JP5924267B2 - 検査方法、検査装置、露光管理方法、露光システムおよび半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
検査方法、検査装置、露光管理方法、露光システムおよび半導体デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5924267B2 JP5924267B2 JP2012548796A JP2012548796A JP5924267B2 JP 5924267 B2 JP5924267 B2 JP 5924267B2 JP 2012548796 A JP2012548796 A JP 2012548796A JP 2012548796 A JP2012548796 A JP 2012548796A JP 5924267 B2 JP5924267 B2 JP 5924267B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- inspection
- light
- pattern
- exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0808—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more diffracting elements
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70341—Details of immersion lithography aspects, e.g. exposure media or control of immersion liquid supply
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
- G03F7/70641—Focus
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70783—Handling stress or warp of chucks, masks or workpieces, e.g. to compensate for imaging errors or considerations related to warpage of masks or workpieces due to their own weight
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
- G01N2021/95615—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method with stored comparision signal
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
Description
5 検査ステージ
10 ウェハ(基板)
35 撮像装置(検出部)
40 画像処理部(フォーカス状態演算部)
50 検査部
100 露光装置
150 ウェハステージ(基板支持部)
200 主制御装置
Claims (18)
- 露光装置の露光時に基板を支持する基板支持部を検査する検査方法であって、
露光された基板の表面を照明光で照射することと、
前記照射された表面にあるパターンからの反射光を検出することと、
前記検出された反射光から、前記基板のパターンを露光したときのフォーカス状態を求めることと、
前記フォーカス状態から、前記基板支持部の状態を検査することとを含み、
前記パターンからの反射光を検出する際に、前記パターンから第1の方向に進む第1の光に応じた第1検出信号と、前記第1の方向とは異なる第2の方向に進む第2の光に応じた第2検出信号とを検出し、
前記基板支持部の状態を検査する際に、
複数の既知の加工条件により形成された複数のパターンから前記第1の方向に進む光の検出結果と、前記複数の既知の加工条件との相関を示す第1基準データと前記第1検出信号との比較結果、及び、
前記複数の既知の加工条件により形成された前記複数のパターンから前記第2の方向に進む光の検出結果と、前記複数の既知の加工条件との相関を示す第2の基準データと前記第2の検出信号との比較結果に基づき、前記基板支持部の状態を検査することを特徴とする検査方法。 - 少なくとも前記基板の周縁部の複数の位置で、前記フォーカス状態を求めることを特徴とする請求項1に記載の検査方法。
- 前記パターンは前記基板の異なる領域に繰り返し露光することで設けられており、前記フォーカス状態は前記繰り返し露光の1露光領域よりも小さい範囲ごとに求めることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査方法。
- 前記基板支持部の凸状態または前記基板支持部と前記基板との間の間隔を検査することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の検査方法。
- 複数の領域のパターンのフォーカス状態からフォーカス状態のマッピングを行うことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の検査方法。
- 表面検査を行う基板のパターンからの前記第1検出信号と前記第1基準データとの一致度、および該パターンからの前記第2検出信号と前記第2基準データとの一致度に基づいてフォーカス状態を求めることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査方法。
- 請求項6に記載の検査方法であって、
前記第1の光と前記第2の光の少なくとも一方は回折光である検査方法。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の検査方法により得られた検査結果を、前記露光装置に伝達することを特徴とする露光管理方法。
- 半導体デバイスの製造方法であって、
前記半導体デバイスの設計を行うことと、
前記設計に基づいたレチクルを製作することと、
シリコン材料からウェハを製作することと、
露光により前記レチクルのパターンを前記ウェハに転写することと、
前記ウェハから所定の領域を切り出して半導体デバイスの組立を行うことと、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の検査方法を用いて前記半導体デバイスの検査を行うこととを含むことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 - 露光装置の露光時に基板を支持する基板支持部を検査する検査装置であって、
前記露光装置で露光された基板の表面を照明光で照射し、照射された表面にあるパターンからの反射光を検出する検出部と、
前記検出部で検出された前記反射光の検出結果から、前記基板のパターンを露光したときのフォーカス状態を求めるフォーカス状態演算部と、
前記フォーカス状態演算部で求められたフォーカス状態から、前記基板支持部を検査する検査部とを備え、
前記検出部は、前記パターンから第1の方向に進む第1の光に応じた第1検出信号と、前記第1の方向とは異なる第2の方向に進む第2の光に応じた第2検出信号とを検出し、
前記検査部は、
複数の既知の加工条件により形成された複数のパターンから前記第1の方向に進む光の検出結果と、前記複数の既知の加工条件との相関を示す第1基準データと前記第1検出信号との比較結果、及び、
前記複数の既知の加工条件により形成された前記複数のパターンから前記第2の方向に進む光の検出結果と、前記複数の既知の加工条件との相関を示す第2の基準データと前記第2の検出信号との比較結果に基づき、前記基板支持部の状態を検査することを特徴とする検査装置。 - 前記検査部は、前記基板支持部の凸状態または前記支持部と前記基板との間の間隔を検査することを特徴とする請求項10に記載の検査装置。
- 前記フォーカス状態演算部は、複数の領域のパターンのフォーカス状態からフォーカス状態のマッピングを行うことを特徴とする請求項10または請求項11に記載の検査装置。
- 前記第1基準データ、および前記第2基準データを記憶する記憶部をさらに備え、
前記フォーカス状態演算部は、表面検査を行う基板のパターンからの前記第1検出信号と前記第1基準データとの一致度、および該パターンからの前記第2検出信号と前記第2基準データとの一致度に基づいてフォーカス状態を求めることを特徴とする請求項10から請求項12のいずれか1項に記載の検査装置。 - 請求項10に記載の検査装置であって、
前記第1の光と前記第2の光の少なくとも一方は回折光である検査装置。 - 前記検出部は、前記基板を照明する照明光の光路に挿抜自在に設けられ、前記照明光のうちs偏光成分を透過させるように構成された照明側偏光フィルタ、又は、前記第1の光と前記第2の光の少なくとも一方である前記回折光の光路に挿抜自在に設けられ、前記回折光のうちs偏光成分を透過させるように構成された受光側偏光フィルタを備える請求項14に記載の表面検査装置。
- 請求項10から請求項15のいずれか1項に記載の検査装置と、前記露光装置と、前記検査部による検査結果を前記検査装置から前記露光装置に伝達する伝達部を備える露光システム。
- 前記露光装置は、前記基板に対して液体を介して前記パターンを露光する液浸型の露光装置である請求項16に記載の露光システム。
- 前記露光装置は、前記基板支持部を清掃する清掃部材を備え、前記検査部による前記検査結果に基づいて前記基板支持部を清掃するように構成されている請求項16又は17に記載の露光システム。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010278308 | 2010-12-14 | ||
JP2010278308 | 2010-12-14 | ||
JP2011004306 | 2011-01-12 | ||
JP2011004306 | 2011-01-12 | ||
PCT/JP2011/078819 WO2012081587A1 (ja) | 2010-12-14 | 2011-12-13 | 検査方法、検査装置、露光管理方法、露光システムおよび半導体デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012081587A1 JPWO2012081587A1 (ja) | 2014-05-22 |
JP5924267B2 true JP5924267B2 (ja) | 2016-05-25 |
Family
ID=46234906
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012548796A Active JP5924267B2 (ja) | 2010-12-14 | 2011-12-13 | 検査方法、検査装置、露光管理方法、露光システムおよび半導体デバイスの製造方法 |
JP2012548813A Active JP5867412B2 (ja) | 2010-12-14 | 2011-12-14 | 表面検査装置及びその方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012548813A Active JP5867412B2 (ja) | 2010-12-14 | 2011-12-14 | 表面検査装置及びその方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US9240356B2 (ja) |
JP (2) | JP5924267B2 (ja) |
KR (1) | KR101950523B1 (ja) |
CN (1) | CN103250232B (ja) |
TW (2) | TWI550356B (ja) |
WO (2) | WO2012081587A1 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5924267B2 (ja) | 2010-12-14 | 2016-05-25 | 株式会社ニコン | 検査方法、検査装置、露光管理方法、露光システムおよび半導体デバイスの製造方法 |
WO2014016056A1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-01-30 | Asml Netherlands B.V. | Inspection method and apparatus, lithographic system and device manufacturing method |
NL2009367C2 (en) * | 2012-08-27 | 2014-03-03 | Stichting Vu Vumc | Microscopic imaging apparatus and method to detect a microscopic image. |
WO2014045508A1 (ja) * | 2012-09-18 | 2014-03-27 | 日本電気株式会社 | 検査装置、検査方法、および検査プログラム |
TWI614586B (zh) | 2012-12-20 | 2018-02-11 | Nikon Corp | 評估方法及裝置、加工方法、以及曝光系統 |
JP5957378B2 (ja) * | 2012-12-28 | 2016-07-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥観察方法および欠陥観察装置 |
WO2014200648A2 (en) * | 2013-06-14 | 2014-12-18 | Kla-Tencor Corporation | System and method for determining the position of defects on objects, coordinate measuring unit and computer program for coordinate measuring unit |
JP6313591B2 (ja) * | 2013-12-20 | 2018-04-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、異物除去方法及び物品の製造方法 |
JP6420895B2 (ja) * | 2014-08-06 | 2018-11-07 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置及び物体位置決めシステム |
US10607334B2 (en) * | 2014-12-09 | 2020-03-31 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for image analysis |
US10437157B2 (en) | 2014-12-09 | 2019-10-08 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for image analysis |
JP2018056143A (ja) * | 2014-12-26 | 2018-04-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 露光条件評価装置 |
CN106502055B (zh) * | 2015-09-06 | 2019-04-19 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 光刻失焦的检测方法 |
CN108020992B (zh) * | 2016-10-31 | 2019-11-26 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种浸液供给装置及方法 |
US10312859B2 (en) * | 2017-05-12 | 2019-06-04 | Michael Gostein | Optical soiling measurement device for photovoltaic arrays |
KR102368435B1 (ko) * | 2017-07-28 | 2022-03-02 | 삼성전자주식회사 | 기판 검사 장치, 기판 검사 방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 |
JP7010633B2 (ja) * | 2017-09-19 | 2022-01-26 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
US10451564B2 (en) * | 2017-10-27 | 2019-10-22 | Applied Materials, Inc. | Empirical detection of lens aberration for diffraction-limited optical system |
US11199506B2 (en) * | 2018-02-21 | 2021-12-14 | Applied Materials Israel Ltd. | Generating a training set usable for examination of a semiconductor specimen |
CN109241114B (zh) * | 2018-08-31 | 2021-12-03 | 上海华力微电子有限公司 | 故障设备识别系统及识别方法和计算机存储介质 |
US11131929B2 (en) * | 2018-11-07 | 2021-09-28 | Waymo Llc | Systems and methods that utilize angled photolithography for manufacturing light guide elements |
CN112729150B (zh) * | 2019-10-14 | 2021-10-22 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 机器人夹持下的导管测量方法 |
US11131934B2 (en) | 2019-10-29 | 2021-09-28 | Waymo Llc | Non-telecentric light guide elements |
CN112880597B (zh) * | 2019-12-26 | 2022-12-27 | 南京力安半导体有限公司 | 晶圆平整度的测量方法 |
JP7309639B2 (ja) * | 2020-03-13 | 2023-07-18 | キオクシア株式会社 | 半導体装置製造システム、半導体装置製造プログラム、及び半導体装置の製造方法 |
TWI785582B (zh) * | 2020-05-08 | 2022-12-01 | 荷蘭商Asml荷蘭公司 | 用於在帶電粒子束檢測系統中增強檢測影像之方法、影像增強裝置及其相關非暫時性電腦可讀媒體 |
CN113399377B (zh) * | 2020-06-23 | 2023-11-03 | 中科见微智能装备(苏州)有限公司 | 除尘头、粘性除尘装置、灰尘清除装置及方法 |
JP7399049B2 (ja) * | 2020-08-27 | 2023-12-15 | 信越化学工業株式会社 | 基板の欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
CN114518367B (zh) * | 2022-04-18 | 2022-07-05 | 深圳市汇图技术有限公司 | 一种印刷板路光学追踪检测装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1090116A (ja) * | 1996-09-19 | 1998-04-10 | Nittetsu Semiconductor Kk | フォトリソグラフィー工程におけるデフォーカス検出方法およびそれに用いるレチクル |
JPH1116819A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | 露光方法および基板ホルダ |
JPH11352075A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Hitachi Ltd | 異物検査装置および異物検査方法 |
JP2002168795A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-06-14 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | レジスト・パターン検査装置及び検査方法 |
JP2004294194A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Nikon Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法及びホールパターンの検査方法 |
JP2006080404A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Tokyo Electron Ltd | 塗布、現像装置、露光装置及びレジストパターン形成方法。 |
JP2006105951A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Nikon Corp | 欠陥検査方法 |
WO2009125805A1 (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-15 | 株式会社ニコン | 表面検査方法および表面検査装置 |
JP2009277870A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置、塗布方法、塗布、現像装置及び記憶媒体 |
JP2010153407A (ja) * | 2008-12-23 | 2010-07-08 | Nikon Corp | 清掃方法及び装置、並びに露光方法及び装置 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2644319B2 (ja) * | 1989-02-27 | 1997-08-25 | 沖電気工業株式会社 | 縮小投影露光装置の実用解像力評価方法 |
DE69231715D1 (de) * | 1991-03-04 | 2001-04-12 | At & T Corp | Herstellungsverfahren von integrierten Halbleiterschaltungen unter Anwendung von latenten Bildern |
JP3901798B2 (ja) | 1997-06-12 | 2007-04-04 | 大日本印刷株式会社 | プリント配線板の製造装置 |
JP3900601B2 (ja) | 1997-07-18 | 2007-04-04 | 株式会社ニコン | 露光条件選択方法、及び該方法で使用される検査装置 |
JP2000162137A (ja) | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Nikon Corp | 面検査装置 |
JP4591802B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2010-12-01 | 株式会社ニコン | 表面検査装置および方法 |
KR100455684B1 (ko) | 2001-01-24 | 2004-11-06 | 가부시끼가이샤 도시바 | 포커스 모니터 방법, 노광 장치 및 노광용 마스크 |
JP4091263B2 (ja) * | 2001-03-27 | 2008-05-28 | 株式会社東芝 | フォーカスモニタ方法及び露光装置 |
JP3906035B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2007-04-18 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置の制御方法 |
US6900888B2 (en) * | 2001-09-13 | 2005-05-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method and apparatus for inspecting a pattern formed on a substrate |
JP2003168641A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | 露光条件を管理することが可能な半導体装置の製造方法およびそれを用いて製造された半導体装置 |
US7643137B2 (en) | 2003-03-26 | 2010-01-05 | Nikon Corporation | Defect inspection apparatus, defect inspection method and method of inspecting hole pattern |
JP4802481B2 (ja) * | 2004-11-09 | 2011-10-26 | 株式会社ニコン | 表面検査装置および表面検査方法および露光システム |
JP4658589B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-03-23 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7719671B2 (en) * | 2006-02-24 | 2010-05-18 | Hitachi High-Technologies Corporation | Foreign matter inspection method and foreign matter inspection apparatus |
JP4622933B2 (ja) * | 2006-05-15 | 2011-02-02 | 株式会社ニコン | 表面検査方法及び表面検査装置 |
KR101523388B1 (ko) * | 2006-08-30 | 2015-05-27 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 디바이스 제조 방법, 클리닝 방법 및 클리닝용 부재 |
JP4755054B2 (ja) * | 2006-09-01 | 2011-08-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表面検査方法、及び表面検査装置 |
JP2008249921A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | レチクル欠陥検査装置およびレチクル欠陥検査方法 |
JP5039495B2 (ja) * | 2007-10-04 | 2012-10-03 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | マスクブランク検査方法、反射型露光マスクの製造方法、反射型露光方法および半導体集積回路の製造方法 |
US8111406B2 (en) | 2007-11-14 | 2012-02-07 | Nikon Corporation | Surface position detecting apparatus, surface position detecting method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
JP5440782B2 (ja) | 2008-01-18 | 2014-03-12 | 株式会社ニコン | 表面検査装置および表面検査方法 |
WO2010052934A1 (ja) * | 2008-11-10 | 2010-05-14 | 株式会社ニコン | 評価装置および評価方法 |
JP5434353B2 (ja) * | 2009-08-06 | 2014-03-05 | 株式会社ニコン | 表面検査装置および表面検査方法 |
WO2011135867A1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | 株式会社ニコン | 検査装置および検査方法 |
KR101885392B1 (ko) * | 2010-10-26 | 2018-08-03 | 가부시키가이샤 니콘 | 검사 장치, 검사 방법, 노광 방법, 및 반도체 디바이스의 제조 방법 |
JP5924267B2 (ja) | 2010-12-14 | 2016-05-25 | 株式会社ニコン | 検査方法、検査装置、露光管理方法、露光システムおよび半導体デバイスの製造方法 |
US9653367B2 (en) * | 2015-06-29 | 2017-05-16 | Globalfoundries Inc. | Methods including a processing of wafers and spin coating tool |
-
2011
- 2011-12-13 JP JP2012548796A patent/JP5924267B2/ja active Active
- 2011-12-13 WO PCT/JP2011/078819 patent/WO2012081587A1/ja active Application Filing
- 2011-12-14 US US13/325,195 patent/US9240356B2/en active Active
- 2011-12-14 TW TW100146165A patent/TWI550356B/zh active
- 2011-12-14 WO PCT/JP2011/078919 patent/WO2012081623A1/ja active Application Filing
- 2011-12-14 US US13/325,228 patent/US8945954B2/en active Active
- 2011-12-14 KR KR1020137015255A patent/KR101950523B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-14 CN CN201180059328.5A patent/CN103250232B/zh active Active
- 2011-12-14 TW TW100146166A patent/TWI550357B/zh active
- 2011-12-14 JP JP2012548813A patent/JP5867412B2/ja active Active
-
2014
- 2014-10-30 US US14/528,389 patent/US9964497B2/en active Active
-
2015
- 2015-10-19 US US14/886,847 patent/US9322788B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1090116A (ja) * | 1996-09-19 | 1998-04-10 | Nittetsu Semiconductor Kk | フォトリソグラフィー工程におけるデフォーカス検出方法およびそれに用いるレチクル |
JPH1116819A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | 露光方法および基板ホルダ |
JPH11352075A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Hitachi Ltd | 異物検査装置および異物検査方法 |
JP2002168795A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-06-14 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | レジスト・パターン検査装置及び検査方法 |
JP2004294194A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Nikon Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法及びホールパターンの検査方法 |
JP2006080404A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Tokyo Electron Ltd | 塗布、現像装置、露光装置及びレジストパターン形成方法。 |
JP2006105951A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Nikon Corp | 欠陥検査方法 |
WO2009125805A1 (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-15 | 株式会社ニコン | 表面検査方法および表面検査装置 |
JP2009277870A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置、塗布方法、塗布、現像装置及び記憶媒体 |
JP2010153407A (ja) * | 2008-12-23 | 2010-07-08 | Nikon Corp | 清掃方法及び装置、並びに露光方法及び装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9964497B2 (en) | 2018-05-08 |
TW201234134A (en) | 2012-08-16 |
US8945954B2 (en) | 2015-02-03 |
TWI550357B (zh) | 2016-09-21 |
JP5867412B2 (ja) | 2016-02-24 |
KR101950523B1 (ko) | 2019-04-22 |
US20120164763A1 (en) | 2012-06-28 |
WO2012081587A1 (ja) | 2012-06-21 |
TWI550356B (zh) | 2016-09-21 |
JPWO2012081623A1 (ja) | 2014-05-22 |
JPWO2012081587A1 (ja) | 2014-05-22 |
KR20130132853A (ko) | 2013-12-05 |
TW201229688A (en) | 2012-07-16 |
CN103250232B (zh) | 2016-01-27 |
CN103250232A (zh) | 2013-08-14 |
US9322788B2 (en) | 2016-04-26 |
US9240356B2 (en) | 2016-01-19 |
US20150049314A1 (en) | 2015-02-19 |
US20160041108A1 (en) | 2016-02-11 |
WO2012081623A1 (ja) | 2012-06-21 |
US20120156810A1 (en) | 2012-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5924267B2 (ja) | 検査方法、検査装置、露光管理方法、露光システムおよび半導体デバイスの製造方法 | |
JP5765345B2 (ja) | 検査装置、検査方法、露光方法、および半導体デバイスの製造方法 | |
JP3634068B2 (ja) | 露光方法及び装置 | |
US20140315330A1 (en) | Measurement device, measurement method, and method for manufacturing semiconductor device | |
WO2006078025A1 (ja) | 計測方法、計測システム、検査方法、検査システム、露光方法及び露光システム | |
JPWO2002091440A1 (ja) | 光学特性計測方法、露光方法及びデバイス製造方法 | |
TW201337476A (zh) | 角度分辨散射計及檢查方法 | |
JP5434353B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP5434352B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP2005337912A (ja) | 位置計測装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 | |
TW201348888A (zh) | 光學裝置、像差測定方法、及半導體元件之製造方法 | |
JP2013108779A (ja) | 表面検査装置、表面検査方法、および露光システム | |
JP2004146702A (ja) | 光学特性計測方法、露光方法及びデバイス製造方法 | |
JP2008140795A (ja) | 露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法 | |
JP2003282410A (ja) | アライメント装置、露光装置及び露光方法 | |
JP2006024681A (ja) | 位置計測装置及び方法並びに露光装置及び方法 | |
JPH09260269A (ja) | 投影露光方法及びそれを用いたデバイスの製造方法 | |
JP2002139847A (ja) | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 | |
JP2011141135A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2006250839A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2019128271A (ja) | 検査装置 | |
JP2004247349A (ja) | 位置計測装置及び方法、露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP2004184322A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140704 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150617 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160404 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5924267 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |