속제 판형상부재가 접합된 적층체를 이용할 수 있다. 이 적층체는, 예를 들면, 1장의 금속제 판형상부재에 홈부의 형상에 대응하는 관통구멍을 에칭 가공이나 펀칭 가공에 의해 형성하고, 다른 1장의 금속제 판형상 부재에 흡착구멍(12H)의 형상에 대응하는 관통구멍을 에칭 가공이나 펀칭 가공에 의해 형성하고, 이들의 금속제 판형상부재를 맞겹쳐서, 도전성 접착제 등을 이용하여 접합함에 의해, 제작할 수 있다. 이와 같은 적층체라면, 비교적 두께가 얇은 금속제 박판을 이용하여도 용이하게 제작할 수 있다.
(다른 구성 3)
도 3∼도 5를 참조하면, 복수의 리브부(17A, 17B)가 교차하고 있는 부분에는, 관통구멍(17H)이 형성되어 있어도 좋다. 관통구멍(17H)은, 흡인기구(20)와 복수의 흡착구멍(12H)을 연통시킬 수 있고, 보다 큰 흡인력을 얻는 것이 가능해진다. 관통구멍(17H)의 구성은, 상기 다른 구성 2에서의 홈부(14G)와 조합시켜서 실시됨으로써 보다 큰 흡인력을 얻는 것이 가능해진다.
(다른 구성 4)
상기한 흡착 플레이트(10)에서는, 복수의 리브부(17A, 17B)는, 테두리부(16)의 내측에 마련된다. 복수의 리브부(17A)는, 제1의 방향으로 늘어나서 서로 평행하게 되도록 배치되어 있고, 복수의 리브부(17B)는, 제1의 방향과 교차하는 제2의 방향으로 서로 평행하게 되도록 배치되어 있다. 이에 의해 개략 사각형상을 갖는 흡기 경로(18)가 테두리부(16)의 내측에 형성되어 있다. 복수의 리브부는, 서로 교차하도록 격자형상으로 형성되어 있으면, 예를 들면 흡기 경로(18)가 평면시로 삼각형이나 육각형 등의 다각형상을 갖도록 구성되어 있어도 좋고, 원형상 등이라도 좋다.
(다른 구성 5)
상술한 실시의 형태에서는, 흡착 플레이트(10)가 절단 유닛(B)의 절단용 테이블로서 이용되는 예에 의거하여 설명하였다. 흡착 플레이트(10)와 동일한 구성을 갖는 흡착 플레이트가, 절단 유닛(B)에서의 언로더(38)로서 이용되어도 좋고, 검사 유닛(C)에서의 검사용 스테이지(41) 및/또는 인덱스 테이블(42)로서 이용되어도 좋다.
실시의 형태에 관해 설명하였지만, 금회 개시된 실시의 형태는 모든 점에서 예시이고 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 할 것이다. 본 발명의 범위는 청구의 범위에 의해 나타나고, 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.
1 : 봉지완료 기판 2 : 절단용 테이블
3 : 스핀들 10 : 흡착 플레이트
11 : 커버 11H, 24 : 개구부
11S, 25S : O링 12 : 재치부
12A : 표면 12B : 이면
12H : 흡착구멍 12J, 13H, 14H, 17H : 관통구멍
13 : 러버부 14 : 금속제 판형상부
14G : 홈부 15 : 베이스부
15G, 25G : 환형상 홈 16 : 테두리부
16S, 21B : 저면 17A, 17B : 리브부
17C : 후퇴부 17CS, 17DS : 단면
17D : 돌출부 18 : 흡기 경로
19 : 도통 부재 20 : 흡인기구
21 : 기대 21A : 테두리형상 지지부
22 : 볼록형상 지지부 22A : 정상면
23 : 공간 30 : 공급 기구
31 : 이동 기구 32 : 회전 기구
33 : 반송부 34 : 절단부
35 : 카메라 36 : 제1의 클리너
37 : 회전날 38 : 언로더
39 : 제2의 클리너 40 : 검사 카메라
41 : 검사용 스테이지 42 : 인덱스 테이블
43 : 이송 기구 45 : 양품용 트레이
46 : 불량품용 트레이 47 : 수용부
48 : 트레이 공급부 50 : 절단 장치
A : 공급 유닛 B : 절단 유닛
C : 검사 유닛 D : 수용 유닛
L : 절단선 P : 전자 부품

Claims (10)

  1. 흡인기구가 마련된 절단 장치의 기대상에 배치되는 테두리부와, 상기 테두리부의 내측에 마련된 복수의 리브부를 가지며, 복수의 상기 리브부끼리가 교차하도록 격자형상으로 배치된 베이스부와,
    상기 복수의 리브부에 겹쳐지도록 배치되고, 표면측부터 이면측에 관통하는 복수의 흡착구멍이 형성된 재치부를 구비하고,
    상기 복수의 리브부에 의해, 상기 흡인기구와 상기 복수의 흡착구멍을 연통시키는 복수의 흡기 경로가 상기 테두리부의 상기 내측에 형성되어 있고,
    상기 재치부의 상기 이면이 상기 복수의 흡기 경로를 덮도록 배치된 상태에서, 상기 표면상에 재치된 절단 대상물은 상기 흡착구멍에 발생한 부압에 의해 상기 표면상에 흡착되고,
    복수의 상기 리브부끼리가 교차하고 있는 부분의 일부는 상기 기대가 배치되는 측을 향하여 돌출하여 있는 것을 특징으로 하는 흡착 플레이트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스부는, 수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착 플레이트.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 재치부 및 상기 베이스부를 관통하고, 상기 재치부상에 배치된 절단 대상물과 상기 기대를 전기적으로 접속하기 위한 도통 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 흡착 플레이트.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 리브부끼리가 교차하고 있는 부분에, 상기 흡인기구와 상기 복수의 흡착구멍을 연통시키는 관통구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착 플레이트.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    테두리형상의 형상을 가지며, 상기 재치부의 주위부분을 상기 베이스부에 고정하는 커버를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 흡착 플레이트.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 커버와 상기 테두리부의 사이에, 상기 베이스부 중의 상기 복수의 리브부가 마련되어 있는 영역을 둘러싸는 실 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 흡착 플레이트.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 재치부는, 상기 재치부의 상기 표면측의 구성 요소인 러버부와, 상기 재치부의 상기 이면측의 구성 요소인 금속제 판형상부를 포함하고,
    상기 금속제 판형상부의 상기 베이스부측의 면에는, 상기 금속제 판형상부에 형성된 상기 흡착구멍의 복수를 연통시키기 위한 홈부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착 플레이트.
  8. 흡인기구가 마련된 기대와,
    상기 기대상에 배치되는 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 흡착 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 기대는, 상기 테두리부를 지지하는 테두리형상 지지부와, 상기 테두리형상 지지부의 내측에 마련되고, 상기 복수의 리브부를 지지한 복수의 볼록형상 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 절단 장치.
  10. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 흡착 플레이트상에 절단 대상물을 흡착시키는 공정과,
    상기 절단 대상물을 상기 흡착 플레이트상에 흡착시킨 상태에서 절단하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 절단 방법.
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