WO2010125836A1

WO2010125836A1 - 光照射装置の光照射方法及び光照射装置

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Publication number: WO2010125836A1
Application number: PCT/JP2010/051013
Authority: WO
Inventors: 茂遠藤; 憲彦羽田野; 徹二門脇
Original assignee: 株式会社アルバック
Priority date: 2009-04-28
Filing date: 2010-01-27
Publication date: 2010-11-04
Also published as: CN101978308A; TW201038384A; KR101240367B1; KR20100132024A; CN101978308B; JPWO2010125836A1; TWI402152B; JP5230875B2

Abstract

　一方向（X）に沿って配列された複数の光学素子（LED）を含む光照射装置から直線状ビーム光（LB）を照射する方法であって、各光学素子（LED）から長楕円形状の照射領域（T）を有する光を照射して各照射領域（T）を重ねることにより、一方向（X）に沿って延びる光照射面（SF）を有する直線状ビーム光を生成すること、基板（P）に形成された直線状の光硬化性樹脂（S）に対して、直線状ビーム光の光照射面（SF）を一方向（X）に沿って対峙させること、直線状ビーム光を直線状の光硬化性樹脂（S）に照射すること、直線状ビーム光を直線状の光硬化性樹脂に照射する間、直線状ビーム光の光照射面（SF）と基板（P）とのうちの一方を一方向（X）に沿って相対移動させることを特徴としたもの。

Description

光照射装置の光照射方法及び光照射装置

　本発明は、光照射装置の光照射方法及び光照射装置に関する。

　液晶ディスプレイパネルは、薄膜トランジスタがマトリクス状に配置形成された素子基板と、遮光膜及びカラーフィルタ等が形成された対向基板とが極めて狭い間隔にて対向配置される。そして、両基板が重ね合わせられる際に、これら両基板間であって光硬化性樹脂を含むシール材に囲まれた領域に液晶が封入される。続いて、紫外線をシール材に照射して、同シール材が硬化されて両基板が貼合わされることによって液晶ディスプレイパネルが製造される。

　このとき、シール材を紫外線硬化させ両基板同士を接着する装置として光照射装置がある。この種の光照射装置として、例えば光源としてアーク放電式メタルハイランドランプ等を用い、貼合わせる基板の全面に紫外線を照射するものであった（例えば、特許文献１）。

　また、近年、直線状のシール材のみに紫外線を照射して、消費電力の低減を図るとともに、貼り合わせ基板の規格の変更等にも容易かつ速やかに対応できる紫外線発光ダイオードを用いた光照射装置が注目されている。この紫外線発光ダイオードを用いた光照射装置は、複数の紫外線発光ダイオードが一方向に予め定めたピッチで配列されている。そして、各紫外線発光ダイオードの光出射側には、半球レンズ、シリンドリカルレンズ等の光学系が配置されている。これによって、各紫外線発光ダイオードから出射された光は、これら半球レンズ、シリンドリカルレンズ等の光学系を介して、横断面が直線状となるビーム光（直線状ビーム光）となって直線状のシール材に照射させるものである。

特開２００６－６６５８５号公報

　ところで、複数の紫外線発光ダイオードの発光に基づいて生成される直線状ビーム光の照度は、その照射領域の全ての位置で一様、即ち、同じであることが好ましい。
　しかしながら、従来の光照射装置では、複数の紫外線発光ダイオードが一方向に予め定めた間隔をおいて配置されている。従って、複数の紫外線発光ダイオードを用いて形成された直線状ビーム光は、ライン方向に照度のピークとボトムが交互に発生し、ライン方向の全ての位置において一様でなかった。

　シール材には予め定めた規定積算照度を照射しなければならない。この場合に、上記のように、照度分布にバラツキがあると、規定積算照度以上をシール材に与えようとすると、照射時間を、最小（ボトム）の照度値を基準に計算しなければならないことから、照射時間が長くなり、生産効率の低下を招いていた。

　本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、直線状ビーム光の照度分布がライン方向に一様でない場合でも、照射対象領域に対する直線状ビーム光の積算照度の一様性を向上させることができる光照射装置の光照射方法及び光照射装置を提供することにある。

　本発明の一つの態様は、一方向に沿って配列された複数の光学素子を含む光照射装置から直線状ビーム光を照射する方法である。この方法は、複数の光学素子の各々から長楕円形状の照射領域を有する光を照射してその各照射領域を重ねることにより、一方向に沿って延びる光照射面を有する直線状ビーム光を生成すること、基板に形成された直線状の光硬化性樹脂に対して、直線状ビーム光の光照射面を一方向に沿って対峙させること、直線状ビーム光を直線状の光硬化性樹脂に照射すること、直線状ビーム光を直線状の光硬化性樹脂に照射する間、直線状ビーム光の光照射面と基板とのうちの一方を一方向に沿って相対移動させること、を備える。

　本発明の別の態様は、光照射装置である。光照射装置は、直線状の光硬化性樹脂が形成された基板を載置するステージと、一方向に沿って配列された複数の光学素子を含み、該複数の光学素子の各々から長楕円形状の照射領域を有する光を照射してその各照射領域を重ねることにより、一方向に沿って延びる光照射面を有する直線状ビーム光を生成する光照射ユニットと、光照射ユニットの各光学素子を駆動する光学素子駆動装置と、光照射ユニットを一方向と直交する方向に沿って移動させる第１移動装置と、光照射ユニットまたはステージ上の基板を一方向に沿って移動させる第２移動装置と、第１移動装置を制御して、直線状の光硬化性樹脂に対して直線状ビーム光の光照射面を一方向に沿って対峙させるとともに、光学素子駆動装置および第２移動装置を制御して、直線状ビーム光の光照射面と基板とのうちの一方を一方向に沿って相対移動させながら直線状ビーム光を直線状の光硬化性樹脂に照射させる制御装置と、を備える。

　本発明によれば、直線状ビーム光の照度分布がライン方向に一様でない場合でも、照射対象領域に対する直線状ビーム光の積算照度の一様性を向上させることができる。これにより、照射時間の短縮化ができ、生産効率の向上を図ることができる。

本実施形態の紫外線照射装置の斜視図。同じく紫外線照射装置の正面図。紫外線照射装置のステージを説明するための全体斜視図。紫外線照射装置の照度センサを説明するための全体斜視図。照度センサの要部拡大斜視図。紫外線照射装置の紫外線照射ユニットを説明するための要部断面図。照射モジュールの配置状態を示す図。（ａ）（ｂ）紫外線照射装置から出射される直線状ビーム光を説明するための模式図。直線状ビーム光のライン方向の照度ムラを説明するための照度分布図。直線状ビーム光の光照射面の照度分布を説明するための照度分布図。紫外線照射装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。直線状ビーム光の中心位置を求めるための制御装置の処理動作を説明するためのフローチャート。直線状ビーム光をシール材に照射する際の制御装置の処理動作を説明するためのフローチャート。

　以下、本発明の光照射装置を基板貼合わせのための紫外線照射装置に具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
　図１において、紫外線照射装置１は、２種類の基板Ｗ１，Ｗ２の間に液晶を封入してアクティブマトリクス型の液晶ディスプレイパネルＰを製造する図示しない製造ラインに備えられている。紫外線照射装置１は、液晶ディスプレイパネルＰの製造工程のうち、液晶ディスプレイパネルＰの下基板Ｗ１と上基板Ｗ２との間に介在された紫外線硬化樹脂よりなるシール材Ｓを硬化させる工程に用いられる。紫外線照射装置１は、シール材Ｓに照射する紫外線を直線状ビーム光ＬＢの形で生成する紫外線照射ユニット３を備えている。この紫外線照射ユニット３はガントリ２に設けられている。なお、紫外線硬化樹脂は光硬化性樹脂の一例であり、紫外線照射ユニット３は本発明の光照射ユニットの一例である。

　図１に示すように、紫外線照射装置１は、床面に設置された機枠５を有している。機枠５は、四方に配置された４本の支柱５ａを有し、その４本の支柱５ａは床面に対して立設されている。また、機枠５は、４本の下部フレーム５ｂと、２本の中間フレーム５ｃと、２本の上部フレーム（左側上部フレーム５ｄおよび右側上部フレーム５ｅ）とを有している。４本の下部フレーム５ｂは、それぞれ隣り合う支柱５ａの下部を連結している。２本の中間フレーム５ｃのうちの一方は、前側（図中、反Ｙ方向側）の左右一対の支柱５ａの中間部を連結している。また、２本の中間フレーム５ｃのうちの他方は、後側（図中、Ｙ方向側）の左右一対の支柱５ａの中間部を連結している。左側上部フレーム５ｄは、左側（図中、反Ｘ方向側）の前後一対の支柱５ａの上端部を連結している。右側上部フレーム５ｅは、右側（図中、Ｘ方向側）の前後一対の支柱５ａの上端部を連結している。なお、本明細書では、紫外線照射装置１の左右方向を「Ｘ方向」、前後方向を「Ｙ方向」、上下方向を「Ｚ方向」と規定する。ここで、図１の例において、前後方向（Ｙ方向）とは、上部フレーム５ｄ，５ｅの長手方向をいい、左右方向（Ｘ方向）とは、上部フレーム５ｄ，５ｅ間に架け渡されるガントリ２の長手方向をいう。

　機枠５内には、液晶ディスプレイパネルＰを載置する八角形の不透明板よりなるステージＳＴが設けられている。図２及び図３に示すように、ステージＳＴの下面ＳＴａは、同ステージＳＴよりも下側に配置された支承アーム７（図２参照）によって支持されており、この支承アーム７は、下部フレーム５ｂに対し図示しないガイド付きボールネジにより上下動作可能な四角枠体６に設けられている。

　ステージＳＴの中央位置には、図３に示すように、貫通穴８が形成されている。そして、その貫通穴８には、四角枠体６に設置される基板移動装置９（図１１参照）に設けられたアライメントテーブルＴＢが配置されている。アライメントテーブルＴＢは、基板移動装置９によって、ステージＳＴに対して、左右方向（Ｘ方向）、及び、Ｘ方向と直交する前後方向（Ｙ方向）に移動可能になっている。また、アライメントテーブルＴＢは、基板移動装置９によって、該テーブルＴＢの中心軸線Ｌを回転中心として回転するようになっている。

　基板移動装置９のアライメントテーブルＴＢは、図示しない搬送装置から搬送された液晶ディスプレイパネルＰを同テーブルＴＢ上でアライメントした後、ステージＳＴに載置する。また、基板移動装置９は、ステージＳＴに載置された液晶ディスプレイパネルＰを９０度回転させて、再びステージＳＴに載置する。

　また、ステージＳＴには、複数のガイド穴１０が所定の間隔をおいて形成されている。各ガイド穴１０からは、四角枠体６よりも下側に配置された基板受け渡し装置（図示しない）のリフトピン（図示しない）が出没するようになっている。つまり、各リフトピンが各ガイド穴１０から突出された状態で、各リフトピンの先端部に、図示しない搬送装置から搬送された液晶ディスプレイパネルＰが受け渡される。この状態から各リフトピンが各ガイド穴１０に没入されることで、液晶ディスプレイパネルＰがアライメントテーブルＴＢに受け渡されてアライメントされる。そして、アライメントが終了すると、アライメントテーブルＴＢが貫通穴８に没入される。これにより、液晶ディスプレイパネルＰがアライメントされた状態でステージＳＴに載置される。

　また、ステージＳＴにおいて貫通穴８の前後両側には、左右方向（Ｘ方向）に沿って延びる一対の検出窓１１が貫通形成されている。また、図２に示すように、ステージＳＴの下側には、各検出窓１１にそれぞれ対応する照度検出装置１２（図２では１つのみ示す）が設けられている。照度検出装置１２は、それぞれ対応する検出窓１１に対向する位置に配置されている。

　図４に示すように、照度検出装置１２は、四角枠体６に支持固定されるとともに、ステージＳＴの検出窓１１に沿って左右方向（Ｘ方向）に設置されるガイドレール１３を有している。ガイドレール１３は本発明の案内部材の一例である。ガイドレール１３は、キャリッジ１４を載せるガイド面１３ａを有し、このガイド面１３ａが検出窓１１に向き合うようにして配置されている。図５に拡大して示すように、キャリッジ１４は、左右方向（Ｘ方向）に沿ってガイドレール１３上を往復動可能となっている。

　キャリッジ１４は、タイミングベルト（図示しない）を介してキャリッジモータＭ１（図１１参照）に接続されている。キャリッジ１４は、キャリッジモータＭ１が駆動されることにより、タイミングベルトを介して、ガイドレール１３上を、Ｘ方向に沿って往復移動する。

　キャリッジ１４の上面には照度センサ１５が固設されている。この照度センサ１５は、検出窓１１を透過した紫外線を入射孔１５ａから受光してその紫外線の照度を検出する。詳述すると、キャリッジ１４がＸ方向に沿って往復移動するとき、照度センサ１５は、Ｘ方向に沿って形成された検出窓１１を介して直線状ビーム光ＬＢ（図８参照）を受光し、その直線状ビーム光ＬＢの照度を検出する。なお、照度センサ１５は、直線状ビーム光ＬＢの照度をＸ方向に沿って複数の位置で離散的に検出してもよいし、またはＸ方向に沿って連続的に検出してもよい。

　尚、検出窓１１の横幅Ｄｘは、直線状ビーム光ＬＢの線幅Ｄよりも十分に大きな幅であって、本実施形態では、検出窓１１の横幅Ｄｘは、直線状ビーム光ＬＢの線幅Ｄの２倍～３倍の大きさにて形成されている。

　図３に示すように、検出窓１１の横幅Ｄｘの中心位置Ｐｗｏを通る線を、検出窓１１の中心線とする。この場合、Ｘ方向に沿った照度センサ１５の入射孔１５ａの移動軌跡は、検出窓１１の中心線すなわち中心位置Ｐｗｏと対峙する軌跡となる。

　機枠５に設けた左側上部フレーム５ｄと右側上部フレーム５ｅとの間に、ガントリ２が架けわたされている。ガントリ２は、前後一対のガントリ本体２ａを有する。各ガントリ本体２ａの左端部下面が左側上部フレーム５ｄの上面に支持され、各ガントリ本体２ａの右端部下面が右側上部フレーム５ｅの上面に支持されている。左側上部フレーム５ｄのガイドレール２１と右側上部フレーム５ｅのガイドレール２１とは、互いに平行であってＹ方向に沿って延びている。従って、Ｘ方向に延びる前後一対のガントリ２は、Ｙ方向に沿って移動する。

　前後一対のガントリ本体２ａの左右両端部は、各フレーム５ｄ，５ｅに回転可能に支持されたボールネジ（図示せず）と螺合しており、このボールネジによって、ガントリ本体２ａはＹ方向（前後方向）に沿って往復移動可能である。そして、ボールネジをガントリモータＭ２（図１１参照）で回転制御することによって、前後一対のガントリ本体２ａは、一対のガイドレール２１上をＹ方向（前後方向）に沿って往復移動するようになっている。尚、ガントリ本体２ａは、ボールネジを回転させることによって移動するようにしたが、リニアモータにてガントリ本体２ａを移動させるようにしてもよい。

　各ガントリ本体２ａの下面は、ステージＳＴの面に対向するようにＸ方向に平行に配置されている。そして、図６に示すように、紫外線照射ユニット３は、取り付け部材２３を用いて、各ガントリ本体２ａの下面にＸ方向に沿って設けられている。即ち、本例では、２つの紫外線照射ユニット３が一対のガントリ本体２ａに対して平行に設けられている。各紫外線照射ユニット３の構成は同じである。取り付け部材２３に設けられた紫外線照射ユニット３は、ガントリ本体２ａとともにＹ方向に沿って往復移動する。紫外線照射ユニット３は、ステージＳＴに載置固定された液晶ディスプレイパネルＰ（基板Ｗ１，Ｗ２間のシール材３）に対し、Ｘ方向に沿って一直線にのびる紫外線よりなる直線状ビーム光ＬＢを照射する。

　取り付け部材２３（紫外線照射ユニット３）は、ガントリ本体２ａに設けられたボールネジ（図示しない）により、Ｘ方向（左右方向）に沿って往復移動可能にガントリ本体２ａに取着されている。従って、ガントリ本体２ａのボールネジをユニットモータＭ３（図１１参照）で回転制御することによって、紫外線照射ユニット３は、ガントリ本体２ａに対して、Ｘ方向（左右方向）に沿って往復移動するようになっている。

　シール材３の硬化工程では、紫外線照射ユニット３は、ステージＳＴに載置固定された液晶ディスプレイパネルＰの上方でＹ方向に沿って往復移動される。そして、紫外線照射ユニット３の幅方向の中心位置Ｐｕｏ（図６参照）がパネルＰの所定の位置（基板Ｗ１，Ｗ２間に形成されたＸ方向にのびる直線状のシール材Ｓ）と対峙する位置で、紫外線照射ユニット３のＹ方向の移動が停止される。次に、このＹ方向の移動が停止された位置で、紫外線照射ユニット３がＸ方向に沿って往復移動される。そして、紫外線照射ユニット３は、シール材Ｓに対峙した状態でＸ方向に沿って往復移動（スキャン）しながら、Ｘ方向にのびる直線状のシール材Ｓに向かって、同じくＸ方向にのびる紫外線の直線状ビーム光ＬＢを照射することにより、該シール材Ｓを硬化させる。

　次に、紫外線照射ユニット３について図６～図９に従って説明する。
　図６及び図７に示すように、紫外線照射ユニット３は連結板３１を有し、この連結板３１は、取り付け部材２３の筺体３０の下面にＸ方向に沿って固定されている。連結板３１の下面には、複数個（本実施形態では４０個）の照射モジュール３２が、Ｘ方向に沿って一列に配列固定されている。各照射モジュール３２は、複数個（本実施形態では８個）の紫外線発光ダイオードＬＥＤを有している。紫外線発光ダイオードＬＥＤは、光学素子の一例である。

　図７に示すように、各照射モジュール３２は回路基板３３を有し、その回路基板３３上に、８個の紫外線発光ダイオードＬＥＤがＸ方向に沿って一列に実装されている。各照射モジュール３２の回路基板３３は連結板３１の下面にボルト３４によって固着される。このとき、実装された紫外線発光ダイオードＬＥＤが下側に位置すると共に、８個の紫外線発光ダイオードＬＥＤがＸ方向に沿って配列される。しかも、隣同士の照射モジュール３２は、隣接する回路基板３３間の紫外線発光ダイオードＬＥＤが、等間隔にＸ方向に沿って一直線状に配列されるように位置決めされている。

　従って、本実施形態では、３２０個の紫外線発光ダイオードＬＥＤが、等間隔にＸ方向に沿って一直線状に配置されることになる。
　回路基板３３に一直線上に実装された各紫外線発光ダイオードＬＥＤの下側には、半球レンズ３５がそれぞれ配置されている。各半球レンズ３５はそれぞれ対応する紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された紫外線を入射する。そして、各半球レンズ３５は、その入射した紫外線の拡散を抑制して下方にそれぞれ出射する。

　各照射モジュール３２に対応して配置された８個の半球レンズ３５の下側には、８個の半球レンズ３５全体を覆う棒状のシリンドリカルレンズ３６がＸ方向に沿って配置されている。シリンドリカルレンズ３６は、各半球レンズ３５から出射された、拡散が抑制された紫外線を入射する。このシリンドリカルレンズ３６は、各半球レンズ３５から入射した紫外線をＹ方向に対して収束させ、楕円形状に集光された光を出射する。

　詳述すると、図８（ａ），（ｂ）に示すように、各紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された紫外線ＵＶは、直下に配置された半球レンズ３５によってそれぞれ拡散が抑制される。そして、各半球レンズ３５から出射された紫外線ＵＶは、シリンドリカルレンズ３６によって、Ｙ方向にのみ収束されて楕円形状に集光される。これにより、各紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された紫外線ＵＶの上基板Ｗ２上での照射領域Ｔは、Ｘ方向に長軸を有する長楕円形状になる。そして、各照射領域Ｔの長軸方向端部（重合領域）同士が重ね合わされることで、Ｘ方向に沿って直線状に延びる光照射面ＳＦが形成される。つまり、各紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された紫外線ＵＶは、Ｘ方向（左右方向）に延びる直線状の紫外線（すなわち、直線状ビーム光ＬＢ）となって、上基板Ｗ２上に照射されることになる。

　直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦは、複数の照射領域Ｔの集合である。この場合、光照射面ＳＦの照度（つまり、各照射領域Ｔにおける照度）は、各紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された各紫外線ＵＶが最もＹ方向に収束する部分で最も高くなる。従って、各照射領域Ｔで照度が最も高い部分は、各紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された各紫外線ＵＶの光軸中心部、つまり、各照射領域Ｔの中心部である。尚、隣合う紫外線発光ダイオードＬＥＤからそれぞれ出射された紫外線ＵＶが重なり合う重合領域は、Ｙ方向に収束する光量が少ないため、照度は高くなく最小となる。

　従って、紫外線照射ユニット３から出射される直線状ビーム光ＬＢには、図９に示すように、Ｘ方向に沿った紫外線発光ダイオードＬＥＤの配置間隔Ｐｄで照度の最大値が存在する。その結果、直線状ビーム光ＬＢには照度の最大値（ピーク）と最小値（ボトム）とがＸ方向に配置間隔Ｐｄで発生するため、光照射面ＳＦには照度ムラが生じている。

　図６に示すように、照射モジュール３２の各半球レンズ３５及びシリンドリカルレンズ３６は、回路基板３３にＸ方向に沿って取着された保持部材４０にて保持されている。この保持部材４０は、回路基板３３が連結板３１の下面にボルト３４にて固着される際に、あわせて同ボルト３４にて回路基板３３に対して固着されるようになっている。

　保持部材４０の下面中央位置には、Ｘ方向に沿って収容溝４１が凹設され、該収容溝４１にシリンドリカルレンズ３６が収容されるようになっている。
　また、収容溝４１の内底面において、各半球レンズ３５とそれぞれ対応する位置には、貫通穴４２が等間隔に形成されている。この貫通穴４２の直径は、半球レンズ３５の直径より若干小さくなっていて、紫外線発光ダイオードＬＥＤの下面に配置された各半球レンズ３５の一部が貫通穴４２に嵌入されるようになっている。そして、保持部材４０が回路基板３３に固着されると、半球レンズ３５が、保持部材４０と、回路基板３３に実装された紫外線発光ダイオードＬＥＤとの間で挟持固定されるようになっている。

　保持部材４０の下面には、Ｙ方向に沿って一対の脱落防止板４３が配置されている。この一対の脱落防止板４３は、保持部材４０が回路基板３３の下面にボルト３４にて固着される際に、あわせて同ボルト３４にて保持部材４０に対して固着されるようになっている。

　一対の脱落防止板４３は、所定の間隔をおいて互いに相対向するように配置される弾性係止爪４３ａをそれぞれ有している。各弾性係止爪４３ａは、収容溝４１に収容されたシリンドリカルレンズ３６を下側から弾圧係止して、シリンドリカルレンズ３６が収容溝４１から脱落しないようにしている。

　次に、紫外線照射装置１の電気的構成を図１１に従って説明する。
　図１１において、紫外線照射装置１は、制御装置５０を備えている。制御装置５０は、例えばマイクロコンピュータよりなり、中央処理装置（ＣＰＵ）５０ａ、直線状ビーム光ＬＢをシール材Ｓに照射させるための処理動作等、ＣＰＵ５０ａに各種の処理動作を実行させるための制御プログラムを記憶するＲＯＭ５０ｂ、ＣＰＵ５０ａの演算結果等を一時記憶するＲＡＭ５０ｃ、および入出力回路５０ｄを備えている。

　制御装置５０は、光学素子駆動装置としての紫外線発光ダイオード駆動回路５１を介して、紫外線照射ユニット３の各紫外線発光ダイオードＬＥＤに接続されている。制御装置５０は、紫外線発光ダイオード駆動回路５１に各紫外線発光ダイオードＬＥＤの発光制御信号を出力して、各紫外線発光ダイオードＬＥＤの発光を制御する。

　制御装置５０は、ガントリモータ駆動回路５２を介して、前後一対のガントリ本体２ａを駆動する２つのガントリモータＭ２に接続されている。制御装置５０は、ガントリモータ駆動回路５２に各ガントリモータＭ２の駆動制御信号を出力して、各ガントリモータＭ２の駆動を制御する。ガントリ２（ガントリ本体２ａ）、ガントリモータ駆動回路５２、およびガントリモータＭ２は、本発明の第１移動装置の一例である。

　制御装置５０は、ユニットモータ駆動回路５３を介して、ガントリ本体２ａに設けられたユニットモータＭ３に接続されている。制御装置５０は、ユニットモータ駆動回路５３にユニットモータＭ３の駆動制御信号を出力して、ユニットモータＭ３の駆動を制御する。ユニットモータ駆動回路５３およびユニットモータＭ３は、本発明の第２移動装置の一例である。

　本例では、制御装置５０は、ユニットモータ駆動回路５３を介してユニットモータＭ３を正逆回転させることにより、紫外線発光ダイオードＬＥＤの配置間隔Ｐｄの２分の１の距離で、紫外線照射ユニット３をガントリ本体２ａに対してＸ方向に沿って往復移動させる。従って、紫外線照射ユニット３から照射される直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦは、液晶ディスプレイパネルＰのシール材Ｓに対峙した状態で、配置間隔Ｐｄの２分の１の距離をＸ方向に沿って往復移動する。つまり、直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦは、Ｘ方向に沿って直線状のシール材Ｓ上を往復移動することになる。

　制御装置５０は、キャリッジモータ駆動回路５４を介してキャリッジモータＭ１に接続されている。制御装置５０は、キャリッジモータ駆動回路５４にキャリッジモータＭ１の駆動制御信号を出力して、キャリッジモータＭ１の駆動を制御する。キャリッジ１４、キャリッジモータ駆動回路５４、およびキャリッジモータＭ１は、本発明の第３移動装置の一例である。

　さらに、制御装置５０は、画像処理装置５５に接続されている。液晶ディスプレイパネルＰには、ステージＳＴに対するパネルＰの位置合わせを行うためのアライメントマークが形成されている。このアライメントマークは、ステージＳＴの下側に設けられたアライメントカメラＣＡによって撮像される。画像処理装置５５は、アライメントカメラＣＡからアライメントマークの画像データを入力し、その画像データから液晶ディスプレイパネルＰのずれ量を演算して制御装置５０に出力する。

　制御装置５０は、基板移動装置９に接続されている。制御装置５０は、画像処理装置５５により演算されたずれ量に基づいて、基板移動装置９の駆動制御信号を生成する。この駆動制御信号に基づいて、基板移動装置９は、アライメントテーブルＴＢをステージＳＴに対して、Ｘ方向、Ｙ方向、または両方向に移動させるとともに、ＸＹ平面を回転させることにより、ずれ量を無くすようにしている。

　制御装置５０は、ガントリ位置検出センサ６１と接続され、ガントリ位置検出センサ６１からの検出信号を入力する。制御装置５０は、ガントリ位置検出センサ６１からの検出信号に基づいて、ガントリ本体２ａ（紫外線照射ユニット３）のその時々のＹ方向の位置を検出する。例えば、制御装置５０は、予め定められたガントリ本体２ａ（紫外線照射ユニット３）のホームポジションを基準に現在の位置を検出する。

　制御装置５０は、キャリッジ位置検出センサ６２と接続され、キャリッジ位置検出センサ６２からの検出信号を入力する。制御装置５０は、キャリッジ位置検出センサ６２からの検出信号に基づいて、キャリッジ１４とともにＸ方向に往復移動する照度センサ１５のその時々のＸ方向の位置を検出する。

　制御装置５０は、ユニット位置検出センサ６３と接続され、ユニット位置検出センサ６３からの検出信号を入力する。制御装置５０は、ユニット位置検出センサ６３からの検出信号に基づいて、ユニットモータＭ３によりＸ方向に往復移動する紫外線照射ユニット３のその時々のＸ方向の位置（ステージＳＴに対する紫外線照射ユニット３のＸ方向の相対位置）を検出する。

　次に、上記のように構成された紫外線照射装置１の動作について説明する。
（初期設定）
　直線状のシール材３に直線状ビーム光ＬＢを照射する際、直線状のシール材３の幅方向の中心線に対して、直線状ビーム光の幅方向の中心線Ｌｏｘ（照度の幅方向におけるピーク位置）を合わせる必要がある。これによって、エネルギー効率の良い紫外線照射が行え、消費電力の低減、照射時間の短縮が図ることができる。

　しかしながら、直線状ビーム光ＬＢの幅方向の中心線Ｌｏｘを、目視では正確に判断することができない。そのため、従来技術では、未硬化部分が発生しないように、安全をみこして、照射時間を長くしなければならず、消費電力の低減、照射時間の短縮を図ることが難しかった。

　従って、紫外線照射ユニット３から出射されるＸ方向に延びる直線状ビーム光ＬＢを、同じくＸ方向に延びる直線状のシール材Ｓに照射させるとき、直線状ビーム光ＬＢの幅方向の中心位置Ｐｏを正確に把握することが望ましい。このとき、一般には、図８に示すように、直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦにおける照度は、その線幅Ｄの中心位置Ｐｏを通る線（中心線Ｌｏｘ）上の部分において、最も高くなる。

　しかしながら、例えば紫外線照射ユニット３の機械的誤差等により、直線状ビーム光ＬＢの中心位置Ｐｏは、紫外線照射ユニット３の幅方向の中心位置Ｐｕｏと、必ずしも一致するとは限らない。

　従って、エネルギー効率の良い紫外線照射を行い、消費電力の低減、照射時間の短縮を図るために、直線状ビーム光ＬＢの中心線Ｌｏｘの位置（中心位置Ｐｏ）を求め、その中心線Ｌｏｘを、直線状のシール材Ｓの中心線に合わせる必要がある。

　そこで、目視では知ることのできない直線状ビーム光ＬＢの中心位置Ｐｏの検出を事前に行っている。
　以下、紫外線照射ユニット３から出射される直線状ビーム光ＬＢの中心線Ｌｏｘの位置を検出する処理動作を、図１２に示す、制御装置５０の処理動作を示すフローチャートに従って説明する。

　まず、制御装置５０は、ガントリモータＭ２を駆動して、ガントリ本体２ａに設けられた紫外線照射ユニット３の幅方向の中心位置Ｐｕｏが検出窓１１の中心位置Ｐｗｏと一致するまで、ガントリ本体２ａを予め定めたホームポジションからＹ方向に沿って移動させる（ステップＳ１－１）。このとき、制御装置５０（ＣＰＵ５０ａ）は、ガントリ位置検出センサ６１からの検出信号を入力し、ガントリ本体２ａ（即ち、紫外線照射ユニット３）のホームポジションからのその時々の移動距離を算出する。

　そして、制御装置５０は、検出窓１１の中心位置Ｐｗｏに、紫外線照射ユニット３の幅方向の中心位置Ｐｕｏが合致したかどうか判別する（ステップＳ１－２）。尚、ホームポジションから検出窓１１の中心位置Ｐｗｏまでの距離（検査距離）は、予め求められていて、制御装置５０のＲＯＭ５０ｂに予め記憶されている。従って、制御装置５０は、移動距離と検査距離を比較することによって、検出窓１１の中心位置Ｐｗｏに、紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏが合致したかどうか判別することができる。

　そして、検出窓１１の中心位置Ｐｗｏと紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏが合致していない時（ステップＳ１－２でＮＯ）、制御装置５０は、ステップＳ１－１に戻り、中心位置Ｐｗｏ，Ｐｕｏが合致するまでガントリ本体２ａを移動させる。

　ガントリ本体２ａの移動距離が検査距離に達すると（ステップＳ１－２でＹＥＳ）、即ち、検出窓１１の中心位置Ｐｗｏに紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏが合致すると、制御装置５０は、ガントリモータＭ２を停止して、ガントリ本体２ａの移動を停止させる（ステップＳ１－３）。

　次に、制御装置５０は、紫外線発光ダイオード駆動回路５１を制御して、紫外線照射ユニット３の全紫外線発光ダイオードＬＥＤを発光させ、直線状ビーム光ＬＢを、検出窓１１に向けて出射させる（ステップＳ１－４）。

　続いて、制御装置５０は、キャリッジモータＭ１を正転駆動させ、キャリッジ１４をガイドレール１３の前端から後端まで移動（往動）させる（ステップＳ１－５）。これにより、照度センサ１５は、ガイドレール１３上を往動する間に、検出窓１１を介して入射孔１５ａに入射する直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの照度を、入射孔１５ａの移動軌跡上で検出する（ステップＳ１－６）。例えば照度センサ１５は、入射孔１５ａの移動軌跡上の複数の位置で直線状ビーム光ＬＢの照度を検出する（または、直線状ビーム光ＬＢの照度を移動軌跡上で連続的に検出してもよい）。そして、制御装置５０は、照度センサ１５が他端に到達するまで、キャリッジ位置検出センサ６２からの検出信号と照度センサ１５からの照度検出信号とに基づいて、入射孔１５ａの移動軌跡上の各位置で、直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの照度を求め、ＲＡＭ５０ｃに記憶していく（ステップＳ１－６、Ｓ１－７）。

　照度センサ１５が他端に到達すると（ステップＳ１－７でＹＥＳ）、制御装置５０は、キャリッジモータＭ１を停止させる（ステップＳ１－８）。次に、制御装置５０は、ガントリ本体２ａ（紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏ）を検出窓１１の中心位置Ｐｗｏから予め定めた規定回数だけ前側方向（反Ｙ方向側）に微動させたかどうか判断する（ステップＳ１－９）。ガントリ本体２ａをまだ微動させていない場合には（ステップＳ１－９でＮＯ）、制御装置５０は、ガントリモータＭ２を駆動させ、ガントリ本体２ａを前側方向に予め定めた距離（本実施形態では直線状ビーム光ＬＢの線幅Ｄの１０分の１の距離）だけ微動させる（ステップＳ１－１０）。その後、制御装置５０は、ステップＳ１－５に移り、キャリッジモータＭ１を逆転駆動させて、キャリッジ１４をガイドレール１３の後端から前端まで移動（復動）させる。

　これにより、照度センサ１５は、中心位置Ｐｗｏから前側方向（反Ｙ方向側）に予め定めた距離だけ偏倚した位置で、ガイドレール１３上を復動する。そして、その復動の間に、照度センサ１５は、検出窓１１を介して入射孔１５ａに入射する直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの照度を、その入射孔１５ａの移動軌跡上の各位置で検出する。そして制御装置５０は、前記と同様に、照度センサ１５の入射孔１５ａの移動軌跡上の各位置の照度を求め、ＲＡＭ５０ｃに記憶していく（ステップＳ１－６、Ｓ１－７）。

　以後、同様な動作が、ガントリ本体２ａを前側方向に規定回数だけ微動させるまで行われる。そして、前側方向における複数の偏倚位置でキャリッジ１４の往復動作が交互に行われる間、直線状ビーム光ＬＢの照度がＸ方向に沿って検出される。前側方向への微動が規定回数だけ行われると（ステップＳ１－９でＹＥＳ）、制御装置５０は、ガントリ本体２ａ（紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏ）を検出窓１１の中心位置Ｐｗｏから後側方向（Ｙ方向側）に予め定めた距離（本実施形態では直線状ビーム光ＬＢの幅の１０分の１の距離）だけ微動させる（ステップＳ１－１１）。

　続いて、制御装置５０は、キャリッジモータＭ１を正転駆動させ、キャリッジ１４をガイドレール１３の前端から後端まで往動させる（ステップＳ１－１２）（キャリッジ１４がガイドレール１３の後端にある場合、ガイドレール１３の前端まで復動させる）。これにより、照度センサ１５は、中心位置Ｐｗｏから後側方向（Ｙ方向側）に予め定めた距離だけ偏倚した位置で、ガイドレール１３上を復動する。そして、その往動の間に、照度センサ１５は、検出窓１１を介して入射孔１５ａに入射する直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの照度を、その入射孔１５ａの移動軌跡上の各位置で検出する。そして、制御装置５０は、照度センサ１５が他端に到達するまで、キャリッジ位置検出センサ６２からの検出信号と照度センサ１５からの照度検出信号とに基づいて、入射孔１５ａの移動軌跡上の各位置で、直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの照度を求め、ＲＡＭ５０ｃに記憶していく（ステップＳ１－１３、Ｓ１－１４）。

　照度センサ１５が他端に到達すると（ステップＳ１－１４でＹＥＳ）、制御装置５０は、キャリッジモータＭ１を停止させる（ステップＳ１－１５）。次に、制御装置５０は、ガントリ本体２ａ（紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏ）を検出窓１１の中心位置Ｐｗｏから予め定めた規定回数だけ後側方向（Ｙ方向側）に微動させたかどうか判断する（ステップＳ１－１６）。規定回数に達していなければ（ステップＳ１６でＮＯ）、制御装置５０は、ガントリモータＭ２を駆動して、ガントリ本体２ａを後側方向に予め定めた距離で更に微動させる（ステップＳ１－１１）。

　そして、制御装置５０は、ステップＳ１－１２に移り、キャリッジモータＭ１を逆転駆動させ、キャリッジ１４をガイドレール１３の後端から前端まで復動させる。
　以後、同様な動作が、ガントリ本体２ａを後側方向に規定回数だけ微動させるまで行われる。そして、後側方向における複数の偏倚位置でキャリッジ１４の往復動作が交互に行われる間、直線状ビーム光ＬＢの照度がＸ方向に沿って検出される。後側方向への微動が規定回数だけ行われると（ステップＳ１－１６でＹＥＳ）、制御装置５０は、所定の幅をもった直線状ビーム光ＬＢ（光照射面ＳＦ）の照度の検出を終了し、ガントリ本体２ａをホームポジションに移動させる（ステップＳ１－１７）。

　続いて、制御装置５０は、図１０に示すような、直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの照度分布ＩＤを求め、その求めた照度分布から、最も照度が高い中心線Ｌｏｘの位置（中心位置Ｐｏ）を求める（ステップＳ１－１８）。

　つまり、制御装置５０は、最も照度が高い中心線Ｌｏｘ（直線状ビーム光ＬＢの中心位置Ｐｏ）が、紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏと一致しているかどうか判定し、一致していなければ、直線状ビーム光ＬＢの中心位置Ｐｏが、紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏに対して、前後にどれだけ偏倚しているかを求める。そして、制御装置５０は、ステップＳ１－１８で求めた直線状ビーム光ＬＢの中心位置Ｐｏを、紫外線照射ユニット３の新たな中心位置Ｐｕｏとして設定してＲＡＭ５０ｃに記憶し（ステップＳ１－１９）、初期設定処理動作を終了する。

　従って、紫外線照射ユニット３から出射される直線状ビーム光ＬＢの最も照度が高い中心線Ｌｏｘ（中心位置Ｐｏ）が、紫外線照射ユニット３の新たな中心位置Ｐｕｏとして設定される。従って、紫外線照射装置１は、その設定された紫外線照射ユニット３の新たな中心位置Ｐｕｏを基準にガントリ本体２ａの移動を制御することで、紫外線照射ユニット３から出射される直線状ビーム光ＬＢの最も照度が高い部分を、常に精度良くシール材Ｓに照射することができる。制御装置５０は、本発明の中心位置設定装置の一例である。

　（紫外線照射）
　次に、紫外線照射ユニット３から出射するＸ方向に伸びる直線状ビーム光ＬＢを、直線状のシール材Ｓに照射し、シール材Ｓを紫外線硬化させて、液晶ディスプレイパネルＰの下基板Ｗ１と上基板Ｗ２を貼り合わせる処理動作を、図１３に示す制御装置５０の処理動作を示すフローチャートに従って説明する。

　まず、制御装置５０は、ステージＳＴに載置されて位置決めされた液晶ディスプレイパネルＰに対して、紫外線照射ユニット３を、液晶ディスプレイパネルＰの下基板Ｗ１と上基板Ｗ２との間に形成された直線状のシール材Ｓに対峙する上方位置に配置する（ステップＳ２－１）。

　即ち、制御装置５０は、ホームポジションにある一対のガントリ本体２ａを、それぞれのガントリモータＭ２を駆動することによりＹ方向に沿って移動させ、各ガントリ本体２ａに設けられた各紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏを、下基板Ｗ１と上基板Ｗ２との間に形成されたそれぞれ対応する直線状のシール材Ｓに対峙する上方位置まで移動させる。

　各紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏが、それぞれ対応する直線状のシール材Ｓに対峙すると、制御装置５０は、紫外線発光ダイオード駆動回路５１を駆動して、各照射モジュール３２の全紫外線発光ダイオードＬＥＤを発光させる（ステップＳ２－２）。

　全紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された紫外線ＵＶは、各半球レンズ３５及びシリンドリカルレンズ３６を介して、一方向（Ｘ方向）に延びる直線状ビーム光ＬＢとして形成される。各紫外線照射ユニット３は、この直線状ビーム光ＬＢを、液晶ディスプレイパネルＰ（直線状のシール材Ｓ）に照射して、シール材Ｓを硬化させる。

　制御装置５０は、照射時間を計時し、予め定めた時間（照射時間）、直線状ビーム光ＬＢを液晶ディスプレイパネルＰ（直線状のシール材Ｓ）に照射する（ステップＳ２－３）。つまり、Ｘ方向に延びる直線状ビーム光ＬＢは、同じくＸ方向に延びる直線状のシール材Ｓの直上位置で照射され、Ｘ方向に延びる直線状のシール材Ｓを一度に硬化させる。

　このとき、照射時間が予め定めた時間に達するまでの間に（ステップＳ２－３でＮＯ）、制御装置５０は、ユニットモータ駆動回路５３を駆動して各ユニットモータＭ３を正逆回転させ、各紫外線照射ユニット３を、ガントリ２（およびステージＳＴ）に対して所定距離（本実施形態では、配置間隔Ｐｄの２分の１の距離）だけＸ方向に沿って往復移動させる。即ち、各紫外線照射ユニット３を、液晶ディスプレイパネルＰに対して、Ｘ方向に沿って相対的に往復移動させる（ステップＳ２－４）。

　これにより、Ｘ方向に延びる直線状ビーム光ＬＢ（光照射面ＳＦ）が、Ｘ方向に延びる直線状のシール材Ｓの直上位置で、Ｘ方向に沿って往復移動される。以下、直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの往復移動を「スキャン」とよぶ。このスキャンは、前記した予め定めた照射時間にわたって行われる。

　尚、各紫外線照射ユニット３の往復移動の速さは、前記した予め定めた照射時間の間に、配置間隔Ｐｄの２分の１の距離を、本実施形態では２往復することができる移動速度に設定されている。

　この直線状ビーム光ＬＢのＸ方向に沿った往復移動は、前記したように直線状ビーム光ＬＢがＸ方向において照度ムラを有することから、この照度ムラを低減するために行われる。つまり、直線状ビーム光ＬＢには、照度の最大値と最小値がＸ方向に所定のピッチ（配置間隔Ｐｄ）で発生する照度ムラがある。従って、スキャンしないで直線状ビーム光ＬＢをシール材Ｓに照射すると、予め定めた規定積算照度に達する時間が、最大照度位置と最小照度位置とで、Ｘ方向に沿って大きく異なることになる。

　そこで、直線状ビーム光ＬＢをスキャンし、直線状ビーム光ＬＢのＸ方向に沿った照度をシール材Ｓ上で平均化することにより、予め定めた規定積算照度に達する時間をＸ方向に沿ってシール材Ｓ上で均一化させるようにしている。

　従って、シール材Ｓの全ての位置に対して規定積算照度の紫外線を与えるために、最小（ボトム）の照度で照射されるシール材３上の位置を基準にして照射時間を設定する必要がない。このため、照射時間（予め定めた照射時間）を短くすることができる。さらには、Ｘ方向に沿って均一化された照度でシール材３に紫外線を照射することができる。尚、本実施形態では、照射時間が予め定めた照射時間に達すると、予め定めた規定積算照度の紫外線が、Ｘ方向に沿ってシール材Ｓの全ての位置に照射されるものとなる。

　従って、照射時間が予め定めた照射時間に達すると（ステップＳ－３でＹＥＳ）、シール材Ｓが硬化されて下基板Ｗ１と上基板Ｗ２が貼合わせられる。すると、制御装置５０は、紫外線発光ダイオード駆動回路５１を介して全紫外線発光ダイオードＬＥＤを消灯させる（ステップＳ２－５）。

　全紫外線発光ダイオードＬＥＤを消灯させると、制御装置５０は、全ての直線状のシール材Ｓに紫外線を照射したかどうか判断する（ステップＳ２－６）。全て照射していない場合には（ステップＳ２－６でＮＯ）、制御装置５０は、紫外線照射ユニット３を液晶ディスプレイパネルＰの次の新たな直線状のシール材Ｓに対峙する上方位置に配置させた後（ステップＳ２－７）、ステップ２－２に戻り、前記と同様な処理を行う。

　全ての直線状のシール材Ｓに直線状ビーム光ＬＢを照射すると（ステップＳ２－６でＹＥＳ）、制御装置５０は、ガントリ本体２ａをホームポジションに移動させた後（ステップＳ２－８）、１つの液晶ディスプレイパネルＰの紫外線照射を終了する。そして、次の新たな液晶ディスプレイパネルＰの紫外線照射を待つ。

　（検査）
　紫外線照射ユニット３は、長時間使用することによって、各紫外線発光ダイオードＬＥＤの特性（発光能力）が変化する場合があり、それによって照度が低下する紫外線発光ダイオードＬＥＤも出現し、一様な直線状ビーム光ＬＢを得ることができなくなる虞がある。そこで、定期的に各紫外線発光ダイオードＬＥＤの照度検査を行っている。

　以下、その検査方法について説明する。
　まず、制御装置５０は、紫外線照射ユニット３の中心位置Ｐｕｏが検出窓１１の中心位置Ｐｗｏと一致するまで、ガントリ本体２ａを移動させる。

　次に、制御装置５０は、紫外線発光ダイオード駆動回路５１を介して紫外線照射ユニット３の全紫外線発光ダイオードＬＥＤを発光させ、直線状ビーム光ＬＢを、検出窓１１に向けて出射させる。

　続いて、制御装置５０は、照度センサ１５をガイドレール１３に沿って往動させ、検出窓１１を介して照度センサ１５の入射孔１５ａに入射する直線状ビーム光ＬＢの照度を、入射孔１５ａの移動軌跡上で検出する。そして、制御装置５０は、キャリッジ位置検出センサ６２からの検出信号と照度センサ１５からの照度検出信号とに基づいて、直線状ビーム光ＬＢの幅方向の中心位置、すなわち、Ｘ方向に配置された各紫外線ダイオードＬＥＤの照度を求める。こうして、制御装置５０は、照度が低下している紫外線発光ダイオードＬＥＤを判別する。

　そして、制御装置５０は、照度が低下した紫外線発光ダイオードＬＥＤの中で、交換が必要なものがあるかどうかを判断する。ここで、交換の必要が無い場合、制御装置５０は、照度が低下した紫外線発光ダイオードＬＥＤを規定の照度に戻すには、どれだけの駆動電圧を加えたらよいかを演算する。そして、制御装置５０は、求めた駆動電圧を、紫外線発光ダイオード駆動回路５１を介して、対応する紫外線発光ダイオードＬＥＤに供給することで、全ての紫外線発光ダイオードＬＥＤが同じ照度の紫外線を出射するようにする。

　これによって、常時、一様な照度の直線状ビーム光ＬＢを、シール材Ｓに照射し続けることができる。
　また、検査結果で、交換が必要な紫外線発光ダイオードＬＥＤがあったときには、制御装置は、交換の必要性を、交換する紫外線発光ダイオードＬＥＤとその紫外線発光ダイオードＬＥＤが設けられている照射モジュール３２（回路基板３３）を指定して報知する。制御装置５０は、本発明の発光能力判定装置の一例である。

　次に、本実施形態の紫外線照射装置１の利点を以下に記載する。
　（１）紫外線照射装置１は、直線状ビーム光ＬＢをＸ方向にのびる直線状のシール材Ｓに対峙させた状態で、紫外線照射ユニット３をガントリ本体２ａ（および液晶ディスプレイパネルＰ）に対して、所定距離でＸ方向に沿って往復移動させる。その結果、従来技術に比べ、Ｘ方向に沿った直線状ビーム光ＬＢの照度ムラを少なくして、シール材Ｓに照射される積算照度の一様性を向上することができる。

　（２）紫外線照射ユニット３は、ガントリ本体２ａ（および液晶ディスプレイパネルＰ）に対して、各紫外線発光ダイオードＬＥＤの配置間隔Ｐｄの２分の１の距離でＸ方向に沿って往復移動する。従って、直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦは、液晶ディスプレイパネルＰのシール材Ｓ上を配置間隔Ｐｄの２分の１の距離でＸ方向に往復移動する。

　従って、Ｘ方向に配置間隔Ｐｄで照度ムラを有する直線状ビーム光ＬＢの積算照度を、シール材ＳのＸ方向に沿って、より平均化することができる。
　その結果、シール材Ｓの各位置を均一に硬化できるとともに、シール材Ｓの各位置に規定積算照度を与えるために、照射時間を、最小の照度が照射される位置を基準にすることがなくなり、直線状ビーム光ＬＢの照射時間を短くでき、生産効率の向上を図ることができる。

　（３）紫外線照射ユニット３のＸ方向の往復移動を、紫外線発光ダイオードＬＥＤの配置間隔Ｐｄの２分の１の距離とし、その移動距離を極力小さくすることで、ガントリ本体２ａを小型化することができる。

　（４）液晶ディスプレイパネルＰを載置するステージＳＴには、Ｘ方向に沿って延びる検出窓１１が貫通形成されている。更に、ステージＳＴの下側において検出窓１１と対向する位置には、検出窓１１に沿って往復移動する照度センサ１５を有する照度検出装置１２が設けられている。硬化工程の開始前において、紫外線照射装置１は、直線状ビーム光ＬＢをＹ方向に沿って偏倚させ、その度に照度センサ１５をＸ方向に沿って往復移動させることで、検出窓１１に向かって照射される直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの照度値を検出する。そして、光照射面ＳＦの照度値から直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの中心位置Ｐｏを求め、その光照射面ＳＦの中心位置Ｐｏを、紫外線照射ユニット３の新たな中心位置Ｐｕｏとして設定する。

　従って、紫外線照射ユニット３から出射される直線状ビーム光ＬＢにおいて最も照度が高くなる中心位置Ｐｏが、紫外線照射ユニット３の新たな中心位置Ｐｕｏとして設定される。この設定は、目視によって行わないため、高精度で行われる。従って、紫外線照射ユニット３から出射される直線状ビーム光ＬＢの最も照度が高い中心位置Ｐｏを、常に精度良くシール材Ｓに照射することができる。

　（５）Ｘ方向に移動する照度センサ１５を有する照度検出装置１２が、ステージＳＴの下側に設けられている。従って、シール材Ｓへの直線状ビーム光ＬＢの照射の際に邪魔にならず、照度検出装置１２を備えることによる装置全体の大型化を防止できる。

　（６）紫外線照射装置１は、Ｘ方向に延びる直線状ビーム光ＬＢの中心位置Ｐｏの照度から、Ｘ方向に配列された各紫外線発光ダイオードＬＥＤの発光能力を判定する。従って、各紫外線発光ダイオードＬＥＤの照度を一様にしたり、各紫外線発光ダイオードＬＥＤについての寿命の有無の判断を行うことができる。

　尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
　・上記実施形態では、紫外線照射ユニット３を、各紫外線発光ダイオードＬＥＤの配置間隔Ｐｄの２分の１の距離でＸ方向に沿って往復移動させたが、この移動距離は配置間隔Ｐｄの２分の１に限定されない。本発明の「直線状ビーム光の光照射面か基板を一方向に沿って相対移動させる」という特徴は、従来技術にはない特徴である。例えば、移動距離が配置間隔Ｐｄの３分の１でも、直線状ビーム光ＬＢの照度ムラが従来技術に比べて低減される。好ましくは、移動距離は、配置間隔Ｐｄの２分の１である。あるいは、移動距離は、配置間隔Ｐｄの２分の１を超える距離でもよい。この場合、配置間隔Ｐｄの２分の１の距離の整数（２以上の整数）倍で紫外線照射ユニット３を往復移動させると、シール材ＳのＸ方向における積算照度の一様性を、より向上させることができる。

　・上記実施形態では、シール材ＳのＸ方向の積算照度を平均化させために、紫外線照射ユニット３をＸ方向に沿って２回往復移動させた。これを、１回又は３回以上、紫外線照射ユニット３をＸ方向に沿って往復移動させてもよい。

　・上記実施形態では、シール材ＳのＸ方向の積算照度を平均化させるために、紫外線照射ユニット３をＸ方向に沿って往復移動させた。これを、往復移動ではなく、紫外線照射ユニット３を往動又は復動のいずれか一方に移動させてもよい。この場合、予め定めた照射時間に、配置間隔Ｐｄの２分の１の距離の整数倍の距離で往動又は復動させると、シール材ＳのＸ方向の積算照度を、より平均化させることができる。

　・上記実施形態では、第２移動装置のユニットモータＭ３にてボールネジを正逆回転させることにより、紫外線照射ユニット３をＸ方向に沿って往復移動させた。これに代えて、ユニットモータＭ３にて偏心カムを回転させ、該モータＭ３にて回転される偏心カムにより、紫外線照射ユニット３を往復移動させてもよい。

　・上記実施形態では、紫外線照射ユニット３を、ガントリ本体２ａに対して、Ｘ方向に沿って往復移動させた。これに代えて、紫外線照射ユニット３をガントリ本体２ａに固定し、そのガントリ本体２ａを、ステージＳＴ（液晶ディスプレイパネルＰ）に対して、Ｘ方向に往復移動させてもよい。或いは、紫外線照射ユニット３をＸ方向に沿って移動不能にし、ステージＳＴをＸ方向に沿って移動可能にしてもよい。この場合、例えば基板移動装置９が、紫外線照射ユニット３に対してパネルＰ（ステージＳＴ）を相対移動させる第２移動装置として機能する。

　・上記実施形態では、照度センサ１５をＸ方向に沿って移動させて直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの照度を検出するときに、直線状ビーム光ＬＢの幅の１０分の１の間隔で紫外線照射ユニット３をＹ方向に沿って移動させた。しかしながら、紫外線照射ユニット３をＹ方向に沿って移動させる間隔は、直線状ビーム光ＬＢの幅の１０分の１の間隔に限定されるものではなく、適宜変更してもよい。

　・上記実施形態では、直線状ビーム光ＬＢの光照射面ＳＦの照度を照度センサ１５により検出する際に、ガントリ本体２ａをＹ方向に沿って微動させた。これに代えて、ステージＳＴの下側に設けた照度検出装置１２を、Ｙ方向に沿って微動させてもよい。

　・上記実施形態では、２個のガントリ本体２ａ（２個の紫外線照射ユニット３）を設けたが、その数を適宜変更してもよい。
　・上記実施形態では、各紫外線照射ユニット３に１２個の照射モジュール３２を配置したが、その数を適宜変更してもよい。

　・上記実施形態では、各照射モジュール３２の回路基板３３に８個の紫外線発光ダイオードＬＥＤを実装したが、その数を適宜変更してもよい。
　・上記実施形態では、光照射装置として紫外線照射装置に具体化したが、紫外線を照射する紫外線発光ダイオードＬＥＤに替えて、可視光を出射する発光ダイオードを用いた光照射装置に応用してもよい。

　・上記実施形態では、下基板Ｗ１と上基板Ｗ２を貼り合わせるための紫外線硬化樹脂よりなるシール材Ｓを硬化する紫外線照射装置１に具体化したが、それ以外の基板を処理するための光照射装置に応用してもよい。

Claims

　一方向に沿って配列された複数の光学素子を含む光照射装置から直線状ビーム光を照射する方法であって、
　前記複数の光学素子の各々から長楕円形状の照射領域を有する光を照射してその各照射領域を重ねることにより、前記一方向に沿って延びる光照射面を有する前記直線状ビーム光を生成すること、
　基板に形成された直線状の光硬化性樹脂に対して、前記直線状ビーム光の前記光照射面を前記一方向に沿って対峙させること、
　前記直線状ビーム光を前記直線状の光硬化性樹脂に照射すること、
　前記直線状ビーム光を前記直線状の光硬化性樹脂に照射する間、前記直線状ビーム光の前記光照射面と前記基板とのうちの一方を前記一方向に沿って相対移動させること、
を備える方法。
　請求項１に記載の方法において、
　前記相対移動させることは、前記複数の光学素子の配置間隔の２分の１以上の距離で、前記直線状ビーム光の前記光照射面と前記基板とのうちの一方を前記一方向に沿って相対移動させることを含む、方法。
　光照射装置であって、
　直線状の光硬化性樹脂が形成された基板を載置するステージと、
　一方向に沿って配列された複数の光学素子を含み、該複数の光学素子の各々から長楕円形状の照射領域を有する光を照射してその各照射領域を重ねることにより、前記一方向に沿って延びる光照射面を有する直線状ビーム光を生成する光照射ユニットと、
　前記光照射ユニットの各光学素子を駆動する光学素子駆動装置と、
　前記光照射ユニットを前記一方向と直交する方向に沿って移動させる第１移動装置と、
　前記光照射ユニットまたは前記ステージ上の前記基板を前記一方向に沿って移動させる第２移動装置と、
　前記第１移動装置を制御して、前記直線状の光硬化性樹脂に対して前記直線状ビーム光の前記光照射面を前記一方向に沿って対峙させるとともに、前記光学素子駆動装置および前記第２移動装置を制御して、前記直線状ビーム光の前記光照射面と前記基板とのうちの一方を前記一方向に沿って相対移動させながら前記直線状ビーム光を前記直線状の光硬化性樹脂に照射させる制御装置と、
を備える光照射装置。
　請求項３に記載の光照射装置において、
　前記第２移動装置は、前記ステージ上に載置された前記基板に対して、前記光照射ユニットを前記一方向に沿って相対移動させる、光照射装置。
　請求項３に記載の光照射装置において、
　前記第２移動装置は、前記複数の光学素子の配置間隔の２分の１以上の距離で、前記光照射ユニットと前記ステージ上の前記基板とのうちの一方を前記一方向に沿って相対移動させる、光照射装置。
　請求項３に記載の光照射装置は更に、
　前記直線状ビーム光の照度を検出する照度センサと、
　前記照度センサを前記一方向に沿って移動させる第３移動装置と、
を備え、
　前記制御装置は、前記第１移動装置を制御して、前記光照射ユニットを前記照度センサの直上位置に配置するとともに、前記光学素子駆動装置、前記照度センサ、および前記第３移動装置を制御して、前記照度センサを移動させながら前記直線状ビーム光の前記光照射面における照度を検出する、光照射装置。
　請求項６に記載の光照射装置は更に、
　前記直線状ビーム光を透過させるように前記一方向に沿って前記ステージ内に形成された検出窓と、
　前記ステージの下側に前記検出窓に対向するように配置され、前記検出窓に沿って前記照度センサの移動を案内する案内部材と、を備え、
　前記照度センサは、前記案内部材に沿って移動する間に、前記検出窓を介して入射する前記直線状ビーム光の前記光照射面における照度を検出する、光照射装置。
　請求項６に記載の光照射装置は更に、
　前記照度センサにより検出された前記直線状ビーム光の光照射面の照度に基づいて前記直線状ビーム光の線幅方向における中心位置を判定し、該直線状ビーム光の中心位置を前記一方向と直交する方向における前記光照射ユニットの中心位置として設定する中心位置設定装置を備える、光照射装置。
　請求項８に記載の光照射装置は更に、
　前記直線状ビーム光の前記中心位置を通過するライン上で前記照度センサを前記一方向に沿って移動させて、前記直線状ビーム光の前記中心位置の照度を判定し、該判定された照度に基づいて、前記複数の光学素子の発光能力を判定する発光能力判定装置を備える、光照射装置。
　請求項３に記載の光照射装置において、
　前記光照射ユニットは、前記一方向に列設された複数の回路基板を含み、前記複数の光学素子は、前記複数の回路基板に前記一方向に沿って直線状に実装されている、光照射装置。
　請求項３に記載の光照射装置において、
　前記光照射ユニットは、
　前記複数の光学素子の一つから出射された光を各々受け取る複数の半球レンズと、
　前記複数の半球レンズから出射された光を受け取るシリンドリカルレンズと、
を含む、光照射装置。
　請求項３～１１に記載の光照射装置において、
　前記複数の光学素子は、紫外線発光ダイオードであり、前記光硬化性樹脂は、紫外線硬化性樹脂である、光照射装置。