JP2002048184A - 制振装置 - Google Patents
制振装置Info
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- JP2002048184A JP2002048184A JP2000236685A JP2000236685A JP2002048184A JP 2002048184 A JP2002048184 A JP 2002048184A JP 2000236685 A JP2000236685 A JP 2000236685A JP 2000236685 A JP2000236685 A JP 2000236685A JP 2002048184 A JP2002048184 A JP 2002048184A
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- vibration damping
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Abstract
(57)【要約】
【課題】装置コストの増大を招くことなく、測定器によ
る測定精度の向上を可能にする制振装置の提供。 【解決手段】測定器１１の振動が測定器側慣性センサ１
２から、テーブル３の振動がテーブル側慣性センサ２１
から制振計算機２２の減算手段２２ａにそれぞれ入力さ
れる。制振計算機２２はテーブル３の振動から測定器１
１の振動を減算し、その結果生じる差分を０とするよう
にアクチュエータ駆動信号を生成し、アクチュエータ２
３に伝達する。従って測定器１１とテーブル３の相対変
位は０（実際には測定器１１、テーブル３ともに同じ振
動をしていることになる）になり、測定システム内では
無振動状態と同じ状態になる。
る測定精度の向上を可能にする制振装置の提供。 【解決手段】測定器１１の振動が測定器側慣性センサ１
２から、テーブル３の振動がテーブル側慣性センサ２１
から制振計算機２２の減算手段２２ａにそれぞれ入力さ
れる。制振計算機２２はテーブル３の振動から測定器１
１の振動を減算し、その結果生じる差分を０とするよう
にアクチュエータ駆動信号を生成し、アクチュエータ２
３に伝達する。従って測定器１１とテーブル３の相対変
位は０（実際には測定器１１、テーブル３ともに同じ振
動をしていることになる）になり、測定システム内では
無振動状態と同じ状態になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定器と被測定器
を搭載する除振台とを備えた装置の除振を行う制振装置
に関する。本発明の応用分野としては微小物の形状等を
測定する電子顕微鏡やＣＣＤ顕微鏡がある。
を搭載する除振台とを備えた装置の除振を行う制振装置
に関する。本発明の応用分野としては微小物の形状等を
測定する電子顕微鏡やＣＣＤ顕微鏡がある。
【０００２】
【従来の技術】従来の測定システムにおける制振装置に
は、外乱を受けて振動する部材と被測定物との間にゴム
やバネ等の緩衝材を密着設置し、外乱振動を緩衝材で減
衰させる方法（以下、パッシブ制振方法と呼ぶことにす
る）がある。しかし、パッシブ制振方法には以下の欠点
がある。使用するゴム又はバネ等の緩衝材は、物性又は
設計特性による固有の振動特性を有し、その固有振動特
性から導かれる特定の周波数帯でしか減衰効果がない。
従ってパッシブ制振方法では、予測される外乱には対応
する緩衝材の選定で減衰させることができるが、予測不
能の外乱振動や入力途中で振動係数が大きく変化する外
乱振動に対して、一律の制振効果を得ることは難しい。
は、外乱を受けて振動する部材と被測定物との間にゴム
やバネ等の緩衝材を密着設置し、外乱振動を緩衝材で減
衰させる方法（以下、パッシブ制振方法と呼ぶことにす
る）がある。しかし、パッシブ制振方法には以下の欠点
がある。使用するゴム又はバネ等の緩衝材は、物性又は
設計特性による固有の振動特性を有し、その固有振動特
性から導かれる特定の周波数帯でしか減衰効果がない。
従ってパッシブ制振方法では、予測される外乱には対応
する緩衝材の選定で減衰させることができるが、予測不
能の外乱振動や入力途中で振動係数が大きく変化する外
乱振動に対して、一律の制振効果を得ることは難しい。
【０００３】そこで、外乱振動に追従して被測定物の振
動を慣性空間に対して減衰させる制振方法（以下、アク
ティブ制振方法と呼ぶことにする）が実用化されてい
る。図３と図４を参照してアクティブ制振方法を用いた
制振装置の従来例を説明する。図３は制振装置を有する
測定システム全体を表す概略図であり、図４は図３中の
制振装置の制御ブロック図である。
動を慣性空間に対して減衰させる制振方法（以下、アク
ティブ制振方法と呼ぶことにする）が実用化されてい
る。図３と図４を参照してアクティブ制振方法を用いた
制振装置の従来例を説明する。図３は制振装置を有する
測定システム全体を表す概略図であり、図４は図３中の
制振装置の制御ブロック図である。
【０００４】図３において測定装置１は、被測定物４と
は非接触状態で配置された測定器１１と、測定器１１に
接触状態で配置され、測定器１１の振動を検出する慣性
センサ（以下測定器側慣性センサ１２と呼ぶ）と、測定
器１１を支持する支持部材１３とから構成される。測定
器側慣性センサ１２で検出される測定器１１の振動は、
図示しない測定器側制振装置によって減衰される。
は非接触状態で配置された測定器１１と、測定器１１に
接触状態で配置され、測定器１１の振動を検出する慣性
センサ（以下測定器側慣性センサ１２と呼ぶ）と、測定
器１１を支持する支持部材１３とから構成される。測定
器側慣性センサ１２で検出される測定器１１の振動は、
図示しない測定器側制振装置によって減衰される。
【０００５】一方、被測定側は、被測定物４と、被測定
物４を設置するテーブル３と、テーブル３上に設置さ
れ、テーブル３を振動させるアクティブ制振装置２とか
ら構成される。アクティブ制振装置２は、テーブル３の
振動を検出する慣性センサ（以下、テーブル側慣性セン
サ２１と呼ぶ）と、アクチュエータ駆動信号１２２を生
成する制振計算機２２と、制振計算機２２から供給され
るアクチュエータ駆動信号１２２に基づいてテーブル３
の振動を減衰させる振動を発生させるアクチュエータ２
３とから構成される。制振計算機２２は、テーブル側慣
性センサ２１から出力されるテーブル３の振動を受け、
テーブル３の振動を減衰させる命令を生成し、この命令
を表すアクチュエータ駆動信号を出力する。アクチュエ
ータ２３は、駆動部２２１と質量体２２２とからなる。
駆動部２２１はアクチュエータ駆動信号１２２に基づい
て質量体２２２を駆動する。質量体２２２は、駆動部２
２１により駆動され、慣性によってテーブル３に振動を
与える。測定器側慣性センサ１２及びテーブル側慣性セ
ンサ２１には市販の加速度計又は速度計を用いる。
物４を設置するテーブル３と、テーブル３上に設置さ
れ、テーブル３を振動させるアクティブ制振装置２とか
ら構成される。アクティブ制振装置２は、テーブル３の
振動を検出する慣性センサ（以下、テーブル側慣性セン
サ２１と呼ぶ）と、アクチュエータ駆動信号１２２を生
成する制振計算機２２と、制振計算機２２から供給され
るアクチュエータ駆動信号１２２に基づいてテーブル３
の振動を減衰させる振動を発生させるアクチュエータ２
３とから構成される。制振計算機２２は、テーブル側慣
性センサ２１から出力されるテーブル３の振動を受け、
テーブル３の振動を減衰させる命令を生成し、この命令
を表すアクチュエータ駆動信号を出力する。アクチュエ
ータ２３は、駆動部２２１と質量体２２２とからなる。
駆動部２２１はアクチュエータ駆動信号１２２に基づい
て質量体２２２を駆動する。質量体２２２は、駆動部２
２１により駆動され、慣性によってテーブル３に振動を
与える。測定器側慣性センサ１２及びテーブル側慣性セ
ンサ２１には市販の加速度計又は速度計を用いる。
【０００６】図４を参照して制御の流れを説明する。テ
ーブル３は、アクチュエータ２３の加振作用による振動
１２３と外乱振動１００を受ける。テーブル側慣性セン
サ２１は、テーブル３の振動１０３を検出し、制振計算
機２２に振動信号１２１を出力する。この振動信号１２
１には、アクチュエータ２３の加振作用により生成され
た振動であって、外乱振動１００と重畳されることによ
りテーブル３の振動を減衰させる成分（以下減衰成分と
呼ぶ）が含まれている。制振計算機２２は、外乱振動１
００と重畳されることによりテーブル３の振動１０３を
０とする命令を生成し、この命令を表すアクチュエータ
駆動信号１２２を生成する。
ーブル３は、アクチュエータ２３の加振作用による振動
１２３と外乱振動１００を受ける。テーブル側慣性セン
サ２１は、テーブル３の振動１０３を検出し、制振計算
機２２に振動信号１２１を出力する。この振動信号１２
１には、アクチュエータ２３の加振作用により生成され
た振動であって、外乱振動１００と重畳されることによ
りテーブル３の振動を減衰させる成分（以下減衰成分と
呼ぶ）が含まれている。制振計算機２２は、外乱振動１
００と重畳されることによりテーブル３の振動１０３を
０とする命令を生成し、この命令を表すアクチュエータ
駆動信号１２２を生成する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例では、測定
を高精度に行うにはテーブル３の振動を減衰する制振装
置２の他に測定器１１側の振動を減衰する測定器側制振
装置をも用いなければ外乱振動１００の影響を完全に除
去することはできない。しかし、測定器側及び被測定器
側双方に制振装置を設けるこの構成ではコストの増大は
否めない。また、測定器の除振したい箇所が小範囲の場
合、それに応じた小型の除振装置というものがないのが
現状である。本発明は、係る課題に鑑みて成されたもの
であり、装置コストの増大を招くことなく、しかも測定
器による測定精度の向上を可能とする制振装置の提供を
目的とする。
を高精度に行うにはテーブル３の振動を減衰する制振装
置２の他に測定器１１側の振動を減衰する測定器側制振
装置をも用いなければ外乱振動１００の影響を完全に除
去することはできない。しかし、測定器側及び被測定器
側双方に制振装置を設けるこの構成ではコストの増大は
否めない。また、測定器の除振したい箇所が小範囲の場
合、それに応じた小型の除振装置というものがないのが
現状である。本発明は、係る課題に鑑みて成されたもの
であり、装置コストの増大を招くことなく、しかも測定
器による測定精度の向上を可能とする制振装置の提供を
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めの本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存
する。 ［１］測定器と被測定器を搭載する測定台とを備えた装
置の除振を行う制振装置において、測定器の動きを検知
する第1の検知手段と、測定台の動きを検知する第２の
検知手段と、該第１の検知手段の検知信号と該第２の検
知手段の検知信号とからアクチュエータ駆動信号を生成
するアクチュエータ制御手段と、該アクチュエータ駆動
信号により前記測定台を振動させるアクチュエータとを
具備し、前記アクチュエータ駆動信号は、前記測定台と
前記測定器との間の相対変位を低減させる命令を前記ア
クチュエータ制御手段に与えることを特徴とする制振装
置。
めの本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存
する。 ［１］測定器と被測定器を搭載する測定台とを備えた装
置の除振を行う制振装置において、測定器の動きを検知
する第1の検知手段と、測定台の動きを検知する第２の
検知手段と、該第１の検知手段の検知信号と該第２の検
知手段の検知信号とからアクチュエータ駆動信号を生成
するアクチュエータ制御手段と、該アクチュエータ駆動
信号により前記測定台を振動させるアクチュエータとを
具備し、前記アクチュエータ駆動信号は、前記測定台と
前記測定器との間の相対変位を低減させる命令を前記ア
クチュエータ制御手段に与えることを特徴とする制振装
置。
【０００９】［２］前記第1及び第2の検知手段が加速度
計又は速度計であることを特徴とする［１］記載の制振
装置。
計又は速度計であることを特徴とする［１］記載の制振
装置。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１及び図２を参照して本発明の
一実施の形態を説明する。図１はこの実施の形態である
制振装置の制御ブロック図であり、図２はその制振装置
を有する測定システム全体の概略図である。図２に示す
ように、本実施の形態の測定システムは従来例の測定シ
ステム（図３）と概ね同一の外観を呈する。しかし、本
実施の形態の測定システムは、測定器側慣性センサ１２
で検出した測定器１１の振動をテーブル側のアクティブ
制振装置２中の制振計算機２２に入力する信号線１４を
有し、この構成において図３の従来の測定システムとは
異なる。
一実施の形態を説明する。図１はこの実施の形態である
制振装置の制御ブロック図であり、図２はその制振装置
を有する測定システム全体の概略図である。図２に示す
ように、本実施の形態の測定システムは従来例の測定シ
ステム（図３）と概ね同一の外観を呈する。しかし、本
実施の形態の測定システムは、測定器側慣性センサ１２
で検出した測定器１１の振動をテーブル側のアクティブ
制振装置２中の制振計算機２２に入力する信号線１４を
有し、この構成において図３の従来の測定システムとは
異なる。
【００１１】図１を参照して制御の流れを説明する。従
来例同様にテーブル側慣性センサ２１ではアクチュエー
タ２３の加振による減衰成分を含んだテーブル３の振動
が検出され、振動信号１２１として制振計算機２２に伝
達される。一方、測定器側慣性センサ１２から伝達され
た測定器１１の振動も制振計算機２２に振動信号１１２
として入力される。制振計算機２２はテーブル３の振動
から測定器１１の振動を減算手段２２ａで減算し、その
減算処理により生じる差分を０とする命令を表すアクチ
ュエータ駆動信号を生成し、アクチュエータ２３に伝達
する。従って測定器１１とテーブル３の相対変位は０
（実際には測定器１１、テーブル３ともに同じ振動をし
ていることになる）になり、測定システム内では無振動
状態と同じ状態になる。なお、減算手段２２ａは制振計
算機２２に含まれるが、図１では減算処理の理解を容易
にするために減算手段２２ａは制振計算機２２の外に描
いてある。
来例同様にテーブル側慣性センサ２１ではアクチュエー
タ２３の加振による減衰成分を含んだテーブル３の振動
が検出され、振動信号１２１として制振計算機２２に伝
達される。一方、測定器側慣性センサ１２から伝達され
た測定器１１の振動も制振計算機２２に振動信号１１２
として入力される。制振計算機２２はテーブル３の振動
から測定器１１の振動を減算手段２２ａで減算し、その
減算処理により生じる差分を０とする命令を表すアクチ
ュエータ駆動信号を生成し、アクチュエータ２３に伝達
する。従って測定器１１とテーブル３の相対変位は０
（実際には測定器１１、テーブル３ともに同じ振動をし
ていることになる）になり、測定システム内では無振動
状態と同じ状態になる。なお、減算手段２２ａは制振計
算機２２に含まれるが、図１では減算処理の理解を容易
にするために減算手段２２ａは制振計算機２２の外に描
いてある。
【００１２】
【発明の効果】本発明にかかる制振装置は、以上に実施
の形態を挙げ詳しく説明したように、一台の制振装置に
よって測定装置と被測定物の相対変位が０となる制振方
式を採用し、測定システム内で無振動状態と同じ状態を
成立させる。測定器の除振したい箇所には振動を検出す
る慣性センサのみ配置するので、かかる小範囲に小さな
部材を備えるだけで実効的な制振作用を及ぼすことがで
きる。従って本発明によりコストの増大を招くことな
く、測定器による測定精度向上を可能に、また小範囲の
制振対象にも対応を可能とする制振装置を提供すること
ができる。
の形態を挙げ詳しく説明したように、一台の制振装置に
よって測定装置と被測定物の相対変位が０となる制振方
式を採用し、測定システム内で無振動状態と同じ状態を
成立させる。測定器の除振したい箇所には振動を検出す
る慣性センサのみ配置するので、かかる小範囲に小さな
部材を備えるだけで実効的な制振作用を及ぼすことがで
きる。従って本発明によりコストの増大を招くことな
く、測定器による測定精度向上を可能に、また小範囲の
制振対象にも対応を可能とする制振装置を提供すること
ができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係る制振装置の制御ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る制振装置を有する
測定システム全体の概略図である。
測定システム全体の概略図である。
【図３】従来例に係る制振装置を有する測定システム全
体を表す概略図である。
体を表す概略図である。
【図４】従来例に係る制振装置の制御ブロック図であ
る。
る。
１…測定装置 ２…アクティブ制振装置 ３…テーブル ４…被測定物 １１…測定器 １２…測定器側慣性センサ １３…支持部材 １４…信号線 ２１…テーブル側慣性センサ ２２…制振計算機 ２２ａ…減算手段 ２３…アクチュエータ １００…外乱振動 １０３…振動 １１２…振動信号 １２１…振動信号 １２２…アクチュエータ駆動信号 １２３…テーブルの振動を除振する振動 ２２１…駆動部 ２２２…質量体
Claims (2)
- 【請求項１】測定器と被測定器を搭載する測定台とを備
えた装置の除振を行う制振装置において、 測定器の動きを検知する第1の検知手段と、 測定台の動きを検知する第２の検知手段と、 該第１の検知手段の検知信号と該第２の検知手段の検知
信号とからアクチュエータ駆動信号を生成するアクチュ
エータ制御手段と、 該アクチュエータ駆動信号により前記測定台を振動させ
るアクチュエータとを具備し、 前記アクチュエータ駆動信号は、前記測定台と前記測定
器との間の相対変位を低減させる命令を前記アクチュエ
ータ制御手段に与えることを特徴とする制振装置。 - 【請求項２】前記第1及び第2の検知手段が加速度計又は
速度計であることを特徴とする請求項１に記載の制振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000236685A JP2002048184A (ja) | 2000-08-04 | 2000-08-04 | 制振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000236685A JP2002048184A (ja) | 2000-08-04 | 2000-08-04 | 制振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002048184A true JP2002048184A (ja) | 2002-02-15 |
Family
ID=18728692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000236685A Withdrawn JP2002048184A (ja) | 2000-08-04 | 2000-08-04 | 制振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002048184A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008069890A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Canon Inc | 除振装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2017147413A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| JP2018041809A (ja) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| CN112154277A (zh) * | 2018-08-31 | 2020-12-29 | 松下知识产权经营株式会社 | 减振装置 |
-
2000
- 2000-08-04 JP JP2000236685A patent/JP2002048184A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008069890A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Canon Inc | 除振装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2017147413A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| JP2018041809A (ja) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| CN112154277A (zh) * | 2018-08-31 | 2020-12-29 | 松下知识产权经营株式会社 | 减振装置 |
| CN112154277B (zh) * | 2018-08-31 | 2022-04-05 | 松下知识产权经营株式会社 | 减振装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071106 |