CN104340661A - 翻转装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够稳定地使基板翻转的翻转装置。支持部件(4)以第一保持面(21a)与第二保持面(21b)相互接近及分离的方式将第一保持部件(2a)及第二保持部件(2b)可移动地支持。第一保持部件(2a)及第二保持部件能够以第一保持面朝向与第一方向相反的第二方向的方式一体地旋转。

Description

翻转装置

技术领域

本发明涉及一种翻转装置。

背景技术

液晶装置包含利用密封材料将第一基板与第二基板以其间介置有液晶层的方式贴合所得的贴合基板(例如专利文献1)。从生产性的观点等来说，该贴合基板通常暂时以大尺寸的状态被制作，将该大尺寸的基板分断成所需尺寸而制作多个贴合基板。

分断该贴合基板时，通常必需使贴合基板正背翻转的步骤。对该贴合基板的分断方法的一例进行说明，首先，以第一基板成为上侧的方式固定贴合基板，在第一基板形成刻划槽。然后，使贴合基板正背翻转而以第二基板成为上侧的方式固定贴合基板，从第二基板侧按压贴合基板而使其挠曲，将第一基板沿刻划槽分断。接着，在第二基板成为上侧的状态下，在贴合基板的第二基板形成刻划槽后，使贴合基板正背翻转而以第一基板成为上侧的方式固定贴合基板。然后，从第一基板侧按压贴合基板而使其挠曲，将第二基板沿刻划槽分断。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2012-203235号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

如上所述，在分断基板时，必需使基板翻转的处理。以往的翻转装置是通过如下方法使基板翻转。首先，翻转装置吸附基板，并水平移动至能够翻转的位置而使基板移动。接着，翻转装置通过在能够翻转的位置上下翻转而使基板的正背翻转。然后，翻转装置水平移动至下一步骤的单元，从而交接经正背翻转的基板。然而，担心这种翻转装置有因意想不到的故障等导致吸附基板的吸附力下降的危险，其结果为基板偏移或落下。此外，对于非贴合基板的其他基板也存在同样的问题。

本发明的课题在于提供一种能够稳定地使基板翻转的翻转装置。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明的一方面的翻转装置是用以使基板翻转的翻转装置，且包括第一保持部件、第二保持部件、支持部件、以及基底部件。第一保持部件具有朝向第一方向的第一保持面。第二保持部件具有与第一保持面对向的第二保持面。支持部件以第一保持面与第二保持面相互接近及分离的方式将第一保持部件及第二保持部件中的至少一个保持部件可移动地支持。基底部件以第一保持面朝向与第一方向相反的第二方向的方式将支持部件可旋转地支持。

根据该构成，可以利用第一保持部件的第一保持面与第二保持部件的第二保持面夹持保持基板。而且，通过在保持着该基板的状态下使第一及第二保持部件一体地旋转，可使基板翻转。由于以这种方式在利用第一及第二保持部件夹持着基板的状态下使基板翻转，因此可稳定地使基板翻转。

(2)优选为，支持部件交替地进行向第一旋转方向的旋转与向与所述第一旋转方向相反的第二旋转方向的旋转。根据该构成，即使于在支持部件等连接着管体等的情况下，也可以防止管体因支持部件的旋转而扭曲。

(3)优选为，第一保持面及第二保持面的至少一个保持面包含能吸附基板的吸附部。根据该构成，可利用吸附部而更加稳定地保持载置在第一保持面或第二保持面上的基板等。

(4)优选为，支持部件包含连结部、第一及第二支持部。第一支持部从连结部的第二方向侧端部延伸，并且支持第一保持部件。第二支持部从连结部的第一方向侧端部延伸，并且支持第二保持部件。

[发明的效果]

根据本发明，可以提供稳定地使基板翻转的翻转装置。

附图说明

图1是翻转装置的立体图。

图2是翻转装置的侧视图。

图3是翻转装置的前视图。

图4是翻转装置的局部立体图。

图5是图3的A-A线截面。

图6是解除姿势下的第一限制部件的立体图。

图7是限制姿势下的第一限制部件的立体图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的翻转装置的实施方式进行说明。图1是翻转装置1的立体图。

翻转装置1是用以使基板W翻转的装置。如图1所示，翻转装置1包含第一保持部件2a、第二保持部件2b、及支持部件4。此外，将这些第一保持部件2a、第二保持部件2b、及支持部件4总称为翻转单元10。通过使该翻转单元10旋转而使基板W翻转。

翻转装置1还包含基底部件5、基座部件6、第一平台部件7、及第二平台部件8。基底部件5是将翻转单元10可旋转地支持的部件。基座部件6是将基底部件5可移动地支持的部件。第一及第二平台部件7、8是用以载置基板W的部件，在第一平台部件7载置翻转处理前的基板W，在第二平台部件8载置翻转处理后的基板W。第一平台部件7与第二平台部件8隔开特定间隔而配置。此外，在第一平台部件7与第二平台部件8之间的区域配置着翻转单元10。下面，对各部件进行详细说明。

图2是翻转装置1的侧视图，图3是翻转装置1的前视图。此外，在图2中，省略了第一及第二平台部件7、8等的记载。另外，在下面的说明中，“前方”是指图2的左侧，“后方”是指图2的右侧。通常，作业者在翻转装置1的前方进行作业。

如图2及图3所示，第一保持部件2a及第二保持部件2b是用以保持基板W的部件。具体来说，通过利用第一保持部件2a与第二保持部件2b来夹持基板W而保持基板W。

第一保持部件2a是俯视为矩形状的部件，具有第一保持面21a与背面22a。第一保持面21a朝向第一方向，背面22a朝向与第一方向相反的第二方向。具体来说，在等待对翻转单元10供给基板W的待机状态、即未进行翻转处理的状态下，第一保持面21a朝向下方或上方，背面22a朝向上方或下方。此外，在图2及图3中，第一保持面21a朝向下方，背面22a朝向上方。

第一保持面21a构成用以吸附基板W等的吸附面。具体来说，在第一保持面21a形成着多个孔部，通过从各孔部抽吸空气而吸附载置在第一保持面21a上的基板W等。第一保持部件2a在对向的一对端部，形成着多个切口23a(参照图4)。

第二保持部件2b的构成与使第一保持部件2a以旋转轴C为中心旋转180度的构件基本相同，因此省略其详细说明。此外，对于第二保持部件2b的各零件，标注与对应的第一保持部件2a的各零件相同的符号(仅末尾不同)。此外，对于第一保持部件2a的各零件标注在末尾具有“a”的符号，另一方面，对于第二保持部件2b的各零件标注在末尾具有“b”的符号。

支持部件4以第一保持面21a与第二保持面21b相互接近及分离的方式将第一保持部件2a及第二保持部件2b可移动地支持。详细来说，支持部件4包含连结部41、第一支持部42a、及第二支持部42b。连结部41前视为大致矩形状。

第一支持部42a从连结部41的第二方向侧的端部朝向前方延伸。另外，第二支持部42b从连结部41的第一方向侧的端部朝向前方延伸。第一支持部42a将第一保持部件2a可移动地支持。第一保持部件2a以相对于第一支持部42a接近及分离的方式移动。

图4是翻转装置1的局部立体图。如图4所示，第一支持部42a包含一对侧壁部421a、422a、前壁部423a、及平板部424a。一对侧壁部421a、422a相对向地配置，且从连结部41向前方延伸。前壁部423a以将一对侧壁部421a、422a的前端彼此连结的方式延伸。平板部424a遍及一对侧壁部421a、422a间而延伸，且固定于一对侧壁部421a、422a。

第一支持部42a还包含滑动驱动部425a、及多根(例如4根)导杆426a。滑动驱动部425a驱动第一保持部件2a，使第一保持部件2a向第一方向移动或向第二方向移动。滑动驱动部425a由平板部424a支持。具体来说，滑动驱动部425a例如为气缸，且包含气缸主体427a及活塞杆428a。气缸主体427a固定在平板部424a，活塞杆428a的前端固定在第一保持部件2a的背面22a。通过使活塞杆428a在长度方向上往返移动，而使第一保持部件2a向第一方向或第二方向移动。

各导杆426a是用以使第一保持部件2a向第一方向及第二方向的移动稳定的部件。详细来说，各导杆426a的前端固定在第一保持部件2a的背面22a。另外，各导杆426a可相对于平板部424a滑动地被支持。具体来说，从平板部424a向第二方向延伸的多个(例如4个)筒状部429a固定在平板部424a。筒状部429a的内径被设计成导杆426a能在筒状部429a内滑动的程度。在平板部424a中固定着该筒状部429a的部位形成着贯通孔，该贯通孔与筒状部429a的贯通孔连通。而且，各导杆426a通过贯通各筒状部429a内，而被平板部424a及筒状部429a可滑动地支持。此外，导杆426a的后端部具有无法通过筒状部429a内的挡止部4261a。平板部424a与筒状部429a也可以构成一体。

第二支持部42b的构成与使第一支持部42a以旋转轴C为中心旋转180度的部件基本相同，因此省略其详细说明。此外，第二支持部42b将第二保持部件2b可移动地支持，第二保持部件2b以相对于第二支持部42b接近及分离的方式移动。对于第二支持部42b的各零件，标注与对应的第一支持部42a的各零件相同的符号(仅末尾不同)。此外，对于第一支持部42a的各零件标注在末尾具有“a”的符号，另一方面，对于第二支持部42b的各零件标注在末尾具有“b”的符号。

图5是图3的A-A线剖视图。此外，在图5中，省略了第一及第二平台部件7、8等的记载。如图5所示，支持部件4还包含凸座部43。凸座部43是从连结部41向后方延伸的圆筒状的部件，且利用螺栓等被固定在连结部41。凸座部43经由轴承可旋转地支持于基底部件5。因此，支持部件4可相对于基底部件5以旋转轴C为中心旋转。

基底部件5包含基底主体部51、减速部52、及滑动部53。如上所述，支持部件4的凸座部43可旋转地支持于基底部件51。另外，在基底主体部51安装着旋转接头9，在旋转接头9安装着旋转驱动部11。该旋转驱动部11是用以使翻转单元10以旋转轴C为中心旋转的部件。被旋转驱动部11驱动的翻转单元10交替地进行顺时针旋转与逆时针旋转。此外，翻转单元10的旋转角度为180度。因此，翻转单元10中，第一保持部件2a配置在第二保持部件2b的上方，或第一保持部件2a配置在第二保持部件2b的下方。旋转驱动部11例如为伺服电动机。

该旋转驱动部11的旋转经由旋转接头9被传递给电动机减速部52，利用电动机减速部52来减小转数。减速部52连接在凸座部43，将经减速的旋转传递给凸座部43。其结果为，可利用旋转驱动部11使翻转单元10旋转。此外，在连结部41、凸座部43、及减速部53沿旋转轴C形成着贯通孔，因此可在其内部穿通管体。可将该管体连接在旋转接头而将来自空气源的空气输送至管体。

滑动部53设置在基底主体部51的下端部。该滑动部53是用以使基底部件5向前后方向滑动的部件。详细来说，基座部件6包含在前后方向(图5的左右方向)上延伸的一对导轨61。而且，滑动部53被一对导轨61可滑动地支持。其结果为基底部件5可相对于基座部件6向前后方向滑动。

如图2所示，基座部件6具有驱动机构62。利用该驱动机构62可使基底部件5向前后方向(图2的左右方向)移动。例如，驱动机构62可设为滚珠螺杆装置，包含伺服电动机63、螺杆轴64、及螺母部(省略图示)。伺服电动机63旋转驱动螺杆轴64。螺杆轴64向前后方向延伸，且经由多个滚珠而与螺母部螺合。螺母部固定在基底主体部51的底面。该驱动机构62通过使伺服电动机63旋转驱动螺杆轴64，而使螺母部沿螺杆轴64移动。其结果为，固定着螺母部的基底部件5也沿螺杆轴64移动。

基底部件5支持翻转单元10，因此通过使基底部件5向前后方向移动，而使翻转单元10也向前后方向移动。通过该前后方向的移动，翻转单元10可在接收位置与翻转位置之间移动。当翻转单元10处于接收位置时，第一及第二保持部件2a、2b如图1所示那样位于第一平台部件7与第二平台部件8之间的区域。然后，通过使驱动机构62作动，翻转单元10从图1的状态向后方移动。其结果为，第一及第二保持部件2a、2b偏离第一平台部件7与第二平台部件8之间的区域。将该位置设为翻转位置。翻转单元10在翻转位置执行翻转处理。此外，当翻转单元10处于翻转位置时，第一及第二保持部件2a、2b也可以不完全偏离第一平台部件7与第二平台部件8之间的区域，例如第一及第二保持部件2a、2b的一部分位于第一平台部件7与第二平台部件8之间的区域。

如图4及如图5所示，翻转装置1还包含第一按压部件12a与第二按压部件12b。第一按压部件12a及第二按压部件12b是用以在利用第一保持部件2a与第二保持部件2b保持基板W前按压基板W的部件。此外，当在第二保持部件2b的第二保持面21b上载置着基板W时利用第一按压部件12a按压基板W。另外，当在第一保持部件2a的第一保持面21a上载置着基板W时利用第二按压部件12b按压基板W。

如图4所示，第一按压部件12a包含一对第一按压部121a、连结部122a、及第一驱动部123a。一对第一按压部121a被连结部122a连结。各第一按压部121a可经由形成在第一保持部件2a的贯通孔24a(参照图4)而相对于第一保持面21a进退。也就是说，各第一按压部121a可采取按压位置与解除位置。当各第一按压部121a处于按压位置时，各第一按压部121a的前端面位于比第一保持面21a更靠第一方向侧。也就是说，各第一按压部121a的前端面从第一保持面21a向第二保持面21b侧突出而按压载置在第二保持面21b上的基板W等。另外，当各第一按压部121a处于解除位置时，各第一按压部121a的前端面位于与第一保持面21a相同的位置、或比第一保持面21a更靠第二方向侧。

第一驱动部123a以一对第一按压部121a可采取按压位置与解除位置的方式驱动一对第一按压部121a。详细来说，第一驱动部123a例如为气缸。该第一驱动部123a包含气缸主体1231a、活塞1232a、及滑块1233a。活塞1232a在气缸主体1231a内滑动。滑块1233a与活塞1232a连结，且与活塞1232a一起滑动。该滑块1233a沿气缸主体1231a滑动。另外，在滑块1233a固定着连结部122a。

第二按压部件12b的构成与使第一按压部件12a以旋转轴C为旋转中心180度的构件基本相同，因此省略其详细说明。此外，对于第二按压部件12b的各零件标注与对应的第一按压部件12a的各零件相同的符号(仅末尾不同)。此外，对于第一按压部件12a的各零件标注在末尾具有“a”的符号，另一方面，对于第二按压部件12b的各零件标注在末尾具有“b”的符号。

图6是解除姿势下的第一限制部件3a的立体图。如图6所示，在第一保持部件2a的背面22a上设置着第一限制部件3a。更详细来说，第一限制部件3a设置在第一保持部件2a的背面22a上的端部。此外，在设置第一限制部件3a的第一保持部件2a的端部，形成着所述多个切口23a。第一限制部件3a包含多个安装部31a、连结杆32a、多个限制部33a、及旋转驱动部34a。

各安装部31a被螺栓等固定在第一保持部件2a的背面22a上。另外，各安装部31a沿背面22a的端部隔开特定间隔而配置。各安装部31a包含主体部311a、及轴承部312a。主体部311a具有贯通孔，且在该贯通孔内固定着轴承部312a。

连结杆32a遍及各安装部31a而延伸。连结杆32a为圆柱状，且被各安装部31a的轴承部312a支持。因此，连结杆32a被各安装部31a可旋转地支持。

各限制部33a在利用第一保持面21a与第二保持面21b夹持着基板W的状态下，遍及第一保持部件2a与第二保持部件2b而延伸。具体来说，各限制部33a固定于连结杆32a。也就是说，各限制部33a与连结杆32a一体地旋转。各限制部33a包含第一部分331a及第二部分332a，其整体形成为大致L字状。第一部分331a固定于连结杆32a。第二部分332a是在第一限制部件3a成为下述限制姿势的情况下，遍及第一保持部件2a与第二保持部件2b而延伸的部分。

旋转驱动部34a是用以使连结杆32a旋转的部件。旋转驱动部34a包含气缸35a、及连杆机构36a。气缸35a包含气缸主体351a及活塞杆352a。气缸主体351a可摇动地设置在第一保持部件2a的背面22a。活塞杆352a连结于在气缸主体351a内滑动的活塞头(省略图示)。通过对气缸主体351a内供给空气，而使活塞杆352a在长度方向上往返移动。气缸35a利用活塞杆352a的往返移动而驱动连杆机构36a。

连杆机构36a包含第一连杆361a与第二连杆362a，第一连杆361a与第二连杆362a可旋转地连结。此外，连结第一连杆361a与第二连杆362a的旋转轴与连结杆33a的长度方向平行地延伸。第一连杆361a连接在活塞杆352a。第二连杆362a固定在连结杆32a，且从连结杆32a在连结杆32a的直径方向上延伸。

图7是限制姿势下的第一限制部件3a的立体图。第一限制部件3a可采取图6所示的解除姿势与图7所示的限制姿势。第一限制部件3a在等待要被翻转的基板W时成为解除姿势。当第一限制部件3a成为解除姿势时，各限制部33a位于比第一保持部件2a的第一保持面21a更靠第二方向侧。例如，如图6所示，在如第一保持部件2a的第一保持面21a朝向下方的状态下，各限制部33a位于比第一保持面21a更上方。由此，可顺利地进行基板W的供给及取出。

第一限制部件3a在执行基板W的翻转处理时，成为如图7所示的限制姿势。此外，在第一限制部件3a成为限制姿势前，首先，成为第一保持部件2a与第二保持部件2b相互接近而夹持保持基板W的状态。如果在这样利用第一及第二保持部件2a、2b保持基板W后第一限制部件3a成为限制姿势，则各限制部33a遍及第一保持部件2a的切口23a与第二保持部件2b的切口23b而延伸。更具体来说，首先，从图6所示的状态，旋转驱动部34a工作而使连结杆32a向箭头X的方向旋转。由此，成为各限制部33a遍及第一保持部件2a与第二保持部件2b而延伸的状态。此外，当第一保持面21a及第二保持面21b朝向水平方向时，即第一保持面21a及第二保持面21b与垂直方向平行地延伸时，各限制部33a配置在成为第一保持部件及第二保持部件的下方的位置。

(翻转装置的动作)

接下来，对所述翻转装置1的动作进行说明。首先，将需要翻转处理的基板W载置在第一平台部件7上。使载置在该第一平台部件7上的基板W移动至第二保持部件2b的第二保持面21b上。由于基板W被载置在第一保护片材(省略图示)上，因此可拖动第一保护片材而使基板W从第一平台部件7移动至第二保持面21b上。此外，可由作业者利用手工作业使基板W移动，也可利用带式输送机等移动装置而使基板W移动。另外，在该阶段，第一及第二保持部件2a、2b位于第一平台部件7与第二平台部件8之间的区域。也就是说，翻转单元10位于接收位置。

使基板W移动至第二保持部件2b的第二保持面21b上后，在基板W上载置第二保护片材(省略图示)。由此，当如下所述使基板W从第一保持部件2a的第一保持面21a移动至第二平台部件8时，可通过拖动第二保护片材而使基板W移动。

接着，第一按压部件12a的一对第一按压部121a移动至按压位置，隔着第二保护片材而按压第二保持面21b上的基板W。由此，可在如下所述基底部件5向后方移动时，防止第二保持面21b上的基板W或第二保护片材的位置偏移。此外，也可以在第一按压部121a向按压位置移动时，使第二保持部件2b向上方移动。此外，在该阶段，第一保持面21a与第二保持面21b分离，基板W未被第一保持部件2a与第二保持部件2b保持。

接着，基底部件5向后方移动。具体来说，通过驱动机构62驱动基底部件5，而使基底部件5向后方移动。其结果为，第一及第二保持部件2a、2b偏离第一平台部件7与第二平台部件8之间的区域。也就是说，翻转单元10移动至翻转位置。此外，也可以为第一及第二保持部件2a、2b的一部分位于第一平台部件7与第二平台部件8之间的区域。

接着，第一保持部件2a向下方移动。由此，利用第一保持部件2a与第二保持部件2b而夹持保持基板W。此外，当第一保持部件2a向下方移动时，一对第一按压部121a未移动。也就是说，一对第一按压部121a相对于第一保持部件2a相对地向上方移动。其结果为，一对第一按压部121a移动至解除位置。

利用第一及第二保持部件2a、2b夹持基板W后，第一限制部件3a从解除姿势成为限制姿势。具体来说，成为如下状态，即，第一限制部件3a的各限制部33a在第一及第二保持部件2a、2b的各切口23a、23b内遍及第一保持部件2a与第二保持部件2b而延伸。此外，第二限制部件3b与第一限制部件3a同样地也从解除姿势成为限制姿势。

接着，翻转单元10以旋转轴C为中心旋转180度。例如，在从前方观察的状态下，翻转单元10顺时针旋转180度。其结果为，第一保持部件2a成为在旋转前朝向下方的第一保持面21a朝向上方的状态。另外，第二保持部件2b成为在旋转前朝向上方的第二保持面21b朝向下方的状态。也就是说，第一保持部件2a与第二保持部件2b的位置调换。通过以这种方式使翻转单元10旋转180度，而使基板W成为正背翻转的状态。

当翻转单元10的旋转结束时，基底部件5向前方移动。也就是说，翻转单元10移动至接收位置。然后，因翻转单元10的旋转而成为位于第二保持部件2b的下方的第一保持部件2a向下方移动。另外，成为位于第一保持部件2a的上方的第二保持部件2b向上方移动。另外，第一及第二限制部件3a、3b从限制姿势成为解除姿势。其结果为，第一及第二保持部件2a、2b对基板W的保持被解除。

基板W的保持被解除后，使基板W移动至第二平台部件8。具体来说，通过卸除覆盖基板W的第一保护片材，拖动第二保护片材而使载置在第二保护片材上的基板W也一起移动。

接着，翻转装置1重复与所述动作相同的动作。此外，与所述动作不同的是，由于第一保持部件2a与第二保持部件2b位置调换，因此第一保持部件2a的动作与第二保持部件2b的动作调换。另外，随之第一限制部件3a的动作与第二限制部件3b的动作调换，第一按压部件12a的动作与第二按压部件12b的动作调换。另外，在利用第一保持部件2a与第二保持部件2b夹持保持基板W后，翻转单元10从前方观察逆时针旋转180度。

[变化例]

上面，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于这些实施方式，可在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。

变化例1

在所述实施方式中，当翻转单元10以使处于比第二保持部件2b更上方的第一保持部件2a位于比第二保持部件2b更下方的方式旋转时，翻转单元10从前方观察为顺时针旋转，但并不特别限定于此。例如，翻转单元10也可以在第一保持部件2a处于第二保持部件2b的上方时，从前方观察为逆时针旋转180度。

变化例2

在所述实施方式中，第一保持部件2a被第一支持部42a支持，第二保持部件2b被第二支持部42b支持，但并不特别限定于此。例如，也可以为第一及第二保持部件2a、2b可滑动地支持于连结部41。

变化例3

在所述实施方式中，第一保持部件2a及第二保持部件2b双方被可移动地支持，但并不特别限定于此。例如，也可以为，仅第一保持部件2a可移动地支持于支持部件4，第二保持部件2b不可移动地支持于支持部件4。除此以外，也可以为，第一保持部件2a不可移动地支持于支持部件4，第二保持部件2b可移动地支持于支持部件4。

[符号的说明]

1  翻转装置

2a 第一保持部件

21a第一保持面

2b 第二保持部件

21b第二保持面

4  支持部件

5  基底部件

W  基板

Claims (5)

1.一种翻转装置，用以使基板翻转，且包括：

第一保持部件，具有朝向第一方向的第一保持面；

第二保持部件，具有与所述第一保持面对向的第二保持面；

支持部件，以所述第一保持面与所述第二保持面相互接近及分离的方式将所述第一保持部件及所述第二保持部件中的至少一个保持部件可移动地支持；及

基底部件，以所述第一保持面朝向与所述第一方向相反的第二方向的方式将所述支持部件可旋转地支持。

2.根据权利要求1所述的翻转装置，其中所述支持部件交替地进行向第一旋转方向的旋转及向与所述第一旋转方向相反的第二旋转方向的旋转。

3.根据权利要求1所述的翻转装置，其中所述第一保持面及所述第二保持面的至少一个保持面具有吸附所述基板的吸附部。

4.根据权利要求2所述的翻转装置，其中所述第一保持面及所述第二保持面的至少一个保持面具有吸附所述基板的吸附部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的翻转装置，其中所述支持部件包括：

连结部；

第一支持部，从所述连结部的所述第二方向侧端部延伸，并且支持所述第一保持部件；以及

第二支持部，从所述连结部的所述第一方向侧端部延伸，并且支持所述第二保持部件。