JP6885334B2 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法、並びに露光方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図15(b)を用いて説明する。
次に第2の実施形態について、図16(a)及び図16(b)を用いて説明する。第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板Pを投影光学系16(図1参照)に対して高精度位置決めするための基板ステージ装置120の構成が、上記第1の実施形態と異なる。以下、本第2の実施形態については、上記第1の実施形態との相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (23)
- 光学系を介して照明光を複数のマークを有する物体に照射して、前記照明光に対して前記物体を相対駆動して前記物体の複数の区画領域をそれぞれ走査露光する露光装置であって、
互いに交差する第1及び第2方向の少なくとも一方の方向に並んで配置された前記複数の区画領域を非接触支持可能な第1支持部と、
前記第1支持部により非接触支持された前記物体を保持する保持部と、
前記複数の区画領域に設けられた前記複数のマークを検出する検出動作を行う検出部と、
前記保持部に保持され、前記検出動作が行われた前記物体の一部が前記第1支持部から外れるように、前記保持部を前記第1支持部に対して相対駆動させる第1駆動部と、
前記第1支持部を前記第1及び第2方向へ駆動する第2駆動部と、を備え、
前記第1及び第2駆動部の少なくとも一方の駆動部は、前記検出部の検出領域内に検出対象の前記複数のマークが位置するように前記保持部を前記検出部に対して移動させる露光装置。 - 前記検出部は、前記第1支持部により前記物体に設けられた全ての区画領域が支持された状態で、前記検出動作を行う請求項1に記載の露光装置。
- 前記第1駆動部は、前記検出動作が行われた前記複数の区画領域のうちの前記走査露光される区画領域が支持された前記第1支持部内の支持位置が変化するように、前記保持部を前記第1支持部に対して相対駆動する請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記物体のうち前記第1支持部に支持された領域以外の領域を支持する第2支持部をさらに備える請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1駆動部は、前記検出動作が行われた前記物体の一部が前記第1支持部から前記第2支持部に支持されるように、前記保持部を駆動する請求項4に記載の露光装置。
- 前記第1支持部および前記保持部は、互いに非接触に設けられる請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1支持部は、前記保持部が保持する前記物体の保持領域とは異なる領域を支持する請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1支持部は、前記物体と前記第1支持部との間に気体を供給する第1給気給孔を有する請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1支持部は、前記物体と前記第1支持部との間の気体を吸引する吸気孔を有する請求項8に記載の露光装置。
- 前記第2方向に関して前記第1支持部の一側及び他側に設けられ、前記物体を支持する第2支持部を備え、
前記第2駆動部は、前記保持部に支持された前記物体を前記第1支持部と第2支持部との一方から他方へ移動させる請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2支持部は、前記物体と前記第2支持部との間に気体を供給する第2給気給孔を有する請求項10に記載の露光装置。
- 前記保持部を支持する第3支持部を備え、
前記第3支持部は、上下方向に関して前記第1支持部よりも低い位置に設けられる請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記保持部の位置情報を求めるエンコーダシステムを更に備え、
前記エンコーダシステムを構成するヘッド及びスケールの少なくとも一方は、前記保持部に設けられる請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記保持部は、前記物体の外周縁部の少なくとも一部を支持する枠状部材を含む請求項1〜13のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項1〜14のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項15に記載の露光装置。
- 請求項1〜16のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項1〜16のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 光学系を介して照明光を複数のマークを有する物体に照射して、前記照明光に対して前記物体を相対駆動して前記物体の複数の区画領域をそれぞれ走査露光する露光方法であって、
互いに交差する第1及び第2方向の少なくとも一方の方向に並んで配置された前記複数の区画領域を第1支持部によって非接触支持することと、
前記第1支持部により非接触支持された前記物体を保持部によって保持することと、
前記複数の区画領域に設けられた前記複数のマークを検出部によって検出する検出動作を行なうことと、
前記保持部に保持され、前記検出動作が行われた前記物体の一部が前記第1支持部から外れるように、第1駆動部を用いて前記保持部を前記第1支持部に対して相対駆動させることと、
第2駆動部を用いて前記第1支持部を前記第1及び第2方向へ駆動することと、を含み、
前記第1及び第2駆動部の少なくとも一方を用いて、前記検出部の検出領域内に検出対象の前記複数のマークが位置するように前記保持部を前記検出部に対して移動させる露光方法。 - 前記検出部を用いて、前記第1支持部により前記物体に設けられた全ての区画領域が支持された状態で、前記検出動作を行う請求項19に記載の露光方法。
- 前記第1駆動部を用いて、前記検出動作が行われた前記複数の区画領域のうちの前記走
査露光される区画領域が支持された前記第1支持部内の支持位置が変化するように、前記保持部を前記第1支持部に対して相対駆動する請求項19又は20に記載の露光方法。 - 前記物体のうち前記第1支持部に支持された領域以外の領域を第2支持部によって支持することをさらに含む請求項19〜21のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記第1駆動部を用いて、前記検出動作が行われた前記物体の一部が前記第1支持部から前記第2支持部に支持されるように、前記保持部を駆動する請求項22に記載の露光方法。
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