JP2014523540A5 - - Google Patents

Claims (2)

1. フォトレジストと、
   該フォトレジストに分散した二光子光開始剤系と、
   該フォトレジストに分散したポリマー連結ナノ粒子と、を含み、
   該ポリマー連結ナノ粒子が、ポリマーとナノ粒子との間の共有結合を含み、
   露光されていない、組成物。
2. フォトレジスト、該フォトレジストに分散した二光子光開始剤系、及び該フォトレジストに分散したポリマー連結ナノ粒子を含むとともに、該ポリマー連結ナノ粒子が、ポリマーとナノ粒子との間の共有結合を含む、露光していない組成物を準備することと、
   該露光していない組成物を走査レーザー光線に暴露させて、物品の形状に露光した組成物を形成することと、
   該組成物を現像すること、とを含む、物品の製造方法。