JP6981458B2 - 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6981458B2 JP6981458B2 JP2019189302A JP2019189302A JP6981458B2 JP 6981458 B2 JP6981458 B2 JP 6981458B2 JP 2019189302 A JP2019189302 A JP 2019189302A JP 2019189302 A JP2019189302 A JP 2019189302A JP 6981458 B2 JP6981458 B2 JP 6981458B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- wafer
- shaped object
- holding
- moving speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
- B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/7075—Handling workpieces outside exposure position, e.g. SMIF box
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70783—Handling stress or warp of chucks, masks or workpieces, e.g. to compensate for imaging errors or considerations related to warpage of masks or workpieces due to their own weight
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67288—Monitoring of warpage, curvature, damage, defects or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by supporting substrates others than wafers, e.g. chips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
本発明の第2の態様によれば、板状の物体を物体載置部に搬送する搬送システムであって、前記板状の物体を保持する保持部と、前記保持部と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させる駆動部と、前記板状の物体の下面を下方から支持する支持部と、前記保持部により保持されている前記物体の形状が所定の形状となるように、前記駆動部および前記支持部の少なくとも一方を制御する制御部と、を有する搬送システムが、提供される。
本発明の第6の態様によれば、板状の物体を物体載置部に搬送する搬送方法であって、保持部により前記板状の物体を保持させることと、駆動部によって前記保持部と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させることと、前記板状の物体の下面を下方から支持部により支持することと、前記保持部により保持されている前記物体の形状が所定の形状となるように、前記駆動部および前記支持部の少なくとも一方を制御することと、を含む搬送方法が、提供される。
Claims (22)
- 板状の物体を物体載置部に搬送する搬送システムであって、
前記板状の物体を保持する保持部と、
前記保持部と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させる駆動部と、
前記板状の物体の下面を下方から支持する支持部と、
前記物体の形状が所定の形状となるように、前記駆動部および前記支持部を制御する制御部と、を有し、
前記保持部は、該保持部と前記物体との間に気体流を形成して前記物体に対する吸引力を発生させることにより前記板状の物体を前記板状の物体の上方から保持する搬送システム。 - 板状の物体を物体載置部に搬送する搬送システムであって、
前記板状の物体を保持する保持部と、
前記保持部と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させる駆動部と、
前記板状の物体の下面を下方から支持する支持部と、
前記保持部により保持されている前記物体の形状が所定の形状となるように、前記駆動部および前記支持部の少なくとも一方を制御する制御部と、を有し、
前記保持部は、該保持部と前記物体との間に気体流を形成して前記物体に対する吸引力を発生させることにより前記板状の物体を前記板状の物体の上方から保持する搬送システム。 - 前記制御部は、前記板状の物体を保持している前記保持部が下方へ移動を開始した後に、前記板状の物体の形状が所定の形状となるように制御する請求項1または2に記載の搬送システム。
- 前記制御部は、前記板状の物体を支持している前記支持部が下方へ移動を開始した後に、前記板状の物体の形状が所定の形状となるように制御する請求項1〜3のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記駆動部は前記保持部を上下方向に移動させる請求項1〜4のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記制御部は、前記駆動部によって前記保持部を前記物体載置部に向けて移動させる際の前記保持部の移動速度、または、前記支持部の移動速度を制御する請求項1〜5のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記支持部は、前記板状の物体の中央部領域を下方から支持し、
前記制御部は、前記板状の物体の形状が下に凸である場合に、前記支持部の移動速度を前記保持部の移動速度に比べて遅くする、または、前記保持部の移動速度を前記支持部の移動速度に比べて速くするよう制御する請求項6に記載の搬送システム。 - 前記支持部は、前記板状の物体の中央部領域を下方から支持し、
前記制御部は、前記板状の物体の形状が上に凸である場合に、前記支持部の移動速度を前記保持部の移動速度に比べて速くする、または、前記保持部の移動速度を前記支持部の移動速度に比べて遅くするよう制御する請求項6または7に記載の搬送システム。 - 前記支持部は、前記板状の物体の中央部領域を下方から支持し、
前記制御部は、前記板状の物体の形状が平坦である場合に、前記支持部の移動速度を前記保持部の移動速度と同じにするよう制御する請求項6〜8のいずれか一項に記載の搬送システム。 - 板状の物体上にパターンを形成する露光装置であって、
請求項1〜9のいずれか一項に記載の搬送システムと、
前記搬送システムにより前記物体載置部上に搬送された前記板状の物体をエネルギビームで露光して、前記パターンを形成するパターン生成装置と、を備える露光装置。 - リソグラフィステップを含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィステップは、
請求項10に記載の露光装置を用いて表面にレジストが塗布された板状の物体を露光することと、
露光された前記板状の物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 板状の物体を物体載置部に搬送する搬送方法であって、
保持部により前記板状の物体を保持させることと、
駆動部によって前記保持部と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させることと、
前記板状の物体の下面を下方から支持部により支持することと、
前記物体の形状が所定の形状となるように、前記駆動部および前記支持部を制御することと、を含み、
前記保持させることでは、前記物体との間に気体流を形成して前記物体に対する吸引力を発生させる保持部により、前記板状の物体を上方から保持させる搬送方法。 - 板状の物体を物体載置部に搬送する搬送方法であって、
保持部により前記板状の物体を保持させることと、
駆動部によって前記保持部と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させることと、
前記板状の物体の下面を下方から支持部により支持することと、
前記保持部により保持されている前記物体の形状が所定の形状となるように、前記駆動部および前記支持部の少なくとも一方を制御することと、を含み、
前記保持させることでは、前記物体との間に気体流を形成して前記物体に対する吸引力を発生させる保持部により、前記板状の物体を上方から保持させる搬送方法。 - 前記制御することでは、前記板状の物体を保持している前記保持部が下方へ移動を開始した後に、前記板状の物体の形状が前記所定の形状となるように制御する請求項12または13に記載の搬送方法。
- 前記制御することでは、前記板状の物体を支持している前記支持部が下方へ移動を開始した後に、前記板状の物体の形状が前記所定の形状となるように制御する請求項12〜14のいずれか一項に記載の搬送方法。
- 前記保持部と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させることでは、前記駆動部によって前記保持部を上下方向に移動させる請求項12〜15のいずれか一項に記載の搬送方法。
- 前記制御することでは、前記駆動部によって前記保持部を前記物体載置部に向けて移動させる際の前記保持部の移動速度、または、前記支持部の移動速度を制御する請求項12〜16のいずれか一項に記載の搬送方法。
- 前記支持することでは、前記支持部によって前記板状の物体の中央部領域を下方から支持し、
前記制御することでは、前記板状の物体の形状が下に凸である場合に、前記支持部の移動速度を前記保持部の移動速度に比べて遅くする、または、前記保持部の移動速度を前記支持部の移動速度に比べて速くするよう制御する請求項17に記載の搬送方法。 - 前記支持することでは、前記支持部により前記板状の物体の中央部領域を下方から支持し、
前記制御することでは、前記板状の物体の形状が上に凸である場合に、前記支持部の移動速度を前記保持部の移動速度に比べて速くする、または、前記保持部の移動速度を前記支持部の移動速度に比べて遅くするよう制御する請求項17または18に記載の搬送方法。 - 前記支持することでは、前記支持部により前記板状の物体の中央部領域を下方から支持し、
前記制御することでは、前記板状の物体の形状が平坦である場合に、前記支持部の移動速度と前記保持部の移動速度とを同じにするよう制御する請求項17〜19のいずれか一項に記載の搬送方法。 - 板状の物体上にパターンを形成する露光方法であって、
請求項12〜20のいずれか一項に記載の搬送方法により前記物体載置部上に搬送された前記板状の物体をエネルギビームで露光して、前記パターンを形成する露光方法。 - リソグラフィステップを含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィステップは、
請求項21に記載の露光方法を用いて表面にレジストが塗布された板状の物体を露光することと、
露光された前記板状の物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021186320A JP7243797B2 (ja) | 2012-11-30 | 2021-11-16 | 搬送システム、露光装置、及び搬送方法 |
JP2023032530A JP2023078199A (ja) | 2012-11-30 | 2023-03-03 | 搬送システム、露光装置、及び搬送方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201261731892P | 2012-11-30 | 2012-11-30 | |
US61/731,892 | 2012-11-30 | ||
JP2018107671A JP6607286B2 (ja) | 2012-11-30 | 2018-06-05 | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018107671A Division JP6607286B2 (ja) | 2012-11-30 | 2018-06-05 | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021186320A Division JP7243797B2 (ja) | 2012-11-30 | 2021-11-16 | 搬送システム、露光装置、及び搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020016903A JP2020016903A (ja) | 2020-01-30 |
JP6981458B2 true JP6981458B2 (ja) | 2021-12-15 |
Family
ID=50827865
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014550208A Active JP6358564B2 (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-27 | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法、並びに吸引装置 |
JP2018107671A Active JP6607286B2 (ja) | 2012-11-30 | 2018-06-05 | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 |
JP2019189302A Active JP6981458B2 (ja) | 2012-11-30 | 2019-10-16 | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 |
JP2021186320A Active JP7243797B2 (ja) | 2012-11-30 | 2021-11-16 | 搬送システム、露光装置、及び搬送方法 |
JP2023032530A Pending JP2023078199A (ja) | 2012-11-30 | 2023-03-03 | 搬送システム、露光装置、及び搬送方法 |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014550208A Active JP6358564B2 (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-27 | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法、並びに吸引装置 |
JP2018107671A Active JP6607286B2 (ja) | 2012-11-30 | 2018-06-05 | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021186320A Active JP7243797B2 (ja) | 2012-11-30 | 2021-11-16 | 搬送システム、露光装置、及び搬送方法 |
JP2023032530A Pending JP2023078199A (ja) | 2012-11-30 | 2023-03-03 | 搬送システム、露光装置、及び搬送方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (6) | US9821469B2 (ja) |
EP (2) | EP2950329B1 (ja) |
JP (5) | JP6358564B2 (ja) |
KR (4) | KR20230055404A (ja) |
CN (3) | CN104956465B (ja) |
HK (1) | HK1216357A1 (ja) |
TW (4) | TWI606540B (ja) |
WO (1) | WO2014084229A1 (ja) |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104956465B (zh) | 2012-11-30 | 2018-05-29 | 株式会社尼康 | 搬送系统、曝光装置、搬送方法、曝光方法及器件制造方法、以及吸引装置 |
JP6286024B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2018-02-28 | 富士フイルム株式会社 | トランジスタの製造方法 |
GB2530982B (en) * | 2014-09-30 | 2018-10-24 | M Solv Ltd | Bernoulli process head |
JP6485687B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2019-03-20 | 株式会社ニコン | 保持装置、物体支持装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
KR101657079B1 (ko) * | 2015-03-16 | 2016-09-13 | 주식회사 테스 | 기판처리장치의 수평조절장치 및 이를 이용한 수평조절방법 |
US9929121B2 (en) * | 2015-08-31 | 2018-03-27 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Bonding machines for bonding semiconductor elements, methods of operating bonding machines, and techniques for improving UPH on such bonding machines |
CN105159035B (zh) * | 2015-09-22 | 2018-05-18 | 上海华力微电子有限公司 | 一种改善晶圆形变的曝光载片台 |
JP6587138B2 (ja) * | 2015-12-02 | 2019-10-09 | 株式会社ニコン | 物体支持装置及び露光装置 |
JP6568828B2 (ja) * | 2016-08-01 | 2019-08-28 | 株式会社Kokusai Electric | ティーチング治具、基板処理装置及びティーチング方法 |
JP6689160B2 (ja) * | 2016-08-24 | 2020-04-28 | 株式会社ディスコ | 板状物搬送装置及び加工装置 |
KR101898073B1 (ko) * | 2016-11-29 | 2018-09-17 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 마킹 장치 및 이에 사용되는 관절 구조물 보관 장치 |
JP6797063B2 (ja) * | 2017-04-14 | 2020-12-09 | 東京エレクトロン株式会社 | ピン制御方法及び基板処理装置 |
US11360400B2 (en) | 2017-05-19 | 2022-06-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Transport system having a magnetically levitated transportation stage |
US10522385B2 (en) * | 2017-09-26 | 2019-12-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer table with dynamic support pins |
JP7009306B2 (ja) * | 2018-05-21 | 2022-01-25 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
KR20190134275A (ko) | 2018-05-25 | 2019-12-04 | 주식회사 넥서스원 | 웨이퍼의 에지 영역 검사 시스템 및 검사 방법 |
US10831110B2 (en) * | 2018-05-29 | 2020-11-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Lithographic overlay correction and lithographic process |
JP7110005B2 (ja) * | 2018-06-20 | 2022-08-01 | キヤノン株式会社 | 基板回転装置、基板回転方法、リソグラフィ装置、および物品製造方法 |
US10763154B2 (en) * | 2018-08-28 | 2020-09-01 | Applied Materials, Inc. | Measurement of flatness of a susceptor of a display CVD chamber |
JP7267111B2 (ja) * | 2019-05-31 | 2023-05-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 位置決め機構及び位置決め方法 |
US11209373B2 (en) * | 2019-06-21 | 2021-12-28 | Kla Corporation | Six degree of freedom workpiece stage |
JP6822534B2 (ja) * | 2019-09-12 | 2021-01-27 | 株式会社ニコン | 物体支持装置及び露光装置 |
JP7149249B2 (ja) * | 2019-10-31 | 2022-10-06 | Towa株式会社 | 搬送モジュール、切断装置及び切断品の製造方法 |
JP7419030B2 (ja) * | 2019-11-18 | 2024-01-22 | キヤノン株式会社 | 保持装置、露光装置、及び物品の製造方法 |
CN113050380B (zh) * | 2019-12-27 | 2021-12-10 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 浸没头的集成工装及其集成方法和光刻机 |
KR102136084B1 (ko) | 2020-06-16 | 2020-08-13 | 주식회사 넥서스원 | 웨이퍼의 에지 영역 검사 시스템 |
KR102136085B1 (ko) | 2020-06-16 | 2020-07-23 | 주식회사 넥서스원 | 웨이퍼의 에지 영역 검사장치 |
US11740564B2 (en) * | 2020-06-18 | 2023-08-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Lithography apparatus and method using the same |
JP2022060712A (ja) * | 2020-10-05 | 2022-04-15 | キオクシア株式会社 | 半導体製造装置 |
US20230333488A1 (en) * | 2020-10-08 | 2023-10-19 | Asml Netherlands B.V. | Substrate holder, carrier system comprising a substrate holder and lithographic apparatus |
US11551970B2 (en) * | 2020-10-22 | 2023-01-10 | Innolux Corporation | Method for manufacturing an electronic device |
US20230395409A1 (en) * | 2020-11-13 | 2023-12-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Reticle exchange device with reticle levitation |
EP4105720A1 (en) * | 2021-06-16 | 2022-12-21 | ASML Netherlands B.V. | Substrate holder and method |
CN114505817B (zh) * | 2022-03-11 | 2024-04-19 | 深圳市凯威达电子有限公司 | 一种智能照明驱动芯片生产用可精准定位的插接装置 |
CN115057233B (zh) * | 2022-06-09 | 2024-01-09 | 河北光兴半导体技术有限公司 | 一种掰断装置及掰断方法 |
CN115547915B (zh) * | 2022-11-28 | 2023-02-14 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆曝光夹具及曝光装置 |
Family Cites Families (79)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3110341C2 (de) * | 1980-03-19 | 1983-11-17 | Hitachi, Ltd., Tokyo | Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten eines dünnen Substrats in der Bildebene eines Kopiergerätes |
JPS57117238A (en) | 1981-01-14 | 1982-07-21 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Exposing and baking device for manufacturing integrated circuit with illuminometer |
JPH0669027B2 (ja) * | 1983-02-21 | 1994-08-31 | 株式会社日立製作所 | 半導体ウエハの薄膜形成方法 |
JPS63260129A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 露光装置 |
US5196745A (en) | 1991-08-16 | 1993-03-23 | Massachusetts Institute Of Technology | Magnetic positioning device |
JPH06302550A (ja) | 1993-04-13 | 1994-10-28 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置 |
US6624433B2 (en) | 1994-02-22 | 2003-09-23 | Nikon Corporation | Method and apparatus for positioning substrate and the like |
SG88824A1 (en) | 1996-11-28 | 2002-05-21 | Nikon Corp | Projection exposure method |
EP0890136B9 (en) | 1996-12-24 | 2003-12-10 | ASML Netherlands B.V. | Two-dimensionally balanced positioning device with two object holders, and lithographic device provided with such a positioning device |
JPH10256355A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-25 | Nikon Corp | 位置決めデバイス、基板保持装置、及び該装置を備えた露光装置 |
EP0866375A3 (en) * | 1997-03-17 | 2000-05-24 | Nikon Corporation | Article positioning apparatus and exposing apparatus having the same |
JPH1116816A (ja) | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Nikon Corp | 投影露光装置、該装置を用いた露光方法、及び該装置を用いた回路デバイスの製造方法 |
US6208407B1 (en) | 1997-12-22 | 2001-03-27 | Asm Lithography B.V. | Method and apparatus for repetitively projecting a mask pattern on a substrate, using a time-saving height measurement |
KR100841147B1 (ko) | 1998-03-11 | 2008-06-24 | 가부시키가이샤 니콘 | 레이저 장치, 자외광 조사 장치 및 방법, 물체의 패턴 검출장치 및 방법 |
US6809802B1 (en) * | 1999-08-19 | 2004-10-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate attracting and holding system for use in exposure apparatus |
TW546699B (en) | 2000-02-25 | 2003-08-11 | Nikon Corp | Exposure apparatus and exposure method capable of controlling illumination distribution |
JP2001332609A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-11-30 | Nikon Corp | 基板保持装置及び露光装置 |
US20020041377A1 (en) | 2000-04-25 | 2002-04-11 | Nikon Corporation | Aerial image measurement method and unit, optical properties measurement method and unit, adjustment method of projection optical system, exposure method and apparatus, making method of exposure apparatus, and device manufacturing method |
KR100855527B1 (ko) * | 2001-02-13 | 2008-09-01 | 가부시키가이샤 니콘 | 유지장치, 유지방법, 노광장치 및 디바이스 제조방법 |
JP4714403B2 (ja) | 2001-02-27 | 2011-06-29 | エーエスエムエル ユーエス,インコーポレイテッド | デュアルレチクルイメージを露光する方法および装置 |
JP3761444B2 (ja) | 2001-10-23 | 2006-03-29 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4018958B2 (ja) * | 2001-10-30 | 2007-12-05 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP4415674B2 (ja) | 2002-01-29 | 2010-02-17 | 株式会社ニコン | 像形成状態調整システム、露光方法及び露光装置、並びにプログラム及び情報記録媒体 |
JP3920720B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2007-05-30 | 株式会社荏原製作所 | 基板受渡し方法、基板受渡し機構及び基板研磨装置 |
CN1296261C (zh) * | 2002-06-22 | 2007-01-24 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 真空夹具及其使用方法 |
JP2004158847A (ja) * | 2002-10-17 | 2004-06-03 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 薄い基板上にパターンを形成する装置およびその方法 |
CN101241317B (zh) * | 2002-12-10 | 2010-11-17 | 株式会社尼康 | 曝光装置以及器件制造方法 |
JP2004296777A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Oki Electric Ind Co Ltd | ワーク吸着装置及びワーク吸着方法 |
JP4023543B2 (ja) * | 2003-05-29 | 2007-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置および基板搬送方法ならびに真空処理装置 |
JP4754196B2 (ja) * | 2003-08-25 | 2011-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 減圧処理室内の部材清浄化方法および基板処理装置 |
JP4130167B2 (ja) * | 2003-10-06 | 2008-08-06 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの剥離方法 |
DE602004019132D1 (de) * | 2003-11-21 | 2009-03-05 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | Vakuumsaugkopf und vakuumsaugvorrichtung und tisch, der diese/n verwendet |
TWI530762B (zh) | 2003-12-03 | 2016-04-21 | 尼康股份有限公司 | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
JPWO2005057635A1 (ja) | 2003-12-15 | 2007-07-05 | 株式会社ニコン | 投影露光装置及びステージ装置、並びに露光方法 |
JP4495552B2 (ja) | 2004-09-09 | 2010-07-07 | 萩原エンジニアリング株式会社 | 搬送装置 |
JP4541824B2 (ja) * | 2004-10-14 | 2010-09-08 | リンテック株式会社 | 非接触型吸着保持装置 |
JP2007114570A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Nikon Corp | 基板ホルダ、露光装置及びデバイスの製造方法 |
US7643130B2 (en) * | 2005-11-04 | 2010-01-05 | Nuflare Technology, Inc. | Position measuring apparatus and positional deviation measuring method |
JP2007214336A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Nikon Corp | 保持装置、保持方法、ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法 |
KR101356270B1 (ko) | 2006-02-21 | 2014-01-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 패턴 형성 장치, 마크 검출 장치, 노광 장치, 패턴 형성 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
US7659964B2 (en) | 2006-03-28 | 2010-02-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Level adjustment systems and adjustable pin chuck thereof |
JP2007299864A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Nikon Corp | 保持方法及び保持装置、パターン形成方法及びパターン形成装置、デバイス製造方法 |
JP4642787B2 (ja) * | 2006-05-09 | 2011-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 |
EP1865220B1 (de) * | 2006-06-10 | 2014-03-19 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Aktives Schwingungsisolationssystem mit verbesserter Wirkung gegen seismische Schwingungen |
JP2008047696A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハ搬送方法および研削装置 |
TWI547771B (zh) | 2006-08-31 | 2016-09-01 | 尼康股份有限公司 | Mobile body drive system and moving body driving method, pattern forming apparatus and method, exposure apparatus and method, component manufacturing method, and method of determining |
KR101011491B1 (ko) * | 2006-11-02 | 2011-01-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 미소 구조체의 검사 장치, 미소 구조체의 검사 방법 및 기판 유지 장치 |
JP5151989B2 (ja) | 2006-11-09 | 2013-02-27 | 株式会社ニコン | 保持装置、位置検出装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
JP5080090B2 (ja) * | 2007-01-15 | 2012-11-21 | リンテック株式会社 | 保持装置及び保持方法 |
JP4740414B2 (ja) * | 2007-04-24 | 2011-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置 |
JP2008288347A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
KR100877102B1 (ko) * | 2007-05-28 | 2009-01-09 | 주식회사 하이닉스반도체 | 열처리 장치 및 이를 이용한 열처리 방법 |
JP5058337B2 (ja) | 2007-06-21 | 2012-10-24 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | クランプデバイス、リソグラフィ装置およびオブジェクトロード方法 |
JP2009028863A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
JP2009049119A (ja) * | 2007-08-17 | 2009-03-05 | Nikon Corp | ベース部材とその製造方法及びステージ装置並びに露光装置 |
JP4922870B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2012-04-25 | 株式会社アルバック | 基板リフト装置 |
NL1036290A1 (nl) * | 2007-12-19 | 2009-06-22 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus. |
JP5241276B2 (ja) * | 2008-03-10 | 2013-07-17 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
JP4983661B2 (ja) | 2008-03-14 | 2012-07-25 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
DE102008023907A1 (de) * | 2008-05-16 | 2009-12-03 | Innolas Systems Gmbh | Bernoulli-Greifvorrichtung zum Greifen und Handhaben von plattenförmigen Elementen, insbesondere von Waferelementen |
US20090311419A1 (en) * | 2008-06-12 | 2009-12-17 | Anita Foerster | Method and apparatus for resist development |
US8325325B2 (en) | 2008-09-22 | 2012-12-04 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, movable body drive method, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
US8994923B2 (en) | 2008-09-22 | 2015-03-31 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
JP5287491B2 (ja) * | 2009-05-18 | 2013-09-11 | 株式会社島津製作所 | 基板吸着装置 |
US8970820B2 (en) | 2009-05-20 | 2015-03-03 | Nikon Corporation | Object exchange method, exposure method, carrier system, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US20100313954A1 (en) | 2009-06-16 | 2010-12-16 | Emcore Solar Power, Inc. | Concentrated Photovoltaic System Receiver for III-V Semiconductor Solar Cells |
US20110085150A1 (en) | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
JP5683930B2 (ja) * | 2010-01-29 | 2015-03-11 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、マスクブランク、転写用マスク及び半導体デバイスの製造方法 |
KR102172551B1 (ko) * | 2010-02-17 | 2020-11-02 | 가부시키가이샤 니콘 | 반송 장치, 반송 방법, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법 |
JP2012038874A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Hitachi High-Technologies Corp | 液晶露光装置 |
US20120064460A1 (en) | 2010-09-07 | 2012-03-15 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, object processing device, exposure apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
NL2007634A (en) * | 2010-12-13 | 2012-06-15 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and method. |
JP5323867B2 (ja) * | 2011-01-19 | 2013-10-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板反転装置、基板反転方法、剥離システム、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP5963453B2 (ja) * | 2011-03-15 | 2016-08-03 | 株式会社荏原製作所 | 検査装置 |
US9956755B2 (en) * | 2011-04-12 | 2018-05-01 | Tokyo Electron Limited | Separation method, separation apparatus, and separation system |
CN103199049B (zh) * | 2012-01-04 | 2015-09-09 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种可兼容不同尺寸晶圆的伯努利承片台 |
JP5952059B2 (ja) * | 2012-04-04 | 2016-07-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板保持方法 |
KR101390391B1 (ko) * | 2012-05-21 | 2014-05-27 | 엔젯 주식회사 | 정전기력을 이용하는 3차원 형상 표면 인쇄장치 |
CN104956465B (zh) | 2012-11-30 | 2018-05-29 | 株式会社尼康 | 搬送系统、曝光装置、搬送方法、曝光方法及器件制造方法、以及吸引装置 |
-
2013
- 2013-11-27 CN CN201380071862.7A patent/CN104956465B/zh active Active
- 2013-11-27 WO PCT/JP2013/081852 patent/WO2014084229A1/ja active Application Filing
- 2013-11-27 KR KR1020237012898A patent/KR20230055404A/ko not_active Application Discontinuation
- 2013-11-27 US US14/648,280 patent/US9821469B2/en active Active
- 2013-11-27 EP EP13859307.4A patent/EP2950329B1/en active Active
- 2013-11-27 CN CN202110238869.XA patent/CN113035768A/zh active Pending
- 2013-11-27 KR KR1020217002828A patent/KR102373075B1/ko active IP Right Grant
- 2013-11-27 KR KR1020157017386A patent/KR102211380B1/ko active IP Right Grant
- 2013-11-27 CN CN201810418024.7A patent/CN108732871B/zh active Active
- 2013-11-27 JP JP2014550208A patent/JP6358564B2/ja active Active
- 2013-11-27 KR KR1020227007257A patent/KR102523729B1/ko active IP Right Grant
- 2013-11-27 EP EP21209861.0A patent/EP4009356A1/en active Pending
- 2013-11-29 TW TW102143679A patent/TWI606540B/zh active
- 2013-11-29 TW TW108122353A patent/TWI703666B/zh active
- 2013-11-29 TW TW106136125A patent/TWI667725B/zh active
- 2013-11-29 TW TW109124507A patent/TWI748563B/zh active
-
2016
- 2016-04-08 HK HK16104043.1A patent/HK1216357A1/zh unknown
-
2017
- 2017-06-29 US US15/637,069 patent/US10081108B2/en active Active
-
2018
- 2018-05-09 US US15/974,965 patent/US10384350B2/en active Active
- 2018-06-05 JP JP2018107671A patent/JP6607286B2/ja active Active
-
2019
- 2019-06-20 US US16/446,979 patent/US10744648B2/en active Active
- 2019-10-16 JP JP2019189302A patent/JP6981458B2/ja active Active
-
2020
- 2020-07-10 US US16/925,386 patent/US11097426B2/en active Active
-
2021
- 2021-07-21 US US17/381,491 patent/US11511438B2/en active Active
- 2021-11-16 JP JP2021186320A patent/JP7243797B2/ja active Active
-
2023
- 2023-03-03 JP JP2023032530A patent/JP2023078199A/ja active Pending
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6981458B2 (ja) | 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 | |
JP6671643B2 (ja) | 搬送方法、搬送システム及び露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
CN118280908A (zh) | 搬送系统、曝光装置及搬送方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191016 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191016 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191203 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201023 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201105 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20201120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201124 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210323 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211019 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211101 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6981458 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |