JP2000190169A - 測定ヘッド - Google Patents
測定ヘッドInfo
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- JP2000190169A JP2000190169A JP10373923A JP37392398A JP2000190169A JP 2000190169 A JP2000190169 A JP 2000190169A JP 10373923 A JP10373923 A JP 10373923A JP 37392398 A JP37392398 A JP 37392398A JP 2000190169 A JP2000190169 A JP 2000190169A
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- feeler
- measuring head
- vibration
- housing
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定動作時に測定ヘッドに発生する振動を抑
制、減衰すること。 【解決手段】 中空のハウジング９から外部へ突き出す
ように延設され、その一端において前記ハウジング９内
に配設された支持板５に取り付けられて揺動自在に支持
された長尺部材より成るフィーラ７により測定対象物と
の接触を検知する測定ヘッド１１において、支持板５の
一側に当接して支持板５を支持する支点１３と、支持板
５を支点１３へ押圧、付勢するばね１７と、ばね１７に
関して並列に配置されたダッシュポット１５とを含む制
振手段をハウジング９内に設けた。
制、減衰すること。 【解決手段】 中空のハウジング９から外部へ突き出す
ように延設され、その一端において前記ハウジング９内
に配設された支持板５に取り付けられて揺動自在に支持
された長尺部材より成るフィーラ７により測定対象物と
の接触を検知する測定ヘッド１１において、支持板５の
一側に当接して支持板５を支持する支点１３と、支持板
５を支点１３へ押圧、付勢するばね１７と、ばね１７に
関して並列に配置されたダッシュポット１５とを含む制
振手段をハウジング９内に設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、座標測定機械、工
作機械等において使用される測定対象物との接触又は接
触による変位を検知する測定ヘッドに関し、特に、測定
時におけるフィーラの振動を抑制する手段を備えた測定
ヘッドに関する。
作機械等において使用される測定対象物との接触又は接
触による変位を検知する測定ヘッドに関し、特に、測定
時におけるフィーラの振動を抑制する手段を備えた測定
ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】測定対象物との接触又は接触後の変位を
測定する測定ヘッドは、中空のハウジングと、測定対象
物に接触させるためのフィーラとを具備している。フィ
ーラは長尺の部材より成り、その一端においてハウジン
グ内に設けられた支持部材（支持板）に固定されてい
る。該支持板は、ハウジング内においてばね等により変
位自在に支持されている。更に、ハウジング内には支持
板が変位したことを検知するための検知器が配設されて
いる。この種の測定ヘッドでは、フィーラが、その先端
部において測定対象物に接触すると、フィーラの先端が
変位し、その変位が支持板の変位として現れ、接触した
瞬間が検知器にて検知されるのである。検知器には、測
定対象物との接触を検知するマイクロスイッチによるタ
ッチ式や、フィーラの変位を検知する差動トランスによ
る変位測定式などがある。
測定する測定ヘッドは、中空のハウジングと、測定対象
物に接触させるためのフィーラとを具備している。フィ
ーラは長尺の部材より成り、その一端においてハウジン
グ内に設けられた支持部材（支持板）に固定されてい
る。該支持板は、ハウジング内においてばね等により変
位自在に支持されている。更に、ハウジング内には支持
板が変位したことを検知するための検知器が配設されて
いる。この種の測定ヘッドでは、フィーラが、その先端
部において測定対象物に接触すると、フィーラの先端が
変位し、その変位が支持板の変位として現れ、接触した
瞬間が検知器にて検知されるのである。検知器には、測
定対象物との接触を検知するマイクロスイッチによるタ
ッチ式や、フィーラの変位を検知する差動トランスによ
る変位測定式などがある。
【０００３】このような測定ヘッドは、二次元形状や三
次元形状を測定する測定機械において使用される。ま
た、この測定ヘッドを工作機械の主軸に装着することも
可能である。この場合には、測定対象物と接触したとき
の工作機械のもつＸ、Ｙ、Ｚ軸の位置座標を工作機械の
ＮＣ装置を介して読み取り、測定対象物の寸法、例え
ば、加工されたワークの寸法を測定する。この場合に
は、例えば、ワークの加工不足の部分を再度加工するた
めに測定した寸法を利用する。
次元形状を測定する測定機械において使用される。ま
た、この測定ヘッドを工作機械の主軸に装着することも
可能である。この場合には、測定対象物と接触したとき
の工作機械のもつＸ、Ｙ、Ｚ軸の位置座標を工作機械の
ＮＣ装置を介して読み取り、測定対象物の寸法、例え
ば、加工されたワークの寸法を測定する。この場合に
は、例えば、ワークの加工不足の部分を再度加工するた
めに測定した寸法を利用する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】測定時の位置決め又は
接近動作を行ったときの加速及び停止によって貫性力が
加えられると、測定ヘッド、特にフィーラに振動が発生
する。その振動の振幅は測定ヘッドの検知器によって接
触又は変位として誤検知され、測定誤差を生じたり測定
の再現性が悪化する問題がある。この問題を避けるため
に、従来技術では、測定ヘッドに振動が生じない程度ま
で送り速度を低下させている。
接近動作を行ったときの加速及び停止によって貫性力が
加えられると、測定ヘッド、特にフィーラに振動が発生
する。その振動の振幅は測定ヘッドの検知器によって接
触又は変位として誤検知され、測定誤差を生じたり測定
の再現性が悪化する問題がある。この問題を避けるため
に、従来技術では、測定ヘッドに振動が生じない程度ま
で送り速度を低下させている。
【０００５】本発明は、測定動作時に測定ヘッドに発生
する振動を抑制、減衰し、それにより高精度の測定を行
うことを可能とさせる測定ヘッドを提供することを目的
としている。
する振動を抑制、減衰し、それにより高精度の測定を行
うことを可能とさせる測定ヘッドを提供することを目的
としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、測定動作時に
おける振動を抑制、減衰するための緩衝手段を測定ヘッ
ドのハウジング内に設けることによりこの問題を解決す
る。すなわち、本発明は、ハウジングと、ハウジングに
支持され且つ被測定物と接触する測定フィーラとを備え
る測定ヘッドにおいて、前記ハウジング内に設けられ、
前記測定フィーラの基端部を固定する支持部材と、前記
支持部材を支持する支点と、前記支持部材を前記支点へ
押圧するばねと、前記支持部材と前記ハウジングとの間
に設けられた緩衝手段と、を具備することを特徴とした
測定ヘッド。
おける振動を抑制、減衰するための緩衝手段を測定ヘッ
ドのハウジング内に設けることによりこの問題を解決す
る。すなわち、本発明は、ハウジングと、ハウジングに
支持され且つ被測定物と接触する測定フィーラとを備え
る測定ヘッドにおいて、前記ハウジング内に設けられ、
前記測定フィーラの基端部を固定する支持部材と、前記
支持部材を支持する支点と、前記支持部材を前記支点へ
押圧するばねと、前記支持部材と前記ハウジングとの間
に設けられた緩衝手段と、を具備することを特徴とした
測定ヘッド。
【０００７】
【作用】請求項１に記載の本発明では、ばねが支持部材
をハウジング内に設けられた支点へ押圧する。この押圧
力により支持部材の変位が抑制され、以てフィーラの振
動が抑制されることとなる。フィーラ及び支持部材の振
動エネルギは緩衝手段により熱に変換され散逸する。
をハウジング内に設けられた支点へ押圧する。この押圧
力により支持部材の変位が抑制され、以てフィーラの振
動が抑制されることとなる。フィーラ及び支持部材の振
動エネルギは緩衝手段により熱に変換され散逸する。
【０００８】請求項３に記載の本発明では、ばねによる
振動の抑制作用に加えて、加振器が支持部材に取り付け
た振動センサにより検知された振動に関して逆位相の等
価な振動を発生し、支持部材又はフィーラの振動を相殺
する。
振動の抑制作用に加えて、加振器が支持部材に取り付け
た振動センサにより検知された振動に関して逆位相の等
価な振動を発生し、支持部材又はフィーラの振動を相殺
する。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１を参照して本発明第１の実施
形態を説明する。第１の実施形態による測定ヘッド１１
は、中空のハウジング９と、測定対象物に接触させるた
めのフィーラ７とを具備している。フィーラ７は長尺の
部材より成り、その中心軸線Ｏを中心として、その先端
７ａが触れ回りできるように揺動自在にハウジング９に
支持されている。より詳細には、フィーラ７は、その基
端部７ｂがハウジング９内に配設された支持板５（支持
部材）に取り付けられており、該支持板５は、ハウジン
グ９の内面から突き出した支点１３と、支持板５を支点
１３へ押圧、付勢するためのばね１７と、ばね１７に関
して並列に配設された緩衝手段としてのダッシュポット
１５とにより支持されている。ばね１７及びダッシュポ
ット１５がフィーラ７の振動を抑制、吸収する振動抑制
手段として作用する。更に、ハウジング９内には支持板
５が変位したことを検知するためのマイクロスイッチ１
９が配設されている。マイクロスイッチ１９は、支持板
５が変位したことを検知して検知信号を発生する。な
お、図１には２つの支点１３が図示されているが、実際
上は、支持板５は３つの支点１３により三点支持され
る。
形態を説明する。第１の実施形態による測定ヘッド１１
は、中空のハウジング９と、測定対象物に接触させるた
めのフィーラ７とを具備している。フィーラ７は長尺の
部材より成り、その中心軸線Ｏを中心として、その先端
７ａが触れ回りできるように揺動自在にハウジング９に
支持されている。より詳細には、フィーラ７は、その基
端部７ｂがハウジング９内に配設された支持板５（支持
部材）に取り付けられており、該支持板５は、ハウジン
グ９の内面から突き出した支点１３と、支持板５を支点
１３へ押圧、付勢するためのばね１７と、ばね１７に関
して並列に配設された緩衝手段としてのダッシュポット
１５とにより支持されている。ばね１７及びダッシュポ
ット１５がフィーラ７の振動を抑制、吸収する振動抑制
手段として作用する。更に、ハウジング９内には支持板
５が変位したことを検知するためのマイクロスイッチ１
９が配設されている。マイクロスイッチ１９は、支持板
５が変位したことを検知して検知信号を発生する。な
お、図１には２つの支点１３が図示されているが、実際
上は、支持板５は３つの支点１３により三点支持され
る。
【００１０】測定ヘッド１１を例えば工作機械（図示せ
ず）の主軸等に取り付け、工作機械の送り装置（図示せ
ず）によりワーク（図示せず）等の測定対象物に対して
Ｘ、Ｙ、Ｚの３軸方向に相対的に送ることにより、ワー
クの各部の寸法を測定するために用いることができる。
その際、フィーラ７が、その先端部７ａにおいて測定対
象物に接触すると、フィーラ７の先端部７ａが変位し、
その変位が支持板５の変位として現れ、接触した瞬間が
マイクロスイッチ１９にて検知され、マイクロスイッチ
１９から検知信号が発生したときのＸ、Ｙ、Ｚ軸の位置
座標を例えば工作機械のＮＣ装置等により読み取ること
によりワークの形状測定が可能となる。
ず）の主軸等に取り付け、工作機械の送り装置（図示せ
ず）によりワーク（図示せず）等の測定対象物に対して
Ｘ、Ｙ、Ｚの３軸方向に相対的に送ることにより、ワー
クの各部の寸法を測定するために用いることができる。
その際、フィーラ７が、その先端部７ａにおいて測定対
象物に接触すると、フィーラ７の先端部７ａが変位し、
その変位が支持板５の変位として現れ、接触した瞬間が
マイクロスイッチ１９にて検知され、マイクロスイッチ
１９から検知信号が発生したときのＸ、Ｙ、Ｚ軸の位置
座標を例えば工作機械のＮＣ装置等により読み取ること
によりワークの形状測定が可能となる。
【００１１】測定ヘッド１１にＸ、Ｙ、Ｚの３軸方向の
相対送りを与えるとき、及び、測定ヘッド１１のフィー
ラ７が測定対象物に接触したとき、フィーラ７が振動す
る。従来技術による測定ヘッドでは、フィーラの振動の
収束に時間がかかり、これが測定誤差の要因となった
り、位置測定の再現性を低下させる原因となっている。
本実施形態によれば、制振手段としてのばね１７とダッ
シュポット１５がフィーラ７の振動を抑制、減衰するの
で上述した従来技術の問題が解決される。
相対送りを与えるとき、及び、測定ヘッド１１のフィー
ラ７が測定対象物に接触したとき、フィーラ７が振動す
る。従来技術による測定ヘッドでは、フィーラの振動の
収束に時間がかかり、これが測定誤差の要因となった
り、位置測定の再現性を低下させる原因となっている。
本実施形態によれば、制振手段としてのばね１７とダッ
シュポット１５がフィーラ７の振動を抑制、減衰するの
で上述した従来技術の問題が解決される。
【００１２】次に、図２を参照して本発明第２の実施形
態を説明する。第２の実施形態による測定ヘッド２１
は、第１の実施形態の測定ヘッド１１と概ね同様に構成
されており、中空のハウジング９と、測定対象物に接触
させるためのフィーラ７とを具備し、フィーラ７は、変
位可能にハウジング９に支持されている。より詳細に
は、フィーラ７の基端部７ｂが取り付けられた支持板５
は、ハウジング９の内面から突き出した支点１３と、支
持板５を支点１３へ押圧、付勢するためのばね２７及び
ばね２７に関して並列に配設されたダッシュポット２５
とにより支持されている。支持板５にはマイクロスイッ
チ２９が取り付けられている。また、図２には２つの支
点２３が図示されているが、実際上は、支持板５は３つ
の支点２３により三点支持される点も第１の実施形態と
同様である。
態を説明する。第２の実施形態による測定ヘッド２１
は、第１の実施形態の測定ヘッド１１と概ね同様に構成
されており、中空のハウジング９と、測定対象物に接触
させるためのフィーラ７とを具備し、フィーラ７は、変
位可能にハウジング９に支持されている。より詳細に
は、フィーラ７の基端部７ｂが取り付けられた支持板５
は、ハウジング９の内面から突き出した支点１３と、支
持板５を支点１３へ押圧、付勢するためのばね２７及び
ばね２７に関して並列に配設されたダッシュポット２５
とにより支持されている。支持板５にはマイクロスイッ
チ２９が取り付けられている。また、図２には２つの支
点２３が図示されているが、実際上は、支持板５は３つ
の支点２３により三点支持される点も第１の実施形態と
同様である。
【００１３】第１の実施形態では、支点１３は、ハウジ
ング９内において支持板５に関してフィーラ７の反対側
に配設されている（図１参照）が、第２の実施形態で
は、支点２３はハウジング９内において支持板５に関し
てフィーラ７側に配設されており、制振手段としてのば
ね２７及びこれに並列に配設されたダッシュポット２５
が、支持板５に関してフィーラ７の反対側に配設されて
いる。第２の実施形態においても、制振手段としてのば
ね２７及びダッシュポット２５がフィーラ７の振動を抑
制、減衰する点は第１の実施形態と同様である。
ング９内において支持板５に関してフィーラ７の反対側
に配設されている（図１参照）が、第２の実施形態で
は、支点２３はハウジング９内において支持板５に関し
てフィーラ７側に配設されており、制振手段としてのば
ね２７及びこれに並列に配設されたダッシュポット２５
が、支持板５に関してフィーラ７の反対側に配設されて
いる。第２の実施形態においても、制振手段としてのば
ね２７及びダッシュポット２５がフィーラ７の振動を抑
制、減衰する点は第１の実施形態と同様である。
【００１４】次に、図３を参照して本発明第３の実施形
態を説明する。第３の実施形態による測定ヘッド３１
は、第１と第２の実施形態の測定ヘッド１１、２１と同
様に、中空のハウジング９と、測定対象物に接触させる
ためのフィーラ７とを具備し、フィーラ７は揺動自在に
ハウジング９に支持されているが、第３の実施形態で
は、第１と第２の実施形態とは異なり、ハウジング９内
には支持板５を支持するための支点が配設されていな
い。支持板５は、支持板５に関してフィーラ７側に配設
された第１の制振手段としての第１のばね３７ａ及びこ
れに並列に配設された第１のダッシュポット３５ａと、
支持板５に関してフィーラ７の反対側に配設された第２
の制振手段としての第２のばね３７ｂと、第２のばね３
７ｂに関して並列に配設された第２のダッシュポット３
５ｂとにより支持されている。支持板５にはマイクロス
イッチ３９が取り付けられている。第３の実施形態にお
いても、第１の制振手段としての第１のばね３７ａ、第
１のダッシュポット３５ａ、及び、第２の制振手段とし
ての第２のばね３７ｂ、第２のダッシュポット３５ｂが
フィーラ７の振動を抑制、減衰する点は第１と第２の実
施形態と同様である。
態を説明する。第３の実施形態による測定ヘッド３１
は、第１と第２の実施形態の測定ヘッド１１、２１と同
様に、中空のハウジング９と、測定対象物に接触させる
ためのフィーラ７とを具備し、フィーラ７は揺動自在に
ハウジング９に支持されているが、第３の実施形態で
は、第１と第２の実施形態とは異なり、ハウジング９内
には支持板５を支持するための支点が配設されていな
い。支持板５は、支持板５に関してフィーラ７側に配設
された第１の制振手段としての第１のばね３７ａ及びこ
れに並列に配設された第１のダッシュポット３５ａと、
支持板５に関してフィーラ７の反対側に配設された第２
の制振手段としての第２のばね３７ｂと、第２のばね３
７ｂに関して並列に配設された第２のダッシュポット３
５ｂとにより支持されている。支持板５にはマイクロス
イッチ３９が取り付けられている。第３の実施形態にお
いても、第１の制振手段としての第１のばね３７ａ、第
１のダッシュポット３５ａ、及び、第２の制振手段とし
ての第２のばね３７ｂ、第２のダッシュポット３５ｂが
フィーラ７の振動を抑制、減衰する点は第１と第２の実
施形態と同様である。
【００１５】既述の実施形態では、制振手段はフィーラ
７の中心軸線Ｏに関して概ね平行に配設されているが、
本発明はこれに限定されず、軸線Ｏに関して垂直方向に
設けても良い。
７の中心軸線Ｏに関して概ね平行に配設されているが、
本発明はこれに限定されず、軸線Ｏに関して垂直方向に
設けても良い。
【００１６】次に、図４を参照して本発明第４の実施形
態を説明する。第４の実施形態による測定ヘッド４１
は、既述した実施形態の測定ヘッド１１、２１、３１と
同様に、中空のハウジング９と、測定対象物に接触させ
るためのフィーラ７とを具備し、フィーラ７は揺動自在
にハウジング９に支持されている。フィーラ７の基端部
７ｂを固定する支持板５は、ハウジング５の内面から突
き出した支点４３と、支持板５を支点４３へ押圧、付勢
するためのばね４７とにより支持されている。第４の実
施形態では、既述した実施形態とは異なり、ダッシュポ
ットは配設されておらず、これに代わって緩衝部材とし
ての弾性ゴム４５により支持板５及び支点４３が包被さ
れている。支持板５にはマイクロスイッチ４９が取り付
けられている。
態を説明する。第４の実施形態による測定ヘッド４１
は、既述した実施形態の測定ヘッド１１、２１、３１と
同様に、中空のハウジング９と、測定対象物に接触させ
るためのフィーラ７とを具備し、フィーラ７は揺動自在
にハウジング９に支持されている。フィーラ７の基端部
７ｂを固定する支持板５は、ハウジング５の内面から突
き出した支点４３と、支持板５を支点４３へ押圧、付勢
するためのばね４７とにより支持されている。第４の実
施形態では、既述した実施形態とは異なり、ダッシュポ
ットは配設されておらず、これに代わって緩衝部材とし
ての弾性ゴム４５により支持板５及び支点４３が包被さ
れている。支持板５にはマイクロスイッチ４９が取り付
けられている。
【００１７】上述したようにして、測定中にフィーラ７
が振動すると、その振動は支持板５に伝達される。本実
施形態では、この振動は制振手段としてのばね４７及び
弾性ゴム４５により抑制、減衰される。弾性ゴム４５の
内部減衰により振動を減衰可能であることは言うまでも
ないが、緩衝部材は、弾性ゴム４５に代えて同様の作用
をなす振動吸収性の樹脂から形成することもできる。ま
た、図４では、支点４３はハウジング９の内面において
支持板５のフィーラ側の面に当接するように配設されて
いるが、図２に示すように反対側の面に当接するように
設けても良い。更に、図４では、支点４３及び支持板５
の全体が弾性ゴム４５により包被されているが、弾性ゴ
ム４５は、少なくとも支点４３と支持板５の接触部にお
いて両者間を連結するように配設すればよい。緩衝手段
としてダッシュポットやゴム、樹脂を用いず、他の減衰
能を有する手段を用いても良い。また、ばね１７，２
７，３７ａ，３７ｂ，４７の縮み代をねじ等で変更可能
にして、支持板５の支持力を変更して振動吸収性を変え
ることもできる。あるいは、ばね１７，２７，３７ａ，
３７ｂ，４７のばね定数をばね定数変更手段を用いて変
更可能にして、支持板５の支持力を変更して振動吸収性
を変えることもできる。
が振動すると、その振動は支持板５に伝達される。本実
施形態では、この振動は制振手段としてのばね４７及び
弾性ゴム４５により抑制、減衰される。弾性ゴム４５の
内部減衰により振動を減衰可能であることは言うまでも
ないが、緩衝部材は、弾性ゴム４５に代えて同様の作用
をなす振動吸収性の樹脂から形成することもできる。ま
た、図４では、支点４３はハウジング９の内面において
支持板５のフィーラ側の面に当接するように配設されて
いるが、図２に示すように反対側の面に当接するように
設けても良い。更に、図４では、支点４３及び支持板５
の全体が弾性ゴム４５により包被されているが、弾性ゴ
ム４５は、少なくとも支点４３と支持板５の接触部にお
いて両者間を連結するように配設すればよい。緩衝手段
としてダッシュポットやゴム、樹脂を用いず、他の減衰
能を有する手段を用いても良い。また、ばね１７，２
７，３７ａ，３７ｂ，４７の縮み代をねじ等で変更可能
にして、支持板５の支持力を変更して振動吸収性を変え
ることもできる。あるいは、ばね１７，２７，３７ａ，
３７ｂ，４７のばね定数をばね定数変更手段を用いて変
更可能にして、支持板５の支持力を変更して振動吸収性
を変えることもできる。
【００１８】次に、図５を参照して、本発明第５の実施
形態を説明する。第５の実施形態による測定ヘッド５１
は、既述した実施形態の測定ヘッド１１、２１、３１、
４１と同様に、中空のハウジング９と、測定対象物に接
触させるためのフィーラ７とを具備し、フィーラ７は揺
動自在にハウジング９に支持されている。フィーラ７の
基端部７ｂが取り付けられた支持板５は、ハウジング５
の内面から突き出した支点５３と、支持板５を支点５３
へ押圧、付勢するためのばね５７とにより支持されてい
る。第５の実施形態では、第４の実施形態と同様にダッ
シュポットは配設されておらず、これに代わって振動セ
ンサ５９と、加振器５５が支持板５に取り付けられてい
る。既述の実施形態と同様に支持板５にはマイクロスイ
ッチ６１が取り付けられている。
形態を説明する。第５の実施形態による測定ヘッド５１
は、既述した実施形態の測定ヘッド１１、２１、３１、
４１と同様に、中空のハウジング９と、測定対象物に接
触させるためのフィーラ７とを具備し、フィーラ７は揺
動自在にハウジング９に支持されている。フィーラ７の
基端部７ｂが取り付けられた支持板５は、ハウジング５
の内面から突き出した支点５３と、支持板５を支点５３
へ押圧、付勢するためのばね５７とにより支持されてい
る。第５の実施形態では、第４の実施形態と同様にダッ
シュポットは配設されておらず、これに代わって振動セ
ンサ５９と、加振器５５が支持板５に取り付けられてい
る。既述の実施形態と同様に支持板５にはマイクロスイ
ッチ６１が取り付けられている。
【００１９】測定中にフィーラ７が振動すると、その振
動は支持板５に伝達される。本実施形態では、この振動
は振動センサ５９により感知され、その周波数と振幅が
検出される。振動センサ５９により検出された周波数と
振幅に基づき、別途設けたマイクロプロセッサと加振器
のドライバ回路を含む加振器制御装置（図示せず）によ
り、振動センサ５９により検出された振動を打ち消す振
動を加振器５５により発生させる。これにより、フィー
ラ７の振動を抑制、減衰させることが可能となる。
動は支持板５に伝達される。本実施形態では、この振動
は振動センサ５９により感知され、その周波数と振幅が
検出される。振動センサ５９により検出された周波数と
振幅に基づき、別途設けたマイクロプロセッサと加振器
のドライバ回路を含む加振器制御装置（図示せず）によ
り、振動センサ５９により検出された振動を打ち消す振
動を加振器５５により発生させる。これにより、フィー
ラ７の振動を抑制、減衰させることが可能となる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、フィーラの基端部が固
定された支持部材を支点へ押圧するばねと、支持部材と
ハウジングとの間に設けられた緩衝部材とを含む制振手
段がフィーラの振動を抑制、減衰するので、測定ヘッド
の測定精度や再現性を改善することが可能となる。更
に、本発明によれば、測定ヘッドの測定対象物への接近
又は離反動作の間、制振手段がフィーラの振動を抑制、
減衰するので測定ヘッドを高速にて移動させることが可
能となる。
定された支持部材を支点へ押圧するばねと、支持部材と
ハウジングとの間に設けられた緩衝部材とを含む制振手
段がフィーラの振動を抑制、減衰するので、測定ヘッド
の測定精度や再現性を改善することが可能となる。更
に、本発明によれば、測定ヘッドの測定対象物への接近
又は離反動作の間、制振手段がフィーラの振動を抑制、
減衰するので測定ヘッドを高速にて移動させることが可
能となる。
【図１】本発明第１の実施形態による測定ヘッドの長手
方向断面図である。
方向断面図である。
【図２】本発明第２の実施形態による測定ヘッドの長手
方向断面図である。
方向断面図である。
【図３】本発明第３の実施形態による測定ヘッドの長手
方向断面図である。
方向断面図である。
【図４】本発明第４の実施形態による測定ヘッドの長手
方向断面図である。
方向断面図である。
【図５】本発明第５の実施形態による測定ヘッドの長手
方向断面図である。
方向断面図である。
５…支持板 ９…ハウジング ７…フィーラ １１…測定ヘッド １３…支点 １５…ダッシュポット １７…ばね
Claims (3)
- 【請求項１】 ハウジングと、ハウジングに支持され且
つ被測定物と接触する測定フィーラとを備える測定ヘッ
ドにおいて、 前記ハウジング内に設けられ、前記測定フィーラの基端
部を固定する支持部材と、 前記支持部材を支持する支点と、 前記支持部材を前記支点へ押圧するばねと、 前記支持部材と前記ハウジングとの間に設けられた緩衝
手段と、 を具備することを特徴とした測定ヘッド。 - 【請求項２】 前記緩衝手段は、減衰要素でなる請求項
１に記載の測定ヘッド。 - 【請求項３】 前記緩衝手段は、前記支持部材に設けら
れ、前記支持部材又は測定フィーラの振動を検知する振
動センサと、前記振動センサにより検知された振動を打
ち消す振動を発生する加振器とから成る請求項１に記載
の測定ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37392398A JP4079534B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 測定ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37392398A JP4079534B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 測定ヘッド |
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|---|---|
| JP2000190169A true JP2000190169A (ja) | 2000-07-11 |
| JP4079534B2 JP4079534B2 (ja) | 2008-04-23 |
Family
ID=18502981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37392398A Expired - Lifetime JP4079534B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 測定ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4079534B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006284410A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 形状測定装置用プローブ、形状測定装置及び方法 |
| JP2008304413A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Panasonic Corp | 形状測定方法 |
| JP2009002734A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Panasonic Corp | 三次元測定プローブ |
| JP2010210380A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Mitsutoyo Corp | 形状測定機および倣いプローブ装置 |
| CN112325733A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-02-05 | 湖州永盛机械铸造有限公司 | 一种汽车配件的导轨滑动式检测装置 |
-
1998
- 1998-12-28 JP JP37392398A patent/JP4079534B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4079534B2 (ja) | 2008-04-23 |
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