JP2015076521A5 - - Google Patents
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- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 75
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 39
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 37
- 230000000576 supplementary Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 description 2
Description
上述の各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。上述の各実施形態の要件のうちの一部が用いられなくてもよい。また、法令で許容される限りにおいて、上述の各実施形態で引用した露光装置等に関する全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
以上、本明細書で説明した実施形態について、以下の付記を更に記載する。
[付記1]
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記可動部材の少なくとも一部は、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体の少なくとも一部に対向し、
前記移動装置は、前記第1物体が前記可動部材の少なくとも一部の下方で前記光学部材の光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って移動する第1期間の少なくとも一部において、前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って前記可動部材を移動させる露光装置。
[付記2]
前記可動部材は、少なくとも一部が前記第1物体の少なくとも一部に対向する下面を備え、
前記移動装置は、前記第1物体の上面の少なくとも一部が前記下面の少なくとも一部に対向しながら前記第1物体が前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って移動する前記第1期間の少なくとも一部において、前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って前記可動部材を移動させる付記1に記載の露光装置。
[付記3]
前記第1物体は、前記基板を含む付記1又は2に記載の露光装置。
[付記4]
前記基板の上面の少なくとも一部は、夫々が前記露光光によって露光される複数の露光領域を備えており、
前記複数の露光領域は、前記光軸に垂直な第1方向成分を含む第1方向に向かって前記基板が移動する期間の少なくとも一部において前記露光光によって露光される第1領域を含んでおり、
前記第1期間は、前記第1領域が前記露光光によって露光される第2期間の少なくとも一部を含む付記3に記載の露光装置。
[付記5]
前記移動装置は、前記第2期間のうち前記第1領域に対する露光が開始されてから第1時間が経過した後の期間において、前記移動部材を移動させる付記4に記載の露光装置。
[付記6]
前記移動装置は、前記第1領域に対する露光が開始されてから前記第1時間が経過した後に前記移動部材の移動を開始する付記5に記載の露光装置。
[付記7]
前記移動装置は、前記第1領域に対する露光が開始されてから前記第1時間が経過するまでは前記移動部材を移動させない付記5又は6に記載の露光装置。
[付記8]
前記移動装置は、前記可動部材を、前記第1方向成分を含む第2方向に向かって移動させる付記4に記載の露光装置。
[付記9]
前記移動装置は、前記第2期間のうち前記第1領域に対する露光が開始されてから第1時間が経過した後の期間において、前記第2方向に向かって前記移動部材を移動させる付記8に記載の露光装置。
[付記10]
前記移動装置は、前記第1領域に対する露光が開始されてから前記第1時間が経過した後に前記第2方向に向かう前記移動部材の移動を開始する付記9に記載の露光装置。
[付記11]
前記移動装置は、前記第1領域に対する露光が開始されてから前記第1時間が経過するまでは、前記第2方向に向かって前記移動部材を移動させない付記9又は10に記載の露光装置。
[付記12]
前記複数の露光領域は、前記第1領域に対する露光が終了した後の期間であって、且つ、前記第1方向成分とは逆向きである前記光軸に垂直な第2方向成分を含む第3方向に向かって前記基板が移動する期間の少なくとも一部において前記露光光によって露光される第2領域を含んでおり、
前記第1期間は、前記第1領域に対する露光が終了してから前記第2領域に対する露光が開始されるまでの間の第3期間の少なくとも一部を含む付記4から11のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記13]
前記移動装置は、前記第3期間の少なくとも一部において、前記可動部材を、前記光軸、前記第1方向成分及び前記第2方向成分の夫々に垂直な第3方向成分を含む第4方向に向かって移動させる付記12に記載の露光装置。
[付記14]
前記移動装置は、前記第2期間の少なくとも一部において、前記可動部材を、前記第3方向成分とは逆向きである前記光軸に垂直な第4方向成分を含む第5方向に向かって移動させる付記13に記載の露光装置。
[付記15]
前記第1物体の移動態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する付記1から14のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記16]
前記第1物体が所定態様で移動した時点で前記可動部材の移動を開始するように前記移動タイミングを決定する付記15に記載の露光装置。
[付記17]
前記第1物体が所定位置に到達した時点で前記可動部材の移動を開始するように前記移動タイミングを決定する付記15又は16に記載の露光装置。
[付記18]
前記可動部材は第1液体回収口を備える付記1から17のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記19]
前記第1液体回収口による液体回収の態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する付記18に記載の露光装置。
[付記20]
前記液体回収における回収量及び回収圧の両方又は一方が所定条件を満たした時点で前記可動部材の移動を開始するように前記移動タイミングを決定する付記19に記載の露光装置。
[付記21]
前記液浸空間の界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する付記18から20のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記22]
前記第1物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記界面の少なくとも一部と前記第1物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記移動タイミングを決定する付記21に記載の露光装置。
[付記23]
前記界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係が所定関係になると推定される時点で前記可動部材の移動を開始するように、前記移動タイミングを決定する付記21又は22に記載の露光装置。
[付記24]
前記界面の少なくとも一部が前記第1液体回収口の少なくとも一部に到達すると推定される、前記界面の少なくとも一部が前記第1液体回収口の少なくとも一部に到達してから第2時間が経過したと推定される又は前記界面の少なくとも一部が前記第1液体回収口の少なくとも一部に到達するまでに要する時間が第3時間未満であると推定される時点で前記可動部材の移動を開始するように、前記移動タイミングを決定する付記21から23のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記25]
前記第1物体の移動態様及び前記第1液体回収口による液体回収の態様の両方又は一方に基づいて、前記界面の少なくとも一部の間の位置を推定する付記21から24のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記26]
前記第1物体の移動態様及び前記第1液体回収口による液体回収の態様の両方又は一方に基づいて、前記界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係を推定する付記21から25のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記27]
前記移動装置は、前記光軸に対して前記第1液体回収口の外周端部の内側に前記液浸空間の界面が位置するように、前記可動部材を移動させる付記18から26のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記28]
前記移動装置は、前記第1物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記第1液体回収口の外周端部の内側に、前記第1物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記界面の少なくとも一部が位置するように、前記可動部材を移動させる付記27に記載の露光装置。
[付記29]
前記移動装置は、前記可動部材を、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって移動させる付記1から28のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記30]
前記移動装置は、前記第1物体上の又は第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる第4期間の少なくとも一部において、前記可動部材の移動態様を調整する付記1から29のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記31]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の距離が第1距離以下となる期間を含む付記30に記載の露光装置。
[付記32]
前記第4期間は、前記液浸部材の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記30又は31に記載の露光装置。
[付記33]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合と比較して、前記可動部材の前記第1物体に対する相対速度が小さくなるように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から32のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記34]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記可動部材の位置を基準として、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記可動部材が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から33のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記35]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から34のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記36]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定場合の前記可動部材の位置を基準として、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記可動部材が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から35のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記37]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から36のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記38]
前記可動部材は第2液体回収口を備える付記30から37のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記39]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記第2液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる期間を含む付記38に記載の露光装置。
[付記40]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記第2液体回収口の少なくとも一部との間の距離が第2距離以下となる期間を含む付記38又は39に記載の露光装置。
[付記41]
前記第4期間は、前記第2液体回収口の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記38から40のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記42]
前記第4期間は、前記第1物体の移動方向に沿った前方側又は後方側に位置する前記第2液体回収口の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記38から41のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記43]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記第2液体回収口の少なくとも一部の位置を基準として、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記第2液体回収口の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記38から42のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記44]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記第2液体回収口の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記38から43のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記45]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記第2液体回収口の少なくとも一部の位置を基準として、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記第2液体回収口の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記38から44のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記46]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記第2液体回収口の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記38から45のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記47]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記液浸空間の界面の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる期間を含む付記30から46のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記48]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記液浸空間の界面の少なくとも一部との間の距離が第3距離以下となる期間を含む付記30から47のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記49]
前記第4期間は、前記液浸空間の界面の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記30から48のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記50]
前記所定期間は、前記第1物体の移動方向に沿った前方側又は後方側に位置する前記液浸空間の界面の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記30から49のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記51]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定場合の前記液浸空間の界面の少なくとも一部の位置を基準として、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記界面の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から50のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記52]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記液浸空間の界面の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から51のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記53]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定場合の前記液浸空間の界面の少なくとも一部の位置を基準として、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記界面の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から52のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記54]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記液浸空間の界面の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から53のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記55]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記液浸空間の界面の少なくとも一部の位置を基準として、前記光軸に対して前記界面の少なくとも一部が内側又は外側に位置することになるように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から54のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記56]
前記移動装置は、前記光軸に対して前記界面の少なくとも一部が前記所定箇所よりも内側又は外側に位置するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から55のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記57]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記可動部材は第1液体回収口を備え、
前記第1液体回収口による液体回収の態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する露光装置。
[付記58]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記可動部材は第1液体回収口を備え、
前記液浸空間の界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する露光装置。
[付記59]
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記移動装置は、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体上の又は前記第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる第4期間の少なくとも一部において、前記可動部材の移動態様を調整する露光装置。
[付記60]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記移動装置は、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体上の又は前記第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する期間の少なくとも一部において、前記所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する前と比較して、前記可動部材の前記第1物体に対する相対速度が小さくなるように、前記可動部材を移動させる露光装置。
[付記61]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の又は異なる若しくは逆の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材を移動させる露光装置。
[付記62]
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材の少なくとも一部は、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体の少なくとも一部に対向し、
前記可動部材を移動させることは、前記第1物体が前記可動部材の少なくとも一部の下方で前記光学部材の光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って移動する第1期間の少なくとも一部において、前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って前記可動部材を移動させることを含む露光方法。
[付記63]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材は第1液体回収口を備え、
前記露光方法は、前記第1液体回収口による液体回収の態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定することを備える露光方法。
[付記64]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材は第1液体回収口を備え、
前記露光方法は、前記液浸空間の界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定することを備える露光方法。
[付記65]
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材を移動させることは、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体上の又は前記第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる第4期間の少なくとも一部において、前記可動部材の移動態様を調整することを含む露光方法。
[付記66]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材を移動させることは、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体上の又は前記第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する期間の少なくとも一部において、前記所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する前と比較して、前記可動部材の前記第1物体に対する相対速度が小さくなるように、前記可動部材を移動させることを含む露光方法。
[付記67]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材を移動させることは、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の又は異なる若しくは逆の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材を移動させることを含む露光方法。
[付記68]
付記1から61のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと
を備えるデバイス製造方法。
[付記69]
付記62から67のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと
を備えるデバイス製造方法。
以上、本明細書で説明した実施形態について、以下の付記を更に記載する。
[付記1]
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記可動部材の少なくとも一部は、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体の少なくとも一部に対向し、
前記移動装置は、前記第1物体が前記可動部材の少なくとも一部の下方で前記光学部材の光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って移動する第1期間の少なくとも一部において、前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って前記可動部材を移動させる露光装置。
[付記2]
前記可動部材は、少なくとも一部が前記第1物体の少なくとも一部に対向する下面を備え、
前記移動装置は、前記第1物体の上面の少なくとも一部が前記下面の少なくとも一部に対向しながら前記第1物体が前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って移動する前記第1期間の少なくとも一部において、前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って前記可動部材を移動させる付記1に記載の露光装置。
[付記3]
前記第1物体は、前記基板を含む付記1又は2に記載の露光装置。
[付記4]
前記基板の上面の少なくとも一部は、夫々が前記露光光によって露光される複数の露光領域を備えており、
前記複数の露光領域は、前記光軸に垂直な第1方向成分を含む第1方向に向かって前記基板が移動する期間の少なくとも一部において前記露光光によって露光される第1領域を含んでおり、
前記第1期間は、前記第1領域が前記露光光によって露光される第2期間の少なくとも一部を含む付記3に記載の露光装置。
[付記5]
前記移動装置は、前記第2期間のうち前記第1領域に対する露光が開始されてから第1時間が経過した後の期間において、前記移動部材を移動させる付記4に記載の露光装置。
[付記6]
前記移動装置は、前記第1領域に対する露光が開始されてから前記第1時間が経過した後に前記移動部材の移動を開始する付記5に記載の露光装置。
[付記7]
前記移動装置は、前記第1領域に対する露光が開始されてから前記第1時間が経過するまでは前記移動部材を移動させない付記5又は6に記載の露光装置。
[付記8]
前記移動装置は、前記可動部材を、前記第1方向成分を含む第2方向に向かって移動させる付記4に記載の露光装置。
[付記9]
前記移動装置は、前記第2期間のうち前記第1領域に対する露光が開始されてから第1時間が経過した後の期間において、前記第2方向に向かって前記移動部材を移動させる付記8に記載の露光装置。
[付記10]
前記移動装置は、前記第1領域に対する露光が開始されてから前記第1時間が経過した後に前記第2方向に向かう前記移動部材の移動を開始する付記9に記載の露光装置。
[付記11]
前記移動装置は、前記第1領域に対する露光が開始されてから前記第1時間が経過するまでは、前記第2方向に向かって前記移動部材を移動させない付記9又は10に記載の露光装置。
[付記12]
前記複数の露光領域は、前記第1領域に対する露光が終了した後の期間であって、且つ、前記第1方向成分とは逆向きである前記光軸に垂直な第2方向成分を含む第3方向に向かって前記基板が移動する期間の少なくとも一部において前記露光光によって露光される第2領域を含んでおり、
前記第1期間は、前記第1領域に対する露光が終了してから前記第2領域に対する露光が開始されるまでの間の第3期間の少なくとも一部を含む付記4から11のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記13]
前記移動装置は、前記第3期間の少なくとも一部において、前記可動部材を、前記光軸、前記第1方向成分及び前記第2方向成分の夫々に垂直な第3方向成分を含む第4方向に向かって移動させる付記12に記載の露光装置。
[付記14]
前記移動装置は、前記第2期間の少なくとも一部において、前記可動部材を、前記第3方向成分とは逆向きである前記光軸に垂直な第4方向成分を含む第5方向に向かって移動させる付記13に記載の露光装置。
[付記15]
前記第1物体の移動態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する付記1から14のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記16]
前記第1物体が所定態様で移動した時点で前記可動部材の移動を開始するように前記移動タイミングを決定する付記15に記載の露光装置。
[付記17]
前記第1物体が所定位置に到達した時点で前記可動部材の移動を開始するように前記移動タイミングを決定する付記15又は16に記載の露光装置。
[付記18]
前記可動部材は第1液体回収口を備える付記1から17のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記19]
前記第1液体回収口による液体回収の態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する付記18に記載の露光装置。
[付記20]
前記液体回収における回収量及び回収圧の両方又は一方が所定条件を満たした時点で前記可動部材の移動を開始するように前記移動タイミングを決定する付記19に記載の露光装置。
[付記21]
前記液浸空間の界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する付記18から20のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記22]
前記第1物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記界面の少なくとも一部と前記第1物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記移動タイミングを決定する付記21に記載の露光装置。
[付記23]
前記界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係が所定関係になると推定される時点で前記可動部材の移動を開始するように、前記移動タイミングを決定する付記21又は22に記載の露光装置。
[付記24]
前記界面の少なくとも一部が前記第1液体回収口の少なくとも一部に到達すると推定される、前記界面の少なくとも一部が前記第1液体回収口の少なくとも一部に到達してから第2時間が経過したと推定される又は前記界面の少なくとも一部が前記第1液体回収口の少なくとも一部に到達するまでに要する時間が第3時間未満であると推定される時点で前記可動部材の移動を開始するように、前記移動タイミングを決定する付記21から23のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記25]
前記第1物体の移動態様及び前記第1液体回収口による液体回収の態様の両方又は一方に基づいて、前記界面の少なくとも一部の間の位置を推定する付記21から24のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記26]
前記第1物体の移動態様及び前記第1液体回収口による液体回収の態様の両方又は一方に基づいて、前記界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係を推定する付記21から25のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記27]
前記移動装置は、前記光軸に対して前記第1液体回収口の外周端部の内側に前記液浸空間の界面が位置するように、前記可動部材を移動させる付記18から26のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記28]
前記移動装置は、前記第1物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記第1液体回収口の外周端部の内側に、前記第1物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記界面の少なくとも一部が位置するように、前記可動部材を移動させる付記27に記載の露光装置。
[付記29]
前記移動装置は、前記可動部材を、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって移動させる付記1から28のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記30]
前記移動装置は、前記第1物体上の又は第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる第4期間の少なくとも一部において、前記可動部材の移動態様を調整する付記1から29のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記31]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の距離が第1距離以下となる期間を含む付記30に記載の露光装置。
[付記32]
前記第4期間は、前記液浸部材の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記30又は31に記載の露光装置。
[付記33]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合と比較して、前記可動部材の前記第1物体に対する相対速度が小さくなるように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から32のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記34]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記可動部材の位置を基準として、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記可動部材が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から33のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記35]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から34のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記36]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定場合の前記可動部材の位置を基準として、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記可動部材が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から35のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記37]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から36のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記38]
前記可動部材は第2液体回収口を備える付記30から37のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記39]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記第2液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる期間を含む付記38に記載の露光装置。
[付記40]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記第2液体回収口の少なくとも一部との間の距離が第2距離以下となる期間を含む付記38又は39に記載の露光装置。
[付記41]
前記第4期間は、前記第2液体回収口の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記38から40のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記42]
前記第4期間は、前記第1物体の移動方向に沿った前方側又は後方側に位置する前記第2液体回収口の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記38から41のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記43]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記第2液体回収口の少なくとも一部の位置を基準として、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記第2液体回収口の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記38から42のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記44]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記第2液体回収口の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記38から43のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記45]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記第2液体回収口の少なくとも一部の位置を基準として、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記第2液体回収口の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記38から44のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記46]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記第2液体回収口の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記38から45のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記47]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記液浸空間の界面の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる期間を含む付記30から46のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記48]
前記第4期間は、前記所定箇所と前記液浸空間の界面の少なくとも一部との間の距離が第3距離以下となる期間を含む付記30から47のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記49]
前記第4期間は、前記液浸空間の界面の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記30から48のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記50]
前記所定期間は、前記第1物体の移動方向に沿った前方側又は後方側に位置する前記液浸空間の界面の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記30から49のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記51]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定場合の前記液浸空間の界面の少なくとも一部の位置を基準として、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記界面の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から50のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記52]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記液浸空間の界面の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から51のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記53]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定場合の前記液浸空間の界面の少なくとも一部の位置を基準として、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記界面の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から52のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記54]
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の方向に向かって前記液浸空間の界面の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から53のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記55]
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記液浸空間の界面の少なくとも一部の位置を基準として、前記光軸に対して前記界面の少なくとも一部が内側又は外側に位置することになるように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から54のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記56]
前記移動装置は、前記光軸に対して前記界面の少なくとも一部が前記所定箇所よりも内側又は外側に位置するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記30から55のいずれか一項に記載の露光装置。
[付記57]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記可動部材は第1液体回収口を備え、
前記第1液体回収口による液体回収の態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する露光装置。
[付記58]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記可動部材は第1液体回収口を備え、
前記液浸空間の界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する露光装置。
[付記59]
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記移動装置は、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体上の又は前記第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる第4期間の少なくとも一部において、前記可動部材の移動態様を調整する露光装置。
[付記60]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記移動装置は、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体上の又は前記第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する期間の少なくとも一部において、前記所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する前と比較して、前記可動部材の前記第1物体に対する相対速度が小さくなるように、前記可動部材を移動させる露光装置。
[付記61]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記移動装置は、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の又は異なる若しくは逆の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材を移動させる露光装置。
[付記62]
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材の少なくとも一部は、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体の少なくとも一部に対向し、
前記可動部材を移動させることは、前記第1物体が前記可動部材の少なくとも一部の下方で前記光学部材の光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って移動する第1期間の少なくとも一部において、前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って前記可動部材を移動させることを含む露光方法。
[付記63]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材は第1液体回収口を備え、
前記露光方法は、前記第1液体回収口による液体回収の態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定することを備える露光方法。
[付記64]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材は第1液体回収口を備え、
前記露光方法は、前記液浸空間の界面の少なくとも一部と前記第1液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定することを備える露光方法。
[付記65]
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材を移動させることは、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体上の又は前記第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる第4期間の少なくとも一部において、前記可動部材の移動態様を調整することを含む露光方法。
[付記66]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材を移動させることは、前記光学部材の下方で移動可能な第1物体上の又は前記第1物体と前記光学部材の下方で移動可能な第2物体との間の所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する期間の少なくとも一部において、前記所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する前と比較して、前記可動部材の前記第1物体に対する相対速度が小さくなるように、前記可動部材を移動させることを含む露光方法。
[付記67]
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材を移動させることは、前記第1物体に対して、前記第1物体の移動方向と同一の又は異なる若しくは逆の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材を移動させることを含む露光方法。
[付記68]
付記1から61のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと
を備えるデバイス製造方法。
[付記69]
付記62から67のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと
を備えるデバイス製造方法。
Claims (2)
- 光学部材の射出面側に液浸空間を形成するとともに、基板の一部を覆う前記液浸空間の液体を介して前記光学部材からの露光光を基板に照射する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記光学部材の光軸に垂直な方向に、前記可動部材を移動させる移動装置と
前記基板を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記基板の周囲に、前記基板の上面と同一面内に位置するように設けられた上面とを有し、前記液浸部材の下方で移動可能な基板ステージと
を備え、
前記液浸部材は、前記基板の上面及び前記基板ステージの上面の少なくとも一方と、前記可動部材との間に前記液浸空間を形成可能であり、
前記基板ステージの移動中に、前記基板の上面と前記基板ステージの上面との間隙上に前記液浸空間が形成されないように、前記移動装置により前記光軸に垂直な方向に前記可動部材を移動可能な露光装置。 - 光学部材の射出面側に液浸空間を形成するとともに、基板の一部を覆う前記液浸空間の液体を介して前記光学部材からの露光光を基板に照射する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記光学部材の光軸に垂直な方向に、前記可動部材を移動させる移動装置と
前記基板を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記基板の周囲に、前記基板の上面と同一面内に位置するように設けられた上面とを有し、前記液浸部材の下方で移動可能な基板ステージと
を備え、
前記液浸部材は、前記基板の上面及び前記基板ステージの上面の少なくとも一方と、前記可動部材との間に前記液浸空間を形成可能であり、
前記基板の上面と前記基板ステージの上面との間隙が前記液浸空間の界面の一部に近づくように前記基板ステージが前記光軸に垂直な第1方向に移動しているときに、前記移動装置により前記第1方向の成分を含む方向に前記可動部材を移動可能な露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013212021A JP6318534B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013212021A JP6318534B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018072471A Division JP6575629B2 (ja) | 2018-04-04 | 2018-04-04 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015076521A JP2015076521A (ja) | 2015-04-20 |
JP2015076521A5 true JP2015076521A5 (ja) | 2016-11-10 |
JP6318534B2 JP6318534B2 (ja) | 2018-05-09 |
Family
ID=53001144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013212021A Active JP6318534B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6318534B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL2009692A (en) | 2011-12-07 | 2013-06-10 | Asml Netherlands Bv | A lithographic apparatus and a device manufacturing method. |
CN105116688B (zh) * | 2015-09-01 | 2017-06-23 | 浙江大学 | 一种用于浸没式光刻机的浸没液体控制装置 |
WO2017084797A1 (en) * | 2015-11-20 | 2017-05-26 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method of operating a lithographic apparatus |
JP6757849B2 (ja) | 2016-09-12 | 2020-09-23 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造 |
CN111480118B (zh) | 2017-12-15 | 2024-06-25 | Asml荷兰有限公司 | 流体处置结构、光刻设备、以及使用流体处置结构的方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287824A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US20070273856A1 (en) * | 2006-05-25 | 2007-11-29 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for inhibiting immersion liquid from flowing below a substrate |
JP2010267656A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
JP2013102029A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
-
2013
- 2013-10-09 JP JP2013212021A patent/JP6318534B2/ja active Active
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JP2009239286A5 (ja) | ||
JP2015528132A5 (ja) | ||
JP2015036832A5 (ja) | ||
JP2019027927A5 (ja) | ||
JP2013257409A5 (ja) |