JP2016157131A5 - - Google Patents

Description

本発明の第１の態様によれば、物体を非接触支持する第１支持部と、非接触支持された前記物体を保持する保持部と、前記保持部を支持する第２支持部と、第１方向に関して前記保持部を支持する前記第２支持部と離間して配置され、前記物体を保持する前記保持部を少なくとも前記第１方向に交差する第２方向へ駆動する駆動部と、前記第２支持部を下方から支持する第１ベースと、前記第１方向に関して前記第１ベースと離間して配置された第２ベースと、を備え、前記駆動部は、前記保持部の前記第２方向への駆動時に前記駆動部より発生する振動が前記保持部に伝わらないように、前記第２ベースに支持される移動体装置が、提供される。

本発明の第２の態様によれば、本発明の移動体装置と、前記保持部に保持された前記物体に対して所定の動作を実行する実行装置と、を備える物体処理装置が、提供される。

本発明の第３の態様によれば、本発明の移動体装置と、エネルギビームにより前記物体を露光して該物体上に所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置が、提供される。

本発明の第４の態様によれば、上記露光装置を用いて前記物体としてフラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板を露光することと、露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法が、提供される。

本発明の第５の態様によれば、上記露光装置を用いて前記物体を露光することと、露光された前記物体を現像することと、を含むデバイスの製造方法が、提供される。

Claims (12)

1. 物体を非接触支持する第１支持部と、
   非接触支持された前記物体を保持する保持部と、
   前記保持部を支持する第２支持部と、
   第１方向に関して前記保持部を支持する前記第２支持部と離間して配置され、前記物体を保持する前記保持部を少なくとも前記第１方向に交差する第２方向へ駆動する駆動部と、
   前記第２支持部を下方から支持する第１ベースと、
   前記第１方向に関して前記第１ベースと離間して配置された第２ベースと、を備え、
   前記駆動部は、前記保持部の前記第２方向への駆動時に前記駆動部より発生する振動が前記保持部に伝わらないように、前記第２ベースに支持される移動体装置。
2. 前記第２支持部は、前記保持部を支持した状態で前記第１ベース上を第２方向へ駆動する請求項１に記載の移動体装置。
3. 前記駆動部は、前記第２ベース上を前記第２方向へ駆動する請求項２に記載の移動体装置。
4. 前記第１支持部は、前記第２支持部を支持する前記第２ベースに支持される請求項１〜３のいずれか一項に記載の移動体装置。
5. 前記第２支持部は、前記保持部を非接触支持する請求項１〜４のいずれか一項に記載の移動体装置。
6. 前記保持部に設けられ、前記第１および第２方向に関する前記保持部の位置を計測可能な計測部を更に備え、
   前記保持部は、前記計測部の出力に基づいて前記第１および第２方向の位置が制御される請求項１〜５のいずれか一項に記載の移動体装置。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の移動体装置と、
   前記保持部に保持された前記物体に対して所定の動作を実行する実行装置と、を備える物体処理装置。
8. 前記実行装置は、エネルギビームを用いて前記物体に所定のパターンを形成する装置である請求項７に記載の物体処理装置。
9. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の移動体装置と、
   エネルギビームにより前記物体を露光して該物体上に所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。
10. 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項９に記載の露光装置。
11. 請求項１０に記載の露光装置を用いて前記基板を露光することと、
    露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。
12. 請求項９に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
    露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。