KR20100132024A - 광조사 장치의 광조사 방법 및 광조사 장치 - Google Patents

Abstract

제1 방향(X)을 따라 배열된 복수의 광학소자(LED)를 포함하는 광조사 장치로부터 직선상 빔광(LB)을 조사하는 방법이 개시된다. 상기 방법은 각 광학소자(LED)로부터 장타원형상의 조사 영역(T)을 갖는 광을 조사하여 각 조사 영역(T)을 겹침으로써 제1 방향(X)을 따라 연장되는 광조사면(SF)을 갖는 직선상 빔광을 생성하는 단계, 기판(P)에 형성된 직선상의 광경화성 수지(S)에 대하여 직선상 빔광의 광조사면(SF)을 상기 제1 방향(X)을 따라 대치시키는 단계, 직선상 빔광을 직선상의 광경화성 수지(S)에 조사하는 단계, 및 직선상 빔광을 직선상의 광경화성 수지에 조사하는 동안 직선상 빔광의 광조사면(SF)과 기판(P) 중의 한쪽을 제1 방향(X)을 따라 상대 이동시키는 단계를 포함한다.

Description

광조사 장치의 광조사 방법 및 광조사 장치{LIGHT IRRADIATION METHOD AND APPARATUS}

본 발명은 광조사 장치의 광조사 방법 및 광조사 장치에 관한 것이다.

액정 디스플레이 패널은 박막 트랜지스터가 매트릭스 형상으로 배치 형성된 소자 기판과, 차광막 및 컬러필터 등이 형성된 대향 기판이 매우 좁은 간격으로 대향 배치된다. 그리고, 양 기판이 서로 겹쳐질 때에 이들 양 기판 사이이고 광경화성 수지를 포함하는 밀봉(seal)재로 둘러싸인 영역에 액정이 봉입된다. 계속해서, 자외선을 밀봉재에 조사하여 상기 밀봉재가 경화되어 양 기판이 접합됨으로써 액정 디스플레이 패널이 제조된다.

이 때, 밀봉재를 자외선 경화시키고 양 기판을 접착하는 장치로서 광조사 장치가 있다. 이 종류의 광조사 장치로서, 예를 들어 광원으로서 아크 방전식 메탈 할라이드 램프 등을 이용하여 접합되는 기판의 전면에 자외선을 조사하는 것이 있다(예를 들어, 특허문헌 1).

또한, 최근 직선상의 밀봉재에만 자외선을 조사하여 소비전력의 절감을 도모하는 동시에, 접합 기판의 규격의 변경 등에도 쉽고 빠르게 대응할 수 있는 자외선 발광 다이오드를 이용한 광조사 장치가 주목받고 있다. 이러한 자외선 발광 다이오드를 이용한 광조사 장치는 복수의 자외선 발광 다이오드가 한 방향으로 기 설정된 피치로 배열되어 있다. 그리고, 각 자외선 발광 다이오드의 광 출사측에는 반구 렌즈, 실린더형 렌즈 등의 광학 시스템이 배치되어 있다. 이로 인하여 각 자외선 발광 다이오드에서 출사된 광은 이들 반구 렌즈, 실린더형 렌즈 등의 광학 시스템을 통해 횡단면이 직선상으로 되는 빔광(직선상 빔광)으로 되어 직선상의 밀봉재에 조사시키는 것이다.

특허문헌 1: 일본공개특허공보 제2006-66585호

그런데 복수의 자외선 발광 다이오드의 발광에 기초하여 생성되는 직선상 빔광의 조도는 그 조사 영역의 모든 위치에서 일정한, 즉 동일한 것이 바람직하다.

그러나, 종래의 광조사 장치에서는 복수의 자외선 발광 다이오드가 한 방향으로 기 설정된 간격을 두고 배치되어 있다. 따라서, 복수의 자외선 발광 다이오드를 이용하여 형성된 직선상 빔광은 라인 방향으로 조도의 피크와 보텀이 번갈아 발생되고, 라인 방향의 모든 위치에서 일정하지 않았다.

밀봉재에는 미리 정한 규정적산조도를 조사해야 한다. 이 경우에 상기와 같이 조도 분포에 편차가 있으면 규정적산조도 이상을 밀봉재에 부여하고자 하면 조사 시간을 최소(보텀)의 조도값을 기준으로 계산해야하기 때문에 조사 시간이 길어져서 생산 효율의 저하를 초래하고 있었다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은 직선상 빔광의 조도 분포가 라인 방향으로 일정하지 않은 경우라도 조도 대상영역에 대한 직선상 빔광의 적산조도의 일정성을 향상시킬 수 있는 광조사 장치의 광조사 방법 및 광조사 장치를 제공하는데에 있다.

본 발명의 하나의 형태는, 제1 방향을 따라 배열된 복수의 광학소자를 포함하는 광조사 장치로부터 직선상 빔광을 조사하는 방법이다. 이 방법은 복수의 광학소자의 각각으로부터 장타원형상의 조사 영역을 갖는 광을 조사하여 각각의 상기 조사 영역을 겹침으로써 제1 방향을 따라 연장되는 광조사면을 갖는 직선상 빔광을 생성하는 단계, 기판에 형성된 직선상의 광경화성 수지에 대하여 직선상 빔광의 광조사면을 상기 제1 방향을 따라 대치시키는 단계, 직선상 빔광을 직선상의 광경화성 수지에 조사하는 단계, 및 직선상 빔광을 직선상의 광경화성 수지에 조사하는 동안 직선상 빔광의 상기 광조사면과 상기 기판 중의 한쪽을 상기 제1 방향을 따라 상대 이동시키는 단계를 포함한다.

본 발명의 다른 형태는 광조사 장치이다. 상기 광조사 장치는 직선상의 광경화성 수지가 형성된 기판을 탑재하는 스테이지 및 제1 방향을 따라 배열된 복수의 광학소자를 포함하고, 상기 복수의 광학 소자의 각각으로부터 장타원형상의 조사 영역을 갖는 광을 조사하여 각각의 상기 조사 영역을 겹침으로써 상기 제1 방향을 따라 연장되는 광조사면을 갖는 직선상 빔광을 생성하는 광조사 유닛, 상기 광조사 유닛의 각 광학소자를 구동하는 광학소자 구동장치, 상기 광조사 유닛을 상기 제1 방향과 직교하는 방향을 따라 이동시키는 제1 이동장치, 상기 광조사 유닛 또는 상기 스테이지 상의 상기 기판을 상기 제1 방향을 따라 이동시키는 제2 이동장치, 및 상기 제1 이동장치를 제어하여 직선상의 광경화성 수지에 대하여 직선상 빔광의 광조사면을 상기 제1 방향을 따라 대치시키는 동시에, 상기 광학소자 구동장치 및 상기 제2 이동장치를 제어하여 직선상 빔광의 광조사면과 기판 중의 한쪽을 상기 제1 방향을 따라 상대 이동시키면서 직선상 빔광을 직선상의 광경화성 수지에 조사시키는 제어장치를 구비한다.

본 발명에 의하면 직선상 빔광의 조도분포가 라인 방향으로 일정하지 않은 경우라도 조사 대상영역에 대한 직선상 빔광의 적산조도의 일정성을 향상시킬 수 있다. 이로 인하여 조사 시간을 단축할 수 있어 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다.

본 발명의 상기의 측면들 및 다른 측면들과 이점들은 수반하는 도면들과 함께 하기의 본 발명의 상세한 설명으로부터 더욱 완전히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 조사장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 조사장치의 정면도이다.
도 3은 자외선 조사장치의 스테이지를 설명하기 위한 전체 사시도이다.
도 4는 자외선 조사장치의 조도센서를 설명하기 위한 전체 사시도이다.
도 5는 조도센서의 요부 확대 사시도이다.
도 6은 자외선 조사장치의 자외선 조사유닛을 설명하기 위한 요부 단면도이다.
도 7은 조도 모듈의 배치 상태를 도시하는 도면이다.
도 8은 자외선 조사장치에서 출사되는 직선상 빔광을 설명하기 위한 모식도이다.
도 9는 직선상 빔광의 라인 방향의 조도 얼룩을 설명하기 위한 조도 분포도이다.
도 10은 직선상 빔광의 광조사면의 조도 분포를 설명하기 위한 조도 분포도이다.
도 11은 자외선 조사장치의 전기적 구성을 설명하기 위한 전기블록 회로도이다.
도 12는 직선상 빔광의 중심 위치를 구하기 위한 제어장치의 처리동작을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 13은 직선상 빔광을 밀봉재에 조사할 때의 제어장치의 처리동작을 설명하기 위한 흐름도이다.

이하, 본 발명의 광조사 장치를 기판 접합을 위한 자외선 조사장치로 구체화한 일 실시예를 도면에 따라 설명한다.

도 1에서 자외선 조사장치(1)는 2종류의 기판(W1, W2) 사이에 액정을 봉입하여 액티브 매트릭스형의 액정 디스플레이 패널(P)을 제조하는 제조 라인(도시되지 않음)에 구비되어 있다. 자외선 조사장치(1)는 액정 디스플레이 패널(P)의 제조 공정 중, 액정 디스플레이 패널(P)의 하부 기판(W1)과 상부 기판(W2) 사이에 개재된 자외선 경화수지로 이루어지는 밀봉재(S)를 경화시키는 공정에 이용된다. 자외선 조사장치(1)는 밀봉재(S)에 조사하는 자외선을 직선상 빔광(LB)의 형태로 생성하는 자외선 조사유닛(3)을 구비하고 있다. 이러한 자외선 조사유닛(3)은 갠트리(2)에 설치되어 있다. 또한 자외선 경화수지는 광경화성 수지의 일례이며, 자외선 조사유닛(3)은 본 발명의 광조사 유닛의 일례이다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 자외선 조사장치(1)는 바닥면에 설치된 베이스(5)를 갖고 있다. 베이스(5)는 사방으로 배치된 4개의 지주(5a)를 갖고, 상기 4개의 지주(5a)는 바닥면에 대하여 세워 설치되어 있다. 또한, 베이스(5)는 4개의 하부 프레임(5b)과, 2개의 중간 프레임(5c)과, 2개의 상부 프레임(좌측 상부 프레임(5d) 및 우측 상부 프레임(5e))을 갖고 있다. 4개의 하부 프레임(5b)은 각각 이웃하는 지주(5a)의 하부를 연결하고 있다. 2개의 중간 프레임(5c) 중의 한쪽은 전측(도면 중 Y방향 반대측)의 좌우 한쌍의 지주(5a)의 중간부를 연결하고 있다. 또한, 2개의 중간 프레임(5c) 중의 다른쪽은 후측(도면 중 Y방향측)의 좌우 한쌍의 지주(5a)의 중간부를 연결하고 있다. 좌측 상부 프레임(5d)은 좌측(도면 중 X방향 반대측)의 전후 한쌍의 지주(5a)의 상단부를 연결하고 있다. 우측 상부 프레임(5e)은 우측(도면 중 X방향측)의 전후 한쌍의 지주(5a)의 상단부를 연결하고 있다. 또한, 본 명세서에서는 자외선 조사장치(1)의 좌우방향을 「X방향」, 전후방향을 「Y방향」, 상하방향을 「Z방향」으로 규정한다. 여기에서 도 1의 예에서 전후방향(Y방향)이란 상부프레임(5d, 5e)의 길이방향을 말하고, 좌우방향(X방향)이란 상부프레임(5d, 5e) 사이에 걸쳐지는 갠트리(2)의 길이방향을 말한다.

베이스(5) 내에는 액정 디스플레이 패널(P)을 탑재하는 8각형의 불투명판으로 이루어지는 스테이지(ST)가 설치되어 있다. 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 스테이지(ST)의 하면(STa)은 스테이지(ST)보다 하측에 배치된 지지암(7)(도 2 참조)에 의해 지지되어 있고, 지지암(7)은 하부 프레임(5b)에 대하여 도시하지 않는 가이드가 부착된 볼나사에 의해 상하 동작이 가능한 사각틀체(6)에 설치되어 있다.

스테이지(ST)의 중앙 위치에는 도 3에 도시하는 바와 같이 관통공(8)이 형성되어 있다. 그리고, 관통공(8)에는 사각틀체(6)에 설치되는 기판 이동장치(9)(도 11 참조)에 설치된 얼라이먼트 테이블(TB)이 배치되어 있다. 얼라이먼트 테이블(TB)은 기판 이동장치(9)에 의해 스테이지(ST)에 대하여 좌우방향(X방향) 및 X방향과 직교하는 전후방향(Y방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 얼라이먼트 테이블(TB)은 기판 이동장치(9)에 의해 상기 테이블(TB)의 중심축선(L)을 회전 중심으로 하여 회전하도록 되어 있다.

기판 이동장치(9)의 얼라이먼트 테이블(TB)은 도시하지 않는 반송장치로부터 반송된 액정 디스플레이 패널(P)을 동 테이블(TB) 상에서 얼라이먼트한 후, 스테이지(ST)에 탑재한다. 또한, 기판 이동장치(9)는 스테이지(ST)에 탑재된 액정 디스플레이 패널(P)을 90도 회전시켜서 다시 스테이지(ST)에 탑재한다.

또한, 스테이지(ST)에는 복수의 가이드공(10)이 소정의 간격을 두고 형성되어 있다. 각 가이드공(10)으로부터는 사각틀체(6)보다 하측에 배치된 기판 수수장치(도시되지 않음)의 리프트 핀(도시되지 않음)이 출몰하도록 되어 있다. 즉, 각 리프트 핀이 각 가이드공(10)으로부터 돌출된 상태에서 각 리프트 핀의 선단부에 도시하지 않는 반송장치로부터 반송된 액정 디스플레이 패널(P)이 수수(授受)된다. 이 상태에서 각 리프트 핀이 각 가이드공(10)에 몰입됨으로써 액정 디스플레이 패널(P)이 얼라이먼트 테이블(TB)에 수수되어 얼라이먼트된다. 그리고, 얼라이먼트가 종료되면, 얼라이먼트 테이블(TB)이 관통공(8)에 몰입된다. 이로 인하여 액정 디스플레이 패널(P)이 얼라이먼트된 상태에서 스테이지(ST)에 탑재된다.

또한, 스테이지(ST)에서 관통공(8)의 전후 양측에는 좌우방향(X방향)을 따라 연장되는 한쌍의 검출창(11)이 관통 형성되어 있다. 또한, 도 2에 도시하는 바와 같이 스테이지(ST)의 하측에는 각 검출창(11)에 각각 대응하는 조도 검출장치(12)(도 2에서는 하나만 나타낸다)가 설치되어 있다. 조도 검출장치(12)는 각각 대응하는 검출창(11)에 대향하는 위치에 배치되어 있다.

도 4에 도시하는 바와 같이 조도 검출장치(12)는 사각틀체(6)에 지지 고정되는 동시에, 스테이지(ST)의 검출창(11)을 따라 좌우방향(X방향)으로 설치되는 가이드레일(13)을 갖고 있다. 가이드레일(13)은 본 발명의 안내부재의 일례이다. 가이드레일(13)은 캐리지(14)를 싣는 가이드면(13a)을 갖고, 이 가이드면(13a)이 검출창(11)에 대향하도록 하여 배치되어 있다. 도 5에 확대하여 도시하는 바와 같이, 캐리지(14)는 좌우방향(X방향)을 따라 가이드레일(13) 상을 왕복운동 가능하게 되어 있다.

캐리지(14)는 타이밍벨트(도시생략)를 개재하여 캐리지모터(M1)(도 11 참조)에 접속되어 있다. 캐리지(14)는 캐리지모터(M1)가 구동됨으로써 타이밍 벨트를 개재하여 가이드 레일(13) 상을 X방향을 따라 왕복 이동한다.

캐리지(14)의 상면에는 조도센서(15)가 고정 설치되어 있다. 이 조도센서(15)는 검출창(11)을 투과한 자외선을 입사공(15a)으로부터 수광하여 그 자외선의 조도를 검출한다. 보다 상세하게는 캐리지(14)가 X방향을 따라 왕복 이동할 때 조도센서(15)는 X방향을 따라 형성된 검출창(11)을 통해 직선상 빔광(LB)(도 8 참조)을 수광하고, 그 직선상 빔광(LB)의 조도를 검출한다. 또한, 조도센서(15)는 직선상 빔광(LB)의 조도를 X방향을 따라 복수의 위치에서 이산적으로 검출해도 되고, 또는 X방향을 따라 연속적으로 검출해도 된다.

또한, 검출창(11)의 횡폭(Dx)은 직선상 빔광(LB)의 선폭(D)보다 충분히 큰 폭으로서, 본 실시예에서는 검출창(11)의 횡폭(Dx)은 직선상 빔광(LB)의 선폭(D)의 2배 ~ 3배의 크기로 형성되어 있다.

도 3에 도시하는 바와 같이 검출창(11)의 횡폭(Dx)의 중심위치(Pwo)를 통과하는 선을 검출창(11)의 중심선으로 한다. 이 경우, X방향을 따라 조도센서(15)의 입사공(15a)의 이동 궤적은 검출창(11)의 중심선, 즉 중심위치(Pwo)와 대치하는 궤적이 된다.

베이스(5)에 설치한 좌측 상부프레임(5d)과 우측 상부프레임(5e) 사이에 갠트리(2)가 걸쳐져 있다. 갠트리(2)는 전후 한쌍의 갠트리 본체(2a)를 갖는다. 각 갠트리 본체(2a)의 좌단부 하면이 좌측 상부 프레임(5d)의 상면에 지지되고, 각 갠트리 본체(2a)의 우단부 하면이 우측 상부 프레임(5e)의 상면에 지지되어 있다. 좌측 상부 프레임(5d)의 가이드레일(21)과 우측 상부 프레임(5e)의 가이드레일(21)은 서로 평행하며 Y방향을 따라 연장되어 있다. 따라서, X방향으로 연장되는 전후 한쌍의 갠트리(2)는 Y방향을 따라 이동한다.

전후 한쌍의 갠트리 본체(2a)의 좌우 양단부는 각 프레임(5d, 5e)에 회전 가능하게 지지된 볼나사(도시생략)와 나사 결합되어 있고, 상기 볼나사에 의해 갠트리 본체(2a)는 Y방향(전후방향)을 따라 왕복이동 가능하다. 그리고, 볼나사를 갠트리모터(M2)(도 11 참조)로 회전 제어함으로써 전후 한쌍의 갠트리 본체(2a)는 한쌍의 가이드레일(21) 상을 Y방향(전후방향)을 따라 왕복 이동하도록 되어 있다. 또한 갠트리 본체(2a)는 볼나사를 회전시킴으로써 이동하도록 했으나, 리니어 모터로 갠트리 본체(2a)를 이동시키도록 해도 된다.

각 갠트리 본체(2a)의 하면은 스테이지(ST)의 면에 대향하도록 X방향으로 평행하게 배치되어 있다. 그리고, 도 6에 도시하는 바와 같이 자외선 조사유닛(3)은 설치부재(23)를 이용하여 각 갠트리 본체(2a)의 하면에 X방향을 따라 설치되어 있다. 즉, 본 예에서는 2개의 자외선 조사유닛(3)이 한쌍의 갠트리 본체(2a)에 대하여 평행하게 설치되어 있다. 각 자외선 조사유닛(3)의 구성은 동일하다. 설치부재(23)에 설치된 자외선 조사유닛(3)은 갠트리 본체(2a)와 함께 Y방향을 따라 왕복 이동한다. 자외선 조사유닛(3)은 스테이지(ST)에 탑재 고정된 액정 디스플레이 패널(P)(기판(W1, W2) 사이의 밀봉재(3))에 대하여 X방향을 따라 일직선으로 연장되는 자외선으로 이루어지는 직선상 빔광(LB)을 조사한다.

설치부재(23)(자외선 조사유닛(3))는 갠트리 본체(2a)에 설치된 볼나사(도시생략)에 의해 X방향(좌우방향)을 따라 왕복이동 가능하게 갠트리 본체(2a)에 장착되어 있다. 따라서, 갠트리 본체(2a)의 볼나사를 유닛모터(M3)(도 11 참조)로 회전 제어함으로써 자외선 조사유닛(3)은 갠트리 본체(2a)에 대하여 X방향(좌우방향)을 따라 왕복 이동하도록 되어 있다.

밀봉재(3)의 경화공정에서는 자외선 조사유닛(3)은 스테이지(ST)에 탑재 고정된 액정 디스플레이 패널(P)의 상방에서 Y방향을 따라 왕복 이동된다. 그리고, 자외선 조사유닛(3)의 폭방향의 중심위치(Puo)(도 6 참조)가 패널(P)의 소정의 위치(기판(W1, W2) 사이에 형성된 X방향으로 연장되는 직선상의 밀봉재(S))와 대치하는 위치에서 자외선 조사유닛(3)의 Y방향의 이동이 정지된다. 이어서, 상기 Y방향의 이동이 정지된 위치에서 자외선 조사유닛(3)이 X방향을 따라 왕복 이동된다. 그리고, 자외선 조사유닛(3)은 밀봉재(S)에 대치한 상태에서 X방향을 따라 왕복이동(스캔)하면서 X방향으로 연장되는 직선상의 밀봉재(S)로 향하여, 마찬가지로 X방향으로 연장되는 자외선의 직선상 빔광(LB)을 조사함으로써 상기 밀봉재(S)를 경화시킨다.

이어서, 자외선 조사유닛(3)에 대하여 도 6 내지 도 9에 따라 설명한다.

도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이 자외선 조사유닛(3)은 연결판(31)을 갖고, 연결판(31)은 설치부재(23)의 틀체(30)의 하면에 X방향을 따라 고정되어 있다. 연결판(31)의 하면에는 복수개(본 실시예에서는 40개)의 조사 모듈(32)이 X방향을 따라 1열로 배열 고정되어 있다. 각 조사 모듈(32)은 복수개(본 실시예에서는 8개)의 자외선 발광 다이오드(LED)를 갖고 있다. 자외선 발광 다이오드(LED)는 광학소자의 일례이다.

도 7에 도시하는 바와 같이 각 조사 모듈(32)은 회로기판(33)을 갖고, 회로기판(33) 상에 8개의 자외선 발광 다이오드(LED)가 X방향을 따라 1열로 실장되어 있다. 각 조사 모듈(32)의 회로기판(33)은 연결판(31)의 하면에 볼트(34)에 의해 고착된다. 이 때, 실장된 자외선 발광 다이오드(LED)가 하측에 위치하는 동시에, 8개의 자외선 발광 다이오드(LED)가 X방향을 따라 배열된다. 더구나 이웃하는 조사 모듈(32)은 인접하는 회로기판(33) 사이의 자외선 발광 다이오드(LED)가 등간격으로 X방향을 따라 일직선상에 배열되도록 위치 결정되어 있다.

따라서, 본 실시예에서는 320개의 자외선 발광 다이오드(LED)가 등간격으로 X방향을 따라 일직선상에 배열되게 된다.

회로기판(33)에 일직선상에 실장된 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 하측에는 반구 렌즈(35)가 각각 배치되어 있다. 각 반구 렌즈(35)는 각각 대응하는 자외선 발광 다이오드(LED)로부터 출사된 자외선을 입사한다. 그리고, 각 반구 렌즈(35)는 그 입사한 자외선의 확산을 억제하여 하방으로 각각 출사한다.

각 조사 모듈(32)에 대응하여 배치된 8개의 반구 렌즈(35)의 하측에는 8개의 반구 렌즈(35) 전체를 덮는 봉형상의 실린더형 렌즈(36)가 X방향을 따라 배치되어 있다. 실린더형 렌즈(36)는 각 반구 렌즈(35)로부터 출사된 확산이 억제된 자외선을 입사한다. 상기 실린더형 렌즈(36)는 각 반구 렌즈(35)로부터 입사한 자외선을 Y방향에 대하여 수렴시키고, 타원형상으로 집광된 광을 출사한다.

보다 상세하게는, 도 8의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이, 각 자외선 발광 다이오드(LED)에서 출사된 자외선(UV)은 바로 아래에 배치된 반구 렌즈(35)에 의해 각각 확산이 억제된다. 그리고, 각 반구 렌즈(35)에서 출사된 자외선(UV)은 실린더형 렌즈(36)에 의해 Y방향으로만 수렴되어 타원형상으로 집광된다. 이로 인하여 각 자외선 발광 다이오드(LED)에서 출사된 자외선(UV)의 상부 기판(W2) 상에서의 조사 영역(T)은 X방향으로 장축을 갖는 장타원형상이 된다. 그리고, 각 조사 영역(T)의 장축방향 단부(중합영역)끼리 중합됨으로써 X방향을 따라 직선상으로 연장되는 광조사면(SF)이 형성된다. 즉, 각 자외선 발광 다이오드(LED)에서 출사된 자외선(UV)은 X방향(좌우방향)으로 연장되는 직선상의 자외선(즉, 직선상 빔광(LB))으로 되어 상부 기판(W2) 상에 조사되게 된다.

직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)은 복수의 조사 영역(T)의 집합이다. 이 경우, 광조사면(SF)의 조도(즉, 각 조사 영역(T)에서의 조도)는 각 자외선 발광 다이오드(LED)에서 출사된 각 자외선(UV)이 가장 Y방향으로 수렴하는 부분에서 가장 높아진다. 따라서, 각 조사 영역(T)에서 조도가 가장 높은 부분은 각 자외선 발광 다이오드(LED)에서 출사된 각 자외선(UV)의 광축 중심부, 즉 각 조사 영역(T)의 중심부이다. 또한, 이웃하는 자외선 발광 다이오드(LED)에서 각각 출사된 자외선(UV)이 중합하는 중합영역은 Y방향으로 수렴되는 광량이 적기 때문에 조도는 높지 않고 최소가 된다.

따라서, 자외선 조사유닛(3)에서 출사되는 직선상 빔광(LB)에는 도 9에 도시하는 바와 같이 X방향을 따라 자외선 발광 다이오드(LED)의 배치간격(Pd)으로 조도의 최대값이 존재한다. 그 결과, 직선상 빔광(LB)에는 조도의 최대값(피크)과 최소값(보텀)이 X방향으로 배치간격(Pd)으로 발생하기 때문에 광조사면(SF)에는 조도 얼룩이 발생되어 있다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 조사 모듈(32)의 각 반구 렌즈(35) 및 실린더형 렌즈(36)는 회로기판(33)에 X방향을 따라 장착된 유지부재(40)로 유지되어 있다. 유지부재(40)는 회로기판(33)이 연결판(31)의 하면에 볼트(34)로 고착될 때에, 아울러 상기 볼트(34)로 회로기판(33)에 대하여 고착되도록 되어 있다.

유지부재(40)의 하면 중앙위치에는 X방향을 따라 수용홈(41)이 요설(凹設)되고, 상기 수용홈(41)에 실린더형 렌즈(36)가 수용되도록 되어 있다.

또한, 수용홈(41)의 내저면에서 각 반구 렌즈(35)와 각각 대응하는 위치에는 관통공(42)이 등간격으로 형성되어 있다. 상기 관통공(42)의 직경은 반구 렌즈(35)의 직경보다 약간 작게 되어 있어 자외선 발광 다이오드(LED)의 하면에 배치된 각 반구 렌즈(35)의 일부가 관통공(42)에 끼워 넣어지도록 되어 있다. 그리고, 유지부재(40)가 회로기판(33)에 고착되면 반구 렌즈(35)가 유지부재(40)와 회로기판(33)에 실장된 자외선 발광 다이오드(LED)와의 사이에서 끼워 고정되도록 되어 있다.

유지부재(40)의 하면에는 Y방향을 따라 한쌍의 이탈 방지판(43)이 배치되어 있다. 이러한 한쌍의 이탈지판(43)은 유지부재(40)가 회로기판(33)의 하면에 볼트(34)로 고착될 때에, 아울러서 상기 볼트(34)로 유지부재(40)에 대하여 고착되도록 되어 있다.

한쌍의 이탈 방지판(43)은 소정의 간격을 두고 서로 대향하도록 배치되는 탄성걸림구(43a)를 각각 갖고 있다. 각 탄성걸림구(43a)는 수용홈(41)에 수용된 실린더형 렌즈(36)를 하측에서 탄성 가압하여 걸어맞추어 실린더형 렌즈(36)가 수용홈(41)에서 이탈되지 않도록 하고 있다.

이어서, 자외선 조사장치(1)의 전기적 구성을 도 11에 따라 설명한다.

도 11에 있어서, 자외선 조사장치(1)는 제어장치(50)를 구비하고 있다. 제어장치(50)는 예를 들어 마이크로컴퓨터로 이루어지고, 중앙처리장치(CPU)(50a), 직선상 빔광(LB)을 밀봉재(S)에 조사시키기 위한 처리동작 등, CPU(501)에 각종 처리동작을 실행시키기 위한 제어 프로그램을 기억하는 ROM(50b), CPU(50a)의 연산결과 등을 일시 기억하는 RAM(50c) 및 입출력회로(50d)를 구비하고 있다.

제어장치(50)는 광학소자 구동장치로서의 자외선 발광 다이오드 구동회로(51)를 통해 자외선 조사유닛(3)의 각 자외선 발광 다이오드(LED)에 접속되어 있다. 제어장치(50)는 자외선 발광 다이오드 구동회로(51)에 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 발광제어신호를 출력하여 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 발광을 제어한다.

제어장치(50)는 갠트리모터 구동회로(52)를 통해 전후 한쌍의 갠트리 본체(2a)를 구동하는 2개의 갠트리모터(M2)에 접속되어 있다. 제어장치(50)는 갠트리모터 구동회로(52)에 각 갠트리모터(M2)의 구동제어신호를 출력하여 각 갠트리모터(M2)의 구동을 제어한다. 갠트리(2)(갠트리 본체(2a)), 갠트리모터 구동회로(52) 및 갠트리모터(M2)는 본 발명의 제1 이동장치의 일례이다.

제어장치(50)는 유닛모터 구동회로(53)를 통해 갠트리 본체(2a)에 설치된 유닛모터(M3)에 접속되어 있다. 제어장치(50)는 유닛모터 구동회로(53)에 유닛모터(M3)의 구동제어신호를 출력하여 유닛모터(M3)의 구동을 제어한다. 유닛모터 구동회로(53) 및 유닛모터(M3)는 본 발명의 제2 이동장치의 일례이다.

본 예에서는, 제어장치(50)는 유닛모터 구동회로(53)를 통해 유닛모터(M3)를 정역회전시킴으로써 자외선 발광 다이오드(LED)의 배치간격(Pd)의 2분의 1의 거리에서 자외선 조사유닛(3)을 갠트리 본체(2a)에 대하여 X방향을 따라 왕복 이동시킨다. 따라서, 자외선 조사유닛(3)에서 조사되는 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)은 액정 디스플레이 패널(P)의 밀봉재(S)에 대치한 상태에서 배치간격(Pd)의 2분의 1의 거리를 X방향을 따라 왕복 이동한다. 결국, 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)은 X방향을 따라 직선상의 밀봉재(S)를 왕복 이동하게 된다.

제어장치(50)는 갠트리모터 구동회로(54)를 통해 캐리지모터(M1)에 접속되어 있다. 제어장치(50)는 캐리지모터 구동회로(54)에 캐리지모터(M1)의 구동제어신호를 출력하여 캐리지모터(M1)의 구동을 제어한다. 캐리지(14), 캐리지모터 구동회로(54) 및 캐리지모터(M1)는 본 발명의 제3 이동장치의 일례이다.

또한, 제어장치(50)는 화상처리장치(55)에 접속되어 있다. 액정 디스플레이 패널(P)에는 스테이지(ST)에 대한 패널(P)의 위치맞춤을 행하기 위한 얼라이먼트 마크가 형성되어 있다. 상기 얼라이먼트 마크는 스테이지(ST)의 하측에 설치된 얼라이먼트 카메라(CA)에 의해 촬상된다. 화상처리장치(55)는 얼라이먼트 카메라(CA)로부터 얼라이먼트 마크의 화상 데이터를 입력하고, 상기 화상데이터로부터 액정 디스플레이 패널(P)의 편차량을 연산하여 제어장치(50)로 출력한다.

제어장치(50)는 기판 이동장치(9)에 접속되어 있다. 제어장치(50)는 화상처리장치(55)에 의해 연상된 편차량에 기초하여 기판 이동장치(9)의 구동제어신호를 생성한다. 상기 구동제어신호에 기초하여 기판 이동장치(9)는 얼라이먼트 테이블(TB)을 스테이지(St)에 대하여 X방향, Y방향 또는 양방향으로 이동시키는 동시에, XY 평면을 회전시킴으로써 편차량을 없애도록 하고 있다.

제어장치(50)는 갠트리위치 검출센서(61)와 접속되고, 갠트리위치 검출센서(61)로부터의 검출신호를 입력한다. 제어장치(50)는 갠트리위치 검출센서(61)로부터의 검출신호에 기초하여 갠트리 본체(2a)(자외선 조사유닛(3))의 그때그때의 Y방향의 위치를 검출한다. 예를 들어 제어장치(50)는 미리 정해진 갠트리 본체(2a)(자외선 조사유닛(3))의 홈 포지션을 기준으로 현재의 위치를 검출한다.

제어장치(50)는 캐리지위치 검출센서(62)와 접속되고, 캐리지위치 검출센서(62)로부터의 검출신호를 입력한다. 제어장치(50)는 캐리지위치 검출센서(62)로부터의 검출신호에 기초하여 캐리지(14)와 함께 X방향으로 왕복 이동하는 조도센서(15)의 그때그때의 X방향의 위치를 검출한다.

제어장치(50)는 유닛 위치검출센서(63)와 접속되고, 유닛위치 검출센서(63)로부터의 검출신호를 입력한다. 제어장치(50)는 유닛위치 검출센서(63)로부터의 검출신호에 기초하여 유닛모터(M3)에 의해 X방향으로 왕복 이동하는 자외선 조사유닛(3)의 그때그때의 X방향의 위치(스테이지(ST)에 대한 자외선 조사유닛(3)의 X방향의 상대위치)를 검출한다.

이어서, 상기와 같이 구성된 자외선 조사장치(1)의 동작에 대하여 설명한다.

(초기설정)

직선상의 밀봉재(3)에 직선상 빔광(LB)을 조사할 때, 직선상의 밀봉재(3)의 폭방향의 중심선에 대하여 직선상 빔광의 폭방향의 중심선(Lox)(조도의 폭방향에서의 피크 위치)을 맞출 필요가 있다. 이로 인하여 에너지 효율이 좋은 자외선 조사가 행해지고, 소모 전력의 절감, 조사시간의 단축을 도모할 수 있다.

그러나 직선상 빔광(LB)의 폭방향의 중심선(Lox)을 눈으로는 정확히 판단할 수 없다. 그 때문에 종래기술에서는 미경화부분이 발생하지 않도록 안전을 예상하여 조사 시간을 길게 해야 하므로 소비 전력의 절감, 조사 시간의 단축을 도모하기가 어려웠다.

따라서, 자외선 조사유닛(3)에서 출사되는 X방향으로 연장되는 직선상 빔광(LB)을, 마찬가지로 X방향으로 연장되는 직선상의 밀봉재(S)에 조사시킬 때, 직선상 빔광(LB)의 폭방향의 중심위치(Po)를 정확하게 파악하는 것이 바람직하다. 이 때 일반적으로는 도 8에 도시하는 바와 같이 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)에서의 조도는 그 선폭(D)의 중심위치(Po)를 통과하는 선(중심선(Lox)) 상의 부분에서 가장 높아진다.

그러나, 예를 들어 자외선 조사유닛(3)의 기계적 오차 등에 의해 직선상 빔광(LB)의 중심위치(Po)는 자외선 조사유닛(3)의 폭방향의 중심위치(Puo)와 반드시 일치한다고는 한정되지 않는다.

따라서, 에너지 효율이 좋은 자외선 조사를 행하고, 소비 전력의 절감, 조사 시간의 단축을 도모하기 위해 직선상 빔광(LB)의 중심선(Lox)의 위치(중심위치(Po))를 구하고, 그 중심선(Lox)을 직선상의 밀봉재(S)의 중심선에 맞출 필요가 있다.

따라서, 눈으로 보아서는 알 수 없는 직선상 빔광(LB)의 중심위치(Po)의 검출을 사전에 행하고 있다.

이하, 자외선 조사유닛(3)에서 출사되는 직선상 빔광(LB)의 중심선(Lox)의 위치를 검출하는 처리동작을 도 12에 나타내는 제어장치(50)의 처리동작을 나타내는 흐름도에 따라 설명한다.

우선, 제어장치(50)는 갠트리모터(M2)를 구동하여 갠트리 본체(2a)에 설치된 자외선 조사유닛(3)의 폭방향의 중심위치(Puo)가 검출창(11)의 중심위치(Pwo)와 일치할 때까지 갠트리 본체(2a)를 미리 정한 홈 포지션으로부터 Y방향을 따라 이동시킨다(스텝 S1-1). 이 때 제어장치(50)(CPU(50a))는 갠트리위치 검출센서(61)로부터의 검출신호를 입력하고, 갠트리 본체(2a)(즉, 자외선 조사유닛(3))의 홈 포지션으로부터의 그때그때의 이동거리를 산출한다.

그리고, 제어장치(50)는 검출창(11)의 중심위치(Pwo)에 자외선 조사유닛(3)의 폭방향의 중심위치(Puo)가 합치되었는지의 여부를 판별한다(스텝 S1-2). 또한, 홈 포지션으로부터 검출창(11)의 중심위치(Pwo)까지의 거리(검사거리)는 미리 구해져 있어 제어장치(50)의 ROM(50b)에 미리 기억되어 있다. 따라서, 제어장치(50)는 이동거리와 검사거리를 비교함으로써 검출창(11)의 중심위치(Pwo)에 자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo)가 합치되었는지의 여부를 판별할 수 있다.

그리고, 검출창(11)의 중심위치(Pwo)와 자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo)가 합치되지 않았을 때(스텝 S1-2에서 NO), 제어장치(50)는 스텝 S1-1로 되돌아가고, 중심위치(Pwo, Puo)가 합치될 때까지 갠트리 본체(2a)를 이동시킨다.

갠트리 본체(2a)의 이동거리가 검사거리에 도달하면(스텝 S1-2에서 YES), 즉 검출창(11)의 중심위치(Pwo)에 자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo)가 합치되면, 제어장치(50)는 갠트리모터(M2)를 정지하여 갠트리 본체(2a)의 이동을 정지시킨다(스텝 S1-3).

이어서, 제어장치(50)는 자외선 발광 다이오드 구동회로(51)를 제어하여 자외선 조사유닛(3)의 전체 자외선 발광 다이오드(LED)를 발광시키고, 직선상 빔광(LB)을 검출창(11)으로 향하여 출사시킨다(스텝 S1-4).

계속해서, 제어장치(50)는 캐리지모터(M1)를 정전 구동시키고, 캐리지(14)를 가이드레일(13)의 전단부터 후단까지 이동(왕복동)시킨다(스텝 S1-5). 이로 인하여 조도센서(15)는 가이드레일(13) 상을 왕동작하는 동안에 검출창(11)을 통해 입사공(15a)에 입사하는 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 조도를 입사공(15a)의 이동궤적 상에서 검출한다(스텝 S1-6). 예를 들어, 조도센서(15)는 입사공(15a)의 이동궤적 상의 복수의 위치에서 직선상 빔광(LB)의 조도를 검출한다(또는, 직선상 빔광(LB)의 조도를 이동궤적 상에서 연속적으로 검출해도 된다). 그리고 제어장치(50)는 조도센서(15)가 타단에 도달할 때까지 캐리지위치 검출센서(62)로부터의 검출신호와 조도센서(15)로부터의 조도 검출신호에 기초하여 입사공(15a)의 이동궤적 상의 각 위치에서 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 조도를 구하고, RAM(50c)에 기억해간다(스텝 S1-6, S1-7).

조도센서(15)가 타단에 도달하면(스텝 S1-7에서 YES), 제어장치(50)는 캐리지모터(M1)를 정지시킨다(스텝 S1-8). 이어서, 제어장치(50)는 갠트리 본체(2a)(자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo))를 검출창(11)의 중심위치(Pwo)로부터 미리 정한 규정횟수만큼 전측방향(Y방향 반대측)으로 미세 이동시켰는지의 여부를 판단한다(스텝 S1-9). 갠트리 본체(2a)를 아직 미세 이동시키지 않은 경우에는(스텝 S1-9에서 NO), 제어장치(50)는 갠트리모터(M2)를 구동시키고, 갠트리 본체(2a)를 전측방향으로 미리 정한 거리(본 실시예에서는 직선상 빔광(LB)의 선폭(D)의 10분의 1의 거리)만큼 미세 이동시킨다(스텝 S1-10). 그 후, 제어장치(50)는 스텝 S1-5로 이동하고, 갠트리모터(M1)를 역전 구동시켜서 캐리지(14)를 가이드레일(13)의 후단부터 전단까지 이동(복동작)시킨다.

이로 인하여, 조도센서(15)는 중심위치(Pwo)로부터 전측방향(Y방향 반대측)으로 미리 정한 거리만큼 치우친 위치에서 가이드레일(13) 상을 복동작한다. 그리고, 상기 복동작 동안에 조도센서(15)는 검출창(11)을 통해 입사공(15a)에 입사하는 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 조도를 그 입사공(15a)의 이동궤적 상의 각 위치에서 검출한다. 그리고, 제어장치(50)는 상기와 마찬가지로 조도센서(15)의 입사공(15a)의 이동궤적 상의 각 위치의 조도를 구하고, RAM(50c)에 기억해간다(스텝 S1-6, S1-7).

이 후, 동일한 동작이 갠트리 본체(2a)를 전측방향으로 규정횟수만큼 미세 이동시킬 때까지 행해진다. 그리고, 전측방향에서의 복수의 편의 위치에서 캐리지(14)의 왕복동작이 번갈아 행해지는 동안 직선상 빔광(LB)의 조도가 X방향을 따라 검출된다. 전측방향으로의 미세이동이 규정횟수만큼 행해지면(스텝 S1-9에서 YES), 제어장치(50)는 갠트리 본체(2a)(자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo)를 검출창(11)의 중심위치(Pwo)로부터 후측방향(Y방향측)으로 미리 정한 거리(본 실시예에서는 직선상 빔광(LB)의 폭의 10분의 1의 거리)만큼 미세 이동시킨다(스텝 S1-11).

계속해서, 제어장치(50)는 캐리지모터(M1)를 정전 구동시키고, 캐리지(14)를 가이드레일(13)의 전단에서 후단까지 왕동작시킨다(스텝 S1-12)(캐리지(14)가 가이드레일(13)의 후단에 있는 경우, 가이드레일(13)의 전단까지 복동작시킨다). 이로 인하여 조도센서(15)는 중심위치(Pwo)에서 후측방향(Y방향측)으로 미리 정한 거리만큼 치우친 위치에서 가이드레일(13) 상을 복동작한다. 그리고, 상기 왕동작 동안에 조도센서(15)는 검출창(11)을 통해 입사공(15a)으로 입사하는 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 조도를 그 입사공(15a)의 이동궤적 상의 각 위치에서 검출한다. 그리고, 제어장치(50)는 조도센서(15)가 타단에 도달할 때까지 캐리지위치 검출센서(62)로부터의 검출신호와 조도센서(15)로부터의 조도검출신호에 기초하여 입사공(15a)의 이동궤적 상의 각 위치에서 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 조도를 구하고, RAM(50c)에 기억해 간다(스텝 S1-13, S1-14).

조도센서(15)가 타단에 도달하면(스텝 S1-14에서 YES), 제어장치(50)는 캐리지모터(M1)를 정지시킨다(스텝 S1-15). 이어서, 제어장치(50)는 갠트리 본체(2a)(자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo))를 검출창(11)의 중심위치(Pwo)로부터 미리 정한 규정횟수만큼 후측방향(Y방향측)으로 미세 이동시켰는지의 여부를 판단한다(스텝 S1-16). 규정횟수에 도달하고 있지 않으면(스텝 S16에서 NO), 제어장치(50)는 갠트리모터(M2)를 구동하여 갠트리 본체(2a)를 후측방향으로 미리 정한 거리에서 다시 미세 이동시킨다(스텝 S1-11).

그리고, 제어장치(50)는 스텝 S1-12로 이동하고, 캐리지모터(M1)를 역전 구동시키고, 캐리지(14)를 가이드레일(13)의 후단에서 전단까지 복동작시킨다.

이후, 동일한 동작이 갠트리 본체(2a)를 후측방향으로 규정횟수만큼 미세이동시킬 때까지 행해진다. 그리고, 후측방향에서의 복수의 편의 위치에서 캐리지(14)의 왕복동작이 번갈아 행해지는 동안 직선상 빔광(LB)의 조도가 X방향을 따라 검출된다. 후측방향으로의 미세이동이 규정횟수만큼 행해지면(스텝 S1-16에서 YES), 제어장치(50)는 소정의 폭을 갖는 직선상 빔광(LB)(광조사면(SF))의 조도의 검출을 종료하고, 갠트리 본체(2a)를 홈 포지션으로 이동시킨다(스텝 S1-17).

계속해서, 제어장치(50)는 도 10에 도시하는 바와 같은 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 조도분포(ID)를 구하고, 그 구한 조도분포로부터 가장 조도가 높은 중심선(Lox)의 위치(중심위치(Po))를 구한다(스텝 S1-18).

즉, 제어장치(50)는 가장 조도가 높은 중심선(Lox)(직선상 빔광(LB)의 중심위치(Po))이 자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo)와 일치하고 있는지의 여부를 판정하고, 일치하고 있지 않으면 직선상 빔광(LB)의 중심위치(Po)가 자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo)에 대하여 앞뒤로 어느 정도 치우쳐 있는지를 구한다. 그리고 제어장치(50)는 스텝 S1-18에서 구한 직선상 빔광(LB)의 중심위치(Po)를 자외선 조사유닛(3)의 새로운 중심위치(Puo)로서 설정하여 RAM(50c)에 기억하고(스텝 S1-19), 초기설정 처리동작을 종료한다.

따라서, 자외선 조사유닛(3)에서 출사되는 직선상 빔광(LB)의 가장 조도가 높은 중심선(Lox)(중심위치(Po))이 자외선 조사유닛(3)의 새로운 중심위치(Puo)로서 설정된다. 따라서, 자외선 조사장치(1)는 그 설정된 자외선 조사유닛(3)의 새로운 중심위치(Puo)를 기준으로 갠트리 본체(2a)의 이동을 제어함으로써 자외선 조사유닛(3)에서 출사되는 직선상 빔광(LB)의 가장 조도가 높은 부분을 항상 정밀도 좋게 밀봉재(S)에 조사할 수 있다. 제어장치(50)는 본 발명의 중심위치 설정장치의 일례이다.

(자외선 조사)

이어서, 자외선 조사유닛(3)에서 출사하는 X방향으로 연장되는 직선상 빔광(LB)을 직선상의 밀봉재(S)에 조사하고, 밀봉재(S)를 자외선 경화시켜서 액정 디스플레이 패널(P)의 하부 기판(W1)과 상부 기판(W2)을 접합하는 처리동작을 도 13에 나타내는 제어장치(50)의 처리동작을 나타내는 흐름도에 따라 설명한다.

우선, 제어장치(50)는 스테이지(ST)에 탑재되어 위치 결정된 액정 디스플레이 패널(P)에 대하여 자외선 조사유닛(3)을 액정 디스플레이 패널(P)의 하부 기판(W1)과 상부 기판(W2) 사이에 형성된 직선상의 밀봉재(S)에 대치하는 상방위치에 배치한다(스텝 S2-1).

즉, 제어장치(50)는 홈 포지션에 있는 한쌍의 갠트리 본체(2a)를 각각의 갠트리모터(M2)를 구동함으로써 Y방향을 따라 이동시키고, 각 갠트리 본체(2a)에 설치된 각 자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo)를 하부 기판(W1)과 상부 기판(W2) 사이에 형성된 각각 대응하는 직선상의 밀봉재(S)에 대치하는 상방위치까지 이동시킨다.

각 자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo)가 각각 대응하는 직선상의 밀봉재(S)에 대치하면, 제어장치(50)는 자외선 발광 다이오드 구동회로(51)를 구동하여 각 조사모듈(32)의 전체 자외선 발광 다이오드(LED)를 발광시킨다(스텝 S2-2).

전체 자외선 발광 다이오드(LED)에서 출사된 자외선(UV)은 각 반구 렌즈(35) 및 실린더형 렌즈(36)를 통해 일방향(X방향)으로 연장되는 직선상 빔광(LB)으로서 형성된다. 각 자외선 조사유닛(3)은 이 직선상 빔광(LB)을 액정 디스플레이 패널(P)(직선상의 밀봉재(S))에 조사하여 밀봉재(S)를 경화시킨다.

제어장치(50)는 조사시간을 계시하고, 미리 정한 시간(조사시간), 직선상 빔광(LB)을 액정 디스플레이 패널(P)(직선상의 밀봉재(S))에 조사한다(스텝 S2-2). 즉, X방향으로 연장되는 직선상 빔광(LB)은 마찬가지로 X방향으로 연장되는 직선상의 밀봉재(S)의 바로 위의 위치에서 조사되고, X방향으로 연장되는 직선상의 밀봉재(S)를 한번에 경화시킨다.

이 때, 조사시간이 미리 정한 시간에 도달할 때까지의 사이에(스텝 S2-3에서 NO), 제어장치(50)는 유닛모터 구동회로(53)를 구동하여 각 유닛모터(M3)를 정역회전시키고, 각 자외선 조사유닛(3)을 갠트리(2)(및 스테이지(ST))에 대하여 소정거리(본 실시예에서는 배치간격(Pd)의 2분의 1의 거리)만큼 X방향을 따라 왕복 이동시킨다. 즉, 각 자외선 조사유닛(3)을 액정 디스플레이 패널(P)에 대하여 X방향을 따라 상대적으로 왕복 이동시킨다(스텝 S2-4).

이로 인하여 X방향으로 연장되는 직선상 빔광(LB)(광조사면(SF))이 X방향으로 연장되는 직선상의 밀봉재(S)의 바로 위의 위치에서 X방향을 따라 왕복 이동된다. 이하, 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 왕복이동을 「스캔」이라 부른다. 이 스캔은 상기한 미리 정한 조사시간에 걸쳐 행해진다.

또한, 각 자외선 조사유닛(3)의 왕복이동의 속도는 상기한 미리 정한 조사 시간 사이에 배치간격(Pd)의 2분의 1의 거리를, 본 실시예에서는 2왕복할 수 있는 이동속도로 설정되어 있다.

상기 직선상 빔광(LB)의 X방향을 따른 왕복이동은 상기한 바와 같이 직선상 빔광(LB)이 X방향에서 조도 얼룩을 갖기 때문에, 상기 조도 얼룩을 줄이기 위해 행해진다. 즉, 직선상 빔광(LB)에는 조도의 최대값과 최소값이 X방향으로 소정의 피치(배치간격(Pd))로 발생하는 조도 얼룩이 있다. 따라서, 스캔하지 않고 직선상 빔광(LB)을 밀봉재(S)에 조사하면 미리 정한 규정적산조도에 도달하는 시간이 최대조도위치와 최대조도위치에서 X방향을 따라 크게 다르게 된다.

따라서, 직선상 빔광(LB)을 스캔하고, 직선상 빔광(LB)의 X방향을 따른 조도를 밀봉재(S) 상에서 평균화함으로써 미리 정한 규정적산조도에 도달하는 시간을 X방향을 따라 밀봉재(S) 상에서 균일화시키도록 하고 있다

따라서, 밀봉재(S)의 모든 위치에 대하여 규정적산조도의 자외선을 주기 위해 최소(보텀)의 조도로 조사되는 밀봉재(3) 상의 위치를 기준으로 하여 조사 시간을 설정할 필요가 없다. 이 때문에 조사 시간(미리 정한 조사 시간)을 짧게 할 수 있다. 또한, X방향을 따라 균일화된 조도로 밀봉재(3)에 자외선을 조사할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 조사시간이 미리 정한 조사시간에 도달하면 미리 정한 규정적산조도의 자외선이 X방향을 따라 밀봉재(S)의 모든 위치에 조사된다.

따라서, 조사시간이 미리 정한 조사시간에 도달하면(스텝 S-3에서 YES), 밀봉재(S)가 경화되어 하부 기판(W1)과 상부 기판(W2)이 접합된다. 그러면, 제어장치(50)는 자외선 발광 다이오드 구동회로(51)를 통해 전체 자외선 발광 다이도으(LED)를 소등시킨다(스텝 S2-5).

전체 자외선 발광 다이오드(LED)를 소등시키면 제어장치(50)는 모든 직선상의 밀봉재(S)에 자외선을 조사했는지 여부를 판단한다(스텝 S2-6). 모두 조사하지 않은 경우에는(스텝 S2-6에서 NO), 제어장치(50)는 자외선 조사유닛(3)을 액정 디스플레이 패널(P)의 다음의 새로운 직선상의 밀봉재(S)에 대치하는 상방위치에 배치시킨 후(스텝 S2-7), 스텝 2-2로 되돌아가고, 상기와 동일한 처리를 행한다.

모든 직선상의 밀봉재(S)에 직선상 빔광(LB)을 조사하면(스텝 S2-6에서 YES), 제어장치(50)는 갠트리 본체(2a)를 홈 포지션으로 이동시킨 후(스텝 S2-8), 하나의 액정 디스플레이 패널(P)의 자외선 조사를 종료한다. 그리고, 다음의 새로운 액정 디스플레이 패널(P)의 자외선 조사를 기다린다.

(검사)

자외선 조사유닛(3)은 장시간 사용함으로써 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 특성(발광능력)이 변화하는 경우가 있고, 그로 인하여 조도가 저하되는 자외선 발광 다이오드(LED)도 출현하고, 일정한 직선상 빔광(LB)을 얻을 수 없게 될 우려가 있다. 따라서, 정기적으로 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 조도검사를 행하고 있다.

이하, 상기 검사방법에 대하여 설명한다.

우선, 제어장치(50)는 자외선 조사유닛(3)의 중심위치(Puo)가 검출창(11)의 중심위치(Pwo)와 일치할 때까지 갠트리 본체(2a)를 이동시킨다.

이어서, 제어장치(50)는 자외선 발광 다이오드 구동회로(51)를 통해 자외선 조사유닛(3)의 전체 자외선 발광 다이오드(LED)를 발광시키고, 직선상 빔광(LB)을 검출창(11)으로 향하여 출사시킨다.

계속해서, 제어장치(50)는 조도센서(15)를 가이드레일(13)을 따라 왕동작시키고, 검출창(11)을 통해 조도센서(15)의 입사공(15a)에 입사하는 직선상 빔광(LB)의 조도를 입사공(15a)의 이동궤적 상에서 검출한다. 그리고, 제어장치(50)는 캐리지위치 검출센서(62)로부터의 검출신호와 조도센서(15)로부터의 조도검출신호에 기초하여 직선상 빔광(LB)의 폭방향의 중심위치, 즉 X방향으로 배치된 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 조도를 구한다. 이렇게 하여 제어장치(50)는 조도가 저하하고 있는 자외선 발광 다이오드(LED)를 판별한다.

그리고, 제어장치(50)는 조도가 저하한 자외선 발광 다이오드(LED) 중에서 교환이 필요한 것이 있는지의 여부를 판단한다. 여기에서, 교환할 필요가 없는 경우, 제어장치(50)는 조도가 저하된 자외선 발광 다이오드(LED)를 규정의 조도로 되돌리려면 어느만큼의 구동전압을 가하면 되는지를 연산한다. 그리고, 제어장치(50)는 구한 구동전압을 자외선 발광 다이오드 구동회로(51)를 통해 대응하는 자외선 발광 다이오드(LED)에 공급함으로써 모든 자외선 발광 다이오드(LED)가 동일한 조도의 자외선을 출사하도록 한다.

이로 인하여, 상시 일정한 조도의 직선상 빔광(LB)을 밀봉재(S)에 계속해서 조사할 수 있다.

또한, 검사결과에서 교환이 필요한 자외선 발광 다이오드(LED)가 있었을 때에는, 제어장치는 교환의 필요성을 교환할 자외선 발광 다이오드(LED)와 그 자외선 발광 다이오드(LED)가 설치되어 있는 조사 모듈(32)(회로기판(33))을 지정하여 통지한다. 제어장치(50)는 본 발명의 발광능력 판정장치의 일례이다.

이어서, 본 실시예의 자외선 조사장치(1)의 이점을 이하에 기재한다.

(1) 자외선 조사장치(1)는 직선상 빔광(LB)을 X방향으로 연장되는 직선상의 밀봉재(S)에 대치시킨 상태에서 자외선 조사유닛(3)을 갠트리 본체(2a)(및 액정 디스플레이 패널(P))에 대하여 소정 거리에서 X방향을 따라 왕복 이동시킨다. 그 결과, 종래기술에 비해 X방향을 따른 직선상 빔광(LB)의 조도 얼룩을 적게 하여 밀봉재(S)에 조사되는 적산조도의 일정성을 향상시킬 수 있다.

(2) 자외선 조사유닛(3)은 갠트리 본체(2a)(및 액정 디스플레이 패널(P))에 대하여 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 배치간격(Pd)의 2분의 1의 거리에서 X방향을 따라 왕복 이동한다. 따라서, 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)은 액정 디스플레이 패널(P)의 밀봉재(S) 상을 배치간격(Pd)의 2분의 1의 거리에서 X방향으로 왕복 이동한다.

따라서, X방향으로 배치간격(Pd)으로 조도 얼룩을 갖는 직선상 빔광(LB) 의 적산조도를 밀봉재(S)의 X방향을 따라 더욱 평균화할 수 있다.

그 결과, 밀봉재(S)의 각 위치를 균일하게 경화할 수 있는 동시에, 밀봉재(S)의 각 위치에 규정적산조도를 부여하기 위해 조사 시간을 최소의 조도가 조사되는 위치를 기준으로 하는 일이 없어지고, 직선상 빔광(LB)의 조사시간을 짧게 할 수 있어 생산효율의 향상을 도모할 수 있다.

(3) 자외선 조사유닛(3)의 X방향의 왕복이동을 자외선 발광 다이오드(LED)의 배치간격(Pd)의 2분의 1의 거리로 하고, 그 이동거리를 매우 작게 함으로써 갠트리 본체(2a)를 소형화할 수 있다.

(4) 액정 디스플레이 패널(P)을 탑재하는 스테이지(ST)에는 X방향을 따라 연장되는 검출창(11)이 관통 형성되어 있다. 또한, 스테이지(ST)의 하측에서 검출창(11)과 대향하는 위치에는 검출창(11)을 따라 왕복 이동하는 조도센서(15)를 갖는 조도 검출장치(12)가 설치되어 있다. 경화공정의 시작 전에 있어서 자외선 조사장치(1)는 직선상 빔광(LB)을 Y방향을 따라 편의시키고, 그 때마다 조도센서(15)를 X방향을 따라 왕복 이동시킴으로써 검출창(11)으로 향하여 조사되는 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 조도값을 검출한다. 그리고, 광조사면(SF)의 조도값으로부터 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 중심위치(Po)를 구하고, 그 광조사면(SF)의 중심위치(Po)를 자외선 조사유닛(3)의 새로운 중심위치(Puo)로서 설정한다.

따라서, 자외선 조사유닛(3)에서 출사되는 직선상 빔광(LB)에 있어서 가장 조도가 높아지는 중심위치(Po)가 자외선 조사유닛(3)의 새로운 중심위치(Puo)로서 설정된다. 이 설정은 눈으로 보아서는 행해지지 않기 때문에 고정밀도로 행해진다. 따라서, 자외선 조사유닛(3)에서 출사되는 직선상 빔광(LB)의 가장 조도가 높은 중심위치(Po)를 항상 정밀도가 좋게 밀봉재(S)에 조사할 수 있다.

(5) X방향으로 이동하는 조도센서(15)를 갖는 조도 검출장치(12)가 스테이지(ST)의 하측에 설치되어 있다. 따라서, 밀봉재(S)로의 직선상 빔광(LB)의 조사 시에 방해가 되지 않고, 조도 검출장치(12)를 구비함에 따르는 장치 전체의 대형화를 방지할 수 있다.

(6) 자외선 조사장치(1)는 X방향으로 연장되는 직선상 빔광(LB)의 중심위치(Po)의 조도로부터, X방향으로 배열된 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 발광 능력을 판정한다. 따라서, 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 조도를 일정하게 하거나 각 자외선 발광 다이오드(LED)에 대한 수명의 유무를 판단할 수 있다.

또한, 상기 실시예는 이하와 같이 변경해도 된다.

ㆍ 상기 실시예에서는 자외선 조사 유닛(3)을 각 자외선 발광 다이오드(LED)의 배치간격(Pd)의 2분의 1의 거리에서 X방향을 따라 왕복 이동시켰으나, 이 이동거리는 배치간격(Pd)의 2분의 1로 한정되지 않는다. 본 발명의 「직선상 빔광의 광조사면이 기판을 한방향을 따라 상대 이동시킨다」는 특징은, 종래 기술에는 없는 특징이다. 예를 들어, 이동거리가 배치간격(Pd)의 3분의 1이어도, 직선상 빔광(LB)의 조도 얼룩이 종래 기술에 비해 저감된다. 바람직하게는, 이동거리는 배치간격(Pd)의 2분의 1이다. 혹은 이동거리는 배치간격(Pd)의 2분의 1을 넘는 거리여도 된다. 이 경우, 배치간격(pd)의 2분의 1의 거리의 정수(2 이상의 정수)배로 자외선 조사유닛(3)을 왕복 이동시키면 밀봉재(S)의 X방향에서의 적산조도의 일정성을 더욱 향상시킬 수 있다.

ㆍ 상기 실시예에서는 밀봉재(S)의 X방향의 적산조도를 평균화시키기 위해 자외선 조사유닛(3)을 X방향을 따라 2회 왕복 이동시켰다. 이것을 1회 또는 3회 이상, 자외선 조사유닛(3)을 X방향을 따라 왕복 이동시켜도 된다.

ㆍ 상기 실시예에서는 밀봉재(S)의 X방향의 적산조도를 평균화시키기 위해 자외선 조사유닛(3)을 X방향을 따라 왕복 이동시켰다. 이것을 왕복이동이 아니라 자외선 조사유닛(3)을 왕동작 또는 복동작 중 어느 한쪽으로 이동시켜도 된다. 이 경우, 미리 정한 조사시간에 배치간격(Pd)의 2분의 1의 거리의 정수배의 거리에서 왕동작 또는 복동작시키면 밀봉재(S)의 X방향의 적산조도를 더욱 평균화시킬 수 있다.

ㆍ 상기 실시예에서는 제2 이동장치의 유닛모터(M3)로 볼나사를 정역회전시킴으로써 자외선 조사유닛(3)을 X방향을 따라 왕복 이동시켰다. 이것에 대신하여 유닛모터(M3)로 편심 캠을 회전시키고, 상기 모터(M3)로 회전되는 편심 캠에 의해 자외선 조사유닛(3)을 왕복 이동시켜도 된다.

ㆍ 상기 실시예에서는 자외선 조사유닛(3)을 갠트리 본체(2a)에 대하여 X방향을 따라 왕복 이동시켰다. 이것에 대신하여 자외선 조사유닛(3)을 갠트리 본체(2a)에 고정하고, 그 갠트리 본체(2a)를 스테이지(ST)(액정 디스플레이 패널(P))에 대하여 X방향으로 왕복 이동시켜도 된다. 혹은 자외선 조사유닛(3)을 X방향을 따라 이동 불가능으로 하고, 스테이지(ST)를 X방향을 따라 이동 가능으로 해도 된다. 이 경우, 예를 들어 기판 이동장치(9)가 자외선 조사유닛(3)에 대하여 패널(P)(스테이지(ST))을 상대 이동시키는 제2 이동장치로서 기능한다.

ㆍ 상기 실시예에서는 조도센서(15)를 X방향을 따라 이동시켜서 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 조도를 검출할 때에 직선상 빔광(LB)의 폭의 10분의 1의 간격으로 자외선 조사유닛(3)을 Y방향을 따라 이동시켰다. 그러나, 자외선 조사유닛(3)을 Y방향을 따라 이동시키는 간격은 직선상 빔광(LB)의 폭의 10분이 1의 간격으로 한정되는 것은 아니고, 적절히 변경해도 된다.

ㆍ 상기 실시예에서는 직선상 빔광(LB)의 광조사면(SF)의 조도를 조도센서(15)에 의해 검출할 때에, 갠트리 본체(2a)를 Y방향을 따라 미세 이동시켰다. 이것에 대신하여 스테이지(ST)의 하측에 설치한 조도 검출장치(12)를 Y방향을 따라 미세 이동시켜도 된다.

ㆍ 상기 실시예에서는 2개의 갠트리 본체(2a)(2개의 자외선 조사유닛(3))를 설치했으나, 그 수를 적절히 변경해도 된다.

ㆍ 상기 실시예에서는 각 자외선 조사유닛(3)에 12개의 조사 모듈(32)을 배치했으나, 그 수를 적절히 변경해도 된다.

ㆍ 상기 실시예에서는 각 조사 모듈(32)의 회로기판(33)에 8개의 자외선 발광 다이오드(LED)를 실장했으나, 그 수를 적절히 변경해도 된다.

ㆍ 상기 실시예에서는 광조사 장치로서 자외선 조사장치로 구체화했으나, 자외선을 조사하는 자외선 발광 다이오드(LED)에 대신하여 가시광을 출사하는 발광 다이오드를 이용한 광조사 장치에 응용해도 된다.

ㆍ 상기 실시예에서는 하부 기판(W1)과 상부 기판(W2)을 접합하기 위한 자외선 경화수지로 이루어지는 밀봉재(S)를 경화하는 자외선 조사장치(1)로 구체화했으나, 그 이외의 기판을 처리하기 위한 광조사 장치에 응용해도 된다.

Claims (12)

1. 제1 방향을 따라 배열된 복수의 광학소자를 포함하는 광조사 장치로부터 직선상 빔광을 조사하는 방법에 있어서,
   상기 복수의 광학소자의 각각으로부터 장타원형상의 조사 영역을 갖는 광을 조사하여 각각의 조사 영역을 겹침으로써 상기 제1 방향을 따라 연장되는 광조사면을 갖는 상기 직선상 빔광을 생성하는 단계;
   기판에 형성된 직선상의 광경화성 수지에 대하여 상기 직선상 빔광의 상기 광조사면을 상기 제1 방향을 따라 대치시키는 단계;
   상기 직선상 빔광을 상기 직선상의 광경화성 수지에 조사하는 단계; 및
   상기 직선상 빔광을 상기 직선상의 광경화성 수지에 조사하는 동안 상기 직선상 빔광의 상기 광조사면과 상기 기판 중의 한쪽을 상기 제1 방향을 따라 상대 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 상대 이동시키는 단계는 상기 복수의 광학소자의 배치간격의 2분의 1 이상의 거리에서 상기 직선상 빔광의 상기 광조사면과 상기 기판 중의 한쪽을 상기 제1 방향을 따라 상대 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
3. 광조사 장치에 있어서,
   직선상의 광경화성 수지가 형성된 기판을 탑재하는 스테이지;
   제1 방향을 따라 배열된 복수의 광학소자를 포함하고, 상기 복수의 광학 소자의 각각으로부터 장타원형상의 조사 영역을 갖는 광을 조사하여 각각의 상기 조사 영역을 겹침으로써 상기 제1 방향을 따라 연장되는 광조사면을 갖는 직선상 빔광을 생성하는 광조사 유닛;
   상기 광조사 유닛의 각 광학소자를 구동하는 광학소자 구동장치;
   상기 광조사 유닛을 상기 제1 방향과 직교하는 방향을 따라 이동시키는 제1 이동장치;
   상기 광조사 유닛 또는 상기 스테이지 상의 상기 기판을 상기 제1 방향을 따라 이동시키는 제2 이동장치; 및
   상기 제1 이동장치를 제어하여 상기 직선상의 광경화성 수지에 대하여 상기 직선상 빔광의 상기 광조사면을 상기 제1 방향을 따라 대치시키는 동시에, 상기 광학소자 구동장치 및 상기 제2 이동장치를 제어하여 상기 직선상 빔광의 상기 광조사면과 상기 기판 중의 한쪽을 상기 제1 방향을 따라 상대 이동시키면서 상기 직선상 빔광을 상기 직선상의 광경화성 수지에 조사시키는 제어장치를 포함하는 광조사 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 제2 이동장치는 상기 스테이지 상에 탑재된 상기 기판에 대하여 상기 광조사 유닛을 상기 제1 방향을 따라 상대 이동시키는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.
5. 제 3 항에 있어서,
   상기 제2 이동장치는 상기 복수의 광학소자의 배치간격의 2분의 1 이상의 거리에서 상기 광조사 유닛과 상기 스테이지 상의 상기 기판 중의 한쪽을 상기 제1 방향을 따라 상대 이동시키는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.
6. 제 3 항에 있어서,
   상기 직선상 빔광의 조도를 검출하는 조도센서, 및
   상기 조도센서를 상기 제1 방향을 따라 이동시키는 제3 이동장치를 포함하고,
   상기 제어장치는 상기 제1 이동장치를 제어하여 상기 광조사 유닛을 상기 조도센서의 바로 위의 위치에 배치하는 동시에, 상기 광학소자 구동장치, 상기 조도센서 및 상기 제3 이동장치를 제어하여 상기 조도센서를 이동시키면서 상기 직선상 빔광의 상기 광조사면에서의 조도를 검출하는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 직선상 빔광을 투과시키도록 상기 제1 방향을 따라 상기 스테이지 내에 형성된 검출창; 및
   상기 스테이지의 하측에 상기 검출창에 대향하도록 배치되고, 상기 검출창을 따라 상기 조도센서의 이동을 안내하는 안내부재를 포함하고,
   상기 조도센서는 상기 안내부재를 따라 이동하는 동안에 상기 검출창을 통해 입사하는 상기 직선상 빔광의 상기 광조사면에서의 조도를 검출하는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.
8. 제 6 항에 있어서,
   상기 조도센서에 의해 검출된 상기 직선상 빔광의 광조사면의 조도에 기초하여 상기 직선상 빔광의 선폭방향에서의 중심위치를 판정하고, 상기 직선상 빔광의 중심위치를 상기 제1 방향과 직교하는 방향에서의 상기 광조사 유닛의 중심위치로서 설정하는 중심위치 설정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 직선상 빔광의 상기 중심위치를 통과하는 라인 상에서 상기 조도센서를 상기 제1 방향을 따라 이동시켜서 상기 직선상 빔광의 상기 중심위치의 조도를 판정하고, 상기 판정된 조도에 기초하여 상기 복수의 광학소자의 발광능력을 판정하는 발광능력 판정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.
10. 제 3 항에 있어서,
    상기 광조사 유닛은 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 회로기판을 포함하고, 상기 복수의 광학소자는 상기 복수의 회로기판에 상기 제1 방향을 따라 직선상으로 실장되어 있는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.
11. 제 3 항에 있어서,
    상기 광조사 유닛은,
    상기 복수의 광학소자의 하나로부터 출사된 광을 각각 수취하는 복수의 반구 렌즈, 및
    상기 복수의 반구 렌즈에서 출사된 광을 수취하는 실린더형 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.
12. 제 3 항 내지 제 11 항에 있어서,
    상기 복수의 광학소자는 자외선 발광 다이오드이며, 상기 광경화성 수지는 자외선 경화성 수지인 것을 특징으로 하는 광조사 장치.

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