JP2007287824A - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】露光不良の発生を抑え、基板を良好に露光できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、露光光の照射領域ARを覆うように基板P表面に液体LQの液浸領域LRを局所的に形成可能な液浸装置と、一のショット領域Sの露光のための走査開始位置において基板PのエッジEgが液浸領域LR内に存在するか否かを判断し、判断に基づいて露光時の基板Pの走査速度を決定する決定装置と、決定に従って基板Pを移動する移動装置4とを備えている。
【選択図】図3
【解決手段】露光装置は、露光光の照射領域ARを覆うように基板P表面に液体LQの液浸領域LRを局所的に形成可能な液浸装置と、一のショット領域Sの露光のための走査開始位置において基板PのエッジEgが液浸領域LR内に存在するか否かを判断し、判断に基づいて露光時の基板Pの走査速度を決定する決定装置と、決定に従って基板Pを移動する移動装置4とを備えている。
【選択図】図3
Description
本発明は、基板を露光する露光装置、及びデバイス製造方法に関する。
フォトリソグラフィ工程で用いられる露光装置において、下記特許文献に開示されているような、基板上に液体の液浸領域を形成し、その液体を介して基板を露光する液浸露光装置が知られている。
特開2005−277053号公報
液浸領域に対して基板を移動しつつ露光する場合、例えば基板のエッジ近傍で液体中に泡が生成される可能性がある。生成された泡が露光光の光路上に配置されると、露光不良が発生し、基板に形成されるパターンに欠陥が生じる可能性がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、露光不良の発生を抑え、基板を良好に露光できる露光装置、及びその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
本発明の第1の態様に従えば、基板(P)を所定方向に走査しつつ基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)表面のショット領域(S)を露光する露光装置において、露光光(EL)の照射領域(AR)を覆うように基板(P)表面に液体(LQ)の液浸領域(LR)を局所的に形成可能な液浸装置(70)と、一のショット領域(S)の露光のための走査開始位置において基板(P)のエッジ(Eg)が液浸領域(LR)内に存在するか否かを判断し、判断に基づいて露光時の基板(P)の走査速度を決定する決定装置(7)と、決定に従って基板(P)を移動する移動装置(4)と、を備えた露光装置(EX)が提供される。
本発明の第1の態様によれば、露光不良の発生を抑え、基板を良好に露光することができる。
本発明の第2の態様に従えば、基板(P)を所定方向に移動しつつ基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)を露光する露光装置において、基板(P)のエッジ(Eg)の周囲に該エッジ(Eg)との間で所定のギャップ(G)を形成するように配置され、基板(P)の表面と略同一面となる所定面(4F)を有する所定部材(4)と、露光光(EL)の照射領域(AR)を覆うように基板(P)表面に液体(LQ)の液浸領域(LR)を局所的に形成可能な液浸装置(70)と、基板(P)と所定部材(4)とを一緒に移動する移動装置(4D)と、基板(P)表面のエッジ(Eg)近傍の第1ショット領域(Se)を露光するときに、ギャップ(G)で発生した液体(LQ)中の泡が露光光(EL)の光路(K)上に配置されないように移動装置(4D)による基板(P)の移動条件を設定する制御装置(7)と、を備えた露光装置(EX)が提供される。
本発明の第2の態様によれば、露光不良の発生を抑え、基板を良好に露光することができる。
本発明の第3の態様に従えば、上記態様の露光装置(EX)を用いるデバイス製造方法が提供される。
本発明の第3の態様によれば、基板を良好に露光できる露光装置を用いてデバイスを製造できる。
本発明によれば、露光不良の発生を抑え、基板を良好に露光することができ、所望の性能を有するデバイスを製造することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。
<第1実施形態>
第1実施形態について説明する。図1は第1実施形態に係る露光装置EXを示す図、図2は図1の要部を示す拡大図である。
第1実施形態について説明する。図1は第1実施形態に係る露光装置EXを示す図、図2は図1の要部を示す拡大図である。
図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ3と、基板Pを保持する基板ホルダ4Hを有し、基板ホルダ4Hに基板Pを保持して移動可能な基板ステージ4と、マスクステージ3に保持されているマスクMを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像を基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。制御装置7には、露光に関する各種情報を記憶した記憶装置8が接続されている。
なお、ここでいう基板は半導体ウエハ等の基材上に感光材(フォトレジスト)が塗布されたものを含み、マスクは基板上に縮小投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含む。また、本実施形態においては、マスクとして透過型のマスクを用いるが、反射型のマスクを用いてもよい。
本実施形態では、露光装置EXとしてマスクMと基板Pとを所定の走査方向に同期移動しつつマスクMのパターン像を基板P上に投影する走査型露光装置(所謂スキャニングステッパ)を使用する場合を例にして説明する。以下の説明において、水平面内においてマスクMと基板Pとの同期移動方向(走査方向)をY軸方向、水平面内においてY軸方向と直交する方向をX軸方向(非走査方向)、X軸及びY軸方向に垂直で投影光学系PLの光軸AXと平行な方向をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
本実施形態の露光装置EXは、露光波長を実質的に短くして解像度を向上するとともに焦点深度を実質的に広くするために液浸法を適用した液浸露光装置であって、投影光学系PLの像面近傍の露光光ELの光路Kを液体LQで満たす液浸システム1を備えている。液浸システム1の動作は制御装置7に制御される。液浸システム1は、投影光学系PLの複数の光学素子のうち、投影光学系PLの像面に最も近い最終光学素子FLの下面と、投影光学系PLの像面側に配置された基板Pの表面との間の露光光ELの光路Kを液体LQで満たすように、基板P上に液体LQの液浸領域LRを形成する。本実施形態では、液体LQとして、水(純水)を用いる。
露光装置EXは、少なくともマスクMのパターン像を基板P上に投影している間、液浸システム1を用いて、露光光ELの光路Kを液体LQで満たす。露光装置EXは、投影光学系PLと露光光ELの光路Kに満たされた液体LQとを介してマスクMを通過した露光光ELを基板P上に照射することによって、マスクMのパターン像を基板P上に投影して、基板Pを露光する。また、本実施形態の露光装置EXは、最終光学素子FLと基板Pとの間の露光光ELの光路Kに満たされた液体LQが、投影光学系PLの投影領域ARを含む基板P上の一部の領域に、投影領域ARよりも大きく且つ基板Pよりも小さい液体LQの液浸領域LRを局所的に形成する局所液浸方式を採用している。
なお、液浸領域LRは、基板P上だけでなく、投影光学系PLの像面側において、最終光学素子FLの下面と対向する位置に配置された物体上、例えば基板ステージ4の一部などにも形成可能である。
照明系ILは、マスクM上の所定の照明領域を均一な照度分布の露光光ELで照明するものである。照明系ILから射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)や、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。本実施形態においてはArFエキシマレーザ光が用いられる。
マスクステージ3は、リニアモータ等のアクチュエータを含むマスクステージ駆動装置3Dの駆動により、マスクMを保持した状態で、X軸、Y軸、及びθZ方向に移動可能である。マスクステージ3(ひいてはマスクM)の位置情報は、レーザ干渉計3Lによって計測される。レーザ干渉計3Lは、マスクステージ3上に設けられた移動鏡3Kを用いてマスクステージ3の位置情報を計測する。制御装置7は、レーザ干渉計3Lの計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置3Dを駆動し、マスクステージ3に保持されているマスクMの位置制御を行う。
投影光学系PLは、マスクMのパターン像を所定の投影倍率で基板Pに投影するものであって、複数の光学素子を有しており、それら光学素子は鏡筒PKで保持されている。本実施形態の投影光学系PLは、その投影倍率が例えば1/4、1/5、1/8等の縮小系である。なお、投影光学系PLは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系PLは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また、投影光学系PLは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。
また、本実施形態の投影光学系は、最終光学素子FLの像面側の光路を液体で満たしているが、例えば国際公開第2004/019128号パンフレットに開示されているような、最終光学素子FLの物体面側の光路も液体で満たす投影光学系を採用することもできる。
基板ステージ4は、基板Pを保持する基板ホルダ4Hを有しており、リニアモータ等のアクチュエータを含む基板ステージ駆動装置4Dの駆動により、基板ホルダ4Hに基板Pを保持した状態で、ベース部材BP上で、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の6自由度の方向に移動可能である。
図1及び図2に示すように、基板ホルダ4Hは、基板ステージ4に設けられた凹部4Rに配置されている。基板ステージ4は、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面と略同一面となる上面4Fを有している。基板ステージ4の上面4Fは、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面とほぼ同じ高さ(面一)となるような平坦面である。基板ステージ4の上面4Fは、基板ホルダ4Hに保持された基板PのエッジEgの周囲に、その基板PのエッジEgとの間で所定のギャップGを形成するように配置される。本実施形態においては、ギャップGは、0.1〜1.0mm程度である。制御装置7は、基板ステージ駆動装置4Dを駆動して、基板ステージ4と基板Pとを一緒に移動する。
基板ステージ4(ひいては基板P)の位置情報は、レーザ干渉計4Lによって計測される。レーザ干渉計4Lは、基板ステージ4に設けられた移動鏡4Kを用いて、基板ステージ4のX軸、Y軸、及びθZ方向に関する位置情報を計測する。また、基板ステージ4に保持されている基板Pの表面の面位置情報(Z軸、θX、及びθY方向に関する位置情報)は、不図示のフォーカス・レベリング検出系によって検出される。制御装置7は、レーザ干渉計4Lの計測結果及びフォーカス・レベリング検出系の検出結果に基づいて、基板ステージ駆動装置4Dを駆動し、基板ステージ4に保持されている基板Pの位置制御を行う。
図2に示すように、液浸システム1は、投影光学系PLの最終光学素子FLと、基板ホルダ4Hに保持された基板Pとの間の露光光ELの光路Kを液体LQで満たすことによって、基板P上での露光光ELが照射される領域である投影光学系PLの投影領域ARを覆うように、基板Pの表面に液体LQの液浸領域LRを局所的に形成可能である。液浸システム1は、最終光学素子FLと基板Pとの間の露光光ELの光路Kの近傍に設けられ、その光路Kに対して液体LQを供給するための供給口12及び液体LQを回収するための回収口22を有するノズル部材70と、供給管13の流路、及びノズル部材70の内部に形成された供給流路14を介して供給口12に液体LQを供給する液体供給装置10と、ノズル部材70の回収口22から回収された液体LQを、ノズル部材70の内部に形成された回収流路24、及び回収管23の流路を介して回収する液体回収装置20とを備えている。供給口12と供給管13の流路とはノズル部材70の供給流路14を介して接続されており、回収口22と回収管23の流路とはノズル部材70の回収流路24を介して接続されている。本実施形態においては、ノズル部材70は、露光光ELの光路Kを囲むように環状に設けられており、液体LQを供給する供給口12は、ノズル部材70のうち、露光光ELの光路Kを向く内側面に設けられ、液体LQを回収する回収口22は、ノズル部材70のうち、基板Pの表面と対向する下面に設けられている。また、本実施形態においては、回収口22には多孔部材(メッシュ)25が配置されている。
液体供給装置10は、供給する液体LQの温度を調整する温度調整装置、液体LQ中の気体成分を低減する脱気装置、及び液体LQ中の異物を取り除くフィルタユニット等を備えており、清浄で温度調整された液体LQを送出可能である。液体回収装置20は、真空系、及び回収タンク等を備えており、液体LQを回収可能である。液体供給装置10及び液体回収装置20の動作は制御装置7に制御される。液体供給装置10から送出された液体LQは、供給管13の流路、及びノズル部材70の供給流路14を流れた後、供給口12より露光光ELの光路Kに供給される。また、液体回収装置20を駆動することにより回収口22から回収された液体LQは、ノズル部材70の回収流路24を流れた後、回収管23の流路を介して液体回収装置20に回収される。制御装置7は、液浸システム1を制御して、液体供給装置10による液体供給動作と液体回収装置20による液体回収動作とを並行して行うことで、基板P上に液浸領域LRを形成する。
次に、上述の構成を有する露光装置EXを用いて基板Pを露光する方法について説明する。
図3は、液浸領域LRと基板Pを保持した基板ステージ4との位置関係の一例を示す図である。図3に示すように、基板P上には露光対象領域であるショット領域Sが複数マトリクス状に設定されている。露光装置EXは、マスクMと基板PとをY軸方向(走査方向)に同期移動しつつ基板P上に露光光ELを照射して、基板P表面のショット領域Sを順次露光する。本実施形態においては、露光光ELが照射される領域である投影領域ARは、X軸方向を長手方向とするスリット状(矩形状)である。基板P表面のショット領域Sを露光するとき、制御装置7は、投影領域AR及びそれを覆う液体LQの液浸領域LRに対して基板PをY軸方向に走査しつつ、液浸領域LRの液体LQを介して基板P上に露光光ELを照射する。また、少なくとも基板Pを露光しているとき、制御装置7は、レーザ干渉計4Lを用いて、基板Pを保持した基板ステージ4の位置情報をモニタする。制御装置7は、レーザ干渉計4Lを用いて基板ステージ4の位置情報をモニタしつつ、基板ステージ4の移動を制御する。
例えば、基板P上の所定のショット領域Sを露光するとき、制御装置7は、基板ステージ4を制御し、図4(A)の模式図に示すように、その所定のショット領域Sを走査開始位置に配置する。換言すれば、制御装置7は、投影領域ARが所定ショット領域Sの露光を開始するための走査開始位置に配置されるように、基板ステージ4の位置調整を行う。そして、その所定のショット領域Sに対する走査開始位置に投影領域ARを配置した後、制御装置7は、基板ステージ4を制御して、投影領域ARに対して基板Pを所定速度VでY軸方向に移動する。投影領域ARに対して基板PをY軸方向に移動することにより、図4(B)に示すように、投影領域ARが露光終了位置に配置され、その所定のショット領域Sの露光が終了する。制御装置7は、1つのショット領域の露光終了後に、基板P(基板ステージ4)をステッピング移動して次のショット領域を走査開始位置に移動し、以下、ステップ・アンド・スキャン方式で基板Pを移動しながら各ショット領域を順次走査露光する。
なお、図4に示した、走査開始位置での投影領域ARとショット領域Sとの位置関係、及び露光終了位置での投影領域ARとショット領域Sとの位置関係は一例である。例えば、助走区間を設けた場合、走査開始位置においては、投影領域ARがショット領域Sの外側に配置されたり、あるいは投影領域ARの一部とショット領域Sとが重複する位置関係となる場合もある。同様に、走査終了位置において、投影領域ARがショット領域Sの外側に配置されたり、あるいは投影領域ARの一部とショット領域Sとが重複する位置関係となる場合もある。
本実施形態においては、制御装置7は、一のショット領域の露光のための走査開始位置において基板PのエッジEgが液浸領域LR内に存在するか否かを判断し、その判断に基づいて露光時の基板Pの移動速度(走査速度)Vを決定する。そして、基板ステージ4は、制御装置7の決定に従って基板Pを保持して移動する。
制御装置7は、一のショット領域の露光のための走査開始位置において基板PのエッジEgが液浸領域LR内に存在する場合に、他のショット領域の露光のための走査開始位置において基板PのエッジEgが液浸領域LR内に存在しない場合よりも遅い移動速度を決定する。
すなわち、図5に示すように、例えば基板P表面の中央付近のショット領域(以下適宜、中央ショット領域、と称する)Scなど、あるショット領域の露光のための走査開始位置において、基板PのエッジEg(ひいてはギャップG)が液浸領域LR内に存在しない場合、換言すれば、中央ショット領域Scの露光のための走査開始位置において、液浸領域LRの全てが基板P上に形成されている場合には、制御装置7は、第1速度V1で基板PをY軸方向に移動する。
一方、例えば図6に示すように、基板P表面のエッジEg近傍のショット領域(以下適宜、エッジショット領域、と称する)Seなど、あるショット領域の露光のための走査開始位置において、基板PのエッジEg(ひいてはギャップG)が液浸領域LR内に存在する場合、換言すれば、エッジショット領域Seの露光のための走査開始位置において、液浸領域LRが基板P表面と基板ステージ4の上面4Fとに跨るようにして形成されている場合には、制御装置7は、第1速度V1よりも遅い第2速度V2で基板PをY軸方向に移動する。
なお、図5及び図6に示した、走査開始位置での投影領域ARとショット領域Sとの位置関係は一例である。例えば、助走区間を設けた場合、走査開始位置においては、投影領域ARがショット領域Sの外側に配置されたり、あるいは投影領域ARの一部とショット領域Sとが重複する位置関係となる場合もある。
図7の模式図に示すように、基板PのエッジEgが液浸領域LR内に存在する場合、すなわちギャップG上に液浸領域LRが形成された状態で基板Pを移動する場合、ギャップGにおいて液体LQ中に泡(気泡)が生成される可能性がある。基板Pの移動速度を高速化するほど、気泡が生成される可能性は高くなる。
そこで本実施形態においては、制御装置7は、基板P表面のエッジEg近傍のエッジショット領域Seを露光するときに、ギャップGで発生した液体LQ中の気泡が露光光ELの光路K上に配置されないように、基板ステージ4による基板Pの移動条件を設定する。ここで、エッジショット領域Seとは、上述のように、投影領域ARが露光開始位置に配置されたときに液浸領域LRの少なくとも一部が基板P表面の外側に配置されるショット領域を言う。
また、移動条件は、エッジショット領域Seを露光するときの基板Pの移動速度、及び移動方向を含み、上述のように、本実施形態においては、制御装置7は、エッジショット領域Seを露光するときの基板Pの移動速度V2を、中央ショット領域Scを露光するときの基板Pの移動速度V1よりも遅くする。これにより、ギャップGで気泡が生成されるのを抑制することができる。
制御装置7は、レーザ干渉計4Lのモニタ情報に基づいて、露光開始位置において基板PのエッジEgが液浸領域LR内に存在するか否かを判断することができる。制御装置7は、レーザ干渉計4Lのモニタ情報に基づいて、基板P上のショット領域S、及び基板PのエッジEgの位置情報を求めることができる。また、液浸領域LRは、投影光学系PLの像面側の光路Kを満たすように形成されており、液浸領域LRの位置(例えばレーザ干渉計4Lによって規定される座標系内における位置)はほぼ固定されている。また、その液浸領域LRの大きさ及び形状に関する情報は、実験やシミュレーション等によって予め求めておくことができる。例えば、液浸領域LRの大きさ及び形状が、液浸条件に応じてほぼ一義的に定まる場合、実験やシミュレーション等によって予め求めておくことができる。ここで、液浸条件とは、例えば供給口12からの単位時間当たりの液体供給量、回収口22を介した単位時間当たりの液体回収量、ノズル部材70の構造、及び液体LQの物性(基板に対する接触角、粘性等)等を含む。液浸領域LRの大きさ及び形状に関する情報を予め求めておくことにより、その液浸領域LRの大きさ及び形状に関する情報、ひいては液浸領域LRのエッジの位置情報(レーザ干渉計4Lによって規定される座標系内における位置情報)を記憶装置8に予め記憶することができる。すなわち、記憶装置8は、液浸領域LRのエッジの位置情報(レーザ干渉計4Lによって規定される座標系内における位置情報)を予め記憶しておくことができる。したがって、制御装置7は、記憶装置8の記憶情報と、レーザ干渉計4Lのモニタ情報とに基づいて、液浸領域LRのエッジとショット領域S及び基板PのエッジEgとの位置関係、ひいては基板PのエッジEgが液浸領域LR内に存在するか否かを判断することができる。このように、制御装置7は、レーザ干渉計4Lの計測結果に基づいて、基板PのエッジEgが液浸領域LR内に存在するか否かを判断することができる。
また、制御装置7は、エッジショット領域Seを露光するときに、液浸領域LRが基板P表面から基板P表面の外側の基板ステージ4の上面4Fに移動するように、基板Pと基板ステージ4とを一緒に移動することで、液体LQ中の気泡が露光光ELの光路K上に配置されるのを抑制することができる。
図8は、液浸領域LRが基板ステージ4の上面4Fから基板P表面に移動するように基板P及び基板ステージ4を移動した場合の気泡の挙動を示す模式図である。例えば、図8(A)の模式図に示すように、ギャップGで気泡が発生した場合において、液浸領域LRが上面4Fから基板P表面に移動するように基板Pを移動した場合、図8(B)の模式図に示すように、基板Pの移動によって、ギャップGで発生した気泡は、最終光学素子FLと基板Pとの間の露光光ELの光路K上に配置される可能性がある。
図9は、液浸領域LRが基板P表面から基板ステージ4の上面4Fに移動するように基板P及び基板ステージ4を移動した場合の気泡の挙動を示す模式図である。図9(A)の模式図に示すように、ギャップGで気泡が発生した場合において、液浸領域LRが基板P表面から基板P表面の外側の上面4Fに移動するように基板Pを移動した場合、図9(B)の模式図に示すように、ギャップGで発生した気泡は、最終光学素子FLと基板P(ショット領域S)との間の露光光ELの光路K上に配置されず、例えば最終光学素子FLと上面4Fとの間に配置されたり、あるいは露光光ELの光路Kから離れる方向に移動する。
以上説明したように、露光開始位置において基板PのエッジEgが液浸領域LRに存在するか否かを判断し、その判断に基づいて露光時の基板Pの移動速度(走査速度)を決定するようにしたので、基板PのエッジEg近傍(ギャップG)での気泡の発生を抑えることができる。
また、エッジショット領域Seを露光するときに、液浸領域LRが基板P表面から基板P表面の外側の基板ステージ4の上面4Fに移動するように、基板Pと基板ステージ4とを一緒に移動することで、液体LQ中の気泡が、最終光学素子FLと基板P(エッジショット領域Se)との間の露光光ELの光路K上に配置されるのを抑制することができる。
<第2実施形態>
ところで、上述の第1実施形態においては、気泡の発生を抑制するために、基板Pの移動条件として、エッジショット領域Seを露光するときの基板Pの移動速度を調整しているが、気泡の発生のしやすさは、例えば基板Pの表面状態に応じて変化する可能性がある。ここで、基板Pの表面状態とは、液体LQに対する接触角を含む。例えば、基板Pの表面を形成する膜を変えることにより、基板Pの表面状態を変えることができる。基板Pの表面を形成する膜としては、感光材の膜、あるいはトップコート膜と呼ばれる感光材の膜を液体LQから保護する機能等を有する膜、あるいは反射防止膜等の各種機能膜が挙げられる。また、例えば基板Pの表面の膜を形成するときの形成条件(例えば熱条件、膜厚条件)等を含む各種プロセス条件を変えることによっても、基板Pの表面状態(液体LQに対する接触角)を異ならせることができる。
ところで、上述の第1実施形態においては、気泡の発生を抑制するために、基板Pの移動条件として、エッジショット領域Seを露光するときの基板Pの移動速度を調整しているが、気泡の発生のしやすさは、例えば基板Pの表面状態に応じて変化する可能性がある。ここで、基板Pの表面状態とは、液体LQに対する接触角を含む。例えば、基板Pの表面を形成する膜を変えることにより、基板Pの表面状態を変えることができる。基板Pの表面を形成する膜としては、感光材の膜、あるいはトップコート膜と呼ばれる感光材の膜を液体LQから保護する機能等を有する膜、あるいは反射防止膜等の各種機能膜が挙げられる。また、例えば基板Pの表面の膜を形成するときの形成条件(例えば熱条件、膜厚条件)等を含む各種プロセス条件を変えることによっても、基板Pの表面状態(液体LQに対する接触角)を異ならせることができる。
制御装置7は、基板Pの表面状態に応じて、エッジショット領域Seを露光するときの基板Pの移動条件を設定することができる。基板Pの表面状態と基板Pの移動条件と気泡の発生状態(発生のしやすさの度合い)との関係は、実験又はシミュレーション等で予め求めておくことができ、記憶装置8は、基板Pの表面状態と基板Pの移動条件と気泡の発生状態(発生のしやすさの度合い)との関係を予め記憶しておくことができる。したがって、制御装置7は、記憶装置8の記憶情報に基づいて、気泡の発生を抑制するように、エッジショット領域Seを露光するときの基板Pの移動条件を設定することができる。
例えば、基板Pの表面状態によっては、エッジショット領域Seと中央ショット領域Scとのそれぞれを露光するときで、基板Pの移動速度を変えなくても、ギャップGでの気泡の発生を抑制することができる可能性がある。また、基板Pの表面状態によっては、エッジショット領域Seを露光するときに、液浸領域LRが基板ステージ4の上面4Fから基板P表面に移動するように基板Pを移動しても、ギャップGでの気泡の発生を抑制することができる可能性がある。
このように、制御装置7は、基板Pの表面状態に応じて、エッジショット領域Seを露光するときの基板Pの移動速度、移動方向等を適宜最適化し、決定することができる。
また、基板Pの表面状態と、その周囲に配置された上面4Fの表面状態との関係に応じて、エッジショット領域Seを露光するときの基板Pの移動条件(移動速度、移動方向)を決定するようにしてもよい。例えば、基板P表面の液体LQに対する接触角と、基板ステージ4の上面4Fの液体LQに対する接触角との差に基づいて、エッジショット領域Seを露光するときの基板Pの移動速度、移動方向を決定するようにしてもよい。また、ギャップGでの気泡の発生を抑制するために、基板ステージ4の上面4Fの液体LQに対する接触角を決定するようにしてもよい。また、基板P表面の液体LQに対する接触角を、上面4Fの液体LQに対する接触角よりも大きくしたり、あるいは逆に小さくするようにしてもよい。
なお、上述の第1、第2実施形態においては、基板PのエッジEg近傍(ギャップG)での気泡の発生を抑えたり、あるいは基板PのエッジEg近傍(ギャップG)で気泡が発生しても、その気泡が最終光学素子FLと基板P(ショット領域S)との間の露光光ELの光路K上に配置されることを抑えるために、基板Pの移動条件を調整(最適化)しているが、基板Pの移動条件を調整することで、例えば基板PのエッジEg(あるいは上面4F)からの液体LQ中への物質(溶出物)の溶出を抑えたり、あるいは溶出物が発生したとしても、その溶出物が最終光学素子FLと基板P(ショット領域S)との間の露光光ELの光路K上に配置されることを抑制することができる。例えば、基板PのエッジにHMDSからなる膜、あるいはトップコート膜等、所定の機能膜を形成した場合、それら機能膜の材料特性に応じて、溶出物の発生を抑えるように、基板Pの移動条件を最適化するようにしてもよい。
なお、上述の各実施形態においては、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面と、その基板PのエッジEgの周囲に配置された基板ステージ4の上面4Fとはほぼ面一であるが、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面と、基板ステージ4の上面4Fとの間に段差があってもよい。
なお、上述の実施形態の液体LQは水であるが、水以外の液体であってもよい、例えば、露光光ELの光源がF2レーザである場合、このF2レーザ光は水を透過しないので、液体LQとしてはF2レーザ光を透過可能な例えば、過フッ化ポリエーテル(PFPE)やフッ素系オイル等のフッ素系流体であってもよい。この場合、液体LQと接触する部分には、例えばフッ素を含む極性の小さい分子構造の物質で薄膜を形成することで親液化処理する。また、液体LQとしては、その他にも、露光光ELに対する透過性があってできるだけ屈折率が高く、投影光学系PLや基板P表面に塗布されているフォトレジストに対して安定なもの(例えばセダー油)を用いることも可能である。
また、液体LQとしては、屈折率が1.6〜1.8程度のものを使用してもよい。更に、石英や蛍石よりも屈折率が高い(例えば1.6以上)材料で光学素子FLを形成してもよい。
なお、上記各実施形態の基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
露光装置EXとしては、マスクMと基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。
また、露光装置EXとしては、第1パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第1パターンの縮小像を投影光学系(例えば1/8縮小倍率で反射素子を含まない屈折型投影光学系)を用いて基板P上に一括露光する方式の露光装置にも適用できる。この場合、更にその後に、第2パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第2パターンの縮小像をその投影光学系を用いて、第1パターンと部分的に重ねて基板P上に一括露光するスティッチ方式の一括露光装置にも適用できる。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Pを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
また、本発明は、特開平10−163099号公報、特開平10−214783号公報、特表2000−505958号公報などに開示されているような複数の基板ステージを備えたマルチステージ型の露光装置にも適用できる。
更に、特開平11−135400号公報や特開2000−164504号公報に開示されているように、基板を保持する基板ステージと基準マークが形成された基準部材や各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも本発明を適用することができる。
露光装置EXの種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
なお、上述の実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン(又は位相パターン・減光パターン)を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6,778,257号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。
また、国際公開第2001/035168号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板P上に形成することによって、基板P上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置(リソグラフィシステム)にも本発明を適用することができる。
以上のように、本願実施形態の露光装置EXは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図10に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する露光処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
1…液浸システム、4…基板ステージ、4D…基板ステージ駆動装置、4F…上面、7…制御装置、8…記憶装置、Eg…エッジ、EL…露光光、EX…露光装置、G…ギャップ、LQ…液体、LR…液浸領域、P…基板、S…ショット領域、Sc…中央ショット領域、Se…エッジショット領域
Claims (12)
- 基板を所定方向に走査しつつ前記基板上に露光光を照射して前記基板表面のショット領域を露光する露光装置において、
前記露光光の照射領域を覆うように前記基板表面に液体の液浸領域を局所的に形成可能な液浸装置と、
一のショット領域の露光のための走査開始位置において前記基板のエッジが前記液浸領域内に存在するか否かを判断し、前記判断に基づいて露光時の基板の走査速度を決定する決定装置と、
前記決定に従って前記基板を移動する移動装置と、を備えた露光装置。 - 前記決定装置は、一のショット領域の露光のための走査開始位置において前記基板のエッジが前記液浸領域内に存在する場合に、他のショット領域の露光のための走査開始位置において前記基板のエッジが前記液浸領域内に存在しない場合よりも遅い走査速度を決定する請求項1記載の露光装置。
- 前記基板のエッジの周囲に該エッジとの間で所定のギャップを形成するように配置され、前記基板の表面と略同一面となる所定面を有する所定部材を備え、
前記移動装置は、前記ギャップで発生した前記液体中の泡が前記露光光の光路上に配置されないように前記基板と前記所定部材とを一緒に移動する請求項1又は2記載の露光装置。 - 基板を所定方向に移動しつつ前記基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
前記基板のエッジの周囲に該エッジとの間で所定のギャップを形成するように配置され、前記基板の表面と略同一面となる所定面を有する所定部材と、
前記露光光の照射領域を覆うように前記基板表面に液体の液浸領域を局所的に形成可能な液浸装置と、
前記基板と前記所定部材とを一緒に移動する移動装置と、
前記基板表面のエッジ近傍の第1ショット領域を露光するときに、前記ギャップで発生した前記液体中の泡が前記露光光の光路上に配置されないように前記移動装置による前記基板の移動条件を設定する制御装置と、を備えた露光装置。 - 前記移動条件は、前記第1ショット領域を露光するときの前記基板の移動速度を含む請求項4記載の露光装置。
- 前記制御装置は、前記第1ショット領域を露光するときに、前記液浸領域が前記基板表面から該基板表面の外側に移動するように前記基板を移動する請求項5記載の露光装置。
- 前記制御装置は、前記第1ショット領域を露光するときの前記基板の移動速度を、前記第1ショット領域とは異なる第2ショット領域を露光するときの前記基板の移動速度よりも遅くする請求項5又は6記載の露光装置。
- 前記制御装置は、前記基板の表面状態に応じて、前記第1ショット領域を露光するときの前記基板の移動条件を設定する請求項4記載の露光装置。
- 前記基板の表面状態と前記移動条件と前記泡の発生状態との関係を予め記憶した記憶装置を備え、
前記制御装置は、前記記憶装置の記憶情報に基づいて、前記第1ショット領域を露光するときの前記基板の移動条件を設定する請求項8記載の露光装置。 - 前記基板の表面状態は、前記液体に対する接触角を含む請求項8又は9記載の露光装置。
- 前記第1ショット領域は、前記照射領域が前記第1ショット領域の露光を開始するための露光開始位置に配置されたときに前記液浸領域の少なくとも一部が前記基板表面の外側に形成されるショット領域である請求項4〜10のいずれか一項記載の露光装置。
- 請求項1〜請求項11のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
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