JP6607286B2 - 搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Claims (42)
- 板状の物体を物体載置部が設けられた物体載置部材に搬送する搬送システムであって、
前記板状の物体との間に気体流を形成して前記板状の物体に対する吸引力を発生させる吸引部材と、前記吸引部材と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させる駆動装置と、を含む吸引装置と、
前記物体載置部に前記板状の物体を載置する前に、前記板状の物体の形状を所定の形状に変える調整装置と、を備え、
前記板状の物体を吸引している前記吸引部材と前記物体載置部との相対位置が上下方向に変化している期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変え、
前記所定の形状となった前記板状の物体を前記物体載置部に載置する搬送システム。 - 前記所定の形状は、下に凸の形状を含む請求項1に記載の搬送システム。
- 前記物体載置部は前記所定の形状となった前記板状の物体の下に位置する請求項1又は2に記載の搬送システム。
- 前記調整装置は、前記板状の物体が有する面のうち少なくとも一面が所定の平坦度となるように前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変える請求項1〜3のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記所定の平坦度となることは、前記板状の物体の外周部に比べて、前記板状の物体の下に凸となる部分の、下に凸となる程度が所定の値になることを含む請求項4に記載の搬送システム。
- 前記物体載置部材は、前記板状の物体を下方から支持した状態で前記物体載置部に対して上下方向に移動可能な支持部材を更に備える請求項1〜5のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記物体は、前記支持部材に支持され、前記調整装置により前記所定の形状となった状態で、前記物体載置部に当接する請求項6に記載の搬送システム。
- 前記調整装置は、前記支持部材で前記板状の物体を支持してから前記板状の物体が前記物体載置部に当接するまでの期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変える請求項6又は7に記載の搬送システム。
- 前記支持部材で前記板状の物体を支持した後に、前記支持部材を下方へ移動して前記板状の物体を前記物体載置部に当接させる請求項6〜8のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記調整装置は、前記板状の物体を支持している前記支持部材が下方へ移動している期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変える請求項6〜9のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記調整装置は、前記板状の物体の形状に関する既知の情報に基づき、前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変える請求項6〜10のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記板状の物体の形状に関する情報を求める計測装置をさらに備える請求項11に記載の搬送システム。
- 前記計測装置は、前記板状の物体が前記物体載置部へ搬送されている期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求める請求項12に記載の搬送システム。
- 前記計測装置は、前記板状の物体の形状を所定の形状に変える前に、前記板状の物体の形状に関する情報を求める請求項12又は13に記載の搬送システム。
- 前記計測装置は、前記板状の物体が前記支持部材に支持されている期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求める請求項12〜14のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記計測装置は、前記板状の物体を支持している前記支持部材が下方に移動している期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求める請求項15に記載の搬送システム。
- 前記吸引部材が前記板状の物体を吸引している期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求める請求項12〜16のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記板状の物体を吸引している前記吸引部材と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させている期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求める請求項17に記載の搬送システム。
- 前記計測装置は、前記板状の物体の一面の複数個所それぞれについて前記一面と交差する方向の位置に関する情報を求める複数のセンサを有する請求項12〜18のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 前記計測装置は、前記吸引装置に設けられている請求項12〜19のいずれか一項に記載の搬送システム。
- 物体上にパターンを形成する露光装置であって、
請求項1〜20のいずれか一項に記載の搬送システムと、
前記搬送システムにより前記物体載置部材上に搬送された前記板状の物体をエネルギビームで露光して、前記パターンを形成するパターン生成装置と、を備える露光装置。 - リソグラフィステップを含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィステップは、
請求項21に記載の露光装置を用いて表面にレジストが塗布された板状の物体を露光することと、
露光された前記板状の物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 板状の物体を物体載置部が設けられた物体載置部材に搬送する搬送方法であって、
前記板状の物体との間に気体流を形成して前記板状の物体に対する吸引力を発生させることと、
前記吸引力により吸引された前記板状の物体と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させることと、
前記物体載置部に前記板状の物体を載置する前に、前記吸引力により吸引された前記板状の物体と前記物体載置部との相対位置が上下方向に変化している期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状を所定の形状に変えることと、
前記所定の形状となった前記板状の物体を前記物体載置部に載置することと、を含む搬送方法。 - 前記所定の形状は、下に凸の形状を含む請求項23に記載の搬送方法。
- 前記物体載置部は前記所定の形状となった前記板状の物体の下に位置する請求項23又は24に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変えることは、前記板状の物体が有する面のうち少なくとも一面が所定の平坦度となるように前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変えることを含む請求項23〜25のいずれか一項に記載の搬送方法。
- 前記所定の平坦度となることは、前記板状の物体の外周部に比べて、前記板状の物体の下に凸となる部分の、下に凸となる程度が所定の値になることを含む請求項23に記載の搬送方法。
- 前記物体載置部材には、前記物体載置部に対して上下方向に移動可能な支持部材が設けられ、
前記板状の物体を、前記支持部によって下方から支持することをさらに含む請求項23〜27のいずれか一項に記載の搬送方法。 - 前記物体は、前記支持部材に支持され、前記調整装置により前記所定の形状となった状態で、前記物体載置部に当接する請求項28に記載の搬送方法。
- 前記支持部材で前記板状の物体を支持してから前記板状の物体が前記物体載置部に当接するまでの期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変える請求項28又は29に記載の搬送方法。
- 前記支持部材で前記板状の物体を支持した後に、前記支持部材を下方へ移動して前記板状の物体を前記物体載置部に当接させる請求項28〜30のいずれか一項に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体を支持している前記支持部材が下方に移動している期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変える請求項28〜31のいずれか一項に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体の形状に関する既知の情報に基づき、前記板状の物体の形状を前記所定の形状に変える請求項28〜32のいずれか一項に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体の形状に関する情報を求めることをさらに含む請求項33に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体の形状に関する情報を求めることは、前記板状の物体が前記物体載置部へ搬送されている期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求めることを含む請求項34に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体の形状に関する情報を求めることは、前記板状の物体の形状を所定の形状に変える前に、前記板状の物体の形状に関する情報を求めることを含む請求項34又は35に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体の形状に関する情報を求めることは、前記板状の物体が前記支持部材に支持されている期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求めることを含む請求項34に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体の形状に関する情報を求めることは、前記板状の物体を支持している前記支持部材が下方に移動している期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求めることを含む請求項37に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体の形状に関する情報を求めることは、前記吸引力により前記板状の物体を吸引している期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求めることを含む請求項34に記載の搬送方法。
- 前記板状の物体の形状に関する情報を求めることは、前記吸引力により吸引された前記板状の物体と前記物体載置部との相対位置を上下方向に変化させている期間の少なくとも一部において、前記板状の物体の形状に関する情報を求めることを含む請求項39に記載の搬送方法。
- 板状の物体上にパターンを形成する露光方法であって、
請求項23〜40のいずれか一項に記載の搬送方法により前記物体載置部材上に搬送された前記板状の物体をエネルギビームで露光して、前記パターンを形成する露光方法。 - リソグラフィステップを含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィステップは、
請求項41に記載の露光方法を用いて表面にレジストが塗布された板状の物体を露光することと、
露光された前記板状の物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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