JP4605219B2 - 露光条件の決定方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2005年3月30日に出願された特願2005−098047号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
まず、露光装置の一実施形態について図1を参照しながら説明する。図1は、露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージMSTと、基板Pを保持する基板ホルダPHを有し、基板Pを保持した基板ホルダPHを移動可能な基板ステージPSTと、マスクステージMSTに保持されているマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を統括制御する制御装置CONTとを備えている。
次に、基板P上に形成された液浸領域LRの液体LQを介して基板P上に露光光ELを照射して基板Pを露光するときの露光条件を決定する方法について説明する。本実施形態においては、制御装置CONTが露光条件を決定する場合を例にして説明する。露光条件を決定する際には、制御装置CONTは、所定の物体(例えば、基板Pなど)の表面に液浸領域LRを形成した状態でその物体を移動しつつ液浸領域LRの状態を検出(観察)し、その検出結果(観察結果)に基づいて露光条件を決定する。液浸領域LRの状態を検出(観察)する際には、制御装置CONTは、物体を移動するときの移動条件及び液浸領域LRを形成するときの液浸条件の少なくとも一方を変えつつ、所定の検出装置(以下では観察装置とも呼ぶ)を用いて液浸領域LRの状態を検出(観察)する。さらに制御装置CONTは、検出装置による液浸領域LRの検出結果を、その検出時における移動条件及び/又は液浸条件と対応付けて、露光装置EX内または外部の不図示のメモリ(記憶装置)に格納する。また、制御装置CONTは不図示の表示装置(ディスプレイ)上にその検出結果あるいはその収納された情報を表示可能となっている。
次に、第2実施形態について説明する。なお、本実施形態では観察装置の構成が上述の実施形態と異なるので、以下では観察装置のみ説明するとともに、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分についてはその説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3実施形態について図6を参照しながら説明する。なお、本実施形態では観察装置の構成が上述の各実施形態と異なるので、以下では観察装置のみ説明するとともに、上述の各実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付してその説明を省略する。図6において、ノズル部材70の側面には、観察装置としての撮像素子50が設けられている。撮像素子50は、基板Pと対向するように設けられており、光路空間K1に対する液浸領域LRのエッジLGの位置を観察することができる。撮像素子50は、ノズル部材70の側面の周方向に複数並んで設けられている。
次に、第4実施形態について図7を参照しながら説明する。なお、本実施形態では基板ステージPSTとは別の計測ステージKSTに観察装置を設ける点が上述の各実施形態と異なるので、以下では観察装置のみ説明するとともに、上述の各実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付してその説明を省略する。図7に示す露光装置EXは、基板Pを保持する基板ステージPSTと、露光処理に関する計測を行う計測器を搭載し、基板ステージPSTとは独立して移動可能な計測ステージKSTとを備えている。計測ステージKSTには、基準マークが形成された基準部材及び/又は各種の光電センサが搭載されている。そして、計測ステージKSTには、液浸領域LRの状態を観察可能な観察装置60が設けられている。観察装置60は計測ステージKSTの内部に設けられている。なお、計測ステージKSTの詳細は、例えば特開平11−135400号公報(対応国際公開第1999/23692号)、特開2000−164504号公報(対応米国特許第6,897,963号)等に開示されている。
Claims (30)
- 基板上に形成された液浸領域の液体を介して前記基板上に露光光を照射して前記基板を露光するときの露光条件を決定する方法であって、
所定の物体の表面に形成される液浸領域の状態を、前記物体の移動条件及び前記液浸領域を形成するときの液浸条件の少なくとも一方を変えつつ、検出するステップと、
前記検出結果に基づいて露光条件を決定するステップとを有し、
前記液浸領域の状態は、前記液浸領域の大きさ、前記液浸領域のエッジの位置、及び前記液浸領域内部における気体部分の有無のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする露光条件の決定方法。 - 前記物体は、前記基板である又は前記基板とほぼ同等の表面条件を有する請求項1記載の決定方法。
- 基板上に形成された液浸領域の液体と光学部材とを介して前記基板上に露光光を照射して前記基板を露光するときの露光条件を決定する方法であって、
所定の物体の表面に形成される液浸領域の状態を、前記物体の移動条件及び前記液浸領域を形成するときの液浸条件の少なくとも一方を変えつつ、検出するステップと、
前記検出結果に基づいて露光条件を決定するステップとを有し、
前記液浸領域は、前記物体と該物体の表面に対向し前記露光光が通過する光学部材との間の所定空間を液体で満たすことによって前記物体上に液浸領域が形成され、
前記液浸領域の状態は、前記所定空間に満たされた液体の漏れを含むことを特徴とする露光条件の決定方法。 - 前記液浸領域の端部を検出して前記液体の漏出の有無を判断する請求項3記載の決定方法。
- 前記液浸領域の位置、大きさ及び形状の少なくとも1つに関連する情報を検出して前記液体の漏出の有無を判断する請求項3又は4記載の決定方法。
- 前記所定空間に対する前記液浸領域のエッジの位置を検出することによって前記液体の漏出の有無を判断する請求項3〜5のいずれか一項記載の決定方法。
- 前記液浸領域を介して検出光を受光することによって前記液浸領域の状態を検出することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の決定方法。
- 前記液浸領域のエッジ近傍に検出光を照射し、該検出光に対して所定の位置に設けられた受光部の受光結果に基づいて前記液浸領域の状態を検出する請求項1〜7のいずれか一項記載の決定方法。
- 前記検出光を前記物体の表面に照射する請求項7又は8記載の決定方法。
- 前記検出光を前記物体の表面とほぼ平行に照射する請求項7又は8記載の決定方法。
- 前記液浸領域を撮像し、該撮像結果に基づいて前記液浸領域の状態を検出する請求項1〜10のいずれか一項記載の決定方法。
- 前記液浸領域の状態は、少なくとも前記液浸領域に対して前記物体側から検出される請求項1〜11のいずれか一項記載の決定方法。
- 前記物体はその表面の少なくとも一部に光透過部を有し、前記液浸領域の状態は、前記光透過部を介して検出される請求項1〜12のいずれか一項記載の決定方法。
- 前記液浸領域の状態は、少なくとも前記物体の移動中に検出されることを特徴とする請求項1〜13のいずれか一項記載の決定方法。
- 前記物体の移動条件は、該物体の移動速度、移動距離、及び移動方向の少なくとも1つを含む請求項1〜14のいずれか一項記載の決定方法。
- 前記液浸条件は、単位時間当たりの液体供給量及び液体回収量の少なくとも一方を含む請求項1〜15のいずれか一項記載の決定方法。
- 請求項1〜請求項16のいずれか一項記載の決定方法で決定された露光条件に基づいて前記基板を露光する露光方法。
- 請求項17記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。
- 光学部材と液体とを介して基板を露光する露光装置において、
前記光学部材と前記基板との間の所定空間を液体で満たして液浸領域を形成する液浸機構と、
前記光学部材との間に前記液浸領域が形成される物体の移動条件、及び前記液浸領域を形成するときの液浸条件の少なくとも一方を変えつつ、前記液浸領域の大きさ、前記液浸領域のエッジの位置、及び前記液浸領域内部における気体部分の有無のうちの少なくとも一つを含む前記液浸領域の状態を検出する検出装置と、を備える露光装置。 - 前記検出結果を格納するメモリをさらに備えることを特徴とする請求項19記載の露光装置。
- 前記検出結果に基づいて、前記液体を介して前記基板を露光するときの露光条件を決定する制御装置をさらに備えることを特徴とする請求項19又は20記載の露光装置。
- 前記物体は、前記基板である又は前記基板とほぼ同等の表面条件を有することを特徴とする請求項19〜21のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記検出装置は、前記所定空間に満たされる液体の漏れに関連する情報を検出することを特徴とする請求項19〜22のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記検出装置は、前記液浸領域を介して検出光を受光することを特徴とする請求項19〜23のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記検出装置は、前記液浸領域を撮像することを特徴とする請求項19〜24のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記検出装置は、少なくとも前記液浸領域に対して前記物体側からその状態を検出することを特徴とする請求項19〜25のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記検出装置は、少なくとも前記物体の移動中に前記液浸領域の状態を検出することを特徴とする請求項19〜26のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記物体の移動条件は、前記物体の移動速度、移動距離、及び移動方法の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項19〜27のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記液浸条件は、単位時間当たりの液体供給量及液体回収量の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項19〜28のいずれか一項記載の露光装置。
- 請求項19〜請求項29のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
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Families Citing this family (10)
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---|---|---|---|---|
JP2008300771A (ja) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Nikon Corp | 液浸露光装置、デバイス製造方法、及び露光条件の決定方法 |
US8953141B2 (en) * | 2007-12-21 | 2015-02-10 | Asml Netherlands B.V. | Immersion lithographic apparatus and device manufacturing method with asymmetric acceleration profile of substrate table to maintain meniscus of immersion liquid |
EP2221669A3 (en) * | 2009-02-19 | 2011-02-09 | ASML Netherlands B.V. | A lithographic apparatus, a method of controlling the apparatus and a device manufacturing method |
EP2264529A3 (en) * | 2009-06-16 | 2011-02-09 | ASML Netherlands B.V. | A lithographic apparatus, a method of controlling the apparatus and a method of manufacturing a device using a lithographic apparatus |
JP5457384B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2014-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
JP6127979B2 (ja) | 2011-12-08 | 2017-05-17 | 株式会社ニコン | 情報算出方法、露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
NL2015049A (en) * | 2014-08-07 | 2016-07-08 | Asml Netherlands Bv | A lithography apparatus, a method of manufacturing a device and a control program. |
CN108292101B (zh) | 2015-10-01 | 2020-07-21 | Asml荷兰有限公司 | 光刻设备及器件制造方法 |
JP2018146810A (ja) * | 2017-03-07 | 2018-09-20 | オリンパス株式会社 | 光学系、浸液保持器、観察装置 |
JP2022064733A (ja) * | 2020-10-14 | 2022-04-26 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、インプリント装置及び検出方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004207696A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-22 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2005010962A1 (ja) * | 2003-07-28 | 2005-02-03 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法、並びに露光装置の制御方法 |
JP2005057278A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-03-03 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
WO2005076321A1 (ja) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2005259789A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Nikon Corp | 検知システム及び露光装置、デバイス製造方法 |
JP2006237422A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Canon Inc | 液浸露光装置 |
Family Cites Families (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4346164A (en) | 1980-10-06 | 1982-08-24 | Werner Tabarelli | Photolithographic method for the manufacture of integrated circuits |
JPS57153433A (en) | 1981-03-18 | 1982-09-22 | Hitachi Ltd | Manufacturing device for semiconductor |
JPS58202448A (ja) | 1982-05-21 | 1983-11-25 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
JPS5919912A (ja) | 1982-07-26 | 1984-02-01 | Hitachi Ltd | 液浸距離保持装置 |
DD221563A1 (de) | 1983-09-14 | 1985-04-24 | Mikroelektronik Zt Forsch Tech | Immersionsobjektiv fuer die schrittweise projektionsabbildung einer maskenstruktur |
DD224448A1 (de) | 1984-03-01 | 1985-07-03 | Zeiss Jena Veb Carl | Einrichtung zur fotolithografischen strukturuebertragung |
JPS6265326A (ja) | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
JPS63157419A (ja) | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Toshiba Corp | 微細パタ−ン転写装置 |
JPH04305917A (ja) | 1991-04-02 | 1992-10-28 | Nikon Corp | 密着型露光装置 |
JPH04305915A (ja) | 1991-04-02 | 1992-10-28 | Nikon Corp | 密着型露光装置 |
JPH0562877A (ja) | 1991-09-02 | 1993-03-12 | Yasuko Shinohara | 光によるlsi製造縮小投影露光装置の光学系 |
JPH06124873A (ja) | 1992-10-09 | 1994-05-06 | Canon Inc | 液浸式投影露光装置 |
JP2753930B2 (ja) * | 1992-11-27 | 1998-05-20 | キヤノン株式会社 | 液浸式投影露光装置 |
JPH07220990A (ja) | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Hitachi Ltd | パターン形成方法及びその露光装置 |
JP3484684B2 (ja) | 1994-11-01 | 2004-01-06 | 株式会社ニコン | ステージ装置及び走査型露光装置 |
US6721034B1 (en) | 1994-06-16 | 2004-04-13 | Nikon Corporation | Stage unit, drive table, and scanning exposure apparatus using the same |
JPH08316124A (ja) | 1995-05-19 | 1996-11-29 | Hitachi Ltd | 投影露光方法及び露光装置 |
JPH08316125A (ja) | 1995-05-19 | 1996-11-29 | Hitachi Ltd | 投影露光方法及び露光装置 |
US5825043A (en) | 1996-10-07 | 1998-10-20 | Nikon Precision Inc. | Focusing and tilting adjustment system for lithography aligner, manufacturing apparatus or inspection apparatus |
JP4029183B2 (ja) | 1996-11-28 | 2008-01-09 | 株式会社ニコン | 投影露光装置及び投影露光方法 |
JP4029182B2 (ja) | 1996-11-28 | 2008-01-09 | 株式会社ニコン | 露光方法 |
EP0951054B1 (en) | 1996-11-28 | 2008-08-13 | Nikon Corporation | Aligner and method for exposure |
DE69735016T2 (de) | 1996-12-24 | 2006-08-17 | Asml Netherlands B.V. | Lithographisches Gerät mit zwei Objekthaltern |
JP3747566B2 (ja) | 1997-04-23 | 2006-02-22 | 株式会社ニコン | 液浸型露光装置 |
JP3817836B2 (ja) | 1997-06-10 | 2006-09-06 | 株式会社ニコン | 露光装置及びその製造方法並びに露光方法及びデバイス製造方法 |
JP4210871B2 (ja) | 1997-10-31 | 2009-01-21 | 株式会社ニコン | 露光装置 |
US6020964A (en) | 1997-12-02 | 2000-02-01 | Asm Lithography B.V. | Interferometer system and lithograph apparatus including an interferometer system |
JPH11176727A (ja) | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
JP4264676B2 (ja) | 1998-11-30 | 2009-05-20 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法 |
US6897963B1 (en) | 1997-12-18 | 2005-05-24 | Nikon Corporation | Stage device and exposure apparatus |
US6208407B1 (en) | 1997-12-22 | 2001-03-27 | Asm Lithography B.V. | Method and apparatus for repetitively projecting a mask pattern on a substrate, using a time-saving height measurement |
AU2747999A (en) | 1998-03-26 | 1999-10-18 | Nikon Corporation | Projection exposure method and system |
JP2000058436A (ja) | 1998-08-11 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 投影露光装置及び露光方法 |
WO2001035168A1 (en) | 1999-11-10 | 2001-05-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Interference lithography utilizing phase-locked scanning beams |
EP1364257A1 (en) | 2001-02-27 | 2003-11-26 | ASML US, Inc. | Simultaneous imaging of two reticles |
TW529172B (en) | 2001-07-24 | 2003-04-21 | Asml Netherlands Bv | Imaging apparatus |
JP4117530B2 (ja) * | 2002-04-04 | 2008-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 液量判定装置、露光装置、および液量判定方法 |
KR20050035890A (ko) | 2002-08-23 | 2005-04-19 | 가부시키가이샤 니콘 | 투영 광학계, 포토리소그래피 방법, 노광 장치 및 그 이용방법 |
CN101382738B (zh) | 2002-11-12 | 2011-01-12 | Asml荷兰有限公司 | 光刻投射装置 |
SG121822A1 (en) * | 2002-11-12 | 2006-05-26 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP3977324B2 (ja) | 2002-11-12 | 2007-09-19 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置 |
EP2495613B1 (en) | 2002-11-12 | 2013-07-31 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
ATE424026T1 (de) | 2002-12-13 | 2009-03-15 | Koninkl Philips Electronics Nv | Flüssigkeitsentfernung in einem verfahren und einer einrichtung zum bestrahlen von flecken auf einer schicht |
WO2004057590A1 (en) | 2002-12-19 | 2004-07-08 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and device for irradiating spots on a layer |
SG2012087615A (en) | 2003-02-26 | 2015-08-28 | Nippon Kogaku Kk | Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device |
KR101728664B1 (ko) | 2003-05-28 | 2017-05-02 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법 |
JP2005019616A (ja) * | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Canon Inc | 液浸式露光装置 |
US7061578B2 (en) * | 2003-08-11 | 2006-06-13 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for monitoring and controlling imaging in immersion lithography systems |
JP3968339B2 (ja) | 2003-09-02 | 2007-08-29 | ドーエイ外装有限会社 | 開放防止柵 |
JP4444920B2 (ja) | 2003-09-19 | 2010-03-31 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US7589818B2 (en) * | 2003-12-23 | 2009-09-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, alignment apparatus, device manufacturing method, and a method of converting an apparatus |
EP3258318B1 (en) | 2004-08-03 | 2019-02-27 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004207696A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-22 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2005010962A1 (ja) * | 2003-07-28 | 2005-02-03 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法、並びに露光装置の制御方法 |
JP2005057278A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-03-03 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
WO2005076321A1 (ja) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2005259789A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Nikon Corp | 検知システム及び露光装置、デバイス製造方法 |
JP2006237422A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Canon Inc | 液浸露光装置 |
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