JP2018097127A - 光照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1個または互いに直列に接続された複数個のLEDからなるLEDブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させるための移動機構と、
前記照射領域の照度を測定する照度測定部と、
前記LEDをオンの状態にした後、少なくともLEDの光量が安定するまでの間、照度の目標値と前記照度測定部にて測定された照度測定値との偏差分に基づいてLEDの電流を制御するための電流制御部と、を備えたことを特徴とする。
1個または互いに直列に接続された複数個のLEDからなるLEDブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させる移動機構と、
前記照射領域の照度を測定する照度測定部と、
前記LEDの電流を制御する電流制御部と、を備え、
前記照度測定部の照度測定値が目標の照度に安定したときの電流を目標電流と呼ぶとすると、前記電流制御部は、LEDをオンの状態にした直後は目標電流よりも小さい電流でLEDを駆動し、その後、当該電流を徐々に前記目標電流まで増加させるように構成されていることを特徴とする。
また他の発明では、予めLEDをオンの状態にした直後に目標電流よりも小さい電流でLEDを駆動し、その後、当該電流を徐々に前記目標電流まで増加させている。そのためLEDをオンの状態にした直後においても光の照度が照度目標値に安定するため同様の効果を得ることができる。
第1の実施の形態に係る光処理装置を光増感型化学増幅型レジストをウエハWに塗布し、露光後のウエハWを現像してレジストパターンを形成する塗布、現像装置に適用した例について説明する。図1に示すように塗布、現像装置は、キャリアブロックD1と、検査ブロックD2と、処理ブロックD3と、インターフェイスブロックD4と、を横方向に直線状に接続することで構成されている。またインターフェイスブロックD4には露光装置D5が接続されている。キャリアブロックD1は、円形の基板であるウエハWを格納するキャリアCが載置される載置ステージ11を備えている。図中12は開閉部、図中13は介してキャリアCと検査ブロックD2との間でウエハWを搬送するための移載機構である。
インターフェイスブロックD4は、単位ブロックE1〜E6に跨って上下に伸びるタワーT2、T3、T4を備えており、タワーT2とタワーT3に対してウエハWの受け渡しを行うための昇降自在な受け渡し機構であるインターフェイスアーム16と、タワーT2とタワーT4に対してウエハWの受け渡しを行うための昇降自在な受け渡し機構であるインターフェイスアーム17と、タワーT2と露光装置D5の間でウエハWの受け渡しを行うためのインターフェイスアーム18が設けられている。露光装置D5はパターンマスクを用いてウエハWの表面を露光する。タワーT2は、受け渡しモジュール、露光処理前の複数枚のウエハWを格納して滞留させるバッファモジュール、露光処理後の複数枚のウエハWを格納するバッファモジュール、及びウエハWの温度調整を行う温度調整モジュールなどが互いに積層されて構成されている。
また塗布、現像装置は、塗布現像装置内において各処理モジュールへのウエハWの搬送を制御すると共に、各モジュールにおける制御部の上位コンピュータとなる主制御部100を備えている。
載置部31に載置されたウエハWが待機位置P2に移動するとウエハWの周縁部がアライメント用光源51から照射された光の光路の一部を遮るように位置し、ウエハWに遮られずウエハWの側方を通過した光はセンサ52に照射される。そしてウエハWを回転させたときのセンサ52が感知する照射領域の変化に基づいて例えばウエハWの周縁に形成されたノッチの向きを測定し、露光処理を行うウエハWの向きが一定になるように制御される。
さらに駆動回路部96は、例えば位相制御によりLED42の駆動電流を調整する回路を備えており、第2の演算増幅部102の電流指令値に応じて、当該回路のスイッチング素子のデューティー比が制御されるように構成される。なお本実施の形態では、電流制御部44における第1の演算増幅部101及び第2の演算増幅部102は、ハードウエハにより実行するものとするが、ソフトウェアにて実行するようにしてもよい。
そして図10に示すようにウエハWを受け渡し位置P1から待機位置P2に移動させる。この時ウエハWの移動領域には、光が照射されていないためウエハWは露光されずに待機位置P2に移動することができる。そして待機位置P2にて既述のようにウエハWの位置合わせを行う。これにより検査装置23にてパターン情報を取得したときの分割領域の配列方向と、LED光源群400におけるLED42のブロックB1〜B88の配列方向と、が揃う。
従って第2の演算増幅部102には、図12(b)に示すように時刻t0にて初期値の電流が供給され、図12(a)に示すようにLED42のブロックB1〜B88が目標照度よりも弱い照度となるように発光する。このため点灯直後は照度測定部6における照度測定値は、照度目標値よりも低い、いわば初期値であるL1となる。
そしてLED42のブロックB1〜B88をオンの状態にした後、時刻ta´以降に照度測定部6を待機位置に退避させ、図13に示すようにウエハWを待機位置P2から受け渡し位置P1に移動させる。LED42のブロックB1〜B88は、対応するウエハWの分割領域を夫々露光したときに、ウエハWの表面全体で積算露光量が均一になるように設定されている。そのためウエハWを待機位置P2から受け渡し位置P1に移動させて露光することにより、ウエハWの表面全体が均一に露光される。そして受け渡し位置P1に戻ったウエハWは、搬送アーム14に取り出され、現像装置に搬送される。ウエハWは、表面全体で積算露光量が均一になっているため、現像処理を行った時にウエハWの表面全体における線幅が揃う。そして既述のように加熱処理が行われた後、キャリアCに戻される。
さらに照度測定部6において、温度上昇による照度測定値の誤差が生じるおそれがある。そのため照度測定部6に冷却機構を設け、温度上昇による照度測定値の誤差を抑制してもよい。
[第2の実施の形態]
既述のようにLED42は時刻t0にて点灯させて直後に、光強度が大きく上昇し、その後徐々に光強度が弱まり、例えば時刻ta以降は安定した値となる。そして図14(a)に示すように電流値を100%から下げることにより、照度も下がっていくことが分かる。
その後は、時間経過に従い電流値に対応する照度は徐々に下がる。そのため時間経過に従い、電流値を60%から徐々に上げ、時刻taにて電流値が70%まで上がるようにすることで、時刻0から時刻taの間も電流値を70%に設定したときの安定照度で光を照射することができる。
また演算増幅部104に入力する電流目標値の時系列データをメモリ93から読み出すことに代えて、時系列データに相当する電流目標値を出力する関数発生器などのパターン出力部を用いるようにしてもよい。
4 光照射ユニット
5 位置合わせ機構
6 照度測定部
9 コントローラ
30 筐体
31 載置部
32 駆動部
33 ガイドレール
34 搬入出口
40 ケース体
42 LED
44 電流制御部
400 LED光源群
B1〜B88 LEDのブロック
Claims (10)
- 光により処理される基板を載置するための載置部と、
1個または互いに直列に接続された複数個のLEDからなるLEDブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させるための移動機構と、
前記照射領域の照度を測定する照度測定部と、
前記LEDをオンの状態にした後、少なくともLEDの光量が安定するまでの間、照度の目標値と前記照度測定部にて測定された照度測定値との偏差分に基づいてLEDの電流を制御するための電流制御部と、を備えたことを特徴とする光処理装置。 - 前記電流制御部は、照度の目標値と照度測定値との偏差分を演算する第1の演算部と、前記第1の演算部から出力される出力値とLEDに供給される電流に対応する信号との偏差分を演算する第2の演算部と、を備え、前記第2の演算部の出力値に対応する電流がLEDに供給されるように構成されることを特徴とする請求1記載の光処理装置。
- 前記LEDをオンの状態にした後、前記照度測定部の照度測定値が目標の照度に安定したときの電流よりも小さい電流が初期値としてLEDに供給されるように構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光処理装置。
- 前記照度測定部の照度測定値が一旦許容範囲に達し、その後低下して再度許容範囲に収まった時点を光量が安定した時点と判断することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の光処理装置。
- 前記電流制御部は、前記LEDの光量が安定した後は、定電流制御に切り替えるように構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の光処理装置。
- 前記照度測定部により測定された1個のLEDブロックの照度測定値を、すべてのLEDブロックにおいて照度測定値として取り扱うことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の光処理装置。
- 光により処理される基板を載置するための載置部と、
1個または互いに直列に接続された複数個のLEDからなるLEDブロックの複数が左右方向に直線状に配列され、左右方向に伸びる帯状の照射領域を形成するための光照射ユニットと、
前記載置部と光照射ユニットとを前後方向に互いに相対的に移動させる移動機構と、
前記照射領域の照度を測定する照度測定部と、
前記LEDの電流を制御する電流制御部と、を備え、
前記照度測定部の照度測定値が目標の照度に安定したときの電流を目標電流と呼ぶとすると、前記電流制御部は、LEDをオンの状態にした直後は目標電流よりも小さい電流でLEDを駆動し、その後、当該電流を徐々に前記目標電流まで増加させるように構成されていることを特徴とする光処理装置。 - 前記目標電流よりも小さい電流は、照度測定値が安定したときに目標の照度が得られる電流値に対して80〜93%となる電流であることを特徴とする請求項7に記載の光処理装置。
- 前記目標電流よりも小さい電流は、LEDをオンの状態にした直後の照度測定値のピーク値が、前記目標の照度に対して許容範囲となる電流であることを特徴とする請求項7または8に記載の光処理装置。
- 前記基板が光の照射による処理を目的としないで照射ユニットの下方側を移動するときには、LEDがオフの状態とされるように構成されたことを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一項に記載の光処理装置。
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