JP2016099506A

JP2016099506A - 光照射装置及び光センサ

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Publication number: JP2016099506A
Application number: JP2014236622A
Authority: JP
Inventors: 純藤岡; Jun Fujioka; 弘喜日野; Hiroyoshi Hino; 亮彦田内; Akihiko Tauchi
Original assignee: Toshiba Lighting and Technology Corp
Current assignee: Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority date: 2014-11-21
Filing date: 2014-11-21
Publication date: 2016-05-30
Anticipated expiration: 2034-11-21
Also published as: JP6394317B2

Abstract

【課題】可視領域の光を検出する光照射装置及び光センサを提供する。【解決手段】実施形態の光照射装置１は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する光源１２と、光センサ３０とを具備する。光センサ３０は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む受光部３１と、受光部３１から導光される光を検出する検出部３３とを具備する。また、光センサ３０は、光源１２からの光が照射される位置に設けられる。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、光照射装置及び光センサに関する。

従来、紫外線による光反応や硬化に使用される光照射装置である紫外線照射装置に関し、紫外線を検出する光センサとして、ケース内に電気回路や紫外線を受光する受光素子を内蔵したものが提供されている。このような光センサにおいては、受光素子の熱が電気回路に影響を与えることや、小型化が難しいこと等の課題があった。そのため、上述の課題を解決するための光センサが提供されている。

ところで、近年、可視光により光反応や硬化を行う光照射装置が提供されており、可視領域の光を検出するニーズが増加している。

特開２００１−２１５１５３号公報特開平１０−１６７７５５号公報

しかしながら、上述のような光センサは紫外線のみを検出し、可視領域の光により光反応や硬化を行う場合には対応できないといった課題がある。

本発明は、可視領域の光を検出する光照射装置及び光センサを提供することを目的とする。

本実施形態の光照射装置は、光源と、光センサとを具備する。光源は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する。光センサは、受光部と、検出部とを具備する。受光部は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む。検出部は、受光部から導光される第２の光を検出する。光センサは、光源からの光が照射される位置に設けられる。また、本実施形態の光照射装置は、液晶パネル製造に用いられる。

本発明によれば、可視領域の光を検出する光照射装置及び光センサを提供することができる。

図１は、実施形態に係る光照射装置の概略構成を示す図である。図２は、実施形態に係る蛍光体の分光感度特性を示す図である。図３は、実施形態に係る蛍光体の蛍光スペクトルを示す図である。図４は、実施形態に係る光源から放射された光のフィルタ透過後の分光分布を示す図である。図５は、実施形態に係る光センサの測定値と照度計の測定値との相関を示す図である。図６は、実施形態に係る光照射装置のフィードバック制御のフローチャートである。図７は、従来例に係る蛍光体の分光感度特性を示す図である。図８は、従来例に係る蛍光体の蛍光スペクトルを示す図である。図９は、実施形態の変形例に係る光照射装置の概略構成を示す図である。

以下で説明する実施形態に係る光照射装置１、及び変形例に係る光照射装置２は、光源１２と、光センサ３０とを具備する。光源１２は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する。光センサ３０は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む受光部３１と、受光部３１から導光される第２の光を検出する検出部３３とを具備する。光センサ３０は、光源１２からの光が照射される位置に設けられる。光照射装置１は、液晶パネル製造に用いられる。

また、以下で説明する実施形態に係る光照射装置１、及び変形例に係る光照射装置２は、光センサ３０の測定値が所定の値になるように、光源１２に供給される電力を制御する制御部４０をさらに具備する。

また、以下で説明する実施形態に係る光照射装置１、及び変形例に係る光照射装置２は、光センサ３０と光源１２とが挟む位置に配置され紫外線を遮断するフィルタ２０をさらに具備する。

また、以下で説明する実施形態に係る光照射装置１、及び変形例に係る光照射装置２における、蛍光体の厚みは、０．５〜２．０ｍｍである。

また、以下で説明する変形例に係る光照射装置２は、光センサ３０から分岐して、受光部３１から導光された第２の光を検知する光検知部３５をさらに具備する。

また、以下で説明する実施形態及び変形例に係る光センサ３０は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む受光部３１と、受光部３１から導光される第２の光を検出する検出部３３とを具備する。

［実施形態］
まず、本発明の実施形態に係る光照射装置１を図面に基いて説明する。図１は、実施形態に係る光照射装置１の概略構成を示す図である。

本実施形態に係る光照射装置１は、例えば液晶パネルなどの被照射物５０に可視領域の光を照射する。具体的には、光照射装置１は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を被照射物５０に照射する光照射装置である。図１に示すように、光照射装置１は、照明器具１０と、フィルタ２０と、光センサ３０と、制御部４０とを有する。

照明器具１０は、器具本体１１と、光源１２とを有する。照明器具１０に対して、照明器具１０から光が照射される位置に被照射物５０が配置される。図１に示す例において、被照射物５０は、照明器具１０の下方に配置される。器具本体１１には、光源１２が取り付けられる。また、器具本体１１は、例えば、光源１２を点灯させる点灯装置（図示省略）を収納する。

光源１２は、器具本体１１に収納された点灯装置から供給される電力により点灯し、可視領域の光を放射する。図１に示す例において、光源１２は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する。例えば、光源１２には、波長４００〜４２０ｎｍを主波長とするガリウムを主成分としたメタルハライドランプが用いられる。なお、光源１２は、ガリウムを主成分としたメタルハライドランプに限定されない。例えば、水銀を含む水銀ランプであってもよいし、ガリウムの代わりに鉄やタリウムを主成分としたメタルハライドランプであってもよい。要は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの可視領域の第１の光を放射する光源であれば、蛍光ランプやＬＥＤ（ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）等、どのような光源であってもよい。

フィルタ２０は、紫外線を遮断する。例えば、フィルタ２０は、波長３８０ｎｍ以下の光を遮断する。なお、フィルタ２０は、紫外線を反射する材料、例えば、酸化ケイ素や酸化チタンなどを含有してもよい。図１に示す例において、フィルタ２０は、照明器具１０と被照射物５０との間に配置される。具体的には、フィルタ２０は、光源１２から被照射物５０へ照射される光が通過する位置に配置される。これにより、光照射装置１は、被照射物５０へ紫外線が照射されることを抑制できる。例えば、被照射物５０が液晶パネルである場合、波長３８０ｎｍ以下の光が液晶パネルに照射されると配向膜が劣化するおそれがあるが、フィルタ２０が波長３８０ｎｍ以下の光を遮断することにより、液晶パネルの酸化膜の劣化を抑制することができる。なお、フィルタ２０は、酸化ケイ素や酸化チタンなどの紫外線を反射する材料に限定されず、紫外線を吸収する材料で構成されてもよい。

光センサ３０は、受光部３１と、ファイバ３２と、検出部３３と、アンプ３４とを有する。

受光部３１は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む。具体的には、受光部３１は、棒状に形成された透光性部材３１１と、透光性部材３１１の外表面に設けられた蛍光部材３１２とを有する。透光性部材３１１には、例えば、透明石英ガラスが用いられる。図１に示す例においては、石英ガラスで形成された透光性部材３１１の周りに、蛍光体とシリコーン樹脂を含む蛍光部材３１２が、厚み０．５〜２ｍｍで固めて取り付けられる。

蛍光部材３１２は、透光性部材３１１の長手方向の一端部を含む外表面を覆うように設けられる。また、蛍光部材３１２は、例えば波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体とシリコーン樹脂とが混合され、成型されることにより形成される。蛍光体としては、例えば、ユーロピウム付活アルカリ土類金属シリケート（（Ｓｒ，Ｂａ）_２ＳｉＯ_４：Ｅｕ）やユーロピウム付活ストロンチウム・バリウム・オルソシリケート（(Ｓｒ，Ｂａ，Ｍｇ)_２ＳｉＯ_４：Ｅｕ，Ｍｎ）等を主成分とした蛍光体が用いられる。なお、蛍光体としては、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体であれば、どのような蛍光体であってもよい。また、シリコーン樹脂としては、シリコーン混合物などが用いられる。図１に示す例において、シリコーン樹脂には、例えば信越シリコーン製KER-2000や信越シリコーン製CAT-MEが用いられる。

ここで、蛍光部材３１２の厚みは０．５〜２ｍｍであることが望ましい。蛍光部材３１２の厚みが０．５ｍｍ未満であると、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体が波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を効率よく波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させることができず、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光が直接アンプ３３に到達してしまい、アンプ３３が劣化するため、望ましくない。一方、蛍光部材３１２の厚みが２ｍｍよりも大きくなると、透光性部材３１１の外表面に蛍光部材３１２を設ける際に蛍光部材３１２を固める工程で時間がかかってしまうため、好ましくない。また、蛍光部材３１２の厚みが２ｍｍよりも大きくなると、蛍光部材３１２の厚みが増すことで、蛍光部材３１２により変換された波長５００〜６００ｎｍの第２の光が蛍光体自身により減衰してしまい、アンプ３３に到達するまでに所望の光強度を維持できなくなるため、好ましくない。よって、蛍光部材３１２の厚みは０．５〜２ｍｍであることが望ましい。

受光部３１の透光性部材３１１において、蛍光部材３１２に覆われた一端部とは反対側の他端部には、細長い線状のファイバ３２の一端部が接続される。例えば、受光部３１の透光性部材３１１とファイバ３２とは、ヘッドユニット（図示省略）を介して接続される。ファイバ３２は、受光部３１により変換された波長５００〜６００ｎｍの第２の光を検出部３３へ導光する。ファイバ３２は、光透過率が高い材料、例えば、石英ガラスやプラスチック等で形成される。また、ファイバ３２の受光部３１と接続された一端部とは反対側の他端部は、検出部３３に接続される。ここに、受光部３１により受光された光源１２からの光は、蛍光部材３１２により波長変換された後、透光性部材３１１に接続されたファイバ３２へ入射する。ファイバ３２へ入射した光は、ファイバ３２内を通り、検出部３３まで到達する。なお、ファイバ３２は、光透過率が高い材料であれば、どのような材料を用いてもよい。

検出部３３は、受光部３１により受光された光を検出する。具体的には、検出部３３は、受光部３１により受光され、ファイバ３２を介して到達した光を検出する。検出部３３には、例えば、フォトダイオードなどの受光素子が用いられる。なお、図１に示す例において、検出部３３の感度波長は、例えば５５０ｎｍ周辺である。また、検出部３３には、ピーク感度が５００〜６００ｎｍ付近である受光素子を用いることが好ましい。これにより、検出部３３のピーク感度には、人間の比視感度曲線において最も感度よく光を感じる波長である５５０ｎｍが含まれる。このように、検出部３３のピーク感度を波長５５０ｎｍから±５０ｎｍ程度、具体的には５００〜６００ｎｍ付近とすることにより、人間の目で光の強弱を判断することができる。これにより、光フィードバック系に不具合が生じて光量が判定できない場合であっても、例えば人間の目で光の強弱と光センサ３０の測定値とを比較することにより、光フィードバック系の不具合が光センサ３０によるものか否かを判別することができる。具体的には、光センサ３０のファイバ３２の他端部を検出部３３から取り外し、ファイバ３２の他端部を直接目視することにより、光フィードバック系の不具合が光センサ３０によるものか否かを判別することができる。なお、検出部３３に波長が３８０ｎｍ以下の紫外線が到達しないように、検出部３３の前に紫外線をカットする紫外線カットフィルタを有していてもよい。

また、図１に示す例において、検出部３３は、アンプ３４内に設けられる。アンプ３４は、検出部３３で検出した光の測定値を増幅する。また、アンプ３４は、増幅した測定値を制御部４０へ送信する。

また、光センサ３０は、光源１２からの光が照射される位置に設けられる。具体的には、光センサ３０は、受光部３１に光源１２からの光が照射されるように配置される。図１に示す例において、光センサ３０の受光部３１は、フィルタ２０と被照射物５０との間に設置される。なお、光センサ３０は、光源１２からの光が受光部３１に照射される位置であればどのように配置されてもよい。例えば、図１に示す例において、光センサ３０の受光部３１は、光源１２の上方や側方に配置されてもよい。

図１に示すように、光センサ３０の受光部３１と光源１２との間には、フィルタ２０が配置されることが好適である。言い換えると、フィルタ２０は、光センサ３０と光源１２とが挟む位置に配置されることが好適である。具体的には、光源１２から放射されフィルタ２０を透過した光が、受光部３１の蛍光部材３１２に照射されるように、光センサ３０の受光部３１、光源１２、及びフィルタ２０を配置することが好適である。このように、光センサ３０の受光部３１、光源１２、及びフィルタ２０を配置することにより、波長３８０ｎｍ以下の光が受光部３１へ照射されることを抑制できる。これにより、波長３８０ｎｍ以下の光による受光部３１の劣化や光センサ３０の測定値に与える影響を抑制できる。

ここで、図２〜図４を用いて、光照射装置１に係る光の波長について説明する。図２は、受光部３１の蛍光部材３１２に含まれる蛍光体の分光感度特性を示す図である。図２に示すように、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体は、波長２５０〜５００ｎｍ付近が励起波長であり、波長４００〜４７０ｎｍ付近に感度のピークを有している。

また、図３は、受光部３１の蛍光部材３１２に含まれる蛍光体により励起された光の蛍光スペクトルを示す図である。図３に示すように、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体は、波長５００〜７００ｎｍ付近の光を放射し、波長５００〜６００ｎｍ付近に高い強度を有する蛍光スペクトルを示す。つまり、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体は、波長４００〜４７０ｎｍ付近に高い感度を有し、波長２５０〜５００ｎｍ付近の光を波長５００〜７００ｎｍ付近の光に変換する。図１に示す例において、蛍光部材３１２に含まれる蛍光体は、光源１２から放射されフィルタ２０を透過した波長３８０〜５００ｎｍの光を、波長５００〜６００ｎｍを主波長とする波長５００〜７００ｎｍ付近の光に変換する。

また、図４は、光源１２から放射された光のフィルタ２０透過後の分光分布を示す図である。図４に示すように、光源１２に例えば波長４００〜４２０ｎｍを主波長とするガリウムを主成分としたメタルハライドランプを用いた場合、光源１２から放射されフィルタ２０を透過した光は、波長４００〜４５０ｎｍ付近の光であり、波長４２０ｎｍ付近で最も高い強度を有する。また、３８０ｎｍ以下の光は、フィルタ２０により遮断されるため、強度は略０となる。

ここに、光照射装置１において、図４に示すような波長４００〜４５０ｎｍ付近の光が、図２に示すような波長４００〜４７０ｎｍ付近に感度のピークを有する蛍光体に照射されることにより、図３に示すような波長５００〜７００ｎｍの光に変換される。つまり、光照射装置１は、波長４００〜４５０ｎｍ付近の可視光を、波長５００〜７００ｎｍの可視光に変換することにより、受光部３１により受光された光を感度波長が５５０ｎｍ周辺の受光素子である検出部３３を用いて検出する。これにより、光照射装置１は、可視領域の光を検出することができる。

ここで、図７及び図８を用いて、従来の光照射装置に係る光の波長について説明する。図７は、従来の光センサで用いられていた蛍光体の分光感度特性を示す図である。図７に示すように、従来の光センサで用いられていた蛍光体は、波長２５０〜３８０ｎｍが励起波長であり、波長２５０〜３２０ｎｍ付近に感度のピークを有している。また、図８は、従来の光センサで用いられていた蛍光体の蛍光スペクトルを示す図である。図８に示すように、従来の光センサで用いられていた蛍光体は、波長４８０〜６３０ｎｍ付近の光を放射し、波長５５０ｎｍ付近に最も高い強度を有する蛍光スペクトルを示す。つまり、従来の光センサで用いられていた蛍光体では、波長２５０〜３８０ｎｍの光であれば波長４８０〜６３０ｎｍ付近の光に変換する。一方で、従来の光センサで用いられていた蛍光体では、３８０ｎｍよりも長い波長の光、すなわち可視領域の光は、波長４８０〜６３０ｎｍ付近の光に変換することができない。したがって、可視領域の光を放射する光源を用いた場合、従来の光センサでは正しく測定することはできない。このように、従来の光センサを用いた光照射装置では、光源から放射される光が可視領域の光である場合、光源から放射される光を正しく測定することはできない。

図１の光照射装置１の説明に戻って、制御部４０は、光センサ３０の測定値が所定の値になるように、光源１２に供給される電力を制御する。例えば、制御部４０は、光センサ３０の検出部３３が検出しアンプ３４により増幅された測定値に基づいて、光源１２に供給される電力を制御する。光照射装置１は、制御部４０により光源１２に供給される電力を制御することにより、光源１２から被照射物５０へ照射される光を所望の強さに制御する。つまり、光照射装置１は、光センサ３０による測定値に基づいて、被照射物５０における照度が所望の値になるようにフィードバック制御を行う。

例えば、制御部４０は、アンプ３４から取得した値に基づいて、光センサ３０により測定される光量が所定の値（以下、「規定値」とする）と一致するように光源１２を調光制御する。具体的には、制御部４０は、照明器具１０に送信する調光信号が示す光源１２の調光レベルを、アンプ３４から取得した値に基づいて、光センサ３０により測定される光量が規定値と一致する調光レベルに設定する。例えば、器具本体１１に収納された点灯装置は、光源１２の調光レベルが、受信した調光信号が示す調光レベルとなるように光源１２を調光することで、光センサ３０により測定される光量が規定値と一致するようにフィードバック制御される。なお、規定値はどのような値に設定されてもよい。

ここで、図５を用いて、光センサ３０による測定値に基づいて、被照射物５０における照度を所望の値にするフィードバック制御について説明する。図５は、光センサ３０の測定値と照度計の測定値との相関を示す図である。本実施形態では、測定を行う際に被照射物５０の光源１２に臨む一面に照度計を配置し、被照射物５０の光源１２に臨む一面における照度を測定した。なお、照度計は、測定を行う際にのみ被照射物５０の光源１２に臨む一面に配置され、例えば測定が終了した後に光照射装置１の使用する際等には配置されない。また、本実施形態における照度計としては、紫外線積算光量計ＵＩＴ−２５０（ウシオ電機製）と紫外線積算光量計用受光器ＵＶＤ−Ｓ４０５（ウシオ電機製）とを用いた。

図５に示すように、光センサ３０の測定値と照度計の測定値とには相関があるという結果が得られた。図５は、所定の電力、例えば最大供給電力の５０％が供給された光源１２から放射された光を光センサ３０及び照度計が測定した値（以下、「基準値」とする）を１００％とした場合を示す。また、図５は、光源１２に供給する電力を所定の電力から低下させた場合における光センサ３０及び照度計が測定した値の基準値に対する割合（％）を示す。例えば、照度計の測定値が６０％まで低下したとき、光センサ３０の測定値は５８％程度まで低下することを示す。このような、相関を示す光センサ３０の測定値と照度計の測定値とは、光センサ３０の測定値の割合をｙ軸、照度計の測定値の割合をｘ軸とした場合、以下の式（１）のような回帰式として示される。

ｙ＝１．０５１８ｘ−４．９４３・・・（１）

また、図５に示す例において、相関係数Ｒを２乗したＲ^２（いわゆる、決定係数）の値は、０．９９９７となるという結果が得られた。つまり、図５に示す例においては、光センサ３０の測定値と照度計の測定値とには、強い相関があることが示された。そのため、制御部４０は、上記の式（１）に基づいて、光源１２へ供給する電力を制御することにより、被照射物５０へ照射される光の照度を制御する。例えば、制御部４０は、被照射物５０の照度を６０％まで低下させる場合、光センサ３０の測定値の基準値に対する割合が５８．１６５（＝１．０５１８×６０−４．９４３）％に低下するまで光源１２に供給する電力を低下させる。これにより、光照射装置１は、光センサ３０の測定値に基づいて、被照射物５０へ照射される光の照度を制御することができる。

次に、図６を用いて、光センサ３０による測定値に基づいて、被照射物５０における照度を所望の値にするフィードバック制御のフローについて説明する。図６は、光照射装置１のフィードバック制御のフローチャートである。まず、光照射装置１の光センサ３０が、光源１２から照射される光の光量を測定する（ステップｓ１）。そして、光照射装置１の制御部４０は、光センサ３０により測定された光量が、規定値に到達したかどうかを判定する（ステップｓ２）。光センサ３０により測定された光量が、規定値に到達した場合（ステップｓ２：ＹＥＳ）、光照射装置１はフィードバック制御を終了する。

光センサ３０により測定された光量が、規定値に到達していない場合（ステップｓ２：ＮＯ）、制御部４０は、例えば照明器具１０の点灯回路に調光信号を送信することにより電源を制御し、光源１２に供給する電力を増大させる（ステップｓ３）。そして、光照射装置１は、光センサ３０により測定された光量が規定値に到達するまで（ステップｓ２：ＹＥＳ）、ステップｓ１〜ｓ３を繰り返す。これにより、光照射装置１は、光源１２から被照射物５０へ照射される光を所望の強さに制御することができる。なお、光照射装置１は、光源１２に電力が供給されている間、常時フィードバック制御を行ってもよいし、所定の間隔でフィードバック制御を行ってもよい。

（変形例）
実施形態の変形例に係る光照射装置２を図面に基いて説明する。図９は、変形例に係る光照射装置２の概略構成を示す図である。なお、実施形態と同様の構成については、実施形態と同じ符号を付し、説明を省略する。

変形例に係る光照射装置２は、光検知部３５を有する。

光検知部３５は、光センサ３０から分岐して、受光部３１から導光された第２の光を検出する。なおここでいう「検出」とは、「検知」とは異なり、例えば人間の目で光の強弱を判断することを指す。光検知部３５は、例えば光フィードバック系の不具合が光センサ３０によるものか否かを判別するために設けられる。光検知部３５は、例えば、ファイバ３２の導光経路を分岐させる枝形状の分岐部材により設けられる。光検知部３５は、第２の光を透過する石英ガラスやプラスチックなどの部材で構成される。なお、光検知部３５は上記に限定されず、例えば、ファイバ３２を予め複数設けておき、その内の一つを光検知部３５として設けてもよい。要は、光検知部３５を設ける手段は限定されない。

前述した構成の実施形態に係る光照射装置１は、少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する光源１２と、光センサ３０とを有する。また、光センサ３０は、光源１２からの第１の光が照射される位置に設けられる。これにより、光照射装置１は、光源１２から放射された可視領域の光を光センサ３０により検出することができる。

前述した構成の実施形態に係る光照射装置１、及び前述した構成の変形例に係る光照射装置２は、光センサの測定値が所定の値になるように、光源１２に供給される電力を制御する制御部４０を有する。これにより、光照射装置１は、光源１２から被照射物５０へ照射される光を所望の強さに制御することができる。

前述した構成の実施形態に係る光照射装置１、及び前述した構成の変形例に係る光照射装置２は、紫外線を遮断するフィルタ２０を有する。また、フィルタ２０は、光センサ３０と光源１２とが挟む位置に配置される。これにより、光照射装置１は、紫外線による光センサ３０の劣化や光センサ３０の測定値に与える影響を抑制できる。

前述した構成の実施形態に係る光照射装置１、及び前述した構成の変形例に係る光照射装置２は、蛍光体の厚みが、０．５〜２．０ｍｍである。これにより、光照射装置１は、蛍光体の厚みにより光センサ３０の測定値に与える影響を抑制できる。

前述した構成の変形例に係る光照射装置２は、光検知部３５を有する。これにより、光照射装置１は、光フィードバック系の不具合が光センサ３０によるものか否かを判別することができる。

前述した構成の実施形態及び変形例に係る光センサ３０の受光部３１は、波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む。また、光センサ３０の検出部３３は、受光部３１から導光された第２の光を検出する。これにより、光センサ３０は、可視領域の光を検出することができる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１，２光照射装置
１０照明器具
１１器具本体
１２光源
２０フィルタ
３０光センサ
３１受光部
３１１透光性部材
３１２蛍光部材
３２ファイバ
３３検出部
３４アンプ
３５光検知部
４０制御部

Claims

少なくとも波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を放射する光源と；
波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む受光部と、前記受光部から導光される前記第２の光を検出する検出部と；を具備し、前記光源からの光が照射される位置に設けられる光センサと；
を具備する、
液晶パネル製造に用いられる光照射装置。
前記光センサの測定値が所定の値になるように、前記光源に供給される電力を制御する制御部をさらに具備する
請求項１に記載の光照射装置。
前記光センサと前記光源とが挟む位置に配置され紫外線を遮断するフィルタをさらに具備する
請求項１又は請求項２に記載の光照射装置。
前記蛍光体の厚みは、０．５〜２．０ｍｍである
請求項１〜３のいずれか一に記載の光照射装置。
前記光センサから分岐し、前記受光部から導光された前記第２の光を検知する光検知部をさらに具備する
請求項１〜４のいずれか一に記載の光照射装置。
波長３８０〜５００ｎｍの第１の光を波長５００〜６００ｎｍの第２の光に変換させる蛍光体を含む受光部と；
前記受光部から導光される前記第２の光を検出する検出部と；
を具備する光センサ。