JP2011049607A - 露光装置、露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置は、基板P上に形成された液浸領域の液体1と投影光学系PLとを介してパターンの像を基板P上に投影露光するものであって、パターンの像が投影される投影領域AR1の両側に、液体1を供給するための供給口13A、14Aを有し、両側の供給口13A、14Aから同時に供給可能な液体供給機構を備えている。液体供給機構による液体1の供給は、両側の供給口13A、14Aのうちの一方の供給口13Aのみで開始される。投影光学系に対向して配置された物体、例えば基板を移動しながら、液体を供給してもよい。気泡等の発生を抑制しつつ投影光学系の像面側の光路空間を素早く液体で満たすことができる。
【選択図】図4
Description
δ=±k2・λ/NA2 … (2)
ここで、λは露光波長、NAは投影光学系の開口数、k1、k2はプロセス係数である。(1)式、(2)式より、解像度Rを高めるために、露光波長λを短くして、開口数NAを大きくすると、焦点深度δが狭くなることが分かる。
前記パターンの像を基板(P)上に投影する投影光学系(PL)と;
投影光学系(PL)によりパターンの像が投影される投影領域(AR1)の両側に液体(1)を供給するための供給口(13A、14A)をそれぞれ有し、それらの供給口(13A、14A)から液体を供給する液体供給機構(10)とを備え;
液体供給機構(10)が液体(1)の供給を開始するときは、液体供給機構(10)は前記両側の供給口(13A、14A)のうちの一方のみから液体を供給する露光装置(EX)が提供される。
露光動作前に、パターンの像が投影される投影領域(AR1)に、投影領域の一方の側から液体(1)を供給開始することと;
露光動作中に、その投影領域(AR1)の両方の側から液体を供給することと;
供給した液体を介して基板(P)上にパターンの像を投影して基板を露光することを含む露光方法が提供される。
前記パターンの像を基板(P)上に投影する投影光学系(PL)と;
液体(1)を供給するための供給口(13A、14A)を有する液体供給機構(10)と;
前記基板(P)を移動する基板移動装置(PST)とを備え;
液体供給機構(10)による液体(1)の供給は、基板移動装置(PST)により基板(P)を移動しながら開始される露光装置(EX)が提供される。
露光動作前に、前記基板(P)を移動しながらパターン像が投影される投影領域(AR1)に液体の供給を開始することと;
供給された液体を介して基板(P)上にパターンの像を投影して基板を露光すること;を含む露光方法が提供される。
前記パターンの像を基板(P)上に投影する投影光学系(PL)と;
投影光学系(PL)によりパターンの像が投影される投影領域(AR1)の両側に液体(1)を供給するための供給口(13A、14A)をそれぞれ有し、それらの供給口(13A、14A)から液体を供給する液体供給機構(10)とを備え;
液体供給機構(10)が液体(1)の供給を開始するときは、液体供給機構(10)は前記両側の供給口(13A、14A)から異なる量の液体を供給する露光装置が提供される。
露光動作前に、パターンの像が投影される投影領域の両側から異なる量の液体を供給開始することと;
供給した液体を介して基板上にパターンの像を投影して基板を露光することを含む露光方法が提供される。
前記パターンの像を基板(P)上に投影する投影光学系(PL)と;
投影光学系(PL)によりパターンの像が投影される投影領域(AR1)の第1側と第2側に液体(1)を供給するための供給口(13A、14A)をそれぞれ有し、それらの供給口(13A、14A)から液体を供給する液体供給機構(10)とを備え;
液体供給機構(10)が液体(1)の供給を開始するときは、液体供給機構(10)は前記第1側の供給口(13A)から液体を供給する露光装置が提供される。
前記パターンの像を基板(P)上に投影する投影光学系(PL)と;
投影光学系(PL)によりパターンの像が投影される投影領域(AR1)の第1側と第2側に液体(1)を供給するための供給口(13A、14A)をそれぞれ有し、それらの供給口(13A、14A)から液体を供給する液体供給機構(10)とを備え;
液体供給機構(10)が液体(1)の供給を開始するときは、液体供給機構(10)は前記第1側の供給口(13A)と前記第2供給口(14A)から異なる量の液体を供給する露光装置が提供される。
露光動作前に、前記投影光学系の像面側に配置された物体(P)を移動しながらパターン像が投影される投影領域(AR1)に液体の供給を開始することと;
投影光学系(PL)と基板(P)との間の液体(1)を介して基板(P)上にパターンの像を投影して基板を露光すること;を含む露光方法が提供される。
Claims (50)
- 液体を介して基板上にパターンの像を投影し、前記基板を露光する露光装置であって:
前記パターンの像を基板上に投影する投影光学系と;
前記投影光学系によりパターンの像が投影される投影領域の両側に液体を供給するための供給口をそれぞれ有し、それらの供給口から液体を供給する液体供給機構とを備え;
液体供給機構が液体の供給を開始するときは、液体供給機構は前記両側の供給口のうちの一方のみから液体を供給する露光装置。 - 前記基板上の複数のショット領域のそれぞれは、前記基板を所定の走査方向に移動しながら露光され、
前記供給口は、前記走査方向に関して前記投影領域の両側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記液体供給機構による液体の供給は、前記基板を前記走査方向とほぼ平行に移動しながら開始されることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記液体供給機構による液体の供給は、前記基板を移動しながら開始されることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 一側の供給口から液体の供給を開始した後、両側の供給口から液体の供給を開始することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記両側の供給口から液体の供給を開始した後、前記基板の露光を開始することを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 前記液体供給機構の前記一方の供給口が、他方の供給口よりも、基板の移動方向において後方に位置する請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置。
- さらに、液体供給機構の両側の供給口のうちの一方のみから液体を供給するように液体供給機構を制御する制御装置を備える請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置。
- さらに、基板を保持して移動する基板ステージを備え、前記制御装置は基板ステージの移動を制御する請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記液体供給機構が、前記両側の供給口から同時に液体を供給可能である請求項1に記載の露光装置。
- 液体を介して基板上にパターンの像を投影し、前記基板を露光する露光方法であって:
露光動作前に、パターン像が投影される投影領域に、投影領域の一方の側から液体を供給開始することと;
露光動作中に、その投影領域の両方の側から液体を供給することと;
供給した液体を介して基板上にパターンの像を投影して基板を露光することを含む露光方法。 - 前記露光時に、前記基板を所定の走査方向に移動することを含む請求項11に記載の露光方法。
- 前記投影領域の一方の側から液体を供給開始するときに、基板を前記走査方向と平行な方向に移動することを含む請求項11又は12に記載の露光方法。
- 露光動作中に、投影領域の両方の側から異なる量の液体を供給することを含む請求項11〜13のいずれか一項記載の露光方法。
- 液体を介して基板上にパターンの像を投影し、前記基板を露光する露光装置であって:
前記パターンの像を基板上に投影する投影光学系と;
液体を供給するための供給口を有する液体供給機構と;
前記基板を移動する基板移動装置とを備え;
液体供給機構による液体の供給は、基板移動装置により基板を移動しながら開始される露光装置。 - 前記パターンの像が投影される投影領域と前記供給口とを結ぶ直線とほぼ平行に前記基板を移動しながら前記液体の供給が開始されることを特徴とする請求項15に記載の露光装置。
- 前記基板上の複数のショット領域のそれぞれは、前記基板を所定の走査方向に移動しながら露光され、
前記投影領域と前記供給口とを結ぶ直線は、前記走査方向とほぼ平行であることを特徴とする請求項16に記載の露光装置。 - 前記供給口は、前記パターンの像が投影される投影領域の両側に配置され、その両側の供給口からほぼ同時に供給を開始することを特徴とする請求項15〜17のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記両側の供給口から異なる量で供給を開始することを特徴とする請求項18に記載の露光装置。
- 前記基板上の複数のショット領域のそれぞれは、前記基板を所定の走査方向に移動しながら露光され、前記液体の供給を開始するときの前記基板の移動方向は、前記複数のショット領域のうちの第1番目の被露光ショット領域を露光するときの前記基板の移動方向に応じて決定されることを特徴とする請求項15〜19のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記液体の供給を開始するときの前記基板の移動方向は、液体が供給されるショット領域の露光における走査方向と逆である請求項20に記載の露光装置。
- 液体供給機構が液体の供給を開始するときは、基板の移動方向において後方に位置する供給口から液体を供給する請求項21に記載の露光装置。
- 前記供給口は、前記パターンの像が投影される投影領域の両側に配置され、その両側の供給口のうちの一方の供給口からのみ液体の供給が開始される請求項15〜22のいずれか一項に記載の露光装置。
- さらに、液体供給機構による液体の供給が、基板移動装置により基板を移動しながら開始されるように液体供給機構を制御する制御装置を備える請求項15〜23のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記基板移動装置が基板を保持して移動可能な基板ステージであり、前記制御装置は、基板ステージの移動を制御する請求項24に記載の露光装置。
- 液体を介して基板上にパターンの像を投影し、前記基板を露光する露光方法であって:
露光動作前に、前記基板を移動しながらパターン像が投影される投影領域に液体供給を開始することと;
供給された液体を介して基板上にパターンの像を投影して基板を露光すること;を含む露光方法。 - 前記基板の露光時に、前記基板を所定の走査方向に移動し、前記投影領域と前記液体が供給される位置とを結ぶ直線は、前記走査方向とほぼ平行である請求項26に記載の露光方法。
- 前記露光動作前に、前記投影領域の両側から液体の供給が開始される請求項26又は請求項27に記載の露光方法。
- 前記露光動作前に、前記投影領域の一方の側から液体の供給が開始される請求項26又は請求項27に記載の露光方法。
- 前記基板上の複数のショット領域のそれぞれは、前記基板を所定の走査方向に移動しながら露光され、前記液体の供給を開始するときの前記基板の移動方向は、前記複数のショット領域のうちの第1番目の被露光ショット領域を露光するときの前記基板の移動方向に応じて決定される請求項26〜29のいずれか一項に記載の露光方法。
- 液体を介して基板上にパターンの像を投影し、前記基板を露光する露光装置であって:
前記パターンの像を基板上に投影する投影光学系と;
前記投影光学系によりパターンの像が投影される投影領域の両側に液体を供給するための供給口をそれぞれ有し、それらの供給口から液体を供給する液体供給機構とを備え;
液体供給機構が液体の供給を開始するときは、液体供給機構は前記両側の供給口から異なる量の液体を供給する露光装置。 - 前記基板上の複数のショット領域のそれぞれは、前記基板を所定の走査方向に移動しながら露光され、
前記供給口は、前記走査方向に関して前記投影領域の両側に配置されていることを特徴とする請求項31に記載の露光装置。 - 前記液体供給機構による液体の供給は、前記基板を移動しながら開始されることを特徴とする請求項31又は32に記載の露光装置。
- さらに、液体供給機構の両側の供給口から異なる量の液体を供給するように液体供給機構を制御する制御装置を備える請求項31〜33のいずれか一項に記載の露光装置。
- さらに、基板を保持して移動する基板ステージを備え、前記制御装置は基ステージの移動を制御する請求項31〜34のいずれか一項に記載の露光装置。
- 液体を介して基板上にパターンの像を投影し、前記基板を露光する露光方法であって:
露光動作前に、パターンの像が投影される投影領域の両側から異なる量の液体を供給開始することと;
供給した液体を介して基板上にパターンの像を投影して基板を露光することを含む露光方法。 - 前記露光時に、前記基板は所定の走査方向に移動され、
前記走査方向に関して前記投影領域の両側から異なる量の液体を供給開始するすることを含む請求項36に記載の露光方法。 - 液体を供給開始するときに、基板を所定方向に移動することを含む請求項36又は37に記載の露光方法。
- 液体を介して基板上にパターンの像を投影し、前記基板を露光する露光装置であって、
前記パターンの像を基板上に投影する投影光学系と;
投影光学系によりパターンの像が投影される投影領域の第1側と第2側に液体を供給するための供給口をそれぞれ有し、それらの供給口から液体を供給する液体供給機構とを備え;
液体供給機構が液体の供給を開始するときは、液体供給機構は前記第1側の供給口からのみ液体を供給する露光装置。 - 前記第1側からの液体供給を開始した後に、前記第2側からの液体供給を開始する請求項39の露光装置。
- 前記第1側と第2側は、投影領域の両側を含む請求項39又は40記載の露光装置。
- 液体を介して基板上にパターンの像を投影し、前記基板を露光する露光装置であって、 前記パターンの像を基板上に投影する投影光学系と;
投影光学系によりパターンの像が投影される投影領域の第1側と第2側に液体を供給するための供給口をそれぞれ有し、それらの供給口から液体を供給する液体供給機構とを備え;
液体供給機構が液体の供給を開始するときは、液体供給機構は第1側の供給口と第2供給口から異なる量の液体を供給する露光装置。 - 前記第1側と第2側は、投影領域の両側を含む請求項42記載の露光装置。
- 請求項1〜10、15〜25、31〜35、及び39〜43のいずれか一項に記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイス製造方法。
- 液体を介して基板上にパターンの像を投影光学系により投影し、前記基板を露光する露光方法であって:
露光動作前に、前記投影光学系の像面側に配置された物体を移動しながらパターン像が投影される投影領域に液体の供給を開始することと;
前記投影光学系と前記基板との間の液体を介して基板上にパターンの像を投影して基板を露光すること;を含む露光方法。 - 前記物体は、前記基板を含む請求項45に記載の露光方法。
- 前記液体の供給は、前記投影領域の第1側と第2側のうちの一方のみで開始され、その後に、前記投影領域の第1側と第2側の両方から液体を供給する請求項45または46に記載の露光方法。
- 前記液体の供給は、前記投影領域の第1側と第2側の両方から開始される請求項45または46記載の露光方法。
- 前記液体の供給を開始するときは、前記投影領域の第1側と第2側の両方から異なる量の液体が供給される請求項48記載の露光方法。
- 前記投影領域の第1側と第2側は、前記投影領域の両側を含む請求項47〜49のいずれか一項記載の露光方法。
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