CN107219687B - 一种光配向基台、光配向设备及其控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例提供一种光配向基台、光配向设备及其控制方法,涉及显示技术领域,能够解决现有技术中,在光源照射条件下,待配向基板上各个位置处所受到的局部光强度无法检测的问题。包括:机台,用于支撑放置待配向基板。多个光敏电阻,分布设置在机台放置待配向基板的一侧表面。信号发射器和信号接收器,信号发射器和信号接收器分别与每个光敏电阻的两端电连接,信号发射器用于向光敏电阻发出初始电信号,信号接收器用于接收输出电信号。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种光配向基台、光配向设备及其控制方法。
背景技术
液晶显示(LCD)面板通常包括相互对盒的阵列基板和彩膜基板,以及密封设置在相互对盒的阵列基板和彩膜基板之间的液晶层。在液晶显示面板上具有用于形成电场的像素电极和公共电极,通过施加电压在像素电极和公共电极之间产生电场,以确定液晶层的液晶分子的配向并控制入射光的偏振,从而产生图像显示。在施加电压前,需要使液晶分子具有一个初始配向方向。
使液晶具有初始配向方向的常规方法包括接触型的摩擦(Rubbing)定向法和非接触型的光配向(Photo Alignment)定向法。摩擦定向法是利用绒布滚轮摩擦待配向膜的表面,通过施加物理压力使得待配向膜表层的分子按照特定的方向进行排列。当滚轮摩擦待配向膜时,容易造成粉尘颗粒与静电残留及其他摩擦不良,影响产品良率。
所以,行业内目前已经逐步通过光照配向的方式来代替传统的物理摩擦配向膜的方式使液晶分子沿固定方向规律排列为初始取向方向。光配向定向法是使光源(通常为紫外光)通过偏振片后得到偏振光,利用该偏振光照射基板上的配向膜(Poly Imide Film,感光聚酰亚胺薄膜,简称PI膜),以对配向膜进行配向,使得配向膜表层具有光学异向性。与摩擦定向法相比,光配向定向法能够有效地提升产品良率与生产设备的稳定度。
在光配向定向法中,通常是使紫外光源制作的灯条与承载待配向基板的机台之间产生匀速相对移动,以对整个待配向基板表面进行初始配向的。紫外光源由于制作工艺、使用寿命、工作时长等多方因素的影响,照射至待配向基板上各个位置处的紫外光能量大小会有差异,同时,灯条的移动速度也对待配向基板上紫外光能量的大小产生影响,现有技术中无法对照射在待配向基板上各个位置处的紫外光能量大小进行局部检测,要保证待配向基板上各处均达到配向效果,只有整体提高紫外光源对待配向基板的光强度。但是,这样一来,一方面,使得紫外光源的能耗大大提高,造成成本的增加;另一方面,对于待配向基板上原本就能够达到配向效果的位置处,紫外光源的能耗整体提高之后,会使得该位置处产生过度曝光的现象,过度曝光可能会导致待配向基板上的TFT性能受损,影响产品的电学性能,还可能造成待配向基板上彩膜材料中的染料发生变质,对产品的光学性能产生影响。
发明内容
本发明实施例提供一种光配向基台、光配向设备及其控制方法,能够解决现有技术中,在光源照射条件下,待配向基板上各个位置处所受到的局部光强度无法检测的问题。
为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:
本发明实施例的一方面,提供一种光配向基台,包括:机台,用于支撑放置待配向基板。多个光敏电阻,分布设置在机台放置待配向基板的一侧表面。信号发射器和信号接收器,信号发射器和信号接收器分别与每个光敏电阻的两端电连接,信号发射器用于向光敏电阻发出初始电信号,信号接收器用于接收输出电信号。
优选的,多个光敏电阻呈矩阵形式均布设置。
优选的,多个光敏电阻在机台上设置有多列,信号发射器同时向同一列的多个光敏电阻分别发出相同的初始电信号。
进一步的,本发明实施例的光配向基台,还包括平坦材料层,平坦材料层设置在光敏电阻感应光的一侧,用于降低透过平坦材料层的光强度。
优选的,平坦材料层包括滤镜。
优选的,设置在机台上的任意相邻的两个光敏电阻之间的距离在1mm-100mm之间。
本发明实施例的另一方面,提供一种光配向设备,包括上述任一项的光配向基台,还包括配向光源,配向光源为线光源,配向光源的发光方向朝向光配向基台。光配向基台能够沿水平直线运动方向相对于配向光源往复移动;或者,配向光源能够沿水平直线运动方向相对于光配向基台往复移动。其中,配向光源的长度方向与水平直线运动方向相互垂直。
优选的,配向光源由多个点状光源排列组合而成,多个点状光源发出的光线形成线光源。
进一步的,本发明实施例的光配向设备还包括水平设置的运动轨道,运动轨道的延伸方向与水平直线运动方向相同,光配向基台设置在运动轨道内,或者,配向光源设置在运动轨道内。
优选的,本发明实施例的光配向设备还包括驱动器,驱动器设置在沿运动轨道延伸方向的一端。其中,驱动器与光配向基台的一端固定连接,驱动光配向基台在运动轨道内沿水平直线运动方向移动;或者,驱动器与配向光源的一端固定连接,驱动配向光源在运动轨道内沿水平直线运动方向移动。
进一步的,本发明实施例的光配向设备还包括控制器,控制器与信号接收器以及配向光源之间电连接,控制器将信号接收器接收到的电信号与标准值比对,并根据比对结果调节配向光源的发光强度。
优选的,本发明实施例的光配向设备还包括驱动器时,控制器还与驱动器相连接,用于控制驱动器向光配向基台或配向光源施加的驱动力。
本发明实施例的再一方面,提供一种光配向设备的控制方法,包括:控制信号发射器发出初始电信号;在配向光源朝向光配向基台发光的情况下,控制光配向基台与配向光源之间沿水平直线运动方向相对移动;接收通过光敏电阻输出的电信号,根据输出的电信号调节配向光源的光强度和/或配向光源与光配向基台之间沿水平直线运动方向相对移动的速度。
进一步的,光配向设备还包括驱动器时,接收通过光敏电阻输出的电信号,根据输出的电信号调节配向光源的光强度包括:将通过光敏电阻输出的电信号与标准值进行比对,对比对结果显示异常的光敏电阻所对应位置处的配向光源的光强度进行调节。
本发明实施例提供一种光配向基台、光配向设备及其控制方法,包括:机台,用于支撑放置待配向基板。多个光敏电阻,分布设置在机台放置待配向基板的一侧表面。信号发射器和信号接收器,信号发射器和信号接收器分别与每个光敏电阻的两端电连接,信号发射器用于向光敏电阻发出初始电信号,信号接收器用于接收输出电信号。在机台上放置待配向基板的一侧表面上分布设置多个光敏电阻,信号发射器和信号接收器分别与每个光敏电阻的两端电连接,信号发射器向光敏电阻发出初始电信号,信号接收器接收通过光敏电阻输出的电信号,由于光敏电阻能够随着其受到的光强度的变化改变其自身的电阻值,则在不同光照条件下,信号接收器接收到的通过光敏电阻后输出的电信号不同。通过对分布设置在机台上的每一个光敏电阻位置处的光强度进行检测,能够得到待配向基板上各局部受到的光强度信息,进而能够对对应的配向光源进行相应调整,以提高待配向基板的光配向均一性,降低局部过度曝光可能对待配向基板造成的损伤,提高产品的光学性能。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种光配向基台的结构示意图之一;
图2为本发明实施例提供的一种光配向基台的结构示意图之二;
图3为本发明实施例提供的一种光配向基台的结构示意图之三;
图4为信号接收器接收到的经过每一个光敏电阻后的电信号曲线图之一;
图5为本发明实施例提供的一种光配向设备的结构示意图之一;
图6为本发明实施例提供的一种光配向设备中配向光源的结构示意图;
图7为信号接收器接收到的经过每一个光敏电阻后的电信号曲线图之二;
图8为本发明实施例提供的一种光配向设备的结构示意图之二;
图9为本发明实施例提供的一种光配向设备的控制方法的流程图之一;
图10为本发明实施例提供的一种光配向设备的控制方法的流程图之二。
附图标记:
01-光配向基台;02-配向光源;021-点状光源;10-机台;20-光敏电阻;30-信号发射器;40-信号接收器;50-待配向基板;60-平坦材料层;70-运动轨道;80-驱动器;90-控制器;X-水平直线运动方向;Y-配向光源的长度方向;Z-运动轨道的延伸方向。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供一种光配向基台,如图1所示,包括:机台10,用于支撑放置待配向基板50。多个光敏电阻20,分布设置在机台10放置待配向基板50的一侧表面。信号发射器30和信号接收器40,信号发射器30和信号接收器40分别与每个光敏电阻20的两端电连接,信号发射器30用于向光敏电阻20发出初始电信号,信号接收器40用于接收输出电信号。
需要说明的是,第一,在光配向设备中,将待配向基板50放置在机台10上(如图1中箭头所示的方向,将待配向基板50放置于机台10上),并通过配向光源对待配向基板50进行光配向操作时,通常配向光源为沿待配向基板50的长度或宽度方向设置的条状光源,通过使机台10与配向光源之间产生相对移动,条状光源完成对整个待配向基板50的照射,实现对待配向基板50的光配向操作。在本发明实施例的光配向基台中,由于暂不涉及与配向光源之间的相对移动关系,因此,此处对于机台10是否可移动不做具体限制。
第二,光敏电阻20是用硫化镉或硒化镉等半导体材料制成的电阻值随受光面受到光照的强弱而改变的电阻器件,光敏电阻20对光照敏感,能够遵循内光电效应,在其受光面上受到的光强度越大,电阻值就越低,亮电阻值可低至1KΩ以下,在其受光面上受到的光强度较小甚至无光照的条件下,呈高阻状态,暗电阻值可达到1.5MΩ。通过信号发射器30向光敏电阻20发出初始电信号,再通过信号接收器40接收输出的电信号,就能够根据光敏电阻20的电阻值,进而得到对应的照射在光敏电阻20受光面的光强度。
如图1所示,多个光敏电阻20分布设置在机台10的放置待配向基板50的一侧表面,信号发射器30和信号接收器40分别与每个光敏电阻20的两端电连接,并向每一个光敏电阻20发出初始电信号和接收输出的电信号(为了避免连线过多影响附图的显示,图1中未示出信号发射器30和信号接收器40分别与每一个光敏电阻20之间的连接线),这样一来,就能够对设置光敏电阻20的位置处的光强度进行检测。此处对于光敏电阻20的设置数量以及设置位置不做具体限定,可以在机台10上的多个特定位置处分别设置光敏电阻30,用于对特定位置处的光强度进行检测,或者,也可以为在机台10表面呈矩阵形式均布排列设置多个光敏电阻20,以实现对整个机台10上的光强度进行检测。
第三,信号发射器30分别与每个光敏电阻20的两端电连接,通过信号发射器30向每个光敏电阻20发出初始电信号,即为一个初始电压值,由于每个光敏电阻20在其受光面上接收到的光强度不相同,则使得光敏电阻20的阻值也不相同,初始电信号经过光敏电阻20后,初始电压会受到电阻值的影响相应下降,该下降后输出的电压值即为输出的电信号,计算初始电信号与输出电信号之间的差值,即可计算得知该光敏电阻20的电阻值。
此外,本发明的实施例的光配向基台中,对信号发射器30和信号接收器40在机台10上的设置位置不做具体限定,可以为如图1所示的,均设置在机台10的一侧,或者分别设置在机台10的不同侧,或者其他设置方式均可,只要保证信号发射器30和信号接收器40均分别与每个光敏电阻20的两端电连接即可。
本发明实施例提供一种光配向基台,包括:机台,用于支撑放置待配向基板。多个光敏电阻,分布设置在机台放置待配向基板的一侧表面。信号发射器和信号接收器,信号发射器和信号接收器分别与每个光敏电阻的两端电连接,信号发射器用于向光敏电阻发出初始电信号,信号接收器用于接收输出电信号。在机台上放置待配向基板的一侧表面上分布设置多个光敏电阻,信号发射器和信号接收器分别与每个光敏电阻的两端电连接,信号发射器向光敏电阻发出初始电信号,信号接收器接收通过光敏电阻输出的电信号,由于光敏电阻能够随着其受到的光强度的变化改变其自身的电阻值,则在不同光照条件下,信号接收器接收到的通过光敏电阻后输出的电信号不同。通过对分布设置在机台上的每一个光敏电阻位置处的光强度进行检测,能够得到待配向基板上各局部受到的光强度信息,进而能够对对应的配向光源进行相应调整,以提高待配向基板的光配向均一性,降低局部过度曝光可能对待配向基板造成的损伤,提高产品的光学性能。
优选的,如图1所示,多个光敏电阻20在机台10放置待配向基板50的一侧表面呈矩阵形式均匀分布。
这样一来,如图1所示,通过呈矩阵形式均匀分布的多个光敏电阻20,能够覆盖整个待配向基板50表面,对整个待配向基板50表面上各个位置处均进行局部光强度的检测。
优选的,多个光敏电阻20在机台10上设置有多列,信号发射器30同时向同一列的多个光敏电阻20分别发出相同的初始电信号。如图3所示,光敏电阻20在机台10上设置有四列,其中,每一列设置有三个光敏电阻20,信号发射器30同时向同一列的三个光敏电阻20分别发出相同的初始电信号。
这样一来,当配向光源为线光源,且沿光敏电阻20的行排列方向移动以对待配向基板50进行光配向操作时,在任意时刻,同一列的多个光敏电阻20与线光源之间的距离相同,同一列的多个光敏电阻20分别接收配向光源上不同位置的光照。
配向光源沿光敏电阻20的行排列方向匀速移动,配向光源匀速的经过每一列光敏电阻20的正投影上方,此时该列光敏电阻20受到的光强度最大,光敏电阻20的阻值最小,如图4所示,与该匀速移动的速度相配合的,信号发射器30以10ms的时间间隔依次向每一列正投影位置处的光敏电阻20发出4.0V的电压信号,信号接收器40以相同的时间间隔依次接收该列中每一个光敏电阻20处输出的电压信号,例如,在理想状态下,当配向光源位于光敏电阻20的正投影位置处时,可近似认为光敏电阻20的电阻为零,此时接收通过该光敏电阻20后的电压信号可近似看作4.0V。
如图4所示,根据信号接收器40对经过每一行的光敏电阻20后的电信号接收并根据接收到的数据绘制的曲线图可知,由每一行的第三个光敏电阻20开始,接收到的电压信号均降为3.0V,并在其后继续保持3.0V的电压信号。由此可知,配向光源的匀速移动速度在第二列光敏电阻20与第三列光敏电阻20之间发生了变化,导致信号接收器40在按照10ms的时间间隔依次接收电信号时,配向光源未能位于该列光敏电阻20的正投影上方,因此该列光敏电阻20受到的光强度小于正投影光照时的光强度,从而使得光敏电阻20中的阻值不为0,因此,信号接收器40接收到的电压信号小于信号发射器30发出的初始电压信号。这样一来,即可根据信号接收器40接收到的通过光敏电阻20后输出的电压信号得出检测结果,对配向光源的移动速度进行相应的调整。
进一步的,如图2所示,本发明实施例的光配向基台,还包括平坦材料层60,平坦材料层60设置在光敏电阻20感应光的一侧,用于降低透过平坦材料层60的光强度。
由于对待配向基板50进行光照配向的光源通常需要较大的光强度,而光敏电阻20通常具有固定的容值范围,在对待配向基板50进行光照配向的同时通过光敏电阻20检测待配向基板50上各个设置有光敏电阻20的位置处的局部光强度时,光敏电阻20直接对配向光源的光强度进行检测,若光照配向的光强度超出光敏电阻20的容值范围上限,就可能由于光强度过大,使得光敏电阻20的检测结果不准确,甚至使光敏电阻20发生熔损等故障或其他损害。
因此,如图2所示,在机台10上设置有光敏电阻20的一侧表面还设置有平坦材料层60,待配向基板50如图2中箭头所示的方向,放置于机台10的平坦材料层60之上。在对待配向基板50进行光照配向的同时,通过平坦材料层60将配向光源发出光线的光强度进行适当的降低,以使得位于平坦材料层60之下的光敏电阻20的感应光照的一侧所受到的光强度能够落入光敏电阻20的容值范围之内。从而在保证对待配向基板50进行光配向操作所需要的光强度的前提下,还能够保证光敏电阻20感应光照的一侧受到的光强度在光敏电阻20自身的容值范围内,保证光敏电阻20的检测准确性,降低光强度过大对光敏电阻20造成损伤的可能性。
本发明实施例中对于平坦材料层60的结构和材料不做限定,只要能够满足表面平坦且能够降低通过的光线的光强度即可。
优选的,如图2所示,平坦材料层60包括滤镜。
使用滤镜作为平坦材料层60,首先,能够保证平坦材料层60表面为平面,以提高放置在平坦材料层60上的待配向基板50的稳定性,同时避免由于放置表面不平坦,使得待配向基板50的局部受力过大发生破损等表面损伤。其次,滤镜作为平坦材料层60,能够通过滤镜材料和参数的设置,将滤镜的光透过率进行较大范围的调整,以配合各种不同类型的光敏电阻20的容值范围要求,例如,通常情况下,对待配向基板50进行光配向的配向光源为紫外光,利用紫外光进行配向,则通过滤镜的材料和参数的设置,能够对应调整光源中紫外光的出光率。此外,滤镜作为一种较为成熟的技术,使用滤镜作为平坦材料层60,制作工序不复杂,制作成本较低,批量制作良品率较高。
优选的,如图3所示,设置在机台10上的任意相邻的两个光敏电阻20之间的距离T在1mm-100mm之间。
相邻两个光敏电阻20之间的距离T若小于1mm,则相邻两个光敏电阻20之间的距离过近,一方面造成光敏电阻20器件的浪费,同时导致信号发射器30及信号接收器40所需发送和接收的数据量过大;另一方面,相邻两个光敏电阻20之间的距离过近,光强度对相邻的光敏电阻20之间的影响差异较小,增加了数据处理的难度,同时也会降低检测的精确度。相邻两个光敏电阻20之间的距离T若大于100mm,则相邻两个光敏电阻20之间的距离过大,对常规尺寸的待配向基板50来说,难以对整个待配向基板50的各个局部位置进行全面的检测。
本发明实施例的另一方面,提供一种光配向设备,如图5所示,包括上述任一项的光配向基台01,还包括配向光源02,配向光源02为线光源,配向光源02的发光方向(如图5中虚线箭头所示的方向)朝向光配向基台01。光配向基台01能够沿水平直线运动方向X相对于配向光源02往复移动;或者,配向光源02能够沿水平直线运动方向X相对于光配向基台01往复移动。其中,配向光源02的长度方向Y与水平直线运动方向X相互垂直。
例如,如图5所示,以配向光源02沿水平直线运动方向X相对于光配向基台01往复移动为例。
使用本发明实施例的光配向设备对待配向基板50进行光配向操作,首先,通过机械手或其他移动装置将待配向基板50移送至光配向基台01的机台10上,如图5所示,配向光源02设置在光配向基台01的一侧,且配向光源02的发光方向朝向光配向基台01,这样一来,配向光源02发出的光线能够直接朝向放置在光配向基台01上的待配向基板50进行照射配向。配向光源02为线光源,配向光源02在与光配向基台01之间的相对位置固定的情况下,只能够对位于其正投影下方的线状范围内的待配向基板50进行光配向,对于待配向基板50的其他位置,由于与配向光源02之间的距离较远,得到配向光源02的光强度不足,难以完成配向。因此,如图5所示,配向光源02可沿与其长度方向Y相垂直的水平直线运动方向X相对于光配向基台01往复匀速移动,在匀速移动的过程中,待配向基板50上的各个位置依次经过配向光源02正投影下方的线状范围,配向光源02发出的线性光线沿水平直线运动方向X对位于配向光源02的正投影下方的待配向基板50进行光配向,从而实现对放置在光配向基台01上的整个待配向基板50完成光配向操作。
同样的,还可以固定配向光源02的位置,使光配向基台01沿水平直线运动方向X相对于配向光源02往复移动。在上述对配向光源02沿水平直线运动方向X相对于光配向基台01往复移动的具体举例说明中,已经对于本发明实施例的光配向设备进行光配向操作以及对待配向基板50上各个位置处的检测过程进行了详细的说明,二者只是相对移动方式不同,其光配向操作和检测的原理和过程均相同,此处不再赘述。
优选的,如图6所示,配向光源02由多个点状光源021排列组合而成,多个点状光源021发出的光线形成线光源。
这样一来,当配向光源02上的某一个点状光源021发生故障导致对待配向基板50的光配向不均时,能够通过直接更换发生故障的点状光源021,而不必更换整个配向光源02,从而能够提高整个配向光源02的使用寿命,节省光配向操作的生产工艺成本。
例如,如图5所示,配向光源02沿水平直线运动方向X匀速移动对放置在光配向基台01上的待配向基板50进行光配向操作。如图7所示,为光配向基台01上的信号接收器40对经过每一个光敏电阻20后的电信号接收并根据接收到的数据绘制的曲线图,以理想状态下,向每一个光敏电阻20发出4.0V的电压信号,配向光源02位于光敏电阻20的正投影位置处时,光敏电阻20的电阻为零,此时通过信号接收器40接收通过该光敏电阻20后的电压信号即为4.0V为例,如图7所示,可知在相同的时间间隔下依次接收的经过每一行光敏电阻20后的输出电压信号值,其中,经过第二行的四个光敏电阻20后输出的电压信号值均为2V,可知第二行的四个光敏电阻20位置处受到的光强度均低于其他位置。据此即可判断,配向光源02对应第二行光敏电阻20位置处的点状光源021可能由于超过使用寿命或者其他原因而发生故障,导致该位置处的光强度过低,根据检测结果,直接对对应位置的点状光源021进行更换即可。
进一步的,本发明实施例的光配向设备还包括水平设置的运动轨道70,运动轨道70的延伸方向Z与水平直线运动方向X相同,光配向基台01设置在运动轨道70内,或者,配向光源02设置在运动轨道70内。
如图8所示,以下以光配向基台01设置在运动轨道70内为例进行说明。运动轨道70的延伸方向Z与水平直线运动方向相同,光配向基台01能够在运动轨道70内,沿着运动轨道70的延伸方向相对于配向光源02进行往复移动,由于运动轨道70的轨道路径限制,能够使得光配向基台01的移动轨迹保持直线且运动平稳,从而提高本发明实施例的光配向设备对待配向基板50进行光配向操作时的配向均一性。
此外,也可以将配向光源02设置在运动轨道70内,在进行光配向操作时,使配向光源02在运动轨道70内相对于光配向基台01往复移动,其运动轨道70的设置和运行方式与上述举例说明相同,此处不再赘述。
还需要说明的是,本发明实施例的光配向设备中,对于运动轨道70的设置数量、设置位置以及运动轨道的形状结构均不做限定,只要能够将光配向基台01或配向光源02设置在其轨道内使光配向基台01或配向光源02能够沿着运动轨道70的延伸方向进行往复运动,且运动轨道70的设置位置不会对配向光源02对待配向基板的光照造成遮挡即可。
优选的,如图8所示,本发明实施例的光配向设备还包括驱动器80,驱动器80设置在沿运动轨道70的延伸方向Z的一端。其中,驱动器80与光配向基台01的一端固定连接,驱动光配向基台01在运动轨道70内沿水平直线运动方向X移动;或者,驱动器80与配向光源02的一端固定连接,驱动配向光源02在运动轨道70内沿水平直线运动方向X移动。
例如,如图8所示,在运动轨道70的延伸方向Z的一端设置驱动器80,驱动器80与光配向基台01的一端固定连接,在驱动器80的驱动下,光配向基台01能够在运动轨道70内,沿水平直线运动方向X匀速的往复移动,通过驱动器80的设置,保证光配向基台01与配向光源02之间相对移动的匀速性,从而进一步提高本发明实施例的光配向设备对待配向基板50进行光配向操作时的配向均一性。
此外,还可以在配向光源02设置在运动轨道70内情况下,在运动轨道70的延伸方向Z的一端设置驱动器80,驱动器80与配向光源02的一端固定连接,在驱动器80的驱动下,配向光源02在运动轨道70内沿水平直线运动方向X匀速的往复移动,在此情况下,驱动器80的设置方式及工作原理与上述举例说明相同,在上述举例中已经对此进行了详细的说明,此处不再赘述。
进一步的,如图8所示,本发明实施例的光配向设备还包括控制器90,控制器90与信号接收器40以及配向光源02之间电连接(图8中未示出控制器90的电连接线路),控制器90将信号接收器40接收到的电信号与标准值比对,并根据比对结果调节配向光源02的发光强度。
这样一来,只需在控制器90中预先设置电信号的标准值,该标准值为在标准光照条件下,向光敏电阻20发出初始电信号后,经过光敏电阻20后接收的输出电信号值。在光配向设备对待配向基板50进行光配向操作以及对待配向基板50上各位置处的光配向检测过程中,信号接收器40接收到的电信号在控制器90中直接与标准值进行比对,若比对结果在设定的阈值范围内,即该光敏电阻20所在位置处的光强度与标准光照条件相同或较为接近,因此,该光敏电阻20的阻值与标准光照条线下光敏电阻20的阻值相同或较为接近,则认为该位置处的光强度正常,光配向效果可接受,则控制器90不做处理;若比对结果超出预先设定的阈值范围,即该光敏电阻20所在位置处的光强度与标准光照条件相差较大,该光敏电阻20所在位置处的光强度过大或过小,导致该光敏电阻20的阻值与标准光照条线下光敏电阻20的阻值差异较大,因此则认为该位置处的光强度异常,控制器90能够直接根据比对结果对对应该位置处的配向光源02进行调整,降低或提高对应位置处的光强度,以使得整个待配向基板50上的各个位置处的光强度保持均等,提高待配向基板50的光配向均一性。
例如,如图7所示,初始电信号的电压值设置为4V,在标准光照条件下,配向光源位于光敏电阻20的正投影上方垂直照射时,光敏电阻20受到的光强度大,光敏电阻20的阻值小,可以近似认为阻值为0,则初始电信号经过光敏电阻20几乎无损耗,接收的输出电信号也应为4V,在控制器90中预先设置电信号的标准值即为4V,考虑到一定的允许误差,设定阈值范围为3.9V-4V。在光配向设备对待配向基板50进行光配向操作以及对待配向基板50上各位置处的光配向检测过程中,信号接收器40接收到的输出电信号在控制器90中直接与标准值进行比对,若信号接收器40接收到的输出电信号为4V,则落入设定的阈值范围内,即认为该位置处的光强度正常,光配向效果可接受,控制器90不做处理;如图7所示,若信号接收器40接收到的输出电信号为2V,明显超出了设定的阈值范围,则该位置处的光强度过小,导致该光敏电阻20的阻值明显大于标准光照条线下光敏电阻20的阻值,控制器90能够直接根据比对结果对对应该位置处的配向光源02进行调整,相应提高对应位置处的光强度。这种情况是设定光敏电阻20可接收的最大光强度为标准光照条件,设置的这种标准值比对条件,仅能够检测并调整光强度低于标准光照条件的差异。
又例如,初始电信号的电压值设置为4V,在标准光照条件下,配向光源位于光敏电阻20的正投影上方垂直照射时,光敏电阻20受到的光强度能够使得光敏电阻20为一固定的阻值,初始电信号经过标准光照条件下的光敏电阻20后输出的电信号为3V,即在控制器90中预先设置电信号的标准值即为3V,考虑到一定的允许误差,设定阈值范围为2.9V-3.1V。在光配向设备对待配向基板50进行光配向操作以及对待配向基板50上各位置处的光配向检测过程中,信号接收器40接收到的输出电信号在控制器90中直接与标准值进行比对,若信号接收器40接收到的输出电信号为3.1V,则落入设定的阈值范围内,即认为该位置处的光强度正常,光配向效果可接受,控制器90不做处理;若信号接收器40接收到的输出电信号为2V,低于设定的阈值范围的最低值,则该位置处的光强度过小,导致该光敏电阻20的阻值大于标准光照条线下光敏电阻20的阻值,控制器90能够直接根据比对结果对对应该位置处的配向光源02进行调整,相应提高对应位置处的光强度;若信号接收器40接收到的输出电信号为3.8V,高于设定的阈值范围的最高值,则该位置处的光强度过大,导致该光敏电阻20的阻值小于标准光照条线下光敏电阻20的阻值,控制器90能够直接根据比对结果对对应该位置处的配向光源02进行调整,相应降低对应位置处的光强度。这种标准值比对条件,能够同时对光强度大于或小于标准值阈值范围的差异均进行检测并根据检测结果进行相应的调节修正。
优选的,本发明实施例的光配向设备还包括驱动器80时,控制器90还与驱动器80相连接,用于控制驱动器80向光配向基台01或配向光源02施加的驱动力。
如图4所示,当配向光源02与光配向基台01之间的匀速相对运动速度出现偏差时,也会导致待配向基板50上的光配向结果不均一,产生局部配向结果不理想,或者局部曝光过度的问题。这种情况下,控制器90还与驱动器80相连接,因此,控制器90能够根据检测结果,控制驱动器80提高或是降低向光配向基台01或配向光源02施加的驱动力,从而相应的提高或降低配向光源02与光配向基台01之间的相对运动速度,以将相对运动速度调整并保持为预定的匀速运动速度。
需要说明的是,第一,上述在控制器90中预设的用于与接收到的电信号进行比对的标准值,可以为在通过多次光配向试验操作中总结得到的数据表格中查表设定的数值,或者也可以为出厂设置的标准数值,还可以包括本领域技术人员通过其他方式得到的标准数值,此处不做具体限定。
第二,本领域技术人员应该知道,配向光源02对待配向基板50对应位置处的光强度与通过该位置处的光敏电阻20后输出的电压信号值之间存在正比例关系,即,同一位置处,光强度越大,光敏电阻20的电阻值越小,经过光敏电阻20后输出的电压信号越大;反之,光强度越小,光敏电阻20的电阻值越大,经过光敏电阻20后输出的电压信号越小。因此,根据上述的光强度与电压信号之间的对应关系,即可通过计算得到,要调节相应电压值的差值至阈值范围内,所应该对应增加或降低的光强度。同样的,上述光强度与电压信号之间的具体对应数值关系,可以为通过公式计算得到,或者,根据多次光配向试验操作中总结得到的数据对应关系制表查表,或者其他本领域技术人员所能够利用的方式均可,此处对该对应关系的计算方式不做具体限定。
第三,当比对结果不在预设的阈值范围内时,根据差值对配向光源02进行调节或修正,可以为按照上述方式查表或计算后,直接修改为对应数值,或者,也可以为按照预设的步长,逐步进行调节,并随着调节过程不断反馈调节过程中的比对结果,以不断进行修正,直至将比对结果调节至阈值范围内。
本发明实施例的再一方面,提供一种光配向设备的控制方法,如图9所示,包括:
S101、控制信号发射器30发出初始电信号。
S102、在配向光源02朝向光配向基台01发光的情况下,控制光配向基台01与配向光源02之间沿水平直线运动方向X相对移动。
S103、接收通过光敏电阻20输出的电信号,根据输出的电信号调节配向光源02的光强度和/或配向光源02与光配向基台01之间沿水平直线运动方向X相对移动的速度。
将待配向基板50通过机械手等移送装置移至光配向基台01上,并开启配向光源02,配向光源02发出的光线朝向光配向基台01以及放置在光配向基台01上的待配向基板50发光。
首先,控制信号发射器30发出初始电信号。在配向光源02朝向光配向基台01发光的情况下,控制光配向基台01与配向光源02之间沿水平直线运动方向X相对移动。然后,通过信号接收器40接收通过光敏电阻20输出的电信号,根据输出的电信号调节配向光源02的光强度和/或配向光源02与光配向基台01之间沿水平直线运动方向X相对移动的速度。
需要说明的是,第一,根据不同的检测方式,控制信号发射器30发出初始电信号,可以是在光配向基台01与配向光源02之间沿水平直线运动方向X相对移动过程中,在相同的时间间隔内,使得信号发射器30多次同时向每一个光敏电阻20发出初始电信号,也可以是随着光配向基台01与配向光源02之间沿水平直线运动方向X相对移动时,在与匀速的相对移动相配合的时间间隔内,依次分别向每一列中的多个光敏电阻20发出初始电信号。本发明实施例的光配向设备的控制方法对此不作具体限定。
第二,根据检测结果所反映出的光配向不均匀的问题,例如,如图4所示,检测结果中,每一行输出信号均是由第三个的光敏电阻20开始发生数值异常,则根据检测结果可知,光配向基台01与配向光源02之间沿水平直线运动方向X的相对移动在对应第三列光敏电阻20的位置处移动速度出错,即可根据输出的电信号对配向光源02与光配向基台01之间沿水平直线运动方向X相对移动的速度进行相应的调节。又例如,如图7所示,检测结果中,经过第二行的多个光敏电阻20的输出信号发生异常,经过第一行和第三行的多个光敏电阻20的输出信号均正常,则根据检测结果可知,配向光源02中对应第二行的光敏电阻20位置处的点状光源021可能由于超过使用寿命或发生故障造成光强度的下降,即可根据输出的电信号对应对配向光源02的光强度进行调节。或者,还有可能在配向光源02的光强度发生异常的同时,配向光源02与光配向基台01之间沿水平直线运动方向X相对移动的速度也发生异常,此时则可根据检测结果同时对配向光源02的光强度和配向光源02与光配向基台01之间沿水平直线运动方向X相对移动的速度进行相应调节。
此外,还可以为将与配向光源02的长度方向Y相平行的每一列的多个光敏电阻20之间串联,在相同的时间间隔内,依次分别向每一列的一端发出初始电信号,再通过信号接收器40依次由每一列的另一端接收输出的电信号,并根据输出电信号调节配向光源02与光配向基台01之间沿水平直线运动方向X相对移动的速度。由于这种方式在节省检测能耗的同时,会损失一定的检测精度,且无法检测配向光源02上各个位置处的光强度差异,因此,此方式并不作为优选方式。
进一步的,光配向设备还包括驱动器90时,如图10所示,接收通过光敏电阻20输出的电信号,根据输出的电信号调节配向光源02的光强度包括:
S1031、将通过光敏电阻20输出的电信号与标准值进行比对,对比对结果显示异常的光敏电阻20所对应位置处的配向光源02的光强度进行调节。
其中,在控制器90中预先设置电信号的标准值,在光配向设备对待配向基板50进行光配向操作以及对待配向基板50上各位置处的光配向检测过程中,信号接收器40接收到的电信号在控制器90中直接与标准值进行比对,若比对结果在设定的阈值范围内,则显示正常,可以认为该位置处的光强度正常,控制器90不做下一步处理;若比对结果超出预先设定的阈值范围,则显示异常,即认为该位置处的光强度异常,控制器90进一步根据比对结果对对应该位置处的配向光源02进行调整,降低或提高对应位置处点状光源021的光强度,或者提示更换该对应位置处的点状光源021,以使得整个待配向基板50上各个位置处的光强度保持均等,提高待配向基板50的光配向均一性。
在上述对光配向设备的工作原理及工作过程的具体描述中,已经对应用本发明实施例的光配向设备进行光配向操作的控制方法进行了详细的说明,此处不再赘述。
以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (12)
1.一种光配向基台,其特征在于,包括:
机台,用于支撑放置待配向基板;
多个光敏电阻,分布设置在所述机台放置所述待配向基板的一侧表面;设置在所述机台上的任意相邻的两个所述光敏电阻之间的距离在1mm-100mm之间;
信号发射器和信号接收器,所述信号发射器和所述信号接收器分别与每个所述光敏电阻的两端电连接,所述信号发射器用于向所述光敏电阻发出初始电信号,所述信号接收器用于接收输出电信号;
所述光配向基台还包括平坦材料层,所述平坦材料层设置在所述光敏电阻感应光的一侧,用于降低透过所述平坦材料层的光强度。
2.根据权利要求1所述的光配向基台,其特征在于,多个所述光敏电阻呈矩阵形式均布设置。
3.根据权利要求1所述的光配向基台,其特征在于,多个所述光敏电阻在所述机台上设置有多列,所述信号发射器同时向同一列的多个所述光敏电阻分别发出相同的初始电信号。
4.根据权利要求1所述的光配向基台,其特征在于,所述平坦材料层包括滤镜。
5.一种光配向设备,其特征在于,包括如权利要求1所述的光配向基台,还包括配向光源,所述配向光源为线光源,所述配向光源的发光方向朝向所述光配向基台;
所述光配向基台能够沿水平直线运动方向相对于所述配向光源往复移动;或者,所述配向光源能够沿所述水平直线运动方向相对于所述光配向基台往复移动;
其中,所述配向光源的长度方向与所述水平直线运动方向相互垂直。
6.根据权利要求5所述的光配向设备,其特征在于,所述配向光源由多个点状光源排列组合而成,多个所述点状光源发出的光线形成线光源。
7.根据权利要求5或6所述的光配向设备,其特征在于,还包括水平设置的运动轨道,所述运动轨道的延伸方向与所述水平直线运动方向相同,所述光配向基台设置在所述运动轨道内,或者,所述配向光源设置在所述运动轨道内。
8.根据权利要求7所述的光配向设备,其特征在于,还包括驱动器,所述驱动器设置在沿所述运动轨道延伸方向的一端;
其中,所述驱动器与所述光配向基台的一端固定连接,驱动所述光配向基台在所述运动轨道内沿所述水平运动方向水平直线运动方向移动;或者,所述驱动器与所述配向光源的一端固定连接,驱动所述配向光源在所述运动轨道内沿所述水平运动方向水平直线运动方向移动。
9.根据权利要求5或6所述的光配向设备,其特征在于,还包括控制器,所述控制器与信号接收器以及所述配向光源之间电连接,所述控制器将所述信号接收器接收到的电信号与标准值比对,并根据比对结果调节所述配向光源的发光强度。
10.根据权利要求9所述的光配向设备,其特征在于,所述光配向设备还包括驱动器,所述控制器还与所述驱动器相连接,用于控制所述驱动器向所述光配向基台或所述配向光源施加的驱动力。
11.一种如权利要求5所述的光配向设备进行光配向的控制方法,其特征在于,包括:
控制信号发射器发出初始电信号;
在配向光源朝向光配向基台发光的情况下,控制所述光配向基台与所述配向光源之间沿水平直线运动方向相对移动;
接收通过光敏电阻输出的电信号,根据输出的电信号调节所述配向光源的光强度和/或所述配向光源与所述光配向基台之间沿水平直线运动方向相对移动的速度。
12.根据权利要求11所述的控制方法,其特征在于,所述光配向设备还包括驱动器,所述接收通过光敏电阻输出的电信号,根据输出的电信号调节所述配向光源的光照强度包括:
将通过光敏电阻输出的电信号与标准值进行比对,对比对结果显示异常的所述光敏电阻所对应位置处的所述配向光源的光强度进行调节。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710637523.0A CN107219687B (zh) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | 一种光配向基台、光配向设备及其控制方法 |
US15/972,426 US10509266B2 (en) | 2017-07-28 | 2018-05-07 | Photo alignment bench, photoalignment device and control method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710637523.0A CN107219687B (zh) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | 一种光配向基台、光配向设备及其控制方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107219687A CN107219687A (zh) | 2017-09-29 |
CN107219687B true CN107219687B (zh) | 2020-08-25 |
Family
ID=59954935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710637523.0A Expired - Fee Related CN107219687B (zh) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | 一种光配向基台、光配向设备及其控制方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10509266B2 (zh) |
CN (1) | CN107219687B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107561746B (zh) * | 2017-10-12 | 2020-06-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 光配向膜的配向能力检测方法、装置及存储介质 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103765303A (zh) * | 2012-04-19 | 2014-04-30 | 信越工程株式会社 | 光定向照射装置 |
CN104849965A (zh) * | 2014-02-13 | 2015-08-19 | 三星显示有限公司 | 曝光装置和使用该曝光装置的曝光方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105425478B (zh) * | 2016-01-04 | 2019-09-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种对盒装置 |
-
2017
- 2017-07-28 CN CN201710637523.0A patent/CN107219687B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2018
- 2018-05-07 US US15/972,426 patent/US10509266B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103765303A (zh) * | 2012-04-19 | 2014-04-30 | 信越工程株式会社 | 光定向照射装置 |
CN104849965A (zh) * | 2014-02-13 | 2015-08-19 | 三星显示有限公司 | 曝光装置和使用该曝光装置的曝光方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10509266B2 (en) | 2019-12-17 |
US20190033667A1 (en) | 2019-01-31 |
CN107219687A (zh) | 2017-09-29 |
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---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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