JP6866631B2 - 光処理装置、塗布、現像装置、光処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
1個または互いに直列に接続された複数個の発光ダイオードからなる発光ブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させるための移動機構と、
前記発光ブロックの各々について、照射領域における左右方向の位置と各位置における電流の変化分に対する照度の変化量とを対応付けた照度分布パターンの変化量を記憶した記憶部と、
前記照射領域における現在の長さ方向の照度分布パターンを、目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と前記記憶部に記憶されている各発光ブロックの前記照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求める演算処理部と、を備え、
前記電流の変化分に対する照度の変化量は、各位置における面照度に基づいて求めた、左右方向の線照度の変化量であることを特徴とする。
また本発明の光処理装置は、光により処理される被処理体を載置するための載置部と、
1個または互いに直列に接続された複数個の発光ダイオードからなる発光ブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させるための移動機構と、
前記発光ブロックの各々について、照射領域における左右方向の位置と各位置における単位電流あたりの照度の変化量とを対応付けた照度分布パターンの変化量を記憶した記憶部と、
前記照射領域における現在の長さ方向の照度分布パターンを、目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と前記記憶部に記憶されている各発光ブロックの前記照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求める演算処理部と、
発光ブロックの動作状態を監視するLED監視部と、
発光量が異常に低下するかまたは発光しなくなった発光ダイオードを含む異常発光ブロックを前記LED監視部が検出したときには、前記光照射ユニットにより形成される照射領域の照度を照度測定部により検出して長さ方向の照度分布パターンを取得するステップと、当該ステップにより得られた照度分布パターンを目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記演算処理部により、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と前記記憶部に記憶されている各発光ブロックの前記照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求めるステップと、を実行する実行処理部と、を備えたことを特徴とする。
他の発明は、基板に塗布液を用いてレジスト膜を形成するためのモジュールと、パターン露光後の基板を現像するモジュールと、モジュール間の基板の搬送を行う搬送機構と、本発明の光処理装置と、を備えたことを特徴とする塗布、現像装置である。
1個または互いに直列に接続された複数個の発光ダイオードからなる発光ブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記発光ブロックの各々について、照射領域における左右方向の位置と各位置における単位電流あたりの照度の変化量とを対応付けた照度分布パターンの変化量を記憶した記憶部と、を用い、
前記照射領域における現在の長さ方向の照度分布パターンを、目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と記憶部に記憶されている各発光ブロックの照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求める工程と、
前記工程で求めた電流指令値により各発光ブロックを発光する工程と、
次いで被処理体が載置された載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させる工程と、
発光ブロックの動作状態を監視する工程と、
前記工程にて、発光量が異常に低下するかまたは発光しなくなった発光ダイオードを含む異常発光ブロックを検出したときには、前記光照射ユニットにより形成される照射領域の照度を検出して長さ方向の照度分布パターンを取得する工程と、
前記工程により得られた照度分布パターンを、目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と前記記憶部に記憶されている各発光ブロックの前記照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求める工程と、を含むことを特徴とする。
更にまた他の発明は、1個または互いに直列に接続された複数個の発光ダイオードからなる発光ブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記発光ブロックの各々について、照射領域における左右方向の位置と各位置における単位電流あたりの照度の変化量とを対応付けた照度分布パターンの変化量を記憶した記憶部と、を備え、被処理体に対して光を照射して処理を行う装置に使用されるコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、本発明の光処理方法を実行するようにステップ群が組まれたことを特徴とする。
図1に戻って、光処理装置の外装体である筐体30の外には、信号ケーブル60aを介してコントローラ60が接続されている。コントローラ60は操作画面を備えており、操作画面は、装置の使用開始時において後述の発光ブロック42ごとの照度分布パターンを取得するときやキャリブレーション時にオペレータが操作するときに使用される。
なお図2中に実線で示す照度測定部5の位置は、ウエハWに光処理例えば一括露光処理を行うときに照度測定部5が待機する位置を示している。
図6から分かるように、各発光ブロック42(B1〜Bn)の光強度を調整することで、即ち各発光ブロック42(B1〜Bn)の電流(駆動)の電流値を調整することで、各発光ブロック42(B1〜Bn)に対応するウエハW面上での照度分布パターンを調整することができることが分かる。従って、各発光ブロック42(B1〜Bn)の電流値を調整することにより、各発光ブロック42(B1〜Bn)の線照度の全部を足し合わせた照度分布パターンを調整することができる。
照度変化量は、既述の線照度の変化量に対応することから、単位は、エネルギー(W)を単位長さ(cm)と単位電流値Aとで割った次元(W/cm・A)となる。しかし第2の記憶部66に書きこまれる照度分布応答量のデータとしては、例えば0.1mA変化させたときの照度変化量そのものの値であるとして、照度変化量の単位を(W/cm)としてもよい。即ち、図5にて第2の記憶部66の横に示したグラフの縦軸は、(W/cm・A)に電流値(A)を掛けて(W/cm)の次元としてもよい。
本実施形態では、光処理装置の使用開始時の光量調整や定期的あるいは不定期のキャリブレーションに上述の作用を利用している。
上述のプログラムは、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、MO(光磁気ディスク)、メモリーカードなどの記憶媒体に格納されており、記憶媒体からコントローラ60を介してプログラム格納部67にインストールされる。
そしてステップS2で入力した、目的とする照度分布パターンとステップS4で取得した照度分布パターンとの差分を求め、この差分がゼロに近づくように、即ち各位置における照度の差分がゼロに近づくように、各発光ブロックB1〜Bnの電流指令値を調整する(ステップS5)。
この電流指令値の調整作業は、例えば最小自乗法により行われ、目的とする照度分布パターンにおける各位置の照度と現在の照度分布パターンにおける各位置の照度とにおいて、同じ位置の照度の差分を二乗し、各位置における二乗した値の合計値が最小になる各発光ブロックB1〜Bnの電流指令値の組み合わせを求めることにより行われる。
光処理装置の動作について述べると、被処理体である基板をなすウエハWは、外部の搬送アームにより図1に示す搬入出口31を介して筐体30内の受け渡し位置にある載置台32に受け渡される。そして例えば光照射ユニット4のシャッター46を閉じた状態で載置台32を受け渡し位置に移動させ、ウエハWの位置合わせを行う。これにより例えばウエハW上の回路チップ領域の並びの方向と照射領域の長さ方向とが一致する。
このような構成を採用すれば、いずれかの発光ブロック42に異常が発生しても光処理を継続することができるため、装置のダウンタイムの発生を避けることができると共に、装置の使用寿命を長期化することができる利点がある。
またレンズアレイ、フライアイレンズあるいはプリズムなどを用いたホモジナイザーを用いてLED光源群400の光束を重ね合わせて均一化し、照射領域の長さ方向(左右方向)及び短手方向(前後方向)の照度分布の均一化を図るようにしてもよい。このような構成によれば、短手方向(前後方向)の照度分布をより一層均一化することができる。
また光処理装置は、光増感化学増幅型のレジストに限らず、通常のレジストを塗布したウエハWの増感や線幅の調整を行う装置でもよい。また例えば光を照射して、塗布膜である、ドライエッチング時の保護膜となるカーボン膜中の架橋反応を進行させて、耐エッチング耐性を向上させる装置や、レジスト膜の硬化を促進する装置であってもよい。また有機膜を硬化させるための装置、あるいはウエハWに光を照射することにより塗布膜中の下層膜の膜厚を調整する装置であってもよい。
インターフェイスブロックD4は、単位ブロックE1〜E6に跨って上下に伸びるタワーT2、T3、T4を備えており、タワーT2とタワーT3に対してウエハWの受け渡しを行うための昇降自在な受け渡し機構であるインターフェイスアーム16と、タワーT2とタワーT4に対してウエハWの受け渡しを行うための昇降自在な受け渡し機構であるインターフェイスアーム17と、タワーT2と露光装置D5の間でウエハWの受け渡しを行うためのインターフェイスアーム18が設けられている。露光装置D5はパターンマスクを用いてウエハWの表面を露光する。タワーT2は、受け渡しモジュール、露光処理前の複数枚のウエハWを格納して滞留させるバッファモジュール、露光処理後の複数枚のウエハWを格納するバッファモジュール、及びウエハWの温度調整を行う温度調整モジュールなどが互いに積層されて構成されている。図1において100は、制御部であり、制御部100は、塗布、現像装置内におけるウエハWの搬送制御やプロセスレシピの管理などを行う。
上述の塗布、現像装置及び露光装置D5からなるシステムにおいては、例えば製品であるウエハWの処理の前に検査用ウエハを用いて成膜を行い、検査装置23にて取得された検査用ウエハのパターン情報に基づいて一括露光装置3におけるLED光源群400の各セルごとの照度が決定される。
32 載置台
4 光照射ユニット
400 LED光源群
41 LED
42 発光ブロック
45 制御回路部
5 照度測定部
51 移動機構
52 照度センサー
54 集光部
60 コントローラ
61 駆動回路
65、66、68 記憶部
67 プログラム格納部
Pk、P(k+1)、P(k+2) 照度分布応答量
Ak、A(k+1)、A(k+2) 照度分布パターン
Claims (10)
- 光により処理される被処理体を載置するための載置部と、
1個または互いに直列に接続された複数個の発光ダイオードからなる発光ブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させるための移動機構と、
前記発光ブロックの各々について、照射領域における左右方向の位置と各位置における電流の変化分に対する照度の変化量とを対応付けた照度分布パターンの変化量を記憶した記憶部と、
前記照射領域における現在の長さ方向の照度分布パターンを、目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と前記記憶部に記憶されている各発光ブロックの前記照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求める演算処理部と、を備え、
前記電流の変化分に対する照度の変化量は、各位置における面照度に基づいて求めた、左右方向の線照度の変化量であることを特徴とする光処理装置。 - 光により処理される被処理体を載置するための載置部と、
1個または互いに直列に接続された複数個の発光ダイオードからなる発光ブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させるための移動機構と、
前記発光ブロックの各々について、照射領域における左右方向の位置と各位置における電流の変化分に対する照度の変化量とを対応付けた照度分布パターンの変化量を記憶した記憶部と、
前記照射領域における現在の長さ方向の照度分布パターンを、目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と前記記憶部に記憶されている各発光ブロックの前記照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求める演算処理部と、
発光ブロックの動作状態を監視するLED監視部と、
発光量が異常に低下するかまたは発光しなくなった発光ダイオードを含む異常発光ブロックを前記LED監視部が検出したときには、前記光照射ユニットにより形成される照射領域の照度を照度測定部により検出して長さ方向の照度分布パターンを取得するステップと、当該ステップにより得られた照度分布パターンを目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記演算処理部により、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と前記記憶部に記憶されている各発光ブロックの前記照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求めるステップと、を実行する実行処理部と、を備えたことを特徴とする光処理装置。 - 前記照射領域の照度を測定するための照度測定部を備えていることを特徴とする請求項1または2記載の光処理装置。
- 前記照度測定部は、前記発光ブロックの配列方向に沿って移動可能に構成されていることを特徴とする請求項3記載の光処理装置。
- 前記照度測定部は、前後方向に伸びるスリットを備えた筐体と、前記筐体の内部に設けられ、前記スリットを通して進入した光の照度に対応する照度で発光する集光体と、前記集光体から出射される光を受光する照度センサーと、を備えたことを特徴とする請求項3または4記載の光処理装置。
- レジスト膜を形成した基板に対して、パターンマスクを用いてパターン露光を行った後にパターン露光領域を露光する装置であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の光処理装置。
- 基板に塗布液を用いてレジスト膜を形成するためのモジュールと、パターン露光後の基板を現像するモジュールと、モジュール間の基板の搬送を行う搬送機構と、請求項1ないし6のいずれか一項に記載の光処理装置と、を備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
- 被処理体を光により処理する方法において、
1個または互いに直列に接続された複数個の発光ダイオードからなる発光ブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記発光ブロックの各々について、照射領域における左右方向の位置と、各位置における電流の変化分に対する照度の変化量と、を対応付けた照度分布パターンの変化量を記憶した記憶部と、を用い、
前記照射領域における現在の長さ方向の照度分布パターンを、目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と記憶部に記憶されている各発光ブロックの照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求める工程と、
前記工程で求めた電流指令値により各発光ブロックを発光する工程と、
次いで被処理体が載置された載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させる工程と、
発光ブロックの動作状態を監視する工程と、
前記工程にて、発光量が異常に低下するかまたは発光しなくなった発光ダイオードを含む異常発光ブロックを検出したときには、前記光照射ユニットにより形成される照射領域の照度を検出して長さ方向の照度分布パターンを取得する工程と、
前記工程により得られた照度分布パターンを、目標とする照度分布パターンに近づけるために、前記発光ブロックの各々の現在の電流指令値と前記記憶部に記憶されている各発光ブロックの前記照度分布パターンの変化量とに基づいて各発光ブロックの電流指令値を求める工程と、を含むことを特徴とする光処理方法。 - 前記電流指令値を求める工程の前に、前記照射領域の照度を測定する工程を行うことを特徴とする請求項8記載の光処理方法。
- 1個または互いに直列に接続された複数個の発光ダイオードからなる発光ブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記発光ブロックの各々について、照射領域における左右方向の位置と各位置における単位電流あたりの照度の変化量とを対応付けた照度分布パターンの変化量を記憶した記憶部と、を備え、被処理体に対して光を照射して処理を行う装置に使用されるコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項8または9に記載の光処理方法を実行するようにステップ群が組まれたことを特徴とする記憶媒体。
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